JPWO2014167626A1 - プラズマ処理装置 - Google Patents
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Abstract
Description
特許文献2:特開平4−334543号公報
本発明の第2実施形態においては、図8に示すように、リング状電極3が第1筒状部2の外周面の全長に亘るように形成され、絶縁管6の内部には、銅の円柱棒からなる導電材料7が絶縁管6の内壁と密着させた状態で挿入されている。このとき、第1筒状部2の内壁と絶縁管6の外周面とで形成される空間にプラズマ生成用ガスを導入するとともに、電源Pを用いてリング状電極3と導電材料7とに電力を付与し、第1筒状部の径方向に電位差を設けるように電圧を印加して誘電体バリア放電を発生させることによってプラズマを生成することができる。
以下に、本発明のプラズマ処理方法を用いた実施例について説明する。
本発明のプラズマ処理装置1を用いて、長尺状の被処理物Wに対してプラズマ処理を施し、その処理効果の検討を行った。
以下に、詳しいサンプルの作成方法について述べる。
長尺状の被処理物Wは、所定のプラズマ処理装置設置範囲(本実施例においては、約1mの設置範囲を設けた。)を設けて設置された2台のニップローラ付糸送りロールによって、未処理の長尺状の被処理物Wが巻かれた原糸ボビンから巻取りボビンへと搬送されるようセットされている。
また、サンプルの接触角の測定方法について述べる。
測定装置には、FIBROsystemAB社(Sweden)製の携帯式接触角計PG−Xを用いた。測定は、サンプルが整列して巻き付けられた糸上に測定装置をセットし、当該糸上に純水を滴下して、整列した糸列と純水との接触角を検出した。なお、接触角は、値が小さいほど親水性の表面であることを示し、値が大きいほど撥水性の表面であることを示す。
No.2およびNo.3に示すように、ヘリウムガス100体積%に対して炭酸ガス1体積%を添加したプラズマ生成用ガスを用いてプラズマ処理を施した場合、ガス流量を5L/minとしたNo.2においては、処理前の接触角が81.7°、処理後の接触角が69.3°と、わずかに親水化効果が認められ、ガス流量を10L/minとしたNo.3においては、処理前の接触角が81.7°、処理後の接触角が0.0°と、高い親水化効果が認められた。
No.4およびNo.5に示すように、へリムガス100体積%に対して酸素ガス1体積%を添加したプラズマ生成用ガスを用いてプラズマ処理を施した場合、ガス流量5L/minとしたNo.4においては、処理前の接触角が81.7°、処理後の接触角が67.7°と、わずかに親水化効果が認められ、ガス流量10L/minとしたNo.5においては、処理前の接触角が81.7°、処理後の接触角が85.7°と、逆に撥水化効果が認められる結果となった。
No.7に示すように、ヘリウムガス100体積%に対して炭酸ガス1体積%を添加したプラズマ生成用ガスを用いてプラズマ処理を施した場合、処理前の接触角が91.7°、処理後の接触角が77.2°と、わずかに親水化効果が認められた。
反対に、No.8に示すように、ヘリウムガス100体積%に対して酸素ガス1体積%を添加したプラズマ生成用ガスを用いてプラズマ処理を施した場合には、処理前の接触角が91.7°、処理後の接触角が96.3°と、接触角が大きくなり撥水化効果が認められる結果となった。
本発明の第3実施形態においては、図9に示すように、例えば、タングステンや鋼などの電気伝導性を有する長尺状の被処理物Wにプラズマ処理を施す場合においても安定にプラズマを生成して、良好なプラズマ処理を可能とするべく発明された実施形態であり、第1筒状部2に対して、直交して貫通するように一体に形成された少なくとも1つの第2筒状部8を備えている。また、プラズマ生成用ガス導入部4から第1筒状部2の内部にプラズマ生成用ガスを導入するとともに、リング状電極3に対して長手方向に電位差を設けるように電圧を印加することにより、第1筒状部2の内部において生成されたプラズマが第2筒状部8の内部に導入されるようにされている。
本発明の第4実施形態におけるプラズマ処理装置1を用いて、長尺状の被処理物Wに対してプラズマ処理を施すとともに、表面処理剤を塗布し、プラズマ処理による表面処理剤の耐摩耗効果の検討を行った。
