JPWO2014203638A1 - Esd保護装置 - Google Patents
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Abstract
Description
以下の要領で、第1の実施形態の実施例としての実施例1、2と、比較のための比較例1のESD保護装置を作製した。
Ba、Al及びSiを主体とする組成から成り、BAS材として知られているセラミック組成のセラミック粉末を用意した(比誘電率:5〜9)。このセラミック粉末に、トルエン及びエキネンを加え混合し、さらにバインダー樹脂と可塑剤とを加え、セラミックスラリーを得た。このセラミックスラリーをドクターブレード法により成形し、厚み50μmのマザーのセラミックグリーンシートを得た。
平均粒径1μmのCu粉末を40重量%と、平均粒径3μmのCu粉末を40重量%と、エチルセルロースとターピネオールに溶解して作製した有機ビヒクルを20重量%とを調合し、3本ロールにより混合することにより、放電電極用ペーストを作製した。
平均粒径1μmの架橋アクリル樹脂ビーズ38重量%と、ターピネオール中にエトセル樹脂を10重量%溶解してなる有機ビヒクル溶液62重量%とを調合し、空洞形成ペーストを得た。
平均粒径が1μmのCu粉末80重量%と、ガラス転移点が620℃で、軟化点が720℃であり、平均粒径が1μmのホウケイ酸アルカリ系ガラスフリット5重量%と、エチルセルロースをターピネオールに溶解してなる有機ビヒクル15重量%とを混合し、外部端子電極用ペーストを得た。
上述したマザーのセラミックグリーンシート上の、第1,第2の放電電極を形成する位置に、平面形状が円形の貫通孔を有するように、上記放電電極ペーストを印刷した。貫通孔の寸法は、直径5μmとし、ギャップの対向距離は30μmとした。続いて、上記空洞形成ペーストを塗布し、乾燥した。
(ESD放電応答性)
上記実施例1、2及び比較例1のESD保護装置100個について、IECの規格、IEC61000−4−2に定められている静電気放電イミュニティ試験により放電応答性を評価した。結果を下記の表1に示す。なお、放電応答性評価における数値は、放電開始電圧(V)である。
ESDに対する繰返し耐性を調べるために、接触放電で8kVの電圧の印加を100回行なって、その後で再び静電気放電イミュニティ試験によって放電開始電圧(V)を求めた。このときの評価結果を表1の「ESD繰返し耐性」の欄に示す。
2…基板
2a…空洞
2b,2c…端面
3,4…第1,第2の放電電極
3a,3b,4a…貫通孔
5…放電補助電極
6,7…第1,第2の外部電極
8…放電補助電極
9a…金属粒子
9b…半導体セラミック粒子
21,31…ESD保護装置
22…基板
22a,22b…端面
22c…空洞
41…ESD保護装置
Claims (8)
- 基板と、
前記基板に設けられており、主面を有する、第1,第2の放電電極とを備え、
前記第1,第2の放電電極の前記主面同士が、前記基板の厚み方向にギャップを隔てて面対向しており、
前記第1,第2の放電電極の面対向している部分の少なくとも一方に、貫通孔が設けられている、ESD保護装置。 - 前記貫通孔が複数設けられている、請求項1に記載のESD保護装置。
- 前記貫通孔が、前記第1,第2の放電電極の双方に設けられている、請求項1又は2に記載のESD保護装置。
- 前記貫通孔の平面形状が、円形又は矩形である、請求項1〜3のいずれか一項に記載のESD保護装置。
- 前記貫通孔の平面形状が、円形である、請求項4に記載のESD保護装置。
- 前記基板内にさらに空洞が設けられており、
前記第1,第2の放電電極間の面対向している部分が、前記空洞内に位置している、請求項1〜5のいずれか一項に記載のESD保護装置。 - 前記第1の放電電極と、前記第2の放電電極とを接続するように設けられており、第1,第2の放電電極間の放電を促す放電補助電極をさらに備える、請求項1〜6のいずれか一項に記載のESD保護装置。
- 前記放電補助電極が、導電性を有しない材料で被覆された金属粒子を含む、請求項7に記載のESD保護装置。
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