JPWO2014103842A1 - マイクロ流路の製造方法およびマイクロ流路 - Google Patents
マイクロ流路の製造方法およびマイクロ流路 Download PDFInfo
- Publication number
- JPWO2014103842A1 JPWO2014103842A1 JP2014554362A JP2014554362A JPWO2014103842A1 JP WO2014103842 A1 JPWO2014103842 A1 JP WO2014103842A1 JP 2014554362 A JP2014554362 A JP 2014554362A JP 2014554362 A JP2014554362 A JP 2014554362A JP WO2014103842 A1 JPWO2014103842 A1 JP WO2014103842A1
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- curable resin
- liquid
- flow path
- manufacturing
- microchannel
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B81—MICROSTRUCTURAL TECHNOLOGY
- B81C—PROCESSES OR APPARATUS SPECIALLY ADAPTED FOR THE MANUFACTURE OR TREATMENT OF MICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS
- B81C1/00—Manufacture or treatment of devices or systems in or on a substrate
- B81C1/00015—Manufacture or treatment of devices or systems in or on a substrate for manufacturing microsystems
- B81C1/00023—Manufacture or treatment of devices or systems in or on a substrate for manufacturing microsystems without movable or flexible elements
- B81C1/00055—Grooves
- B81C1/00071—Channels
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01J—CHEMICAL OR PHYSICAL PROCESSES, e.g. CATALYSIS OR COLLOID CHEMISTRY; THEIR RELEVANT APPARATUS
- B01J19/00—Chemical, physical or physico-chemical processes in general; Their relevant apparatus
- B01J19/0093—Microreactors, e.g. miniaturised or microfabricated reactors
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01L—CHEMICAL OR PHYSICAL LABORATORY APPARATUS FOR GENERAL USE
- B01L3/00—Containers or dishes for laboratory use, e.g. laboratory glassware; Droppers
- B01L3/50—Containers for the purpose of retaining a material to be analysed, e.g. test tubes
- B01L3/502—Containers for the purpose of retaining a material to be analysed, e.g. test tubes with fluid transport, e.g. in multi-compartment structures
- B01L3/5027—Containers for the purpose of retaining a material to be analysed, e.g. test tubes with fluid transport, e.g. in multi-compartment structures by integrated microfluidic structures, i.e. dimensions of channels and chambers are such that surface tension forces are important, e.g. lab-on-a-chip
- B01L3/502707—Containers for the purpose of retaining a material to be analysed, e.g. test tubes with fluid transport, e.g. in multi-compartment structures by integrated microfluidic structures, i.e. dimensions of channels and chambers are such that surface tension forces are important, e.g. lab-on-a-chip characterised by the manufacture of the container or its components
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B29—WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
- B29C—SHAPING OR JOINING OF PLASTICS; SHAPING OF MATERIAL IN A PLASTIC STATE, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; AFTER-TREATMENT OF THE SHAPED PRODUCTS, e.g. REPAIRING
- B29C67/00—Shaping techniques not covered by groups B29C39/00 - B29C65/00, B29C70/00 or B29C73/00
- B29C67/0048—Local deformation of formed objects
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B81—MICROSTRUCTURAL TECHNOLOGY
- B81B—MICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS, e.g. MICROMECHANICAL DEVICES
- B81B1/00—Devices without movable or flexible elements, e.g. microcapillary devices
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B81—MICROSTRUCTURAL TECHNOLOGY
- B81C—PROCESSES OR APPARATUS SPECIALLY ADAPTED FOR THE MANUFACTURE OR TREATMENT OF MICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS
- B81C1/00—Manufacture or treatment of devices or systems in or on a substrate
