JPWO2014069029A1 - 通信デバイスと通信機器及び通信システム - Google Patents
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Abstract
Description
この発明での追加の課題は、搬送装置が既存の通信端末経由で製造装置と通信することを妨げずに、搬送装置及び地上側に固定の搬送装置のコントローラが、この発明の通信デバイスを介して製造装置と通信することができるようにすることにある。
この発明での他の追加の課題は、製造装置へ物品を搬出入する搬送装置も、そのコントローラも、IOポートのON/OFF信号を遠隔から知り、かつIOポートを遠隔から制御できるようにし、搬送装置からも製造装置の動作を制御することにある。
この発明での他の追加の課題は、IOポートを排他的に制御することにより、同時に複数の装置が製造装置へ働きかけることを防止し、かつ排他制御が行われている場合でも、IOポートのON/OFF信号を遠隔から知り得るようにすることにより、製造装置へアクセス物品を搬出入する装置の効率を改善することにある。
前記IOポートは、前記製造装置との間で、複数ビットから成るON/OFF信号を交換するように構成され、
前記制御部は、
LANを介して通信先から通信要求を受け付けて、通信先のネットワークアドレスと、通信先から指定されたIOポートを特定するデータ、とを記憶し、
通信先からの要求に従い、指定されたIOポートのON/OFF信号を変更し、
かつ通信先からの要求に従い、指定されたIOポートのON/OFF信号を、通信ユニットとLANとを経由して、通信先へ送信するように構成されていることを特徴とする。
前記製造装置は、前記搬送装置と通信自在で、かつ製造装置の本体に通信線で接続されている通信端末を備え、
前記通信線に挿入されると共に、前記IOポートに接続されるアダプタとから成り、
前記アダプタは、
前記通信端末と前記本体との通信を中継すると共に、通信データを前記IOポートへ送出するアダプタパスモードと、
かつ通信端末と前記本体とが通信していない場合に、製造装置と前記IOポートとの通信を中継するアダプタコントロールモードとの間で切替自在に構成されていることを特徴とする。
前記通信デバイスは、LANとの通信ユニットと、少なくとも1個のIOポートと、制御部とを備え、
前記IOポートは、製造装置に接続自在で、前記製造装置との間で、複数ビットから成るON/OFF信号を交換するように構成され、
前記制御部は、
前記搬送装置及び前記コントローラを通信先として、通信先からのLANを介しての通信要求を受け付け、通信先の要求の送出元のネットワークアドレスと、通信先から指定されたIOポートを特定するデータ、とを記憶し、
前記通信先からの要求に従い、指定されたIOポートのON/OFF信号を変更し、
かつ前記通信先からの要求に従い、指定されたIOポートのON/OFF信号を、通信ユニットとLANとを経由して、前記通信先へ送信するように構成されていることを特徴とする。
搬送装置の本体と通信線で接続されている通信端末を備えている製造装置に対しては、IOポートへ接続されているアダプタを、通信線へ挿入する。そしてアダプタパスモードで、通信端末と本体との通信を中継することにより、搬送装置は通信端末とアダプタとを介して製造装置本体と通信でき、通信データは通信デバイスのIOポートへ送出される。また通信端末と前記本体とが通信していない場合に、アダプタコントロールモードで、アダプタを介し製造装置とIOポートとが通信できる。このため、通信端末経由で搬送装置が製造装置と通信することも、搬送装置及び搬送システムのコントローラ等が、アダプタ経由で製造装置と通信することもできる。
製造装置に接続されているこの発明の通信デバイスと、搬送装置と、搬送装置のコントローラ(搬送システムのコントローラ)とにより、通信システムを構成することができる。このシステムでは、コントローラも搬送装置も、LANを経由して、製造装置に接続されているIOポートのON/OFF信号を知り、またON/OFF信号を変更することができる。
前記制御部は、
通信先からの通信要求に基づいて、指定されたIOポートへの排他制御が必要か否かを判断する判断部を供え、
