JPWO2014054390A1 - 微粒子センサ - Google Patents
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Abstract
Description
なお、空間形成部の形状としては、例えば、円筒状などが挙げられる。
次いで、上述の実施形態の変形形態について、図6〜図9を参照して説明する。図6に、本変形形態に係る微粒子センサ1Aの構造を示す。この図6に示すように、本変形形態の微粒子センサ1Aの検知部10Aは、実施形態の中継筒部材30(図4参照)に相当する部材は有さず、取入混合部材40よりやや長い取入混合部材40Aを有する。一方、蓋部材48は、実施形態と同様の形態であり、取入混合部材40A及び蓋部材48で空間形成部に相当する微粒子帯電部12Aを形成している。この微粒子帯電部12Aの内部には、実施形態と同様、混合領域MX及び捕集極42が形成されている。加えて、本変形形態の微粒子センサ1Aの検知部10Aは、実施形態の針状電極体20及び補助電極体50に代えて、これらに相当する放電電極部20A及び補助電極部50Aが一体に形成され、混合領域MX内に配置された矩形板状のセラミック素子100を備えている点で、実施形態と異なる。また、このセラミック素子100を保持する排気管EP外の構造も、実施形態と異なる。
EPO 取付開口
EG 排気ガス(被測定ガス)
EGI 取入排気ガス(取入ガス)
S 微粒子
SC 帯電微粒子
CP イオン
CPF 浮遊イオン
CPH 排出イオン
Is 信号電流
1,1A 微粒子センサ
2 微粒子検知システム
10,10A 検知部
12,12A 微粒子帯電部(空間形成部)
15,15A イオン源
20 針状電極体
21 (針状電極体の)延出部
22 (針状電極体の)針状先端部(イオン源)
20A 放電電極部
21A (放電電極部の)リード部
22A 針状電極部(イオン源)
22S1,22S2,22S3 針状先端部
30 中継筒部材(第1導通部材)
31 (中継筒部材の)底部(微粒子帯電部)
PV1 第1電位
PV2 第2電位
PV3 補助電極電位
PVE 接地電位
40,40A 取入混合部材(微粒子帯電部)
40M (取入混合部材の)内周面(イオン源)
MX 混合領域(内部空間)
MX1 第1混合領域(内部空間)
MX2 第2混合領域(内部空間)
EX 排出路(内部空間)
42 捕集極
43 (混合排出部材の)筒壁部(外周面)
43I 取入口
48 蓋部材(微粒子帯電部)
48O 排出口
48T テーパ部
50 補助電極体
53 (補助電極体の)補助電極部(補助電極)
50A 補助電極部
53A 補助電極
60 第1パイプホルダ(第1導通部材)
61 第2パイプホルダ(第1導通部材)
80 内筒(第1導通部材)
90 主体金具(外装部材)
201 回路部
210 イオン源電源回路
220 計測制御回路
230 信号電流検知回路
240 補助電極電源回路
100 セラミック素子
101 セラミック基体
78 ヒータ
Claims (13)
- 通気管に装着される検知部を有し、上記通気管内を流通する被測定ガス中の微粒子の量を検知する微粒子センサであって、
上記検知部は、
当該微粒子センサを上記通気管へ装着した状態において、上記通気管内に突出して内部空間を構成する空間形成部であって、上記被測定ガスを上記内部空間に取り入れる取入口、及び上記取入口から取り入れた取入ガスを上記内部空間から排出する排出口を含む空間形成部と、
気中放電でイオンを生成するイオン源と、を備え、
上記空間形成部は、
上記通気管内を流通する上記被測定ガスで上記排出口に生じた負圧により、上記内部空間内の上記取入ガスを上記排出口から排出すると共に、上記被測定ガスを上記取入口から上記内部空間内に取り入れて、上記取入ガスと上記イオン源で生成した上記イオンとを混合する形態に構成されてなる
微粒子センサ。 - 請求項1に記載の微粒子センサであって、
前記空間形成部は、
自身の先端に前記排出口が開口し、これよりも基端側の外周面に前記取入口が開口してなり、
前記装着した状態において、前記通気管内で、自身の軸線が上記通気管の軸線である管軸線に交差する方向に延びる形態を有する
微粒子センサ。 - 請求項2に記載の微粒子センサであって、
前記空間形成部は、
先細の形状をなし、自身の先端に前記排出口が位置し、前記装着した状態において、当該排出口がなす開口の向きが前記管軸線に直交する方向を向く形態のテーパ部を有する
微粒子センサ。 - 請求項2または請求項3に記載の微粒子センサであって、
前記空間形成部は、
前記取入口が、前記外周面の周方向に分散して複数配置されてなる