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C12—BIOCHEMISTRY; BEER; SPIRITS; WINE; VINEGAR; MICROBIOLOGY; ENZYMOLOGY; MUTATION OR GENETIC ENGINEERING
- C12M—APPARATUS FOR ENZYMOLOGY OR MICROBIOLOGY; APPARATUS FOR CULTURING MICROORGANISMS FOR PRODUCING BIOMASS, FOR GROWING CELLS OR FOR OBTAINING FERMENTATION OR METABOLIC PRODUCTS, i.e. BIOREACTORS OR FERMENTERS
- C12M23/00—Constructional details, e.g. recesses, hinges
- C12M23/02—Form or structure of the vessel
- C12M23/16—Microfluidic devices; Capillary tubes
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N37/00—Details not covered by any other group of this subclass
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01J—CHEMICAL OR PHYSICAL PROCESSES, e.g. CATALYSIS OR COLLOID CHEMISTRY; THEIR RELEVANT APPARATUS
- B01J2219/00—Chemical, physical or physico-chemical processes in general; Their relevant apparatus
- B01J2219/00781—Aspects relating to microreactors
- B01J2219/00783—Laminate assemblies, i.e. the reactor comprising a stack of plates
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01J—CHEMICAL OR PHYSICAL PROCESSES, e.g. CATALYSIS OR COLLOID CHEMISTRY; THEIR RELEVANT APPARATUS
- B01J2219/00—Chemical, physical or physico-chemical processes in general; Their relevant apparatus
- B01J2219/00781—Aspects relating to microreactors
- B01J2219/00819—Materials of construction
- B01J2219/00833—Plastic
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01J—CHEMICAL OR PHYSICAL PROCESSES, e.g. CATALYSIS OR COLLOID CHEMISTRY; THEIR RELEVANT APPARATUS
- B01J2219/00—Chemical, physical or physico-chemical processes in general; Their relevant apparatus
- B01J2219/00781—Aspects relating to microreactors
- B01J2219/00851—Additional features
- B01J2219/00858—Aspects relating to the size of the reactor
- B01J2219/0086—Dimensions of the flow channels
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01L—CHEMICAL OR PHYSICAL LABORATORY APPARATUS FOR GENERAL USE
- B01L2300/00—Additional constructional details
- B01L2300/12—Specific details about materials
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B29—WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
- B29C—SHAPING OR JOINING OF PLASTICS; SHAPING OF MATERIAL IN A PLASTIC STATE, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; AFTER-TREATMENT OF THE SHAPED PRODUCTS, e.g. REPAIRING
- B29C35/00—Heating, cooling or curing, e.g. crosslinking or vulcanising; Apparatus therefor
- B29C35/02—Heating or curing, e.g. crosslinking or vulcanizing during moulding, e.g. in a mould
- B29C35/08—Heating or curing, e.g. crosslinking or vulcanizing during moulding, e.g. in a mould by wave energy or particle radiation
- B29C35/0805—Heating or curing, e.g. crosslinking or vulcanizing during moulding, e.g. in a mould by wave energy or particle radiation using electromagnetic radiation
- B29C2035/0827—Heating or curing, e.g. crosslinking or vulcanizing during moulding, e.g. in a mould by wave energy or particle radiation using electromagnetic radiation using UV radiation
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B81—MICROSTRUCTURAL TECHNOLOGY
- B81B—MICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS, e.g. MICROMECHANICAL DEVICES
- B81B2203/00—Basic microelectromechanical structures
- B81B2203/03—Static structures
- B81B2203/0323—Grooves
- B81B2203/0338—Channels
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
- Y10T428/00—Stock material or miscellaneous articles
- Y10T428/24—Structurally defined web or sheet [e.g., overall dimension, etc.]