通信先からの通信要求を受け付け、指定されたIOポートへの排他制御が必要と判断された場合に、
指定されたIOポートの状態が排他制御無しの場合には、通信先からの要求に従い指定されたIOポートのON/OFF信号を変更すると共に、指定されたIOポートへの排他制御を有りとするように、前記記憶部の記憶を変更し、
指定されたIOポートの状態が排他制御有りの場合には、指定されたIOポートのON/OFF信号の変更を拒否し、
また、通信先からの通信要求を受け付け、指定されたIOポートへの排他制御が不要と判断された場合に、指定されたIOポートへの排他制御の有無に係わらず、通信先からの要求に従い、指定されたIOポートのON/OFF信号を、通信ユニットとLANとを経由して通信先へ送信する。
特に好ましくは、指定されたIOポートのON/OFF信号に、前記コントローラと搬送装置とがアクセス自在に構成されている。
図1〜図5に半導体の搬送を例に第1の実施例を示すが、ローダによるワークの搬送、保守台車による糸パッケージの搬送等でも同様である。各図において、2は半導体の製造装置、検査装置等で、ここではこれらを製造装置4と呼ぶ。製造装置4は1個ないし複数個のステーションSTを備え、天井走行車8との間でFOUP(Front-Opening Unified Pod)等の物品9を受け渡しする。なお天井走行車8はレール状の走行ルート6に沿って天井スペースを走行するが、地上走行の無人搬送車等を搬送装置としても良い。
図6〜図13に通信システム2と通信デバイス18との第2の実施例を示し、図1〜図5の第1の実施例と同じ符号は同じものを表し、記載の無い点は第1の実施例と同様である。図6において、4は製造装置で、半導体の処理装置、繊維の加工装置、工作機械等であり、1個〜複数個のステーションST1〜ST3を備えて、搬送装置の例としての天井走行車8との間で、物品9を移載する。天井走行車8に代えて、地上走行の無人搬送車、工作機械のローダ、繊維機械の保守台車等でも良い。なお天井走行車8は走行ルート6に沿って一方向に走行する。ステーションST1〜ST3はステーション端末12を備え、天井走行車8はE84通信端末10を備え、ステーション端末12にはアダプタ16を介してE84通信端末11が接続され、E84通信端末11は走行ルート6に支持されている。18はデバイスサーバ等の通信デバイスで、複数のIOポートを備え、IOポートのモードは
・ コントロールモード(アダプタ16を使用しないモード)と、
・ アダプタコントロールモード(アダプタ16を経由して、通信デバイス18とステーション端末12とが通信するモード)、
・ アダプタパスモード(アダプタ16、E84通信端末10及びE84端末11を経由し、天井走行車8がステーション端末12と通信するモード)、
の3種類である。通信デバイス18は、通信システム2内に複数設けられている。またコントロールモードでは、ステーション端末12は直接通信デバイス18に接続され,E84通信端末11には接続されていない。
1) ステーションの状態を遠隔から認識できるので、移載準備の整っていないステーションとの移載のために、天井走行車が減速あるいは停止することがない。
2) ステーション、充電装置、リフター、防火扉等の周辺機器の状態データを、システムコントローラ24に付属の管理部26のデータを介して、あるいは通信デバイス18を介して、通信システム2の全体で共有できる。
3) ステーションの状態に応じて搬送指令を修正し、運用効率を最適化できる。
4) システムコントローラ24、天井走行車8,端末58,60等での判断により、運用ルールと搬送指令とを変更できる。また管理部26のデータによりステーションに関するデータを解析できる。