2 第1筒状部
2a 単位筒
3 リング状電極
4 プラズマ生成用ガス導入部
5 ガイド部
5a ガイド部材
5b 同心円
5c 支持孔
5d 貫通孔
6 絶縁管
7 導電材料
8 第2筒状部
9 連結部材
9a,9b、9c、9d 開口部
10a 上側電極
10b 下側電極
11 絶縁板
12 スペーサー
12a 間隙
13 プラズマ生成用ガス導入口
15 ガイド部材
15a 保持部
W 長尺状の被処理物
P 電源
ズマが生成されてしまい、正常にプラズマを生成することが困難であった。この実験から、特許文献2に記載の装置を用いて電気伝導性のある糸に対してプラズマ処理を施すことが困難であるという問題点が明らかとなった。
[0012]
また、釣り糸に限らず、繊維やチューブなどの長尺物や長尺物からなる布帛の表面に対して改質処理を行いたいという要望は多い。
[0013]
これらの課題を解決するべく、本発明においては、密度分布にバラツキのあるプラズマ中において、プラズマ密度の高い領域を選択的に通過させることにより、長尺状の被処理物に対して高速にプラズマ処理を施すとともに、長尺状の被処理物の表面に満遍なく均一な表面処理を可能とするプラズマ処理方法および前記プラズマ処理方法を用い、操作性に優れたプラズマ処理装置並びにプラズマ処理を施した長尺物を提供することを目的とする。
課題を解決するための手段
[0014]
前述した目的を達成するために、本発明のプラズマ処理方法は、長尺状の被処理物に対してプラズマを接触させることによりプラズマ処理を施すプラズマ処理方法において、前記プラズマには、少なくとも前記長尺状の被処理物の搬送方向と直交する断面内において密度分布にバラツキがあり、前記長尺状の被処理物を、前記プラズマの密度が高い領域を選択的に通過させながら前記長尺状の被処理物の表面に満遍なく均一にプラズマ処理を施すことを特徴とする。
[0015]
このような、本発明のプラズマ処理方法によれば、プラズマの密度が高い領域を選択的に通過させながら長尺状の被処理物に対してプラズマ処理を施すので、効率よくプラズマ処理を施せるとともに、プラズマの密度差による処理のバラツキの発生を抑制して均一なプラズマ処理を施すことができる。
[0016]
また、前述した目的を達成するために、本発明の第1のプラズマ処理装置は、内部にプラズマが生成される第1筒状部と、前記第1筒状部の外周面の長手方向に少なくとも2個以上設けられ、前記第1筒状部の内部において径方向に密度分布にバラツキのあるプラズマを発生させるリング状電極と、前記第1筒状部の内部にプラズマ生成用ガスを導入するプラズマ生成用ガス導入部と、前記第1筒状部の内側に設けられ、長尺状の被処理物が前記プラズマの密度が高い領域を進むようにガイドするガイド部とを備えていることを特徴とする。
[0017]
このような、本発明の第1のプラズマ処理装置によれば、プラズマ生成用
たプラズマ処理装置とすることができる。
[0040]
本発明の第13のプラズマ処理装置は、対向して配置され、平面視において互いが重なり合う範囲の中心付近の密度が最も高く、外周方向に向かって徐々に密度が低くなるような密度分布とされたプラズマを発生させる平板状の上側電極および下側電極と、前記上側電極と前記下側電極との間における前記上側電極の下面において、少なくとも前記上側電極の下面全面を覆うように配置された絶縁板と、長尺状の被処理物の搬送方向と平行に配置され、前記絶縁板と前記下側電極との間に所定の間隙を形成した状態で前記下側電極上に前記絶縁板を支持する一対のスペーサーと、前記間隙における前記プラズマの密度の高い領域であって、長尺状の被処理物の搬送方向における少なくとも中央部に設けられ、前記間隙において長尺状の被処理物をプラズマ密度が高い領域を進むようにガイドするガイド部とを備え、前記上側電極と前記下側電極が対向する位置において、前記絶縁板および前記下側電極の前記間隙側の内面の少なくとも一方には、プラズマ生成用ガスを前記間隙に導入するためのプラズマ生成用ガス導入口が開口しており、前記ガイド部は、長尺状の被処理物の搬送経路を形成する1つまたは複数の保持部を有することを特徴とする。また、本発明の第14のプラズマ処理装置は、搬送される前記長尺状の被処理物に対して搬送方向軸回りのひねりを加えるように前記長尺状の被処理物を回転させる回転装置を備えることを特徴とする。
