JP2020012512A - 環状シール材 - Google Patents

Abstract

【課題】使用環境が高温であっても、シール溝から一部が抜け出してしまうことがなく、所望のシール性能を維持し、シール溝の開口から底壁に向かってプラズマが侵入し、接着剤を劣化させてしまうことを確実に防止することのできる環状シール材を提供する。【解決手段】環状シール材であって、前記環状シール材の厚さ方向の断面形状において、内周側に位置する内周側本体部と、外周側に位置する外周側本体部と、を少なくとも備え、さらに前記環状シール材の厚さ方向の上面には、前記内周側本体部と外周側本体部との間に上面側凹部が設けられ、前記環状シール材の厚さ方向の下面には、前記内周側本体部と外周側本体部との間に下面側凹部が設けられている。【選択図】図２

Description

本発明は、厚さ方向に沿って延びる円柱状部材の外周側面に設けられた、半径方向に凹む環状のシール溝に装着される環状シール材に関する。

従来より、半導体製造装置に用いられるプラズマエッチング装置の半導体基板載置台の円柱状部材（支柱）などにおいて、外周側面に設けられたシール溝内に環状シール材が装着されている（例えば特許文献１）。

このような半導体製造装置において用いられる円柱状部材１００は、図１２に示したように、シール溝１１０を境にして上下方向に別部材同士（一方部材１２０と他方部材１２２）を接着剤１３０で接合してなるものである。

シール溝１１０に装着される環状シール材１４０は、外周側に凹部１４２が設けられた断面略台形状であり、この特殊な形状をした環状シール材１４０をシール溝１１０に装着することによって、シール溝１１０の開口１１２から底壁１４４に向かってプラズマが侵入し、接着剤１３０を劣化させてしまうことを防止している。

特開２０１８−４０４７２号公報

ところで、このような環状シール材１４０が装着される円柱状部材１００は、プラズマエッチング装置などの高温の環境であるため、シール溝１１０内に装着された環状シール材１４０は熱によって次第に熱膨張し、シール溝１１０の上下に位置する一方壁１４６と他方壁１４８とに密着してシール性を確保することとなる。

しかしながら、近年の半導体製造装置においては、更なる高温（例えば２００〜３２０度）の環境も想定され、このような従来の環状シール材１４０であると、熱膨張が進んでシール溝１１０の開口１１２から環状シール材１４０の一部が抜け出してしまうおそれがあった。

このように環状シール材１４０の一部がシール溝１１０から抜け出してしまった場合、所望のシール性能を得られなくなるおそれがあり、新たな環状シール材が求められているのが実情である。

本発明はこのような実情に鑑みなされたものであって、使用環境が２００〜３２０度程度の高温であっても、シール溝から一部が抜け出してしまうことがなく、所望のシール性能を維持し、シール溝の開口から底壁に向かってプラズマが侵入し、接着剤を劣化させてしまうことを確実に防止することのできる環状シール材を提供することを目的とする。

本発明は、前述した従来技術における問題点を解決するために発明されたものであって、本発明の環状シール材は、
前記環状シール材の厚さ方向の断面形状において、
内周側に位置する内周側本体部と、
外周側に位置する外周側本体部と、
を少なくとも備え、
さらに前記環状シール材の厚さ方向の上面には、前記内周側本体部と外周側本体部との間に上面側凹部が設けられ、
前記環状シール材の厚さ方向の下面には、前記内周側本体部と外周側本体部との間に下面側凹部が設けられていることを特徴とする。
さらに本発明の環状シール材は、
前記環状シール材が、軸方向に沿って延びる円柱状部材の外周側面に設けられた、半径方向に凹む環状のシール溝に装着されるものであって、
前記シール溝は、
前記軸方向の一方側に位置する一方壁と、
前記軸方向の他方側に位置し、前記一方壁に対向する他方壁と、
前記一方壁と他方壁とをつなぐ底壁と、
から成ることを特徴とする。