図14,図15に最適実施例を示し、図1〜図13と同じ符号は同じものを表し、記載の無い点は図1〜図13の各実施例と同様である。製造装置4は1個〜複数個のステーションST1〜ST4を備え、ステーションST1〜ST4にはステーション端末12が設けられ、有線あるいは無線で通信デバイス18と通信し、ステーション端末12からの受信データと、ステーション端末12へ送出するデータとが、通信デバイス18のIOポートに記憶される。またステーションST3には障害物検出部14が設けられ、通信デバイス18のステーションST3用のIOポートへ障害物検出部14からの信号が入力される。天井走行車8,システムコントローラ24,端末58,60は、LAN20を介して、通信デバイス18と通信し、IOポートのON/OFF信号を読みとると共に、排他制御ではIOポートのON/OFF信号を変更できる。またIOポートのON/OFF信号は管理部26に記憶されて、天井走行車8,端末58,60,及びシステムコントローラ24等が参照できる。
8 天井走行車(搬送装置) 9 物品 10,11 E84通信端末
12 ステーション端末 14 障害物検出部 16 アダプタ
18 通信デバイス 20 LAN 22 アクセスポイント
24 システムコントローラ 26 管理部 28 通信線
29 第2の通信線 30 スイッチ 31,32 コネクタ
34 通信線 35〜37 コネクタ 40 主回路基板
42 アダプタ基板 43 モード制御回路 44 制御回路
45,46 監視回路 47〜50 個別ポート
52 LANユニット 54 CPU 56 管理テーブル
58,60 端末 62 通信ケーブル
ST1〜ST6 ステーション P1〜P6 IOポート
アダプタパスモード(アダプタ16、E84通信端末10及びE84端末11を経由し、天井走行車8がステーション端末12と通信するモード)、
の3種類である。通信デバイス18は、通信システム2内に複数設けられている。またコントロールモードでは、ステーション端末12は直接通信デバイス18に接続され,E84通信端末11には接続されていない。
[0039]
20はLANで、天井走行車8はアクセスポイント22を介してLAN20と接続され、LAN20にはシステムコントローラ24等が接続されている。通信デバイス18は、Wi−Fi等によりアクセスポイント22を介してLAN20に接続され、あるいは有線で直接LAN20に接続されている。システムコントローラ24には管理部26が設けられ、複数の通信デバイス18からのデータ(ステーションの状態に関するデータ)の現在値を記憶すると共に、通信デバイス18からの過去のデータを保存する。さらに管理部26は複数の通信デバイス18からのデータを検索及び編集できる。管理部26のデータから、ステーション毎の移載回数、ステーションへ製造装置から物品が搬出されてから移載までの待時間の分布、ステーションへの物品の移載をシステムコントローラへ要求してから移載までの待時間の分布、等を求めることができる。
[0040]
端末58はシステムコントローラ24に接続されて、天井走行車8への搬送指令の変更、ステーションの状態の解析、通信システム2の運用ルールの変更等を行う。また固定もしくは携帯の端末60からも同様に、搬送指令の変更、ステーションの状態の解析、通信システム2の運用ルールの変更等を行うことができる。
[0041]
図7に通信デバイス18とアダプタ16を示し、通信デバイス18は複数のIOポートP1〜P6を備え、IOポートP1〜P6は例えば17本、24本等の通信線からなる通信ケーブル62を備えて、アダプタ16あるいはステーション端末12に接続される。通信ケーブル62の通信線は例えば、ステーション端末12への通信に8本、ステーション端末12からの通信に8本、アダプタ16のスイッチ30の切り替えに1本の計17本である。スイッチ30がオンのモードがアダプタパスモード、オフのモードがアダプタコントロール
数のステーションのいずれと移載しても良い場合、移載準備が整っている範囲で、下流側のステーションを優先するように、搬送指令を変更する。また特急品のように搬送を急ぐ物品が存在する場合、ステーション側の準備ができると、直ちに天井走行車をそのステーションへ走行させるように、搬送指令を変更できる。
[0047]
図10にアダプタコントロールモードでの処理を示す。アダプタコントロールモードでは、天井走行車8は、通信デバイス18からアダプタ16を介してステーション端末12と通信する。特に停止前に移載前のE84通信を完了し、出発と同時あるいは出発後に移載後のE84通信を完了する点は、コントロールモードと同様である。これらの通信データは通信デバイス18が傍聴し、管理テーブル56と管理部26とに記憶される。他の点では、コントロールモードと同様である。