[0041]
このような、本発明の第13のプラズマ処理装置によれば、プラズマの密度が高い領域に長尺状の被処理物を進ませながらプラズマを接触させることにより、長尺状の被処理物に対して容易に密度の高いプラズマを接触させてプラズマ処理を施すことを可能とする。また、本発明の第14のプラズマ処理装置によれば、長尺状の被処理物の表面に満遍なく均一な表面処理を容易に施すことを可能とする。
[0042]
本発明の第1の長尺物は、繊維状の合成高分子化合物からなり、請求項1に記載のプラズマ処理方法を用いて表面に満遍なく均一にプラズマ処理を施すことによりプラズマ処理された表面を備えた長尺物とされていることを特徴とする。また、本発明の第2の長尺物は、繊維状の合成高分子化合物からなり、請求項2乃至請求項10、請求項14および請求項15のいずれか1項に記載のプラズマ処理装置によって、少なくとも前記繊維状の合成高分子化合物の搬送方向と直交する断面内において密度分布にバラツキのあるプラズマ中におけるプラズマ密度が高い領域を選択的に通過させながら前記繊維状の合成高分子化合物の表面に満遍なく均一にプラズマ処理を施すことによりプラズマ処理された表面を備えた長尺物とされていることを特徴とする。またさらに、本発明の第3の長尺物は、繊維状の導電性の物質からなり、請求項11乃至請求項13のいずれか1項に記載のプラズマ処理装置によって、少なくとも前記繊維状の導電性の物質の搬送方向と直交する断面内において密度分布にバラツキのあるプラズマ中におけるプラズマ密度が高い領域を選択的に通過させながら前記繊維状の導電性の物質の表面に満遍なく均一にプラズマ処理を施すことによりプラズマ処理された表面を備えた長尺物とされていることを特徴とする。
[0043]
このような、本発明の第1乃至第3の長尺物によれば、所望の表面状態とされ、例えば、高い親水性を有する長尺物を提供することができる。
部2の長手方向の長さを1/2以下とすることができる。
[0061]
なお、図4のように長尺状の被処理物Wをガイド部材5aの支持孔5cに支持させた状態で、各ガイド部材5aを所定角度ずつ回転させて、図5のように長尺状の被処理物Wを第1筒状部2の長手方向に対して螺旋状に進ませるようにしてもよい。
[0062]
また、図6に示すように、複数の単位筒2aを連結させることによって1つの第1筒状部2とすることができる。このような、第1筒状部2とすることにより、ガイド部材5aの支持部5cに対して長尺状の被処理物Wを通した後に単位筒2aを連結させて第1筒状部2を形成するので、長尺状の被処理物Wとして形状安定性に乏しい材料に処理を施す場合においても、容易にセットすることができ、プラズマ処理装置1の操作性を向上させることができる。さらに、ガイド部材5aを回転させて長尺状の被処理物Wを螺旋状に進ませるようにする場合には、単位筒2aに角度を設けながら連結することによって容易に長尺状の被処理物Wを螺旋状に進ませるようにすることができる。
[0063]
また、図7に示すように、第1筒状部2の内部のガイド部材5aの貫通孔5dによって形成される第1筒状部2の円心軸近傍の空間に細い筒状の絶縁管6を挿通させて配設する。この絶縁管6の外周面と第1筒状部2の内壁とで形成される空間のみにプラズマ生成用ガスを導入してプラズマを生成するようにすることによって、プラズマ生成用ガスの使用量を抑えてランニングコストの低廉化を図ることができる。
[0064]
また、絶縁管6の内部に冷却水などの冷媒を導入することにより、プラズマの温度上昇を防ぐことができるので、熱に弱い長尺状の被処理物Wに対してもプラズマ処理を施すことができる。
[0065]
次に、本発明のプラズマ処理装置1の第2実施形態について説明する。
本発明の第2実施形態においては、図8に示すように、リング状電極3が第1筒状部2の外周面の全長に亘るように形成され、絶縁管6の内部には、銅の円柱棒からなる導電材料7が絶縁管6の内壁と密着させた状態で挿入されている。このとき、第1筒状部2の内壁と絶縁管6の外周面とで形成される空間にプラズマ生成用ガスを導入するとともに、電源Pを用いてリング状