- Y10T428/24744—Longitudinal or transverse tubular cavity or cell
Abstract
従来と比べて少ない工程数で接合面がなく注入口も存在しない略円形の断面をもつマイクロ流路を製造する方法を提供する。マイクロ流路の製造方法は、基板(1)の上に未硬化の硬化性樹脂(2)の層を形成する工程と、液体(4)を注入可能な針体(3)を硬化性樹脂内に差し込む工程と、針体を移動させながら、針体を介して硬化性樹脂内に管状に液体を注入する工程と、針体を硬化性樹脂内から抜き取る工程と、硬化性樹脂を硬化させることにより、液体が注入された管状の領域に流路(4A)を形成する工程とを有する。
Description
本発明は、マイクロ流路の製造方法およびマイクロ流路に関する。
直径が数μm〜数百μm程度のマイクロ流路に液体などを流して、生化学的な反応または物理化学的な分離操作などを行うマイクロ流体デバイスが知られている。こうしたマイクロ流体デバイスでは、半円形または円形の断面をもつ流路が必要とされる。しかしながら、マイクロ流体デバイスの作製に広く用いられているフォトリソグラフィー工程では、作製された流路の断面が矩形になることが多いため、半円形または円形の断面をもつ流路の製造方法が提案されている。
特許文献1には、長尺な板状をなし、その片面に形成され、一端面に半円形状に開口する溝を有する一対の半割体で構成され、その半割体同士を接合してなるマイクロ流路デバイスを製造する方法が記載されている。
非特許文献1には、円形断面流路の作製方法が記載されている。この方法では、電子機材作製時に使う接着剤等を自動塗布するディスペンサーロボットを用いて、基板上に紫外線硬化性樹脂等を流路パターン状に直接描画して鋳型作製を行う。次に、作成した鋳型を用いてPDMS(polydimethylsiloxane)で型取りを行うことで、半円形断面流路を作成する。そして、半円形断面流路同士を貼り合わせることで、円形断面流路を作製する。
非特許文献2には、共焦点μPIV/PTV(Particle Image Velocimetry/Particle Tracking Velocimetry)などのミクロな流れの可視化に適した、生体内の微小血管を模擬する円形のPDMSマイクロ流路を製造する方法が記載されている。この方法では、ワイヤーを埋め込んだ状態でPDMSを固めて、その後でワイヤーを引き抜くことによって円形の流路を形成する。
非特許文献3には、ポリスチレンシートから断面が円形の微小血管網を構成する方法が記載されている。この方法では、電気めっき工程によりシリコンの半円状のマスターを構成し、ポリスチレンシートに型押しして、得られた2枚のシートを接合することで断面が円形の流路を形成する。
東京大学 藤井輝夫研究室、"ディスペンサーを用いたマイクロ流路作製と流量制御機構への応用"、[online]、[平成24年12月17日検索]、インターネット<URL:http://www.microfluidics.iis.u-tokyo.ac.jp/r11016_j.html>
Rui Lima et al., "Axisymmetric PDMS microchannels for in vitro haemodynamic studies", Biofbrication, 2009, vol. 1
Jeffery T. Borenstain et al., "Functional endothelialized microvascular networks with circular cross-sections in a tissue culture substrate", Biomed Microdevices, 2010, vol. 12, p.71-79
しかしながら、断面が半円形の流路を複数形成してからそれらの流路を貼り合わせると、工程数が多い煩雑な製造方法になる。また、空洞を貼り合わせるため、きれいな円形を保ったまま流路を形成することが難しい。
非特許文献2の方法では、断面が半円形の流路を貼り合わせずに円形流路が形成されるが、ワイヤーを引き抜く工程があるため、注入口のない流路を形成することはできず、直線状などの簡単な構造の流路しか形成することができない。また、非特許文献2の方法では、内部に液体が注入された状態の流路を得るためには、流路が形成された後でその内部に液体を注入する工程が必要になる。
そこで、本発明は、従来と比べて少ない工程数で接合面がなく注入口も存在しない略円形の断面をもつマイクロ流路を製造する方法を提供することを目的とする。
マイクロ流路の製造方法は、基板の上に未硬化の硬化性樹脂の層を形成する工程と、液体を注入可能な針体を硬化性樹脂内に差し込む工程と、針体を移動させながら、針体を介して硬化性樹脂内に管状に液体を注入する工程と、針体を硬化性樹脂内から抜き取る工程と、硬化性樹脂を硬化させることにより、液体が注入された管状の領域に流路を形成する工程とを有することを特徴とする。
上記の製造方法では、流路は、接合面がなく断面が略円形の流路であることが好ましい。
上記の製造方法では、硬化させた硬化性樹脂の一部を切除して硬化性樹脂内に閉じ込められている液体を抜き取る工程をさらに含むことが好ましい。
上記の製造方法では、液体は液晶であることが好ましい。
また、マイクロ流路は、上記のいずれかの製造方法で製造されたことを特徴とする。