[0048]
図11にアダプタパスモードでの処理を示す。アダプタパスモードでは、天井走行車8がステーションに到着し、従来のE84通信端末11を介して物品の移載を行う。アダプタパスモードでは、天井走行車8はアダプタ16を介してステーション端末12と通信し、通信データは通信デバイス18が傍聴して、管理テーブル56に一時記憶されると共に、管理部26へ転送される。ステーション端末12との通信以外の点では、コントロールモードと同様である。
[0049]
また、LANユニットを介して例えばコントローラから指示を受け付け、スイッチ30を切替えることにより、アダプタパスモードとアダプタコントロールモードとを動的に変更する事が出来る。例えば、天井走行車にLAN経由の通信デバイスとの通信機能が備わっていない場合等は、システムコントローラは対象の天井走行車が移載を実行できるように、通信デバイスに指示を行い、所定のステーションをアダプタパスモードへ変更する事が出来る。
[0050]
さらに、搬送が頻繁に発生しておりLAN上の通信が過剰に発生する可能性があることを、コントローラが検出すると、幾つかのステーションに対応するIOポートをアダプタパスモードに変更し、各天井走行車もアダプタパスモード
前記IOポートは、前記製造装置との間で、複数ビットから成るON/OFF信号を交換するように構成され、
前記制御部は、
LANを介して通信先から通信要求を受け付けて、通信先のネットワークアドレスと、通信先から指定されたIOポートを特定するデータ、とを記憶し、
通信先からの要求に従い、指定されたIOポートのON/OFF信号の値を変更し、
かつ通信先からの要求に従い、指定されたIOポートのON/OFF信号を、通信ユニットとLANとを経由して、通信先へ送信するように構成されていることを特徴とする。
前記通信デバイスは、LANとの通信ユニットと、少なくとも1個のIOポートと、制御部とを備え、
前記IOポートは、製造装置に接続自在で、前記製造装置との間で、複数ビットから成るON/OFF信号を交換するように構成され、
前記制御部は、
前記搬送装置及び前記コントローラを通信先として、通信先からのLANを介しての通信要求を受け付け、通信先の要求の送出元のネットワークアドレスと、通信先から指定されたIOポートを特定するデータ、とを記憶し、
前記通信先からの要求に従い、指定されたIOポートのON/OFF信号の値を変更し、
かつ前記通信先からの要求に従い、指定されたIOポートのON/OFF信号を、通信ユニットとLANとを経由して、前記通信先へ送信するように構成されていることを特徴とする。
Claims (13)
- LANとの通信ユニットと、製造装置に接続自在な少なくとも1個のIOポートと、制御部とを備える通信デバイスであって、
前記IOポートは、前記製造装置との間で、複数ビットから成るON/OFF信号を交換するように構成され、
前記制御部は、
LANを介して通信先から通信要求を受け付けて、通信先のネットワークアドレスと、通信先から指定されたIOポートを特定するデータ、とを記憶し、
通信先からの要求に従い、指定されたIOポートのON/OFF信号を変更し、
かつ通信先からの要求に従い、指定されたIOポートのON/OFF信号を、通信ユニットとLANとを経由して、通信先へ送信するように構成されていることを特徴とする、通信デバイス。 - IOポートへの排他制御の有無を記憶するための記憶部をさらに備え、
前記制御部は、
通信先からの通信要求に基づいて、指定されたIOポートへの排他制御が必要か否かを判断する判断部を供え、
通信先からの通信要求を受け付け、指定されたIOポートへの排他制御が必要と判断された場合に、
指定されたIOポートの状態が排他制御無しの場合には、通信先からの要求に従い指定されたIOポートのON/OFF信号を変更すると共に、指定されたIOポートへの排他制御を有りとするように、前記記憶部の記憶を変更し、
指定されたIOポートの状態が排他制御有りの場合には、指定されたIOポートのON/OFF信号の変更を拒否し、