このように構成されていれば、シール溝内に環状シール材を装着し、内周側本体部がシール溝の一方壁と他方壁とに当接してシール性を発揮する際において、使用環境が高温であっても、膨張した環状シール材の一部が、上面側凹部と下面側凹部に入り込むこととなり、シール溝から環状シール材の一部が抜け出してしまうことがない。
したがって所望のシール性能を維持し、シール溝の開口から底壁に向かってプラズマが侵入し、接着剤を劣化させてしまうことを確実に防止することができる。

また、本発明の環状シール材は、
前記外周側本体部の厚さ方向の上面には、上方に向かって突設する上面側凸部を備え、
前記外周側本体部の厚さ方向の下面には、下方に向かって突設する下面側凸部を備えることを特徴とする。

このように構成されていれば、上面側凸部と下面側凸部が、シール溝の一方壁と他方壁に対して突っ張ることとなるため、環状シール材における所望のシール性能を発現させ、シール溝の開口から底壁に向かってプラズマが侵入し、接着剤を劣化させてしまうことを確実に防止することができる。

さらに、シール溝に環状シール材を装着する際に、上面側凸部と下面側凸部が有る側から入れようとしても、シール溝に環状シール材が入らないため、内周側本体部と外周側本体部とを逆に装着する誤装着を確実に防止することができる。

また、本発明の環状シール材は、
前記外周側本体部の外周側の端部には、前記外周側に膨出する膨出部が設けられていることを特徴とする。
このように構成されていれば、環状シール材を金型で成形する際に、金型から環状シール材を抜き易くすることができる。

また、本発明の環状シール材は、
前記膨出部の外周側の突端には、小凸部が設けられていることを特徴とする。
このように構成されていれば、環状シール材の厚さ方向の中心位置を、小凸部を介して視認することができるため、シール溝に対して環状シール材が真直ぐに確実に装着されているか否かを確認することができ、誤装着を防止することができる。

また、本発明の環状シール材は、
前記上面側凸部の内周側の傾斜線と、前記下面側凸部の内周側の傾斜線と、の間にできた第１傾斜角度が、１０〜１２０度の範囲内であることを特徴とする。
このような範囲内であれば、所望のシール性能を維持することができる。

また、本発明の環状シール材は、
前記膨出部の上面側の傾斜線と、下面側の傾斜線と、の間にできた第２傾斜角度が、９０〜１８０度の範囲内であることを特徴とする。
このような範囲内であれば、所望のシール性能を維持することができる。

また、本発明の環状シール材は、
前記第２傾斜角度が、前記第１傾斜角度よりも大きいことを特徴とする。
このように構成されていれば、環状シール材がシール溝内に装着されて変形しても、上下方向に均等に変形することができ、いびつな変形が生ずることを防止することができる。
したがって、所望のシール性能を維持することができる。

また、本発明の環状シール材は、
前記環状シール材が、弾性部材からなることを特徴とする。
このように弾性部材であれば、シール溝の開口から底壁に向かってプラズマが侵入し、接着剤を劣化させてしまうことを確実に防止することができる。

また、本発明の環状シール材は、
前記内周側本体部の厚みが、
前記シール溝の底壁の一方壁から他方壁までの高さよりも小さいことを特徴とする。
このように構成されていれば、シール溝内に環状シール材を装着する際に、容易に装着することができる。また、環状シール材が膨張した際にも、内周側本体部とシール溝との間の空間に、環状シール材の一部が入り込むため、シール溝から環状シール材の一部が抜け出してしまうことを確実に防止することができる。

また、本発明の環状シール材は、
前記環状シール材の内周側本体部から外周側本体部までの最大寸法が、
前記シール溝の開口縁部における前記一方壁から他方壁までの高さよりも大きいことを特徴とする。
このように構成されていれば、環状シール材が転動して内周側本体部が下方、外周側本体部が上方に位置したとしても、シール溝の開口に環状シール材を挿入することができないため、誤装着を確実に防止することができる。