微粒子センサ。 - 請求項1〜請求項4のいずれか一項に記載の微粒子センサであって、
前記イオン源は、
前記内部空間内に気中放電を生じさせて、前記イオンを上記内部空間内に生成する内部イオン源である
微粒子センサ。 - 請求項1〜請求項5のいずれか一項に記載の微粒子センサであって、
前記検知部は、
前記イオンのうち前記取入ガスとの混合で前記微粒子に付着しなかった浮遊イオンを捕集する捕集極と、
前記内部空間内に配置されて、上記捕集極による上記浮遊イオンの捕集を補助する補助電極と、を備える
微粒子センサ。 - 請求項1〜請求項5のいずれか一項に記載の微粒子センサであって、
前記検知部は、
絶縁性のセラミック基体と、
このセラミック基体と一体に形成されており、
上記セラミック基体から露出し、先端が針状の針状電極部、及び、
上記セラミック基体内に位置し、上記針状電極部に導通するリード部、を含む
放電電極部と、を有し、
前記空間形成部内に配置されて、上記針状電極部で気中放電を生じさせ、前記イオン源をなすセラミック素子を備える
微粒子センサ。 - 請求項7に記載の微粒子センサであって、
前記針状電極部は、針状をなす針状先端部を複数有する形態である
微粒子センサ。 - 請求項7または請求項8に記載の微粒子センサであって、
前記検知部は、
前記イオンのうち前記取入ガスとの混合で前記微粒子に付着しなかった浮遊イオンを捕集する捕集極を備え、
前記セラミック素子は、
前記針状電極部よりも前記排出口寄りの部位に、上記捕集極による上記浮遊イオンの捕集を補助する補助電極を有する
微粒子センサ。 - 請求項9に記載の微粒子センサであって、
前記補助電極は、
前記セラミック基体内に埋設されてなる
微粒子センサ。 - 請求項7〜請求項10のいずれか一項に記載の微粒子センサであって、
前記セラミック素子は、
前記針状電極部を加熱するヒータを有する
微粒子センサ。 - 請求項11に記載の微粒子センサであって、
前記ヒータは、
前記セラミック基体内に埋設されてなる
微粒子センサ。 - 請求項7〜請求項12のいずれか一項に記載の微粒子センサであって、
前記セラミック素子は、同時焼成により形成されてなる
微粒子センサ。
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JP6506600B2 (ja) * | 2015-04-21 | 2019-04-24 | 日本特殊陶業株式会社 | 微粒子検知システム |
US10124083B2 (en) * | 2015-06-18 | 2018-11-13 | Dm Tec, Llc | Sanitizer with an ion generator and ion electrode assembly |
JP6412470B2 (ja) * | 2015-07-07 | 2018-10-24 | 日本特殊陶業株式会社 | 微粒子センサ |
JP6335861B2 (ja) * | 2015-10-27 | 2018-05-30 | 日本特殊陶業株式会社 | 微粒子測定システム |
US10094757B2 (en) * | 2015-10-27 | 2018-10-09 | Ngk Spark Plug Co., Ltd. | Particulate measurement apparatus and particulate measurement system |
JP6396881B2 (ja) * | 2015-12-08 | 2018-09-26 | 日本特殊陶業株式会社 | 微粒子測定システム |
JP6603612B2 (ja) * | 2016-04-28 | 2019-11-06 | 日本特殊陶業株式会社 | 微粒子センサ |
CN112285286A (zh) * | 2020-03-20 | 2021-01-29 | 施令 | 一种适应于排气管方位的废气排放浓度检测方法 |
Citations (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS60123761A (ja) * | 1983-12-07 | 1985-07-02 | Ngk Spark Plug Co Ltd | 排ガス中粒子状物質検出装置 |
JP2000171430A (ja) * | 1998-08-05 | 2000-06-23 | Ngk Spark Plug Co Ltd | ガスセンサ |
JP2002296219A (ja) * | 2001-03-29 | 2002-10-09 | Kyocera Corp | ガスセンサ |