本発明によれば、従来と比べて少ない工程数で、接合面がなく注入口も存在しない、略円形の断面をもつマイクロ流路を製造することが可能になる。
以下、添付図面を参照して、マイクロ流路の製造方法について詳細に説明する。ただし、本発明の技術的範囲はそれらの実施の形態に限定されず、特許請求の範囲に記載された発明とその均等物に及ぶ点に留意されたい。
図1(A)〜図1(C)は、マイクロ流路の製造方法を説明するための模式図である。図2は、マイクロ流路の製造方法を示したフローチャートである。図1(A)〜図2を用いて本製造方法の各工程を説明する。
まず、図1(A)に示すように、基板1を用意し、基板1の上に未硬化の硬化性樹脂2の層を形成する(S1)。未硬化の状態では硬化性樹脂2には流動性があるため、周囲を囲う枠体(図示せず)を用意し、その内部に硬化性樹脂2を注入する。硬化性樹脂2としては、例えば、アクリル樹脂またはエポキシ樹脂などの紫外線硬化樹脂を用いる。あるいは、硬化性樹脂2は、尿素樹脂、メラミン樹脂またはフェノール樹脂などの熱硬化性樹脂でもよい。なお、直径が数百μm程度のマイクロ流路を形成する際は、硬化性樹脂2の厚さdは1000μm程度あればよい。
続いて、液体を注入可能なニードル(針体)3を硬化性樹脂2の中に差し込む(S2)。ニードル3は、注射針のように中空で先端に向けて尖った形状を有し、先端に開口部(図示せず)を有する。その際、ニードル3を差し込む深さは、例えば硬化性樹脂2の厚さdの半分程度とする。なお、この開口部が先端付近の側面に設けられたニードルを用いてもよい。
次に、図1(B)に示すように、ニードル3を移動させながら、ニードル3を介して硬化性樹脂2の中に管状に液体4を注入する(S3)。例えば、直線状の流路を形成したい場合は、図1(B)に示すX方向に沿って、ニードル3を平行移動させる。そして、ニードル3を移動させながら、ニードル3の上部から圧力をかけることにより、ニードル3の先端の開口部から硬化性樹脂2の層内に液体4を注入する。硬化性樹脂2の層内では、液体4は、表面張力によりX方向に垂直な断面が略円形になる。
液体4の例としては液晶が挙げられる。ここでいう「液晶」とは、液体のような流動性があり、分子の配向に結晶のような一定の規則性がある物質である。他にも、液体4として、形成する流路の用途に応じた液体を用いてもよい。ただし、硬化性樹脂2の粘度、または硬化性樹脂2と液体4の密度の差によっては、注入された液体4が樹脂層の表面に浮き出てしまうことがある。このため、液体4としては、粘度と密度の関係で、硬化性樹脂2の内部に管状に注入可能な液体を選択する必要がある。
液体4を注入し終わったら、ニードル3を硬化性樹脂2内から抜き取る(S4)。このとき硬化性樹脂2はまだ硬化してないため、ニードル3を抜き取ると、ニードル3によって硬化性樹脂2にできていた穴がふさがる。これにより、硬化性樹脂2の中に液体4が閉じ込められ、管状に配置された状態になる。
そして、図1(C)に示すように、硬化性樹脂2を硬化させて硬化性樹脂2内に液体4を閉じ込めることにより、液体4が存在する部分を液体の流路4Aとする(S5)。硬化性樹脂2として紫外線硬化樹脂を用いる場合は、紫外線を照射させて、硬化性樹脂2を硬化させる。硬化性樹脂2として熱硬化性樹脂を用いる場合は、加熱することにより硬化性樹脂2を硬化させる。これにより、液体4が注入された管状の領域に、断面が略円形である流路4Aが形成される。
なお、液体4の種類によっては、硬化性樹脂2を硬化させると液体4が樹脂層に染み込んで、流路4Aが空洞になることがある。硬化性樹脂2を硬化させた後も流路4A内に液体4が残っている場合に空洞の流路が必要なときは、硬化させた硬化性樹脂の一部を切除して、硬化性樹脂2内に閉じ込められている液体4を抜き取ってもよい。これにより、空洞の流路が得られる。
以上説明した本製造方法によれば、半円形の断面をもつ流路を貼り合わせなくても断面が略円形の流路が形成される。このため、本製造方法では、本構成を含まない従来の製造方法と比べて少ない工程で、接合面がなく平滑な内壁をもつ円形流路を形成することが可能である。また、流路が形成されたときは開口部が存在しないことから、注入口が存在しない閉流路を形成することが可能である。
また、上記の通り、硬化性樹脂2の層内に注入された液体4は、表面張力により液体4が延在する方向に垂直な断面が略円形になる。これにより、最終的に得られる流路の断面も凹みも尖った部分もない略円形になる。なお上述の「略円形」とは、矩形のように尖って突出した部分がなく、最大径に対する最大径と最小径との差の比率が例えば10%以下である形状をいう。
バイオセンサまたはμTAS(Total Analysis System)などのバイオ関連システムでは、例えば血管などの生体内構造における挙動をより正確に再現するためには、実際の生体構造に近い円形流路が好ましい。本製造方法により得られる流路は、そうしたバイオ関連システムにも利用可能である。
また、液体が充填された状態の流路が必要な場合、本構成を含まない製造方法では、空洞の流路を形成した後、その内部に液体を注入しなければならない。一方、本製造方法では、内部に液体を含んだ状態で流路が形成されるため、流路の形成と液体の充填とが一工程で行われる。このため、本製造方法では、本構成を含まない製造方法と比べて少ない工程で、液体が充填された状態の流路を形成することが可能である。