また、本発明の環状シール材は、
前記環状シール材の上面側凸部の端部から下面側凸部の端部までの最大寸法が、
前記シール溝の開口縁部における前記一方壁から他方壁までの高さよりも大きいことを特徴とする。

このように構成されていれば、上面側凸部と下面側凸部が、シール溝の一方壁と他方壁に対して突っ張ることとなるため、環状シール材における所望のシール性能を発現させ、シール溝の開口から底壁に向かってプラズマが侵入し、接着剤を劣化させてしまうことを確実に防止することができる。

さらには、シール溝に環状シール材を装着する際に、誤って上面側凸部と下面側凸部が有る側、すなわち外周側本体部側から入れようとしても、シール溝に環状シール材が入らないため、内周側本体部と外周側本体部とを逆に装着する誤装着を確実に防止することができる。

また、本発明の環状シール材は、
前記円柱状部材が、
前記シール溝の底壁を境にして一方壁側と他方壁側とで別部材から構成されており、前記別部材間が接着剤で接合されていることを特徴とする。
このように円柱状部材が構成されていても、本発明の環状シール材が用いられていれば、シール溝の開口から底壁に向かってプラズマが侵入し、接着剤を劣化させてしまうことを確実に防止することができる。

また、本発明の環状シール材は、
前記シール溝が設けられた円柱状部材が、半導体製造装置であることを特徴とする。
このように半導体製造装置は特に過酷な環境下であるが、本発明の環状シール材であれば、シール溝の開口から底壁に向かってプラズマが侵入し、接着剤を劣化させてしまうことを確実に防止することができる。

本発明によれば、シール溝の一方壁側に位置する内周側本体部と外周側本体部との間に、上面側凹部が設けられ、シール溝の他方壁側に位置する内周側本体部と外周側本体部との間に、下面側凹部が設けられているため、使用環境が高温であっても、膨張した環状シール材の一部が、上面側凹部と下面側凹部に入り込むことで、シール溝から環状シール材の一部が抜け出してしまうことがなく、所望のシール性能を維持し、シール溝の開口から底壁に向かってプラズマが侵入し、接着剤を劣化させてしまうことを確実に防止することのできる環状シール材を提供することができる。

図１は、本発明の環状シール材が円柱状部材のシール溝に装着された状態を示した概略断面図である。 図２は、図１のＡ部を拡大して示した拡大断面図である。 図３は、本発明の環状シール材の断面図において、端部を拡大して示した拡大断面図である。 図４は、本発明の環状シール材の断面図において、端部を拡大して示した拡大断面図である。 図５は、本発明の環状シール材を誤った状態でシール溝内に配設しようとした状態を示した概略断面図である。 図６は、本発明の環状シール材を円柱状部材のシール溝に装着する前の状態を示した概略断面図である。 図７は、本発明の環状シール材の内周側本体部を円柱状部材のシール溝に挿入した状態を示した概略断面図である。 図８は、本発明の環状シール材を、冶具を用いてシール溝内に装着しようとした状態を示した概略断面図である。 図９は、本発明の環状シール材を、冶具を用いてシール溝内に装着した状態を示した概略断面図である。 図１０は、本発明の環状シール材の他の実施形態を示した概略断面図である。 図１１は、本発明の環状シール材が装着されるシール溝の他の実施形態を示した概略断面図である。 図１２は、従来の環状シール材を円柱状部材のシール溝に装着した状態を示した概略断面図である。

以下、本発明の実施形態について、図面に基づきより詳細に説明する。
本発明の環状シール材は、半導体製造装置に用いられるプラズマエッチング装置の半導体基板載置台の円柱状部材（支柱）などの高温の環境下において、例えば外周側面に設けられた環状のシール溝内に装着されて用いられるものである。

