JPWO2014174690A1 - フィルター用リテーナ及びそれを用いたフィルター - Google Patents
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Abstract
Description
2枚の濾材に挟みこまれて流路を形成するフィルター用リテーナであって、
前記フィルター用リテーナは、両面に前記流路が形成された略円形の板であり、
前記フィルター用リテーナの径方向において、外周側の前記流路の垂直断面積が、中心側の前記流路の垂直断面積より狭くなっていることを特徴とする。
フィルター用リテーナの両面上に濾材を有するフィルターであって、
前記フィルター用リテーナが、前記本発明のフィルター用リテーナであることを特徴とする。
図1は、本実施形態のフィルター用リテーナの一例の一部を示す斜視図である。図1に示すように、本実施形態のフィルター用リテーナ10は、両面に流路として溝11が形成された略円形の板である。
エッチング液の種類:塩化第二鉄
時間:3.5時間〜4時間
温度:40℃〜60℃
レジストの種類:ドライフィルムレジスト(DFR)
現像液の種類:アルカリ系現像液
剥離液の種類:アルカリ系剥離液
図5は、本実施形態のフィルター用リテーナを示す斜視図である。図5に示すように、本実施形態のフィルター用リテーナ10では、両面に柱状の突起12が周方向に複数配列されるとともに、突起12の列が同心円状の4列の環状列として配置されている。本実施形態のフィルター用リテーナ10において、隣接する突起12の間の空間が、濾過流体の流路となる。濾過流体は、前記流路を、外周側から中心側に向かって流れる。本実施形態のフィルター用リテーナ10の径方向において、外周側の単位面積当たりの突起12の個数が、中心側の単位面積当たりの突起12の個数より多くなっていることで、外周側の流路の垂直断面積が、中心側の流路の垂直断面積より狭くなっている。突起12の環状列は、図5に示す4列に限定されず、例えば、4列〜500列の範囲である。最も中心側の環状列における突起12の単位面積当たりの個数は、例えば、20万個/m2〜80万個/m2の範囲であり、好ましくは、30万個/m2〜70万個/m2の範囲であり、より好ましくは、40万個/m2〜60万個/m2の範囲である。最も外側の環状列における突起12の単位面積当たりの個数は、例えば、30万個/m2〜120万個/m2の範囲であり、好ましくは、50万個/m2〜100万個/m2の範囲であり、より好ましくは、60万個/m2〜90万個/m2の範囲である。
11、111 流路
12 柱状の突起
20 濾材
30、130 フィルター
121 多孔体
Claims (9)
- 2枚の濾材に挟み込まれて流路を形成するフィルター用リテーナであって、
前記フィルター用リテーナは、両面に前記流路が形成された略円形の板であり、
前記フィルター用リテーナの径方向において、外周側の前記流路の垂直断面積が、中心側の前記流路の垂直断面積より狭くなっていることを特徴とするフィルター用リテーナ。 - 前記流路として、前記フィルター用リテーナの両面に溝が形成され、
前記フィルター用リテーナの径方向において、外周側の前記溝の幅が、中心側の前記溝の幅より広くなっていることで、外周側の前記流路の垂直断面積が、中心側の前記流路の垂直断面積より狭くなっている、請求項1記載のフィルター用リテーナ。 - 前記流路として、前記フィルター用リテーナの両面に溝が形成され、
前記フィルター用リテーナの径方向において、外周側の前記溝の深さが、中心側の前記溝の深さより浅くなっていることで、外周側の前記流路の垂直断面積が、中心側の前記流路の垂直断面積より狭くなっている、請求項1記載のフィルター用リテーナ。 - 前記フィルター用リテーナの両面に柱状の突起が形成され、
前記フィルター用リテーナの径方向において、外周側の単位面積当たりの前記突起の体積が、中心側の単位面積当たりの前記突起の体積より大きくなっていることで、外周側の前記流路の垂直断面積が、中心側の前記流路の垂直断面積より狭くなっている、請求項1記載のフィルター用リテーナ。 - 前記流路の断面において、前記流路の側壁と底部とのなす角が鈍角である、又は、前記流路の側壁と底部とが円弧で接続されている、請求項1記載のフィルター用リテーナ。
- 前記流路の断面において、前記流路の少なくとも底部が円弧状である、請求項1記載のフィルター用リテーナ。
- 前記流路が、化学エッチングにより形成された、請求項1記載のフィルター用リテーナ。
- フィルター用リテーナの両面上に濾材を有するフィルターであって、
前記フィルター用リテーナが、請求項1記載のフィルター用リテーナであることを特徴とするフィルター。 - 前記濾材と前記フィルター用リテーナの流路の側壁がなす角が鈍角である、又は、前記フィルター用リテーナの流路が、前記濾材と円弧で接続されている、請求項8記載のフィルター。
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