JP2006153746A (ja) * | 2004-11-30 | 2006-06-15 | Horiba Ltd | 排気ガス分析装置及び混合システム |
JP2007107970A (ja) * | 2005-10-12 | 2007-04-26 | Shimadzu Corp | アスベストの測定方法 |
JP2007514923A (ja) * | 2003-06-24 | 2007-06-07 | デカティ オイ | 燃焼機関の排気ガスからの粒子放出を測定する方法およびセンサ装置 |
JP2010078429A (ja) * | 2008-09-25 | 2010-04-08 | Ngk Insulators Ltd | 粒子状物質検出装置 |
JP2011513742A (ja) * | 2008-03-04 | 2011-04-28 | ぺガソー オーワイ | 粒子測定方法及び装置 |
EP2500709A1 (en) * | 2011-03-17 | 2012-09-19 | NGK Spark Plug Co., Ltd. | Fine particle sensor and mounting structure therefor |
WO2013125181A1 (ja) * | 2012-02-21 | 2013-08-29 | 日本特殊陶業株式会社 | 微粒子センサ |
JP2013170950A (ja) * | 2012-02-21 | 2013-09-02 | Ngk Spark Plug Co Ltd | 微粒子検知システム |
Family Cites Families (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE69943331D1 (de) | 1998-08-05 | 2011-05-19 | Ngk Spark Plug Co | Gassensor |
US7434449B2 (en) | 2004-11-30 | 2008-10-14 | Horiba, Ltd. | Exhaust gas analyzer |
US20080016946A1 (en) * | 2006-07-18 | 2008-01-24 | Honeywell International Inc. | Gas sensor packaging for elevated temperature and harsh environment and related methods |
JP2010210533A (ja) * | 2009-03-12 | 2010-09-24 | Ngk Insulators Ltd | 粒子状物質検出装置 |
FIU20100090U0 (fi) * | 2010-02-25 | 2010-02-25 | Pegasor Oy | Pakokaasuanturi |
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2013
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Patent Citations (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS60123761A (ja) * | 1983-12-07 | 1985-07-02 | Ngk Spark Plug Co Ltd | 排ガス中粒子状物質検出装置 |
JP2000171430A (ja) * | 1998-08-05 | 2000-06-23 | Ngk Spark Plug Co Ltd | ガスセンサ |
JP2002296219A (ja) * | 2001-03-29 | 2002-10-09 | Kyocera Corp | ガスセンサ |
JP2007514923A (ja) * | 2003-06-24 | 2007-06-07 | デカティ オイ | 燃焼機関の排気ガスからの粒子放出を測定する方法およびセンサ装置 |
JP2006153746A (ja) * | 2004-11-30 | 2006-06-15 | Horiba Ltd | 排気ガス分析装置及び混合システム |
JP2007107970A (ja) * | 2005-10-12 | 2007-04-26 | Shimadzu Corp | アスベストの測定方法 |
JP2011513742A (ja) * | 2008-03-04 | 2011-04-28 | ぺガソー オーワイ | 粒子測定方法及び装置 |
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