JP5031663B2 - フィルター用リテーナ - Google Patents
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Description
・エッチング液の種類:塩化第二鉄
・時間:板厚、作業方法により異なるが、平均すると3.5〜4時間が適当
・温度:40〜60℃程度
・レジスト種類:DFR
・現像液種類:アルカリ系現像液
・剥離液種類:アルカリ系剥離液
図1〜図5は、本発明の一実施態様に係るフィルター用リテーナ1を示しており、本実施態様では、図3に示すように、該リテーナ1には、その両面上に濾材2が直接支持されるようになっている。リテーナ1は、一対のエッチング処理円板3a、3bの接合体からなり、各エッチング処理円板3a、3bには、化学的フルエッチングにより貫通穴4が多数形成されている。貫通穴4は周方向に多数配列されて該貫通穴4の列が同心円状に複数の環状列として配置されている。該環状列間には、同心円状に延びハーフエッチングにより素材厚みを残した状態で環状領域5が形成されている。一対のエッチング処理円板3a、3bは、上記ハーフエッチング面6a、6b同士(環状領域5同士)を対向させ、かつ、対応する各貫通穴4および環状領域5の位置を一致させた状態で、互いに接合されている。接合は、本実施態様では、外周部7で全周溶接により接合され、この部分で径方向外方への内部流体の漏れが封止されている。
2 濾材
3a、3b エッチング処理円板
4 貫通穴
5 ハーフエッチングによる環状領域
6a、6b ハーフエッチング面
7 外周部
8 内部通路
9 断面で見た閉塞部
Claims (9)
- 両面上に濾材を支持するフィルター用リテーナであって、化学的フルエッチングにより形成された貫通穴が周方向に多数配列されているとともに該貫通穴の列が同心円状に複数の環状列として配置された一対のエッチング処理円板が、対応する各貫通穴の位置を一致させた状態で、互いに接合されており、接合された形態にて、前記一対のエッチング処理円板間に、該一対のエッチング処理円板の接合によって形成される複数の径方向に延びる閉塞部を介して設けられた径方向に延びる内部通路が形成されていることを特徴とするフィルター用リテーナ。
- 前記貫通穴の環状列間に、同心円状に延びハーフエッチングにより素材厚みを残した状態で環状領域が形成された一対のエッチング処理円板が、ハーフエッチング面同士を対向させ、かつ、対応する各貫通穴および環状領域の位置を一致させた状態で、互いに接合されている、請求項1に記載のフィルター用リテーナ。
- 前記一対のエッチング処理円板の互いに対向する面とは反対側の面の、前記貫通穴以外の部分が、エッチング処理前の素材の平坦面のまま残されている、請求項1または2に記載のフィルター用リテーナ。
- 前記対向されたハーフエッチング面の面間部分は、環状かつ同心円状に延びるとともに、前記各環状列における貫通穴をリテーナ径方向に連通させる内部空間を形成している、請求項2または3に記載のフィルター用リテーナ。
- 前記対向されたハーフエッチング面の面間部分は、環状かつ同心円状に延びるとともに、前記各環状列における貫通穴をリテーナ径方向に実質的にストレート状に連通させる内部空間を形成している、請求項4に記載のフィルター用リテーナ。
- 前記一対のエッチング処理円板が、外周側または内周側で全周にわたって接合されている、請求項1〜5のいずれかに記載のフィルター用リテーナ。
- 前記両面上に濾材が直接支持される、請求項1〜6のいずれかに記載のフィルター用リテーナ。
- 前記両面上に濾材が多孔板を介して支持される、請求項1〜6のいずれかに記載のフィルター用リテーナ。
- 前記エッチング処理円板の素材がステンレスからなる、請求項1〜8のいずれかに記載のフィルター用リテーナ。
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