また、本明細書中で「高温」とは、２００〜３２０度の範囲を想定したものである。
さらに、本発明の環状シール材の寸法としては、特に限定されるものではないが、直径が１５０〜３５０ｍｍの範囲内、内周側本体部から外周側本体部までの最大寸法が２．０〜４．０ｍｍの範囲内、上面側凸部の端部から下面側凸部の端部までの最大寸法が２．０〜３．５ｍｍの範囲内の場合において、特に本発明の環状シール材における効果を発現することができるものである。

すなわち、本発明の環状シール材は非常に厚みが薄くて要部が小さく、さらに転動し易い取り扱いに注意が必要なものであり、半導体製造装置などの高温で過酷な環境下において好適に用いられるものである。

具体的には図１および図２に示したように、本発明の実施形態における環状シール材１０は、軸Ｂ方向（上下方向，厚さ方向）に沿って延びる円柱状部材５０の外周側面５２に設けられた、半径方向に凹む環状のシール溝６０に装着されるものである。

円柱状部材５０は、例えばセラミックス製の一方部材５４とアルミニウム製の他方部材５６とが、互いに接着剤５８で接合されてなり、接合面がちょうどシール溝６０の底壁６６の上端に位置している。

そして、このような環状シール材１０が装着されるシール溝６０は、軸Ｂ方向の一方側（上側）に位置する一方壁６２と、軸Ｂ方向の他方側（下側）に位置し、一方壁６２に対向する他方壁６４と、一方壁６２と他方壁６４とをつなぐ底壁６６と、から成り、断面略コ字状に形成されている。

本発明の環状シール材１０は、軸Ｂ方向の断面形状において、このシール溝６０の底壁６６側に位置する内周側本体部１２と、シール溝６０の開口６８側に位置する外周側本体部１４と、を備えている。そしてシール溝６０の一方壁６２側に位置する内周側本体部１２と外周側本体部１４との間には、上面側凹部１６が設けられ、他方壁６４側に位置する内周側本体部１２と外周側本体部１４との間には、下面側凹部１８が設けられている。

この上面側凹部１６と下面側凹部１８により、環状シール材１０を高温環境下で用いられる円柱状部材５０のシール溝６０に装着して用いた際において、膨張した環状シール材１０の一部が、上面側凹部１６と下面側凹部１８に入り込むこととなり、シール溝６０から環状シール材１０の一部が抜け出してしまうようなことを確実に防止することができる。

なお図３に示したように、内周側本体部１２の厚みＴ１は、シール溝６０の底壁６６の一方壁６２から他方壁６４までの高さＴ２よりも若干小さく設定されており、これによりシール溝６０内に環状シール材１０を装着する際に、スムーズに装着することができる。

内周側本体部１２の厚みＴ１としては、シール溝６０の底壁６６の一方壁６２から他方壁６４までの高さＴ２の、０．６〜１．０倍の範囲内とすることが好ましく、より好ましくは０．８〜１．０倍の範囲内、さらに好ましくは０．８５〜０．９５倍の範囲内である。
さらに、内周側本体部１２から外周側本体部１４までの最大寸法Ｌ１は、シール溝６０の底壁６６から開口縁部までの最大深さＬ２よりも小さく設定されており、これによりシール溝６０内で環状シール材１０が熱膨張した際においても、環状シール材１０の一部がシール溝６０から抜け出してしまうことを確実に防止することができる。

なお、内周側本体部１２から外周側本体部１４までの最大寸法Ｌ１としては、シール溝６０の底壁６６から開口縁部までの最大深さＬ２の、０．５〜０．９倍の範囲内とすることが好ましく、より好ましくは０．６〜０．８倍の範囲内、さらに好ましくは０．７〜０．８倍の範囲内である。

また、本実施形態の環状シール材１０が装着される円柱状部材５０は、例えば半導体製造装置のプラズマエッチング装置の半導体基板載置台で用いられることから、環状シール材１０としては耐プラズマ性、純粋性、真空シール性、耐熱性、メンテナンス性、動的用途での動作安定性、コストパフォーマンスなどが求められ、環状シール材１０の材質としては、ゴム等の弾性部材が好ましい。

