JP6109584B2 - フィルター用リテーナ、フィルター及びフィルター用リテーナの製造方法 - Google Patents
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Description
2枚の表面板及び中間板を含む少なくとも3層の積層構造を有するフィルター用リテーナであって、
前記2枚の表面板及び前記中間板は、それぞれ、略円形の板であり、
前記2枚の表面板には、それぞれ、貫通穴が周方向に複数配列されるとともに、前記貫通穴の列が同心円状に複数の環状列として配置されており、
前記中間板には、中心から外側に向かって径方向に延びる複数の線状の溝が形成されており、
前記中間板の線状の溝に沿って、前記2枚の表面板の貫通穴が位置するように、前記2枚の表面板の間に前記中間板が配置されていることを特徴とする。
フィルター用リテーナの両面上に濾材を有するフィルターであって、
前記フィルター用リテーナが、前記本発明のフィルター用リテーナであることを特徴とする。
2枚の表面板及び中間板を含む少なくとも3層の積層構造を有するフィルター用リテーナの製造方法であって、
略円形の板の周方向に貫通穴を複数形成するとともに、前記貫通穴の列を同心円状に複数の環状列として形成する表面板製造工程と、
略円形の板に中心から外側に向かって径方向に延びる複数の溝を形成する中間板製造工程と、
前記中間板製造工程で製造された前記中間板の線状の溝に沿って、前記表面板製造工程で製造された前記2枚の表面板の貫通穴が位置するように、前記2枚の表面板の間に前記中間板を配置する積層体製造工程とを有することを特徴とする。
図1は、本実施形態のフィルター用リテーナを示す分解斜視図である。図2は、本実施形態のフィルター用リテーナを示す平面図である。図3(A)は、本実施形態のフィルター用リテーナにおける表面板を示す平面図である。図3(B)は、本実施形態のフィルター用リテーナにおける中間板を示す平面図である。図4は、図2に示すフィルター用リテーナのI−I方向に見た断面図である。図5は、図2に示すフィルター用リテーナのII−II方向に見た断面図である。図1〜5に示すように、本実施形態のフィルター用リテーナ10は、2枚の表面板11及び中間板12を構成部材として含む。2枚の表面板11及び中間板12は、それぞれ、略円形の板状である。2枚の表面板11には、それぞれ、貫通穴13が周方向に複数(例えば、40個〜60個)配列されるとともに、貫通穴13の列が同心円状に複数の環状列(例えば、10列〜60列)として配置されている。中間板12には、中心から外側に向かって径方向に延びる複数(例えば、40本〜60本)の線状の溝が形成されている。このフィルター用リテーナ10では、中間板12の線状の溝14に沿って、2枚の表面板11の貫通穴13が位置するように、2枚の表面板11の間に中間板12が配置されている。ここで、「中間板12の線状の溝14に沿って、2枚の表面板11の貫通穴13が位置する」とは、図4(A)〜(C)に示すように、中間板12の線状の溝14と、上側の表面板11の貫通穴13底面及び下側の表面板11の貫通穴13上面とが接していることで、破線の矢印で示すように、貫通穴13から流入した濾過流体が、中間板12の線状の溝14に流れ込むようになっていればよいことを意味し、その詳細については後述する。また、径方向断面において、貫通穴13の位置は、図5(A)に示すように、上下で一致していてもよいし、図5(B)に示すように、下側の表面板11の貫通穴13が中心側(同図において右側)にずれていてもよい。いずれの場合においても、図5(A)及び(B)に破線の矢印で示すように、表面板11の貫通穴13からリテーナ10内部に流入した濾過流体は、中間板12の溝14により線状に流れる。また、図示しないが、図5(B)に示すのとは逆に、下側の表面板11の貫通穴13が外側にずれていてもよく、この場合においても、表面板11の貫通穴13からリテーナ10内部に流入した濾過流体は、中間板12の溝14により線状に流れる。