また、通信先からの通信要求を受け付け、指定されたIOポートへの排他制御が不要と判断された場合に、指定されたIOポートへの排他制御の有無に係わらず、通信先からの要求に従い、指定されたIOポートのON/OFF信号を、通信ユニットとLANとを経由して通信先へ送信するように構成されていることを特徴とする、請求項1の通信デバイス。 - 前記通信先は、製造装置のステーションへ物品を搬出入する搬送装置と、複数の搬送装置を制御するコントローラとを含み、
前記コントローラへ、通信ユニットを介して指定されたIOポートのON/OFF信号を送出するように構成されていることを特徴とする、請求項1または2の通信デバイス。 - 通信デバイスはネットワークアドレスを有し、かつIOポートにポートを特定するデータが付されていることを特徴とする、請求項1〜3のいずれかの通信デバイス。
- 指定されたIOポートのON/OFF信号に、前記コントローラと搬送装置とがアクセス自在に構成されていることを特徴とする、請求項3または4の通信デバイス。
- 製造装置以外の周辺機器をIOポートに接続し、周辺機器の状態データへ、前記コントローラと搬送装置とがアクセス自在に構成されていることを特徴とする、請求項3〜5のいずれかの通信デバイス。
- 前記通信先は、製造装置のステーションへ物品を搬出入する搬送装置と、複数の搬送装置を制御するコントローラとを含み、
前記製造装置は、前記搬送装置と通信自在で、かつ製造装置の本体に通信線で接続されている通信端末を備え、
請求項1〜6のいずれかの通信デバイスと、
前記通信線に挿入されると共に、前記IOポートに接続されるアダプタとから成り、
前記アダプタは、
前記通信端末と前記本体との通信を中継すると共に、通信データを前記IOポートへ送出するアダプタパスモードと、
かつ通信端末と前記本体とが通信していない場合に、製造装置と前記IOポートとの通信を中継するアダプタコントロールモードとの間で切替自在に構成されていることを特徴とする、通信機器。 - 前記IOポートは、前記アダプタに接続されている状態と、製造装置の端末と直接通信する状態との間で切替自在であることを特徴とする、請求項7の通信機器。
- 前記アダプタは、前記通信線に挿入されているスイッチと、前記通信線から分岐し前記IOポートへ接続されている第2の通信線とから成り、
前記IOポートは、アダプタコントロールモードでも、アダプタパスモードでも、前記本体との通信を監視するように構成されていることを特徴とする、請求項7または8の通信機器。 - 前記通信ユニットの異常を検出すると、アダプタコントロールモードに設定されたIOポートをアダプタパスモードに変更するように構成されていることを特徴とする、請求項7〜9のいずれかの通信機器。
- 前記通信ユニットによって搬送装置からの指示を受け付けて、アダプタコントロールモードに設定されたIOポートをアダプタパスモードに変更するように構成されていることを特徴とする、請求項7〜10のいずれかの通信機器。
- 製造装置のステーションへ物品を搬出入する搬送装置と、搬送装置のコントローラと、製造装置側の通信デバイスとから成り、
前記通信デバイスは、LANとの通信ユニットと、少なくとも1個のIOポートと、制御部とを備え、
前記IOポートは、製造装置に接続自在で、前記製造装置との間で、複数ビットから成るON/OFF信号を交換するように構成され、
前記制御部は、
前記搬送装置及び前記コントローラを通信先として、通信先からのLANを介しての通信要求を受け付け、通信先の要求の送出元のネットワークアドレスと、通信先から指定されたIOポートを特定するデータ、とを記憶し、
前記通信先からの要求に従い、指定されたIOポートのON/OFF信号を変更し、
かつ前記通信先からの要求に従い、指定されたIOポートのON/OFF信号を、通信ユニットとLANとを経由して、前記通信先へ送信するように構成されていることを特徴とする、通信システム。 - 搬送装置のコントローラは、指定されたIOポートのON/OFF信号に基づき、搬送指令の変更あるいは移載の中止を行うように構成されていることを特徴とする、請求項12の通信システム。
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