また、流路の内部に閉じ込められた液体を流出させることで空洞の流路も形成でき、液体を流出させた上で別の液体を注入することもできる。このため、形成された流路の内部には、硬化性樹脂2の粘度および硬化性樹脂2と液体4の密度差によらず、任意の液体を充填することが可能である。
硬化性樹脂としてアクリル樹脂を使用し、注入される液体としてメルク製のP型液晶であるMLC−7018およびMDA−003461を使用して、図2の製造方法により流路を形成する実験を行った。図3(A)および図3(B)は、図2の製造方法による実験結果を示す写真である。図3(A)は、上記の2種類のP型液晶14がそれぞれ注入(ディスペンス)された状態のアクリル樹脂12を上から見た写真である。図3(B)は、紫外線の照射によりアクリル樹脂12を硬化させた後に撮った流路4Aの断面写真である。この実験では、アクリル樹脂12の内部に、P型液晶14を互いに平行な2本の直線状にディスペンスした。
図4は、図3(B)に示した流路4Aの形成位置および大きさを説明するための模式図である。上記の実験では、アクリル樹脂12の厚さを1000μmの層状に形成し、そのアクリル樹脂12の中に、ニードル3を500μmの深さまで差し込んだ。そして、ニードル3をアクリル樹脂12の面方向に沿って速度20mm/秒で直線状に移動させながら、10kPaのディスペンス圧を加えて、断面が直径200μmの円形になるように、P型液晶14をディスペンスした。
ニードル3を抜き取った後でアクリル樹脂12を紫外線硬化させることにより、図3(B)に示すような断面をもつ流路4Aが得られた。図3(B)では、流路4Aの断面の輪郭も併せて示している。この断面は、最大径と最小径の差が20μm程度であり、断面の最大径に対する最大径と最小径との差の比率が数%程度に収まっている。このように、本製造方法により、断面が略円形の流路4Aが形成されることが確かめられた。
1 基板
2 硬化性樹脂
3 ニードル
4 液体
4A 流路
2 硬化性樹脂
3 ニードル
4 液体
4A 流路
Claims (5)
- 基板の上に未硬化の硬化性樹脂の層を形成する工程と、
液体を注入可能な針体を前記硬化性樹脂内に差し込む工程と、
前記針体を移動させながら、当該針体を介して当該硬化性樹脂内に管状に液体を注入する工程と、
前記針体を前記硬化性樹脂内から抜き取る工程と、
前記硬化性樹脂を硬化させることにより、前記液体が注入された管状の領域に流路を形成する工程と、
を有することを特徴とする、マイクロ流路の製造方法。 - 前記流路は、接合面がなく断面が略円形の流路である、請求項1に記載の製造方法。
- 硬化させた前記硬化性樹脂の一部を切除して当該硬化性樹脂内に閉じ込められている前記液体を抜き取る工程をさらに含む、請求項1または2に記載の製造方法。
- 前記液体は液晶である、請求項1〜3のいずれか1項に記載の製造方法。
- 請求項1〜4のいずれか1項に記載の製造方法で製造されたマイクロ流路。
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012288628 | 2012-12-28 | ||
JP2012288628 | 2012-12-28 | ||
PCT/JP2013/083951 WO2014103842A1 (ja) | 2012-12-28 | 2013-12-18 | マイクロ流路の製造方法およびマイクロ流路 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPWO2014103842A1 true JPWO2014103842A1 (ja) | 2017-01-12 |
JP6138159B2 JP6138159B2 (ja) | 2017-05-31 |
Family
ID=51020929
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2014554362A Active JP6138159B2 (ja) | 2012-12-28 | 2013-12-18 | マイクロ流路の製造方法およびマイクロ流路 |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US9725307B2 (ja) |
EP (1) | EP2939976B1 (ja) |
JP (1) | JP6138159B2 (ja) |
CN (1) | CN104955768B (ja) |
WO (1) | WO2014103842A1 (ja) |
Families Citing this family (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US8156273B2 (en) * | 2007-05-10 | 2012-04-10 | Freescale Semiconductor, Inc. | Method and system for controlling transmission and execution of commands in an integrated circuit device |
CA2993956A1 (en) | 2015-07-27 | 2017-02-02 | The Trustees Of The University Of Pennsylvania | Lung disease models on a chip |