弾性部材としては、例えばフッ素ゴム（ＦＫＭ）やパーフロロエラストマー（ＦＦＫＭ）が使用され、特に耐プラズマ性が要求される部位では、パーフロロエラストマー（ＦＦＫＭ）が使用されることが好ましい。

また、技術革新の進む新しい半導体製造装置に対応できる環状シール材１０の材質として、耐プラズマ性、非粘着性、純粋性、耐熱性に優れた日本バルカー工業株式会社製の無充填系パーフロロエラストマー（ＦＦＫＭ）、ＦＬＵＯＲＩＴＺ（登録商標）シリーズを挙げることができる。ＦＬＵＯＲＩＴＺ（登録商標）シリーズは、従来のパーフロロエラストマー（ＦＦＫＭ）と比較して、耐プラズマ性（耐ラジカル性、耐クラック性）、非粘着性を大幅に向上させた材料である。

さらに本実施形態の環状シール材１０は、図３に示したように、外周側本体部１４の厚さ方向の上面には、一方壁６２側（上方）に向かって突設する上面側凸部２０と、外周側本体部１４の厚さ方向の下面には、他方壁６４側（下方）に向かって突設する下面側凸部２２と、が設けられている。

上面側凸部２０の端部から下面側凸部２２の端部までの最大寸法Ｔ４は、シール溝６０の開口縁部の一方壁６２から他方壁６４までの高さＴ３よりも大きく設定されており、これにより所望のシール性能を得ることができる。

上面側凸部２０の端部から下面側凸部２２の端部までの最大寸法Ｔ４としては、シール溝６０の開口縁部の一方壁６２から他方壁６４までの高さＴ３の、１．１〜１．８倍の範囲内とすることが好ましく、より好ましくは１．１〜１．４倍の範囲内、さらに好ましくは１．１５〜１．３５倍の範囲内である。

このような上面側凸部２０と下面側凸部２２が設けられることにより、シール溝６０内に環状シール材１０を装着した際に、シール溝６０の一方壁６２と他方壁６４に対して上面側凸部２０と下面側凸部２２が突っ張ることとなるため、環状シール材１０における所望のシール性能を発現させ、シール溝６０の開口６８から底壁６６に向かってプラズマが侵入し、接着剤５８を劣化させてしまうことを確実に防止することができる。

さらにはシール溝６０に環状シール材１０を装着する際に、上面側凸部２０と下面側凸部２２が有る側、すなわち外周側本体部１４側から入れようとしても、シール溝６０に環状シール材１０が入らないため、内周側本体部１２と外周側本体部１４とを、逆に装着する誤装着を確実に防止することができる。

また、外周側本体部１４の外周側の端部には、シール溝６０の開口６８側に膨出する膨出部２４が設けられている。このように膨出部２４が設けられていれば、環状シール材１０を上下の金型（図示せず）で成形した際に、金型（図示せず）から環状シール材１０を抜き易くすることができる。

さらに膨出部２４の外周側の突端には、小凸部２６が設けられており、これにより環状シール材１０の厚さ方向（軸Ｂ方向）の中心位置を、小凸部２６を介して視認することができ、シール溝６０に対して環状シール材１０が真直ぐに確実に装着されているか否かを確認することができ、誤装着を防止することができる。

また図４に示したように、上面側凸部２０の内周側（底壁６６側）の傾斜線３０と、下面側凸部２２の内周側（底壁６６側）の傾斜線３２と、の間にできた第１傾斜角度θ１は、１０〜１２０度の範囲内であることが好ましく、より好ましくは５０〜１１０度の範囲内、さらに好ましくは７０〜９０度の範囲内である。

一方、膨出部２４の上面側（一方壁６２側）の傾斜線３６と、下面側（他方壁６４側）の傾斜線３８と、の間にできた第２傾斜角度θ２は、９０〜１８０度の範囲内であることが好ましく、より好ましくは１００〜１６０度の範囲内、さらに好ましくは１２０〜１４０度の範囲内である。
そして、第２傾斜角度θ２が、第１傾斜角度θ１よりも大きいことが好ましい。