ともに純水が一瞬で浸透するほどの高い親水化効果が認められた。さらに搬送速度を速めて搬送速度20m/minとした場合には、No.FC4に示すように、処理前の接触角が91.7°、処理後の接触角が75.1°と、わずかに親水化効果が認められたものの、純水が浸透するまでの表面改質には至らなかった。この結果から、被処理物へのプラズマの照射時間を長くする程、表面改質効果が高いことが分かる。
[0093]
このように、本発明のプラズマ処理装置を用いることにより、長尺状の被処理物Wに対して、高い表面改質効果を得ることができる。さらに、被処理物の表面に対して、満遍なく均一なプラズマ処理を施すことができる。
[0094]
また、本発明のプラズマ処理装置1の第3実施形態について説明する。
本発明の第3実施形態においては、図9に示すように、例えば、タングステンや鋼などの電気伝導性を有する長尺状の被処理物Wにプラズマ処理を施す場合においても安定にプラズマを生成して、良好なプラズマ処理を可能とするべく発明された実施形態であり、第1筒状部2に対して、直交して貫通するように一体に形成された少なくとも1つの第2筒状部8を備えている。また、プラズマ生成用ガス導入部4から第1筒状部2の内部にプラズマ生成用ガスを導入するとともに、リング状電極3に対して長手方向に電位差を設けるように電圧を印加することにより、第1筒状部2の内部において生成されたプラズマが第2筒状部8の内部に導入されるようにされている。
[0095]
なお、第2筒状部8に開閉自在な栓を設けることにより、第1筒状部2において、長尺状の被処理物に対してプラズマ処理を施すことができる。
[0096]
この時、リング状電極3においては、図9に示すように、第2筒状部8に隣接する位置に配置されたリング状電極3が接地されることが好ましく、第2筒状部8と第1筒状部2とが交差する部分を電気伝導性を有する長尺状の被処理物Wが通過する際においても、隣接するリング状電極3が接地状態であるため、異常放電が発生することがなく、安定にプラズマを生成して、第2筒状部8の内部へプラズマを導入することができる。
[0097]
さらに、第1筒状部2の両端部にそれぞれプラズマ生成用ガス導入部4を
設けるようにされることが好ましく、両側から導入されるプラズマ生成用ガスの流れによって第2筒状部8に対して生成されたプラズマが導入されやすくなるとともに、より高密度のプラズマを第2筒状部8の内部に導入することができるので、長尺状の被処理物Wに対して高速にプラズマ処理を施すことができる。
[0098]
また、第1筒状部2に対して、複数の第2筒状部8を設ける場合には、図10に示すように、第2筒状部8と第2筒状部8との間であって、一対のリング状電極3を両側にそれぞれ設けるように中央にプラズマ生成用ガスを導入するためのプラズマ生成用ガス導入部4をさらに設けるとよい。
[0099]
プラズマ生成用ガスに対して、処理効果を向上させるために酸素ガス、炭酸ガスおよび水素ガスなどのガスを添加する場合や、化学蒸着を目的として蒸着物を添加する場合には、第2筒状部8の内部に直接導入するようにしてプラズマ処理を行うことが好ましい。
[0100]
また、第1筒状部2が複数の単位筒2aを長手方向に連結させて形成する場合には、図11に示すように、第1筒状部2と第2筒状部8とが交差する部分に、十字型の連結部材9を設けて、連結部材9の対向する一対の開口部9a、9cに単位筒2aを連結して第1筒状部2とするとともに、連結部材9の対向するその他の一対の開口部9b、9dを第2筒状部8とするようにされている。このように、プラズマ処理装置1を単位筒2aと連結部材9とを連結して形成することによって、長尺状の被処理物Wを単位筒2aおよび連結部材9に通した後に、単位筒2aおよび連結部材9とを連結させてプラズマ処理が可能な状態に組み立ててプラズマ処理を施すようにすることができるので、操作性に優れたプラズマ処理装置とすることを可能とする。
[0101]
このような、本発明の第3実施形態のプラズマ処理装置1とすることにより、第2筒状部8に電気伝導性を有する長尺状の被処理物Wを通して、第1筒状部2によって生成されたプラズマと長尺状の被処理物Wとを第2筒状部8の内部において接触させて、長尺状の被処理物Wにプラズマ処理を施すようにされるので、電気伝導性を有する長尺状の被処理物Wとリング状電極3との間で異常放電することを抑制することができ、安定にプラズマを生成して、電気伝導性を有する長尺状の被処理物Wへのプラズマ処理を容易に行うことを可能とする。
[0102]
また、本発明のプラズマ処理装置1の第4実施形態について説明する。本
を通過させるように絶縁板11と下側電極10bとが重なり合う範囲の長手方向(図13(a)における紙面方向左右)の中心であって、少なくとも、上側電極10aと下側電極10bとが重なり合う範囲の略中心付近に配置されている。
[0107]
なお、ガイド部材15は、本実施形態に限定されるものではなく、例えば、複数の丸形の貫通孔が形成された薄板、半月型の凹部が形成されたクシ状薄板もしくは、円管など様々な形状とすることができ、保持部15bについてもU字型、Y字型など長尺状の被処理物Wを保持できる形状であればよい。
[0108]
このような、本発明の第4実施形態のプラズマ処理装置1とすることにより、プラズマ密度にバラツキのあるプラズマを用いてプラズマ処理を施す場合においても、長尺状の被処理物Wの表面に対して、高密度のプラズマを接触させて高速なプラズマ処理を可能とする。
[0109]
さらに、長尺状の被処理物Wを公知の回転装置を用いて、長尺状の被処理物Wの搬送方向軸回りにひねりを加えるように回転させながら搬送することで、長尺状の被処理物Wの表面に満遍なく均一な表面処理を施すことができる。
[0110]
また、本発明のプラズマ処理装置1を用いてプラズマ処理を施した長尺物は、染色剤や樹脂コーティング剤との親和性に極めて優れており、長尺物の表面に施した染色や樹脂コーティングの剥離の少ない釣り糸や繊維を提供することを可能とする。
[0111]
<実施例2>
本発明の第4実施形態におけるプラズマ処理装置1を用いて、長尺状の被処理物Wに対してプラズマ処理を施すとともに、表面処理剤を塗布し、プラズマ処理による表面処理剤の耐摩耗効果の検討を行った。
[0112]
長尺状の被処理物Wには、直径0.33mmの円形断面のナイロンモノフィラメントを用いた。なお、プラズマ処理装置1における処理条件は、間隙12aが2mm、印加電圧35kV、周波数200Hz、プラズマ生成ガス
として酸素ガスを用い、長尺状の被処理物Wの搬送速度10m/minにてプラズマ処理を施した。また、表面処理剤として、アミノ変性シリコーン10%濃度のエマルジョン液(マーポシールコートEX−5G、松本油脂製薬株式会社製)を用いた。
[0113]
プラズマ処理後に表面改質剤を塗布したサンプルAおよびプラズマ処理を施さずに表面改質剤を塗布したサンプルBについて、釣り竿によるキャスティング試験を行い、0回、50回、100回および300回のキャスティング後におけるサンプルAおよびサンプルBへの純水の接触角を測定した結果を表3に示す。
[0114]
[表3]
[0115]
表3に示すように、キャスティング試験0回のものは、サンプルAおよびサンプルBともに、接触角110°および接触角107°と、非常に優れた撥水性を示していた。これにより、サンプルAおよびサンプルBともに、撥水性樹脂からなる表面改質剤が長尺状の被処理物Wの表面に均一に塗布されていることがわかる。
[0116]
キャスティング試験後において、プラズマ処理後に表面改質剤を塗布したサンプルAについては、50回キャスティング後が94°、100回キャスティング後が90°、300回キャスティング後が94°とキャスティングを行うことによってわずかに撥水性が落ちたものの、優れた撥水性を保持していた。
[0117]
また、プラズマ処理を施さずに表面改質剤を塗布したサンプルBについては、50回キャスティング後が62°、100回キャスティング後が62°、300回キャスティング後が60°となり、サンプルAと比較すると、大幅に撥水性が損なわれていることが分かる。
[0118]
この結果から、キャスティング時の摩擦によって長尺状の被処理物Wの表面に塗布した表面改質剤が摩耗もしくは剥離していることを示し、本発明のプラズマ処理装置1を用いて表面改質剤を塗布する前にプラズマ処理を施すことにより、長尺状の被処理物Wと表面改質剤との接着性が大幅に向上することが明らかとなった。
Claims (17)
- 長尺状の被処理物に対してプラズマを接触させることによりプラズマ処理を施すプラズマ処理方法において、
前記プラズマには、密度分布にバラツキがあり、
前記長尺状の被処理物を、前記プラズマの密度が高い領域を選択的に通過させながら前記長尺状の被処理物にプラズマ処理を施すことを特徴とするプラズマ処理方法。 - 内部にプラズマが生成される第1筒状部と、
前記第1筒状部の外周面の長手方向に少なくとも2個以上設けられたリング状電極と、
前記第1筒状部の内部にプラズマ生成用ガスを導入するプラズマ生成用ガス導入部と、
前記第1筒状部の内側に設けられ、長尺状の被処理物が前記プラズマの密度が高い領域を進むようにガイドするガイド部とを備えていることを特徴とするプラズマ処理装置。 - 前記ガイド部が、前記第1筒状部の長手方向に複数個配設されたガイド部材からなり、
前記複数のガイド部材は、前記長尺状の被処理物を前記第1筒状部の前記プラズマの密度が高い領域を螺旋状に進ませるようにガイドする形状に形成されていることを特徴とする請求項2に記載のプラズマ処理装置。 - 前記第1筒状部が、複数の単位筒を長手方向に連結させて形成されていることを特徴とする請求項2または請求項3に記載のプラズマ処理装置。
- 前記第1筒状部の内部には、細い筒状の絶縁管が設けられ、
前記絶縁管が、前記プラズマの密度が低い領域を通るように配置されていることを特徴とする請求項2乃至請求項4のいずれか1項に記載のプラズマ処理装置。 - 前記絶縁管の内部には、冷媒が導入されていることを特徴とする請求項5に記載のプラズマ処理装置。
- 前記リング状電極が、前記第1筒状部の外周面の全長に亘るように形成され、
前記絶縁管の内部には、導電材料が導入されていることを特徴とする請求項5に記載のプラズマ処理装置。 - 前記絶縁管の内部に導入される前記導電材料が、導電性の液体であることを特徴とする請求項7に記載のプラズマ処理装置。
- 前記絶縁管の内部において、前記導電性の液体が常に流動するように形成されていることを特徴とする請求項8に記載のプラズマ処理装置。
- 前記導電性の液体を貯蓄するタンクを備え、
前記タンクから前記絶縁管の内部へ前記導電性の液体を導入するとともに、前記絶縁管の内部から前記タンクへ前記導電性の液体を導出して、前記タンクと前記絶縁管の内部において前記導電性の液体が循環するように形成されていることを特徴とする請求項8または請求項9に記載のプラズマ処理装置。 - 前記第1筒状部に対し、直交して貫通するように一体に形成された少なくとも1つの第2筒状部を備えていることを特徴とする請求項2に記載のプラズマ処理装置。
- 前記第1筒状部の両端部に前記プラズマ生成用ガス導入部がそれぞれ設けられていることを特徴とする請求項11に記載のプラズマ処理装置。
- 前記第1筒状部が、複数の単位筒を長手方向に連結させて形成され、
前記第1筒状部と前記第2筒状部とが交差する部分が、十字型の連結部材によって連結されていることを特徴とする請求項11または請求項12に記載のプラズマ処理装置。 - 対向して配置された平板状の上側電極および下側電極と、
前記上側電極と前記下側電極との間における前記上側電極の下面において、少なくとも前記上側電極の下面全面を覆うように配置された絶縁板と、
長尺状の被処理物の搬送方向と平行に配置され、前記絶縁板と前記下側電極との間に所定の間隙を形成した状態で前記下側電極上に前記絶縁板を支持する一対のスペーサーと、
前記間隙において長尺状の被処理物をプラズマ密度が高い領域を進むようにガイドするガイド部とを備え、
前記上側電極と前記下側電極が対向する位置において、前記絶縁板および前記下側電極の前記間隙側の内面の少なくとも一方には、プラズマ生成用ガスを前記間隙に導入するためのプラズマ生成用ガス導入口が開口しており、
前記ガイド部は、長尺状の被処理物の搬送経路を形成する1つまたは複数の保持部を有することを特徴とするプラズマ処理装置。 - 繊維状の合成高分子化合物からなり、請求項1に記載のプラズマ処理方法を用いてプラズマ処理を施したことを特徴とする長尺物。
- 繊維状の合成高分子化合物からなり、請求項2乃至請求項10および請求項14のいずれか1項に記載のプラズマ処理装置によって、請求項1に記載のプラズマ処理方法を用いてプラズマ処理を施したことを特徴とする長尺物。
- 繊維状の導電性の物質からなり、請求項11乃至請求項13のいずれか1項に記載のプラズマ処理装置によって、請求項1に記載のプラズマ処理方法を用いてプラズマ処理を施したことを特徴とする長尺物
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