エッチング液の種類:塩化第二鉄
時間:3.5時間〜4時間
温度:40℃〜60℃
レジストの種類:ドライフィルムレジスト(DFR)
現像液の種類:アルカリ系現像液
剥離液の種類:アルカリ系剥離液
図6は、本実施形態のフィルター用リテーナを示す分解斜視図である。図7は、本実施形態のフィルター用リテーナを示す断面図である。図6及び図7に示すとおり、本実施形態のフィルター用リテーナ10は、中間板12を2枚有する点を除き、図1〜5に示す実施形態1のフィルター用リテーナと同様であり、2枚の中間板12の接触面を、線状の溝14の形成箇所以外の部分で拡散接合等により接合することを除き、図1〜5に示す実施形態1のフィルター用リテーナと同様にして製造できる。図6及び図7では、中間板12の枚数を2枚としているが、本実施形態はこれに限定されず、中間板12の枚数を3枚以上としてもよい。本実施形態のフィルター用リテーナ10でも、図1〜5に示す実施形態1のフィルター用リテーナと同様の効果を得ることができる。中間板12を複数枚としてもよいことは、後述の実施形態3以降においても同様である。
図8(A)は、本実施形態のフィルター用リテーナにおける表面板を示す平面図である。図8(B)は、本実施形態のフィルター用リテーナにおける中間板を示す平面図である。図8(A)及び図8(B)に示すとおり、本実施形態のフィルター用リテーナは、中間板12の線状の溝14が、曲線状であり、表面板11の貫通穴13がそれに沿って表面板11の径方向に曲線状に配置され、表面板11の貫通穴13の個数及び中間板12の線状の溝14の本数が半分である点を除き、図1〜5に示す実施形態1のフィルター用リテーナと同様であり、貫通穴13の個数、線状の溝14の本数及びそれらの形成位置を変更することを除き、図1〜5に示す実施形態1のフィルター用リテーナと同様にして製造できる。なお、本実施形態のフィルター用リテーナにおいて、表面板11の貫通穴13の個数及び中間板12の線状の溝14の本数は、図1〜5に示す実施形態1のフィルター用リテーナの半分に限られず、図1〜5に示す実施形態1のフィルター用リテーナと同数としてもよいし、全く異なる数としてもよい。本実施形態のフィルター用リテーナでも、中間板12の線状の溝14が直線状である図1〜5に示す実施形態1のフィルター用リテーナほどは厚み方向の湾曲抑制効果が得られない点を除き、図1〜5に示す実施形態1のフィルター用リテーナと同様の効果を得ることができる。
図9(A)は、本実施形態のフィルター用リテーナにおける表面板を示す平面図である。図9(B)は、本実施形態のフィルター用リテーナにおける中間板を示す平面図である。図9(A)及び図9(B)に示すとおり、本実施形態のフィルター用リテーナは、表面板11の貫通穴13の複数の環状列において、外周側の数列(例えば、1列〜20列)の貫通穴13が2つに分割されており、中間板12の線状の溝14が、略Y字状とされている点を除き、図1〜5に示す実施形態1のフィルター用リテーナと同様であり、貫通穴13の個数及び線状の溝14の形状を変更することを除き、図1〜5に示す実施形態1のフィルター用リテーナと同様にして製造できる。