このように第２傾斜角度θ２が、第１傾斜角度θ１よりも大きければ、環状シール材１０がシール溝６０内に装着されて変形しても、上下方向に均等に変形することができ、いびつな変形が生ずることを防止することができる。したがって、所望のシール性能を維持することができる。

なお、本実施形態の環状シール材１０は、内周側本体部１２から外周側本体部１４までの最大寸法Ｌ１が、シール溝６０の開口縁部における一方壁６２から他方壁６４までの高さＴ３よりも大きく設定されている。

これにより、図５に示したように、環状シール材１０が誤って転動し内周側本体部１２が下方、外周側本体部１４が上方に位置したとしても、シール溝６０の開口６８に環状シール材１０を挿入することができないため、誤装着を確実に防止することができる。

このように本発明の環状シール材１０は、上記したような特殊な形状を有しており、これによりシール溝６０の開口６８から底壁６６に向かってプラズマが侵入し、接着剤５８を劣化させてしまうことを確実に防止することができる。

次に、本発明の環状シール材１０をシール溝６０内に装着する際の手順について説明する。
まず、図６に示したようにシール溝６０の開口６８の外側に、環状シール材１０の内周側本体部１２が対向するように環状シール材１０を配設する。

次いで、図７に示したように、環状シール材１０の内周側本体部１２の部分をシール溝６０の底壁６６に向かって押し込み、環状シール材１０の上面側凸部２０と下面側凸部２２とが、シール溝６０の開口縁部に引っ掛かる手前の位置まで挿入する。

この状態において、図８に示したように挿入ジグ８０を外周側本体部１４の外方位置に用意し、図９に示したように、シール溝６０の底壁６６に向かって環状シール材１０を押し込み、内周側本体部１２の端部が底壁６６に接するまで移動させれば、環状シール材１０のシール溝６０への装着は完了となる。

以上、本発明の環状シール材１０について、好ましい実施形態を説明したが、本発明の環状シール材１０は、上記した実施形態に限定されるものではなく、例えば図１０（ａ）に示したように、内周側本体部１２の底壁６６側の端部に膨出部７０を設けても良いものである。

さらには図１０（ｂ）に示したように、外周側本体部１４の膨出部２４に小凸部２６が設けられていなくても良く、また図１０（ｃ）に示したように、外周側本体部１４の上面に設けられた上面側凸部２０と、下面に設けられた下面側凸部２２の形状が台形状であっても良いものである。

また円柱状部材５０を構成する一方部材５４と他方部材５６は、図１１（ａ）に示したように、シール溝６０の底壁６６の略中央を境目にして構成しても、図１１（ｂ）に示したように、シール溝６０の底壁６６の他方壁６４側の下端を境目にして構成しても良いものである。

さらには、上面側凹部１６の大きさと下面側凹部１８の大きさが異なっていたり、上面側凸部２０の大きさと下面側凸部２２の大きさが異なっていても良いなど、本発明の目的を逸脱しない範囲で種々の変更が可能なものである。

１０ 環状シール材
１２ 内周側本体部
１４ 外周側本体部
１６ 上面側凹部
１８ 下面側凹部
２０ 上面側凸部
２２ 下面側凸部
２４ 膨出部
２６ 小凸部
３０ 傾斜線
３２ 傾斜線
３６ 傾斜線
３８ 傾斜線
５０ 円柱状部材
５２ 外周側面
５４ 一方部材
５６ 他方部材
５８ 接着剤
６０ シール溝
６２ 一方壁
６４ 他方壁
６６ 底壁
６８ 開口
７０ 膨出部
８０ 挿入ジグ
１００ 円柱状部材
１１０ シール溝
１１２ 開口
１２０ 一方部材
１２２ 他方部材
１３０ 接着剤
１４０ 環状シール材
１４２ 凹部
１４４ 底壁
１４６ 一方壁
１４８ 他方壁
Ｂ 軸
Ｌ１ 内周側本体部から外周側本体部までの最大寸法
Ｌ２ 底壁から開口縁部までの最大深さ
Ｔ１ 内周側本体部の厚み
Ｔ２ 底壁の一方壁から他方壁までの高さ
Ｔ３ 開口縁部の一方壁から他方壁までの高さ
Ｔ４ 上面側凸部の端部から下面側凸部の端部までの最大寸法
θ１ 第１傾斜角度
θ２ 第２傾斜角度