USD838864S1 (en) * | 2016-09-07 | 2019-01-22 | EMULATE, Inc. | Opaque microfluidic chip without pressure features for use with a fluid perfusion module |
CN112155828A (zh) * | 2020-10-12 | 2021-01-01 | 吕修波 | 注射成型式骨折断肢固定装置 |
KR102594790B1 (ko) * | 2022-01-10 | 2023-10-30 | 동의대학교 산학협력단 | 광경화성 폴리머 재료의 3차원 마이크로 채널 제작을 위한 버블 보조 제조 방법 |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2003311697A (ja) * | 2002-02-19 | 2003-11-05 | Sumitomo Bakelite Co Ltd | 中空デバイス及びその製造方法並びに中空デバイスを有する反応装置 |
JP2007216086A (ja) * | 2006-02-14 | 2007-08-30 | National Institute Of Advanced Industrial & Technology | 混合器の作製方法 |
Family Cites Families (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
TWI296711B (en) * | 2005-10-11 | 2008-05-11 | Ind Tech Res Inst | Biochip with microchannels |
CN100528736C (zh) * | 2007-11-20 | 2009-08-19 | 东南大学 | 圆片级mems微流道的制造方法 |
EP2264466A1 (en) * | 2008-04-11 | 2010-12-22 | Konica Minolta Opto, Inc. | Microchip and method for manufacturing microchip |
JP2010228174A (ja) * | 2009-03-26 | 2010-10-14 | Panasonic Electric Works Co Ltd | 微細樹脂構造体の製造方法、その製造方法により製造された微細樹脂構造体、光導波路、マイクロレンズ、マイクロレンズアレイ、及びマイクロ流体デバイス |
JP5565299B2 (ja) | 2010-12-24 | 2014-08-06 | 住友ベークライト株式会社 | マイクロ流路デバイスの製造方法 |
WO2013002013A1 (ja) | 2011-06-27 | 2013-01-03 | 学校法人 慶應義塾 | 光導波路及びその製造方法 |
-
2013
- 2013-12-18 CN CN201380068579.9A patent/CN104955768B/zh not_active Expired - Fee Related
- 2013-12-18 EP EP13867007.0A patent/EP2939976B1/en not_active Not-in-force
- 2013-12-18 JP JP2014554362A patent/JP6138159B2/ja active Active
- 2013-12-18 WO PCT/JP2013/083951 patent/WO2014103842A1/ja active Application Filing
- 2013-12-18 US US14/655,239 patent/US9725307B2/en active Active
Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2003311697A (ja) * | 2002-02-19 | 2003-11-05 | Sumitomo Bakelite Co Ltd | 中空デバイス及びその製造方法並びに中空デバイスを有する反応装置 |
JP2007216086A (ja) * | 2006-02-14 | 2007-08-30 | National Institute Of Advanced Industrial & Technology | 混合器の作製方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN104955768A (zh) | 2015-09-30 |
EP2939976A4 (en) | 2016-10-12 |
US9725307B2 (en) | 2017-08-08 |
US20150329354A1 (en) | 2015-11-19 |
JP6138159B2 (ja) | 2017-05-31 |
CN104955768B (zh) | 2016-11-09 |
EP2939976B1 (en) | 2017-10-18 |
WO2014103842A1 (ja) | 2014-07-03 |