図10は、本実施形態のフィルター用リテーナにおける表面板を示す平面図である。本実施形態において、中間板12としては、図3(B)に示す実施形態1のフィルター用リテーナと同じものを使用できる。図10に示すとおり、本実施形態のフィルター用リテーナは、表面板11の貫通穴13の平面形状が略四角形であり、前記略四角形の中心側の一辺が、表面板11の径方向に垂直な方向に対し傾斜している点を除き、図1〜5に示す実施形態1のフィルター用リテーナと同様であり、貫通穴13の形状を変更することを除き、図1〜5に示す実施形態1のフィルター用リテーナと同様にして製造できる。本実施形態のフィルター用リテーナにおいて、図8(A)及び図8(B)に示す実施形態3のフィルター用リテーナのように、中間板12の線状の溝14を曲線状とし、表面板11の貫通穴13をそれに沿って表面板11の径方向に曲線状に配置し、表面板11の貫通穴13の個数及び中間板12の線状の溝14の本数を半分にしてもよい。また、本実施形態のフィルター用リテーナにおいて、図9(A)及び図9(B)に示す実施形態4のフィルター用リテーナのように、表面板11の貫通穴13の複数の環状列において、外周側の数列の貫通穴13を2つに分割し、中間板12の線状の溝14を略Y字状としてもよい。
図11は、本実施形態のフィルターを示す断面図である。図11に示すとおり、本実施形態のフィルター20は、図1〜5に示す実施形態1のフィルター用リテーナの両面上に濾材21を有している。図11では、図1〜5に示す実施形態1のフィルター用リテーナを用いているが、本実施形態はこれに限定されず、図6〜10に示す実施形態2〜5のフィルター用リテーナを用いてもよい。
11 表面板
12 中間板
13、33 貫通穴
14 線状の溝
20 フィルター
21 濾材
34 環状の凹部
Claims (7)
- 2枚の表面板及び中間板を含む少なくとも3層の積層構造を有するフィルター用リテーナであって、
前記2枚の表面板及び前記中間板は、それぞれ、中心部に略円形の貫通孔を有する略円形の網状でない板であり、
前記2枚の表面板には、それぞれ、貫通穴が周方向に複数配列されるとともに、前記貫通穴の列が同心円状に複数の環状列として配置されており、
前記中間板には、前記中心部の貫通孔から外側に向かって径方向に延びる複数の線状の溝が形成されており、
前記中間板は、前記中心部の貫通孔及び線状の溝以外の部分が平板であり、
前記中間板の線状の溝に沿って、前記2枚の表面板の貫通穴が位置するように、前記2枚の表面板の間に前記中間板が配置されていることを特徴とするフィルター用リテーナ。 - 前記中間板の線状の溝が、直線状である、請求項1記載のフィルター用リテーナ。
- 前記中間板の径方向において、外周側の前記線状の溝による空隙率が、中心側の前記線状の溝による空隙率よりも低くなっている、請求項1又は2記載のフィルター用リテーナ。
- 前記表面板の貫通穴の平面形状が略四角形であり、前記略四角形の中心側の一辺が、前記表面板の径方向に垂直な方向に対し傾斜している、請求項1から3のいずれか一項に記載のフィルター用リテーナ。
- フィルター用リテーナの両面上に濾材を有するフィルターであって、
前記フィルター用リテーナが、請求項1から4のいずれか一項に記載のフィルター用リテーナであることを特徴とするフィルター。 - 2枚の表面板及び中間板を含む少なくとも3層の積層構造を有するフィルター用リテーナの製造方法であって、
中心部に略円形の貫通孔を有する略円形の網状でない板の周方向に貫通穴を複数形成するとともに、前記貫通穴の列を同心円状に複数の環状列として形成する表面板製造工程と、
中心部に略円形の貫通孔を有する略円形の平板に前記中心部の貫通孔から外側に向かって径方向に延びる複数の線状の溝を形成する中間板製造工程と、
前記中間板製造工程で製造された前記中間板の線状の溝に沿って、前記表面板製造工程で製造された前記2枚の表面板の貫通穴が位置するように、前記2枚の表面板の間に前記中間板を配置する積層体製造工程とを有することを特徴とするフィルター用リテーナの製造方法。 - 前記表面板製造工程及び前記中間板製造工程において、前記表面板の貫通穴及び前記中間板の線状の溝を、化学エッチングにより形成する、請求項6記載のフィルター用リテーナの製造方法。
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