Claims (14)

1. 環状シール材であって、
   前記環状シール材の厚さ方向の断面形状において、
   内周側に位置する内周側本体部と、
   外周側に位置する外周側本体部と、
   を少なくとも備え、
   さらに前記環状シール材の厚さ方向の上面には、前記内周側本体部と外周側本体部との間に上面側凹部が設けられ、
   前記環状シール材の厚さ方向の下面には、前記内周側本体部と外周側本体部との間に下面側凹部が設けられていることを特徴とする環状シール材。
2. 前記外周側本体部の厚さ方向の上面には、上方に向かって突設する上面側凸部を備え、
   前記外周側本体部の厚さ方向の下面には、下方に向かって突設する下面側凸部を備えることを特徴とする請求項１に記載の環状シール材。
3. 前記外周側本体部の外周側の端部には、前記外周側に膨出する膨出部が設けられていることを特徴とする請求項１または２に記載の環状シール材。
4. 前記膨出部の外周側の突端には、小凸部が設けられていることを特徴とする請求項３に記載の環状シール材。
5. 前記上面側凸部の内周側の傾斜線と、前記下面側凸部の内周側の傾斜線と、の間にできた第１傾斜角度が、１０〜１２０度の範囲内であることを特徴とする請求項２〜４のいずれかに記載の環状シール材。
6. 前記膨出部の上面側の傾斜線と、下面側の傾斜線と、の間にできた第２傾斜角度が、９０〜１８０度の範囲内であることを特徴とする請求項３〜５のいずれかに記載の環状シール材。
7. 前記第２傾斜角度が、前記第１傾斜角度よりも大きいことを特徴とする請求項６に記載の環状シール材。
8. 前記環状シール材が、弾性部材からなることを特徴とする請求項１〜７のいずれかに記載の環状シール材。
9. 前記環状シール材が、軸方向に沿って延びる円柱状部材の外周側面に設けられた、半径方向に凹む環状のシール溝に装着されるものであって、
   前記シール溝は、
   前記軸方向の一方側に位置する一方壁と、
   前記軸方向の他方側に位置し、前記一方壁に対向する他方壁と、
   前記一方壁と他方壁とをつなぐ底壁と、
   から成ることを特徴とする請求項１〜８のいずれかに記載の環状シール材。
10. 前記内周側本体部の厚みが、
    前記シール溝の底壁の一方壁から他方壁までの高さよりも小さいことを特徴とする請求項９に記載の環状シール材。
11. 前記環状シール材の内周側本体部から外周側本体部までの最大寸法が、
    前記シール溝の開口縁部における前記一方壁から他方壁までの高さよりも大きいことを特徴とする請求項９または１０に記載の環状シール材。
12. 前記環状シール材の上面側凸部の端部から下面側凸部の端部までの最大寸法が、
    前記シール溝の開口縁部における前記一方壁から他方壁までの高さよりも大きいことを特徴とする請求項９〜１１のいずれかに記載の環状シール材。
13. 前記円柱状部材が、
    前記シール溝の底壁を境にして一方壁側と他方壁側とで別部材から構成されており、前記別部材間が接着剤で接合されていることを特徴とする請求項９〜１２のいずれかに記載の環状シール材。
14. 前記シール溝が設けられた円柱状部材が、半導体製造装置であることを特徴とする請求項９〜１３のいずれかに記載の環状シール材。

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