EP2939976A1 (en) | 2015-11-04 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6138159B2 (ja) | マイクロ流路の製造方法およびマイクロ流路 | |
Abdelgawad et al. | A fast and simple method to fabricate circular microchannels in polydimethylsiloxane (PDMS) | |
Gross et al. | Recent advances in analytical chemistry by 3D printing | |
Glick et al. | Rapid assembly of multilayer microfluidic structures via 3D-printed transfer molding and bonding | |
DE112011104891B4 (de) | 3D-Mikrofluid-Vorrichtungen auf der Grundlage von durchbrochenen thermoplastischen Elastomer-Membranen | |
CN103231518B (zh) | 一种聚二甲基硅氧烷阵列微孔薄膜制备方法 | |
Carugo et al. | Facile and cost-effective production of microscale PDMS architectures using a combined micromilling-replica moulding (μ Mi-REM) technique | |
CN104998702A (zh) | 一种基于液体模塑法的pdms微流控芯片制备方法 | |
Wang et al. | Morphology-patterned anisotropic wetting surface for fluid control and gas–liquid separation in microfluidics | |
Hou et al. | Preparation of PDMS microfluidic devices based on drop-on-demand generation of wax molds | |
US20150110688A1 (en) | Channel device and method for fabricating the same | |
Rahmanian et al. | Microscale patterning of thermoplastic polymer surfaces by selective solvent swelling | |
CN105013544B (zh) | 一种基于亲水纤维丝诱导的微液滴融合方法 | |
CN103752358B (zh) | 一种聚合物微流控芯片及其制备方法 | |
Damodara et al. | Materials and methods for microfabrication of microfluidic devices | |
JP6302187B2 (ja) | マイクロ流路チップおよびその製造方法 | |
JP2016017890A (ja) | 流体デバイス及び流体デバイスの製造方法 | |
WO2010116856A1 (ja) | マイクロチップ | |
Chun et al. | Microscopic Observation of Preferential Capillary Pumping in Hollow Nanowire Bundles | |
EP2769767A2 (de) | Nicht-planarer Formkörper, Verfahren zu seiner Herstellung, seine Verwendung, Verfahren zur Herstellung eines Mikrogerüsts und dessen Verwendung | |
Li et al. | Using serrated edges to control fluid front motion in microfluidic devices | |
JP4696304B2 (ja) | 混合器の作製方法 | |
US8283109B2 (en) | Method for obtaining microfluidic polymer structures | |
Tiwari et al. | Do it yourself-circular cross-section microfluidic channel | |
KR101454313B1 (ko) | 나노채널이 형성된 나노구조체의 제조방법 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20170328 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20170425 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6138159 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |