JPWO2013058217A1 - 積層体、積層体の製造方法、および、電子デバイス用部材付きガラス基板の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【化1】
(前記式(1)中、R1は水素原子または炭素原子数1〜4のアルキル基を表す。前記式(2)中、R6およびR7は、それぞれ独立に、炭素原子数1〜4のアルキル基を表す。)。
Description
一方、耐熱性の樹脂層として、特許文献2に記載の熱硬化性樹脂を用いて得られる樹脂層が知られている。
特許文献1に記載の積層体は大気中300℃、1時間の処理に耐えうる。しかし、本発明者らの検討によれば、特許文献1に記載の積層体における樹脂層のシリコーン樹脂は、400℃においては短時間のうちに分解が起こり、多量のアウトガスが発生する。このようなアウトガスの発生は、ガラス基板上に形成される電子デバイス用部材を汚染し、結果として電子デバイスの生産性を低下させる原因となる。
また、樹脂層の分解により樹脂層自体にクラックなどが生じ、その上に積層されるガラス基板との密着性が低下し、高温処理が施される電子デバイス用部材の製造時にガラス基板の位置ずれなどが生じやすく、結果として電子デバイスの生産性を低下させる懸念もある。
さらに、積層体からガラス基板を分離する際に、熱劣化した樹脂層の一部が製品側であるガラス基板の剥離面に付着してしまうことがあり、その除去が非常に困難であった。
また、本発明は、該積層体を使用した電子デバイス用部材付きガラス基板の製造方法を提供することも目的とする。
すなわち、本発明の第1の態様は、支持板の層と樹脂層とガラス基板の層と、をこの順で備え、前記支持板の層と前記樹脂層の界面の剥離強度(y)が、前記樹脂層と前記ガラス基板の界面の剥離強度(x)または前記樹脂層の凝集破壊強度(z)よりも高く、前記樹脂層の樹脂が架橋シリコーン樹脂であり、前記架橋シリコーン樹脂が、後述する式(1)で表されるオルガノシロキシ単位(A−1)と、後述する式(2)で表されるオルガノシロキシ単位(B−1)と、を含み、全オルガノシロキシ単位に対する(A−1)+(B−1)の割合が70〜100モル%であり、かつ(A−1)と(B−1)の合計に対する(A−1)の割合が15〜50モル%の架橋シリコーン樹脂である、積層体である。
また、式(1)および式(3)において後述する式(9)で表わされるフェニル基(X)と、式(2)および(4)においてR6および/またはR7で表されるアルキル基(Y)の比が、[(X)]/[(X)+(Y)]=10〜40モル%であることが好ましい。
さらに、全オルガノシロキシ単位に対する[(A−1)+(A−2)+(B−1)+(B−2)]の割合が95〜100モル%であることが好ましい。
また、後述する式(1)〜(4)で表されるオルガノシロキシ単位はいずれもオルガノアルコキシシラン化合物に由来する単位であることが好ましい。
また、上記清浄化は溶媒を用いた洗浄であることが好ましく、洗浄は、溶解度パラメータが7〜15の溶媒を使用した洗浄であることが好ましい。
なお、上記電子デバイス用部材付きガラス基板を以下「部材付ガラス基板」という。
また、本発明によれば、該積層体を使用した部材付ガラス基板の製造方法を提供することもできる。
樹脂層とガラス基板の界面は剥離強度(x)を有し、樹脂層とガラス基板の界面に剥離強度(x)を越える引き剥がし方向の応力が加えられると、樹脂層とガラス基板の界面が剥離する。樹脂層と支持板の界面は剥離強度(y)を有し、樹脂層と支持板の界面に剥離強度(y)を越える引き剥がし方向の応力が加えられると、樹脂層と支持板の界面が剥離する。一方、樹脂層の樹脂はそれ自体の破壊に抗する強度を有し、樹脂層にガラス基板と支持板を引き剥がす方向の応力が加えられるとある程度の応力までは破壊せずにその応力に耐える。しかし、樹脂自体の強度を超える応力が加えられると樹脂層が破壊され、この樹脂層が耐える限度の強度を凝集破壊強度(z)という。
本発明の積層体(後述の電子デバイス用部材付き積層体も意味する)においては、上記剥離強度(y)は、上記剥離強度(x)または上記凝集破壊強度(z)よりも高い。したがって、本発明の積層体にガラス基板と支持板を引き剥がす方向の応力が加えられると、本発明の積層体は、樹脂層とガラス基板の界面で剥離してガラス基板と樹脂層付き支持板に分離するか、または樹脂層の凝集破壊により樹脂が付着したガラス基板と樹脂が付着した支持板に分離する。両態様のどちらになるかは剥離強度(x)と凝集破壊強度(z)の大きさに依存し、剥離強度(x)が凝集破壊強度(z)よりも高い場合には樹脂層の凝集破壊が起こり、剥離強度(x)が凝集破壊強度(z)よりも低い場合には界面剥離が起こると考えられる。
さらに、付着した樹脂を除去するとしても、その量が少ないほど除去が容易であることから、分離した直後の剥離面に付着した樹脂は少ない方が好ましい。剥離強度(x)が凝集破壊強度(z)に近いほど部分的に界面剥離が生じる可能性が高まり、ガラス基板の剥離面に付着した樹脂の量は支持板に付着した樹脂量に比較して少なくなると考えられる。
なお、下記のように剥離強度(x)と凝集破壊強度(z)がほぼ等しい場合は剥離面に樹脂が付着したガラス基板が生じやすいと考えられることより、本発明においては剥離強度(x)が凝集破壊強度(z)よりも高い場合に含めるものとする。
支持板に対する樹脂層の付着力を高めるためには、硬化性シリコーン樹脂を支持板上で架橋硬化させて樹脂層を形成することが好ましい。架橋硬化の際の接着力で、支持板に対して高い結合力で結合した樹脂層を形成することができる。
一方、架橋硬化後の架橋シリコーン樹脂のガラス基板に対する結合力は、上記架橋硬化時に生じる結合力よりも低いのが通例である。したがって、支持板上で硬化性シリコーン樹脂を架橋硬化させて樹脂層を形成し、その後架橋硬化したシリコーン樹脂からなる樹脂層の面にガラス基板を積層して、積層体を製造することが好ましい。
さらに、縮合反応により架橋硬化する硬化性シリコーン樹脂の反応性は、ハイドロシリレーション反応により架橋硬化する硬化性シリコーン樹脂の反応性よりも低いと考えられる。したがって、支持板上に形成した樹脂層の樹脂の架橋反応をガラス基板と積層する前に充分に終了させておくことは容易ではない。未反応の架橋点が残存した架橋シリコーンからなる樹脂層にガラス基板を積層すると、積層後に未反応の架橋点が架橋して樹脂がガラス基板に接着し、剥離強度(x)が高くなることが考えられる。特に、積層体のガラス基板表面上に電子デバイス用部材を形成する際は加熱処理が行われることが多いことより、これによりガラス基板と樹脂層の界面の結合が進み、電子デバイス用部材形成後の積層体(電子デバイス用部材付き積層体)における剥離強度(x)はより高くなりやすい。
よって、本発明においては、剥離に際しては、剥離強度(x)が凝集破壊強度(z)よりも高い場合が多いと考えられる。
低分子量シリコーンが少ないことにより、積層体のガラス基板表面上に電子デバイス用部材を形成する際の高温条件下において低分子量シリコーンに起因するガス発生が少なく、ガスの発生による電子デバイス用部材の汚染のおそれが少ないという特徴が発揮される。
なお、ガス発生の許容量以下の範囲において、剥離強度の調整の目的でケイ素化合物やフッ素化合物などを用いた積層しようとする界面への易剥離処理を積層前に施しても良い。
図1に示すように、積層体10は、支持板12の層とガラス基板16の層とそれらの間に樹脂層14が存在する積層体である。樹脂層14は、その一方の面が支持板12の層に接すると共に、その他方の面がガラス基板16の第1主面16aに接している。言い換えると、樹脂層14はガラス基板16の第1主面16aに接している。
支持板12の層および樹脂層14からなる2層部分は、液晶パネルなどの電子デバイス用部材を製造する部材形成工程において、ガラス基板16を補強する。なお、積層体10製造のためにあらかじめ製造される支持板12の層および樹脂層14からなる2層部分を樹脂層付き支持板18という。
ガラス基板16は、第1主面16aが樹脂層14と接し、樹脂層14側とは反対側の第2主面16bに電子デバイス用部材が設けられる。
ガラス基板16の種類は、一般的なものであってよく、例えば、LCD、OLEDといった表示装置用のガラス基板などが挙げられる。ガラス基板16は耐薬品性、耐透湿性に優れ、且つ、熱収縮率が低い。熱収縮率の指標としては、JIS R 3102(1995年改正)に規定されている線膨張係数が用いられる。
また、ガラス基板16の厚さは、ガラス基板16の製造が容易であること、ガラス基板16の取り扱いが容易であることなどの理由から、0.03mm以上であることが好ましい。
支持板12は、ガラス基板16を支持して補強し、後述する部材形成工程(電子デバイス用部材を製造する工程)において電子デバイス用部材の製造の際にガラス基板の変形、傷付き、破損などを防止する。
支持板12としては、例えば、ガラス板、プラスチック板、SUS板などの金属板などが用いられる。通常、部材形成工程が熱処理を伴うため、支持板12はガラス基板16との線膨張係数の差の小さい材料で形成されることが好ましく、ガラス基板16と同一材料で形成されることがより好ましく、支持板12はガラス板であることが好ましい。特に、支持板12は、ガラス基板16と同じガラス材料からなるガラス板であることが好ましい。
樹脂層14は、ガラス基板16と支持板12と、を分離する操作が行われるまでガラス基板16の位置ずれを防止すると共に、ガラス基板16などが分離操作によって破損するのを防止する。樹脂層14のガラス基板16と接する表面14aは、ガラス基板16の第1主面16aに密着する。樹脂層14はガラス基板16の第1主面16aに弱い結合力で結合しており、その界面の剥離強度(x)は、樹脂層14と支持板12との間の界面の剥離強度(y)よりも低い場合が多い。樹脂層14とガラス基板16の界面の結合力は、積層体10のガラス基板16の面(第2主面16b)上に電子デバイス用部材を形成する前後に変化してもよい(すなわち、剥離強度(x)が変化してもよい)。しかし、電子デバイス用部材を形成した後であっても、剥離強度(x)は、剥離強度(y)よりも低いことが好ましい。
場合により、積層前の樹脂層14の表面や積層前のガラス基板16の第1主面16aに両者間の結合力を弱める処理を行って積層することもできる。積層する面に非接着性処理などを行い、その後積層することにより、樹脂層14とガラス基板16の層の界面の結合力を弱め、剥離強度(x)を低くすることができる。
樹脂層14と支持板12の層とが高い結合力で結合していることは、両者の界面の剥離強度(y)が高いことを意味する。
なお、樹脂層14は2層以上からなっていてもよい。この場合「樹脂層14の厚さ」は全ての層の合計の厚さを意味するものとする。
また、樹脂層14が2層以上からなる場合は、各々の層を形成する樹脂が異なる架橋シリコーン樹脂からなってもよい。
架橋シリコーン樹脂の凝集破壊強度(z)は、その材料としての特性として、樹脂層14と支持板12の層と間の結合力を特に低くすることがない限り、上記剥離強度(y)よりも高くなることは少ない。一方、上記剥離強度(x)と比較すると、凝集破壊強度(z)は、剥離強度(x)よりも低くなることも高くなることもある。上記のように、剥離強度(x)は調整することができ、また変化することもある。特に、ガラス基板16の第2主面16b上に電子デバイス用部材を形成する際に剥離強度(x)が上昇しやすく、これにより、凝集破壊強度(z)は剥離強度(x)よりも低くなりやすい。
樹脂層14が凝集破壊した場合、ガラス基板16の第1主面16aの全面に樹脂が付着するとは限らない。凝集破壊強度(z)と剥離強度(x)との差が小さい場合、樹脂層14とガラス基板16の層が部分的に界面剥離し、ガラス基板表面の第1主面16aの一部に樹脂が付着していない面が生じることもある。
樹脂層14は架橋シリコーン樹脂からなる。架橋シリコーン樹脂は、硬化性シリコーン樹脂を架橋硬化して得られる。本発明における硬化性シリコーン樹脂は、モノマーである加水分解性オルガノシラン化合物の混合物(モノマー混合物)であるか、またはモノマー混合物を部分加水分解縮合反応させて得られる部分加水分解縮合物である。また、部分加水分解縮合物とモノマーの混合物であってもよい。本発明における硬化性シリコーン樹脂としてはモノマー混合物の部分加水分解縮合物が好ましい。
硬化性シリコーン樹脂を架橋硬化させるためには、通常加熱により架橋反応を進めて硬化させる(すなわち、熱硬化させる)。硬化性シリコーン樹脂を熱硬化させることにより、架橋シリコーン樹脂が得られる。ただし、硬化に必ずしも加熱を必要としない場合もあり、室温硬化させることもできる。
通常、架橋シリコーン樹脂におけるM単位は架橋シリコーン樹脂や硬化性シリコーン樹脂の分子量を調節するために使用され、Q単位は架橋点を増大させるために使用される。本発明における架橋シリコーン樹脂はM単位もQ単位も必要とせず、M単位もQ単位も含まないことが好ましく、含む場合があったとしてもその数は少ないことが好ましい。
本発明における架橋シリコーン樹脂の全オルガノシロキシ単位に対するT単位とD単位の合計の割合は、本発明の効果がより優れる点で、90〜100モル%が好ましく、95〜100モル%がより好ましい。本発明における架橋シリコーン樹脂がM単位および/またはQ単位を含む場合、M単位とQ単位の割合はそれぞれ10モル%未満(ただし、両者の合計は10モル%未満)が好ましく、それぞれ5モル%未満(ただし、両者の合計は5モル%未満)が好ましい。本発明における架橋シリコーン樹脂はM単位とQ単位のいずれも含まないことが特に好ましい。
架橋シリコーン樹脂がM単位を多く含む場合は樹脂の耐熱性が低下しやすく、Q単位を多く含む場合は樹脂の脆性が大きくなりやすく、いずれも本発明のおける樹脂層の材料として適しないおそれが生じる。
(A−1)単位が15モル%未満の場合、架橋シリコーン樹脂の耐熱性が劣り、樹脂層にボイドなどが生じやすく、一方、(A−1)単位が50モル%超の場合、樹脂の脆性が大きくなり樹脂層にクラックなどが生じやすく、いずれも樹脂層形成時に表面の平坦性が低下しやすく、その樹脂層表面にガラス基板を積層することが困難になりやすい。
芳香環がケイ素原子に結合したオルガノシロキシ単位を有する架橋シリコーン樹脂は、アルキル基がケイ素原子に結合したオルガノシロキシ単位を有する架橋シリコーン樹脂に比較して耐熱性が高い。T単位の割合が大きな架橋シリコーン樹脂は耐熱性が良好であっても脆性が大きくなりやすいが、本発明おける架橋シリコーン樹脂は芳香環を有するT単位を有することにより、T単位の割合がある程度少ないものであっても、耐熱性が高く脆性が低い架橋シリコーン樹脂となる。
また、全オルガノシロキシ単位に対する芳香環を有するオルガノシロキシ単位の割合、すなわち[(A−1)+(A−2)+(B−1)+(B−2)]に対する[(A−1)+(A−2)]の割合は20〜40モル%が好ましい。より好ましいこの割合は、20〜30モル%である。
なお、上記のように全オルガノシロキシ単位に対する(A−1)単位と(B−1)単位の合計の割合、すなわち、[(A−1)+(A−2)+(B−1)+(B−2)]に対する[(A−1)+(B−1)]の割合は70〜100モル%であり、85〜100モル%であることが好ましく、95〜100モル%であることがより好ましい。
本発明における架橋シリコーン樹脂における各オルガノシロキシ単位はモノマーである加水分解性オルガノシラン化合物から生じる。加水分解性オルガノシラン化合物における加水分解性基は、アルコキシ基が好ましいがこれに限られず、塩素原子などのハロゲン原子、アシル基、アミノ基、アルコキシアルコキシ基などであってもよい。
架橋シリコーン樹脂となる硬化性シリコーン樹脂としては、モノマーである加水分解性オルガノシラン化合物の混合物であってもよいが、加水分解性オルガノシラン化合物の混合物から得られる部分加水分解縮合物が好ましい。部分加水分解縮合物はシラノール基を有し、シラノール基同士の脱水縮合により架橋して架橋シリコーン樹脂となる。部分加水分解縮合物は加水分解性基を含むこともあり、加水分解性基とシラノール基の縮合反応や加水分解性基同士の縮合反応により架橋硬化することもある。
R3、R4、R5、R8、R9は、それぞれ独立に、メチル基またはエチル基であることが好ましく、特にR3、R4、R5はいずれもメチル基であることが好ましく、R8、R9はいずれもエチル基であることが好ましい。
R3、R4、R8、R9、R10は、それぞれ独立に、メチル基またはエチル基であることが好ましく、特にR3、R4はいずれもメチル基であることが好ましく、R8、R9、R10はいずれもエチル基であることが好ましい。
なお、M単位となる加水分解性オルガノシラン化合物としてはトリメチルエトキシシランなどのトリアルキルアルコキシシラン化合物が好ましく、Q単位となる加水分解性シラン化合物(ただし、本明細書では加水分解性オルガノシラン化合物とみなす)としてはテトラエトキシシランなどのテトラアルコキシシラン化合物が好ましい。
部分加水分解縮合物は、加水分解性オルガノシラン化合物を上記各オルガノシロキシ単位の割合となるように混合したモノマー混合物を部分的に加水分解縮合させて得られる。部分的に加水分解縮合させる方法は、特に限定されない。通常は加水分解性オルガノシラン化合物の混合物を溶媒中、触媒存在下で反応させて製造される。触媒としては、酸触媒やアルカリ触媒が使用しうるが、反応を制御し適切な分子量の部分加水分解縮合物を得るためにはアルカリ触媒の使用が好ましい。また、加水分解反応には通常、水を使用することが好ましい。本発明に使用する部分加水分解縮合物は、溶媒中で加水分解性オルガノシラン化合物の混合物をアルカリ水溶液の存在下で反応させて製造された物が好ましい。具体的な部分加水分解縮合物の製造方法としては、上記特許文献2に記載の方法(特にその実施例に記載の方法)が好ましい。
硬化性オリゴマーの分子量の調節は、反応条件を制御することにより行うことができる。例えば、硬化性オリゴマーを製造する際の溶媒量を調節し、加水分解性オルガノシラン化合物の濃度を高くすると高分子量物が得られ、濃度を低くすると低分子量物が得られる。
架橋のための温度条件は架橋シリコーン樹脂の耐熱性や支持板との接着性を維持する範囲内で特に制限されないが、300〜475℃が好ましく、350〜450℃がより好ましい。また、加熱時間は、通常、30〜300分が好ましく、60〜120分がより好ましい。温度が低すぎると、架橋が充分でない樹脂となって樹脂の耐熱性が低下したり樹脂層の平坦性が低下しやすくなり、一方、温度が高すぎると樹脂層の支持板との接着力が低下しやすい。
溶媒としては、作業環境下で硬化性シリコーン樹脂を容易に溶解でき、かつ、容易に揮発除去させることのできる溶媒であれば、特に限定されるものではない。具体的には、例えば、酢酸ブチル、2−ヘプタノン、1−メトキシ−2−プロパノールアセテート等を例示することができる。架橋反応により得られる樹脂層が平坦になりやすい点で、1−メトキシ−2−プロパノールアセテートが好ましい。
硬化性シリコーン樹脂と硬化性オリゴマーを含む溶液の固形分濃度としては、30〜70質量%が好ましく、40〜60質量%がより好ましい。
本発明の積層体10は、上述したように、支持板12とガラス基板16とそれらの間に樹脂層14が存在する積層体である。
本発明の積層体10の製造方法は特に制限されないが、剥離強度(y)が剥離強度(x)または凝集破壊強度(z)よりも高い積層体を得るために、支持板表面上で硬化性シリコーン樹脂を架橋硬化させて樹脂層を形成する方法が好ましい。すなわち、硬化性シリコーン樹脂の膜を支持板の表面に形成し、支持板表面上で硬化性シリコーン樹脂を架橋硬化させて架橋シリコーン樹脂の膜を形成し、次いで、架橋シリコーン樹脂の膜の表面にガラス基板を積層して、積層体を製造する方法である。
以下、硬化性シリコーン樹脂の膜を支持板の表面に形成し、支持板表面上で硬化性シリコーン樹脂を架橋硬化させて架橋シリコーン樹脂の膜を形成する工程を樹脂層形成工程、架橋シリコーン樹脂の膜の表面にガラス基板を積層して積層体とする工程を積層工程といい、各工程の手順について詳述する。
樹脂層形成工程では、上述した硬化性シリコーン樹脂および溶媒を含む溶液を支持板12の表面上に塗布し、溶媒を除去して支持板12の表面上に硬化性シリコーン樹脂の膜を形成する。次いで、支持板12上の硬化性シリコーン樹脂の膜を熱硬化させ、樹脂層14を形成する。より具体的には、図2(A)に示すように、該工程では支持板12の少なくとも片面の表面上に樹脂層14が形成される。
積層工程は、上記の樹脂層形成工程で得られた樹脂層14の層上にガラス基板16を積層し、支持板12の層と樹脂層14とガラス基板16の層と、をこの順で備える積層体を得る工程である。より具体的には、図2(B)に示すように、樹脂層14の支持板12側とは反対側の表面14aと、第1主面16aおよび第2主面16bを有するガラス基板16の第1主面16aと、を積層面として、樹脂層14とガラス基板16と、を積層し、積層体10を得る。
例えば、常圧環境下で樹脂層14の表面上にガラス基板16を重ねる方法が挙げられる。なお、必要に応じて、樹脂層14の表面上にガラス基板16を重ねた後、ロールやプレスを用いて樹脂層14にガラス基板16を圧着させてもよい。ロールまたはプレスによる圧着により、樹脂層14とガラス基板16の層との間に混入している気泡が比較的容易に除去されるので好ましい。
プレアニール処理の条件は使用される樹脂層の種類に応じて適宜最適な条件が選択されるが、ガラス基板16と樹脂層14の間の剥離強度(x)をより適切なものとする点から、300℃以上(好ましくは、300〜400℃)で5分間以上(好ましく、5〜30分間)加熱処理を行うことが好ましい。
本発明の積層体10は、種々の用途に使用することができ、例えば、後述する表示装置用パネル、PV、薄膜2次電池、表面に回路が形成された半導体ウェハ等の電子部品を製造する用途などが挙げられる。なお、該用途では、積層体10が高温条件(例えば、400℃以上)で曝される(例えば、1時間以上)場合が多い。
ここで、表示装置用パネルとは、LCD、OLED、電子ペーパー、プラズマディスプレイパネル、フィールドエミッションパネル、量子ドットLEDパネル、MEMS(MICRO ELECTRO MECHANICAL SYSTEMS)シャッターパネル等が含まれる。
本発明においては、上述した積層体を用いて、ガラス基板と電子デバイス用部材と、を含む電子デバイス用部材付きガラス基板(部材付ガラス基板)が製造される。
該部材付ガラス基板の製造方法は特に限定されないが、電子デバイスの生産性に優れる点から、上記積層体中のガラス基板上に電子デバイス用部材を形成して電子デバイス用部材付き積層体を製造し、得られた電子デバイス用部材付き積層体から樹脂層のガラス基板側界面または樹脂層内部を剥離面として部材付ガラス基板と樹脂層付き支持板とに分離し、次いで、部材付ガラス基板の剥離面を清浄化する方法が好ましい。
以下、上記積層体中のガラス基板上に電子デバイス用部材を形成して電子デバイス用部材付き積層体を製造する工程を部材形成工程、電子デバイス用部材付き積層体から樹脂層のガラス基板側界面または樹脂層内部を剥離面として部材付ガラス基板と樹脂層付き支持板とに分離する工程を分離工程、部材付ガラス基板の剥離面を清浄化する工程を清浄化処理工程という。
以下に、各工程で使用される材料および手順について詳述する。
部材形成工程は、上記積層工程において得られた積層体10中のガラス基板16上に電子デバイス用部材を形成する工程である。より具体的には、図2(C)に示すように、ガラス基板16の第2主面16b(露出表面)上に電子デバイス用部材20を形成し、電子デバイス用部材付き積層体22を得る。
まず、本工程で使用される電子デバイス用部材20について詳述し、その後工程の手順について詳述する。
電子デバイス用部材20は、積層体10中のガラス基板16上に形成され電子デバイスの少なくとも一部を構成する部材である。より具体的には、電子デバイス用部材20としては、表示装置用パネル、太陽電池、薄膜2次電池、または、表面に回路が形成された半導体ウェハ等の電子部品などに用いられる部材(例えば、表示装置用部材、太陽電池用部材、薄膜2次電池用部材、電子部品用回路)が挙げられる。
また、薄膜2次電池用部材としては、リチウムイオン型では、正極および負極の金属または金属酸化物等の透明電極、電解質層のリチウム化合物、集電層の金属、封止層としての樹脂等が挙げられ、その他に、ニッケル水素型、ポリマー型、セラミックス電解質型などに対応する各種部材等を挙げることができる。
また、電子部品用回路としては、CCDやCMOSでは、導電部の金属、絶縁部の酸化ケイ素や窒化珪素等が挙げられ、その他に圧力センサ・加速度センサなど各種センサやリジッドプリント基板、フレキシブルプリント基板、リジッドフレキシブルプリント基板などに対応する各種部材等を挙げることができる。
上述した電子デバイス用部材付き積層体22の製造方法は特に限定されず、電子デバイス用部材の構成部材の種類に応じて従来公知の方法にて、積層体10のガラス基板16の第2主面16b表面上に、電子デバイス用部材20を形成する。
なお、電子デバイス用部材20は、ガラス基板16の第2主面16bに最終的に形成される部材の全部(以下、「全部材」という)ではなく、全部材の一部(以下、「部分部材」という)であってもよい。樹脂層14から剥離された部分部材付きガラス基板を、その後の工程で全部材付きガラス基板(後述する電子デバイスに相当)とすることもできる。
また、樹脂層14から剥離された、全部材付きガラス基板には、その剥離面(第1主面16a)に他の電子デバイス用部材が形成されてもよい。また、全部材付き積層体を組み立て、その後、全部材付き積層体から支持板12を剥離して、電子デバイスを製造することもできる。さらに、全部材付き積層体を2枚用いて組み立て、その後、全部材付き積層体から2枚の支持板12を剥離して、2枚のガラス基板を有する部材付ガラス基板を製造することもできる。
なお、TFTやCFを形成する前に、必要に応じて、ガラス基板16の第2主面16bを洗浄してもよい。洗浄方法としては、周知のドライ洗浄やウェット洗浄を用いることができる。
分離工程は、上記部材形成工程で得られた電子デバイス用部材付き積層体22から、樹脂層14とガラス基板16との界面または樹脂層14を剥離面として、電子デバイス用部材20が積層したガラス基板16(部材付ガラス基板)と、支持板12とに分離して、電子デバイス用部材20およびガラス基板16を含む部材付ガラス基板24を得る工程である。
剥離時のガラス基板16上の電子デバイス用部材20が必要な全構成部材の形成の一部である場合には、分離後、残りの構成部材をガラス基板16上に形成することもできる。
分離された支持板12の樹脂層14が存在していた表面には、樹脂が付着している。剥離面がガラス基板16の第1主面16aと樹脂層14の界面である場合は、上記樹脂層付き支持板18とほぼ同じ構成の樹脂が付着した支持板12となる。樹脂層14の凝集破壊により生じた樹脂付着支持板の場合には、樹脂層14と接していた表面のほぼ全面に樹脂が付着した支持板となり、樹脂が付着していない面は少ない。
なお、図2(D)は樹脂層14が凝集破壊した場合を示し、ガラス基板16の樹脂層14と接した表面には樹脂層14の一部の樹脂が付着している。
また、支持板12は、新たなガラス基板と積層して、本発明の積層体10を製造することができる。分離された支持板12の表面に樹脂層14が破壊されることなく付着している場合は、この樹脂層が付着している支持板12を上記樹脂層付き支持板18として使用し、新たに積層体10を上記と同様に製造することができる。また、樹脂層の凝集破壊により分離された支持板12の場合は、付着した樹脂を除去して樹脂が付着していない支持板12とし、この樹脂が付着していない支持板12を使用して上記と同様に新たに積層体10を製造することができる。この新たな積層体10の製造方法としては、前述した本発明の製造方法が好ましい。
清浄化処理工程は、上記分離工程で得られた部材付ガラス基板24中のガラス基板16の剥離面(第1主面16a)に清浄化処理を施す工程である。該工程を実施することにより、剥離面に付着した樹脂や樹脂層、剥離面に付着した上記部材形成工程で発生する金属片やホコリなどの不純物を除去することができ、剥離面の清浄性を維持することができる。結果として、ガラス基板16の剥離面に貼り付けられる位相差フィルムや偏光フィルムなどの粘着性が向上する。
より具体的には、本工程を実施することにより、図2(E)に示すように、図2(D)でガラス基板16の表面上に付着していた樹脂層の一部が除去される。
例えば、sp値、すなわち溶解度パラメータが7〜15(単位:cal1/2cm-3/2)の溶剤を含む薬液を用いて洗浄処理を行うことが好ましい。より具体的には、メタノール、エタノール、プロパノール、アセトン、キシレン、ヘキサン、イソパラフィン等を含む薬液を用いることが好ましい。さらに、環境負荷の観点からアルコール系洗浄液(例えば、メタノール、エタノール、プロパノール)を含有する洗浄液を用いることが好ましい。これらの溶媒は単独で、または、組み合わせて用いられる。
なお、必要に応じて、電子デバイス用部材20が溶媒と接触しないように、シーリングやマスキング処理を実施してもよい。また、エアブローまたは加熱乾燥など溶剤除去処理を併せて実施するのが望ましい。
オルガノシロキシ単位(A−1)を構成する化合物としてフェニルトリメトキシシラン100質量部と、オルガノシロキシ単位(B−1)を構成する化合物としてジメチルジエトキシシラン225質量部に対して、トルエン230質量部を加えた。ついで10℃以下に保ちながら、この混合物中に0.5質量%の水酸化ナトリウム水溶液140質量部を滴下して加え、10℃で3時間、50℃で3時間撹拌した。その後70℃で2時間保持してアルコールを除去したのち、75℃で10時間撹拌した。
得られた反応液に、トルエン150質量部を加えて希釈したところ、2層分離した。下層の水酸化ナトリウム水溶液層を分液ロートで除去した。上層のトルエン層のpHが7以下になるまで水洗したのち、孔径0.5マイクロメートルのメンブレンフィルターにて濾過した。得られた液を70℃で加熱減圧により有機溶媒を除去し、硬化性シリコーン樹脂(S1)を得た。
得られた硬化性シリコーン樹脂(S1)は、GPC(ゲルパーミエーションクロマトグラフィー)による重量平均分子量(ポリスチレン換算)が、55000であった。またFT−IR(赤外分光光度計)により、Si−OH基由来の3200〜3600cm-1の吸収が確認された。
次に、硬化性シリコーン樹脂(S1)100質量部を1−メトキシ−2−プロパノールアセテート200質量部に溶解させて硬化性シリコーン樹脂(S1)を含む液状物を作製した。
硬化性シリコーン樹脂(S2)〜(S5)について、製造例1と同様にして、表1に示す組成比で製造した。ついで得られた硬化性シリコーン樹脂(S2)〜(S5)を1−メトキシ−2−プロパノールアセテートに溶解させて硬化性シリコーン樹脂(S2)〜(S5)を各々含む液状物を作製した。
初めに、板厚0.4mmの支持板を純水洗浄した後、さらにUV洗浄して清浄化した。
次に、支持板の第1主面上に、硬化性シリコーン樹脂(S1)を含む液状物を、スピンコータにて塗工した(塗工量30g/m2)。
次に、これを180℃にて10分間大気中で加熱硬化して、支持板上の組成物の層中の溶剤を除去した。その後、さらに450℃にて60分間大気中で加熱硬化して、支持板の第1主面に厚さ2μmの樹脂層を形成した。
得られた積層体Aにおいては、支持板とガラス基板は、樹脂層と気泡を発生することなく密着しており、歪み状欠点もなく、平滑性も良好であった。
そして、積層体Aの4箇所のうち1箇所のコーナー部におけるガラス基板と支持板の樹脂層の界面に厚さ0.1mmのステンレス製刃物を挿入させて剥離の切欠部を形成しながら、ガラス基板と支持板それぞれの剥離面でない面に真空吸着パッドを吸着させ、互いにガラス基板と支持板が分離する方向に外力を加えて、ガラス基板と支持板を破損すること無く分離した。ここで刃物の差し込みは、イオナイザ(キーエンス社製)から除電性流体を当該界面に吹き付けながら行った。具体的には、形成した空隙へ向けてイオナイザからは引き続き除電性流体を吹き付けながら真空吸着パッドを引き上げた。
なお、樹脂層の主要部は支持板と共にガラス基板から分離され、該結果より、支持板の層と樹脂層の界面の剥離強度(y)が、樹脂層とガラス基板の界面の剥離強度(x)または樹脂層の凝集破壊強度(z)よりも高いことが確認された。
上記アルコール溶液は、エタノールを86.6質量%、ノルマルプロピルアルコール(NPA)を9.5質量%、メタノールを2.6質量%、イソプロピルアルコール(IPA)を1.5質量%含むものである。
清浄化後のガラス板の表面を顕微鏡で観察したところ、酸化物や樹脂などの異物、および、傷は見られなかった。
実施例1と同様の方法で、支持板の第1主面上に、硬化性シリコーン樹脂(S2)の加熱硬化物からなる厚さ1.5μmの樹脂層を形成した。
続いて、実施例1と同様の方法で、積層体Bを得た。
得られた積層体Bにおいては、支持板とガラス基板は、樹脂層と気泡を発生することなく密着しており、歪み状欠点もなく、平滑性も良好であった。
次に、積層体Bを実施例1と同様の加熱処理をおこなったところ、積層体Bの支持板とガラス基板の分離や樹脂層の発泡や白化など外観上の変化は認められなかった。
そして、積層体Bを実施例1と同様の方法で、ガラス基板と支持板を破損すること無く分離した。
続いて、実施例1と同様の方法で、分離したガラス基板の剥離面を清浄化した。
清浄化後のガラス板の表面を顕微鏡で観察したところ、酸化物や樹脂などの異物、および、傷は見られなかった。
実施例1と同様の方法で、支持板の第1主面上に、硬化性シリコーン樹脂(S3)の加熱硬化物からなる厚さ2μmの樹脂層を形成した。
続いて、実施例1と同様の方法で、積層体Cを得た。
得られた積層体Cにおいては、支持板とガラス基板は、樹脂層と気泡を発生することなく密着しており、歪み状欠点もなく、平滑性も良好であった。
次に、積層体Cを実施例1と同様の加熱処理をおこなったところ、積層体Cの支持板とガラス基板の分離や樹脂層の発泡や白化など外観上の変化は認められなかった。
そして、積層体Cを実施例1と同様の方法で、ガラス基板と支持板を破損すること無く分離した。
続いて、実施例1と同様の方法で、分離したガラス基板の剥離面を清浄化した。
清浄化後のガラス板の表面を顕微鏡で観察したところ、酸化物や樹脂などの異物、および、傷は見られなかった。
本例では、実施例1で得た積層体Aを用いてOLEDを製造する。
まず、積層体Aにおけるガラス基板の第2主面上に、プラズマCVD法により窒化シリコン、酸化シリコン、アモルファスシリコンの順に成膜する。次に、イオンドーピング装置により低濃度のホウ素をアモルファスシリコン層に注入し、窒素雰囲気下450℃60分間加熱処理し脱水素処理をおこなう。次に、レーザアニール装置によりアモルファスシリコン層の結晶化処理をおこなう。次に、フォトリソグラフィ法を用いたエッチングおよびイオンドーピング装置より、低濃度のリンをアモルファスシリコン層に注入し、N型およびP型のTFTエリアを形成する。次に、ガラス基板の第2主面側に、プラズマCVD法により酸化シリコン膜を成膜してゲート絶縁膜を形成した後に、スパッタリング法によりモリブデンを成膜し、フォトリソグラフィ法を用いたエッチングによりゲート電極を形成する。次に、フォトリソグラフィ法とイオンドーピング装置により、高濃度のホウ素とリンをN型、P型それぞれの所望のエリアに注入し、ソースエリアおよびドレインエリアを形成する。次に、ガラス基板の第2主面側に、プラズマCVD法による酸化シリコンの成膜で層間絶縁膜を、スパッタリング法によりアルミニウムの成膜およびフォトリソグラフィ法を用いたエッチングによりTFT電極を形成する。次に、水素雰囲気下450℃60分間加熱処理し水素化処理をおこなった後に、プラズマCVD法による窒素シリコンの成膜で、パッシベーション層を形成する。次に、ガラス基板の第2主面側に、紫外線硬化性樹脂を塗布し、フォトリソグラフィ法により平坦化層およびコンタクトホールを形成する。次に、スパッタリング法により酸化インジウム錫を成膜し、フォトリソグラフィ法を用いたエッチングにより画素電極を形成する。
続いて、蒸着法により、ガラス基板の第2主面側に、正孔注入層として4,4’,4”−トリス(3−メチルフェニルフェニルアミノ)トリフェニルアミン、正孔輸送層としてビス[(N−ナフチル)−N−フェニル]ベンジジン、発光層として8−キノリノールアルミニウム錯体(Alq3)に2,6−ビス[4−[N−(4−メトキシフェニル)−N−フェニル]アミノスチリル]ナフタレン−1,5−ジカルボニトリル(BSN−BCN)を40体積%混合したもの、電子輸送層としてAlq3をこの順に成膜する。次に、スパッタリング法によりアルミニウムを成膜し、フォトリソグラフィ法を用いたエッチングにより対向電極を形成する。次に、ガラス基板の第2主面側に、紫外線硬化型の接着層を介してもう一枚のガラス基板を貼り合わせて封止する。上記手順によって、ガラス基板上に有機EL構造体を形成する。ガラス基板上に有機EL構造体を有する積層体A(以下、パネルAという。)が、本発明の電子デバイス用部材付き積層体(支持板付き表示装置用パネル)である。
続いて、パネルAの封止体側を定盤に真空吸着させたうえで、パネルAのコーナー部のガラス基板と樹脂層との界面に、厚さ0.1mmのステンレス製刃物を差し込み、ガラス基板と樹脂層の界面に剥離のきっかけを与える。そして、パネルAの支持板表面を真空吸着パッドで吸着した上で、吸着パッドを上昇させる。ここで刃物の差し込みは、イオナイザ(キーエンス社製)から除電性流体を当該界面に吹き付けながら行う。次に、形成した空隙へ向けてイオナイザからは引き続き除電性流体を吹き付けながら真空吸着パッドを引き上げる。その結果、定盤上に有機EL構造体が形成されたガラス基板のみを残し、樹脂層付き支持板を剥離することができる。
続いて、実施例1と同様の方法で分離したガラス基板の剥離面を清浄化し、分離されたガラス基板をレーザーカッタまたはスクライブ−ブレイク法を用いて切断し、複数のセルに分断した後、有機EL構造体が形成されたガラス基板と対向基板と、を組み立てて、モジュール形成工程を実施してOLEDを作製する。こうして得られるOLEDは、特性上問題は生じない。
本例では、実施例1で得た積層体Aを用いてLCDを製造する。
まず、2枚の積層体Aを準備して、片方の積層体A1におけるガラス基板の第2主面上に、プラズマCVD法により窒化シリコン、酸化シリコン、アモルファスシリコンの順に成膜する。次に、イオンドーピング装置により低濃度のホウ素をアモルファスシリコン層に注入し、窒素雰囲気下450℃60分間加熱処理し脱水素処理をおこなう。次に、レーザアニール装置によりアモルファスシリコン層の結晶化処理をおこなう。次に、フォトリソグラフィ法を用いたエッチングおよびイオンドーピング装置より、低濃度のリンをアモルファスシリコン層に注入し、N型およびP型のTFTエリアを形成する。次に、ガラス基板の第2主面側に、プラズマCVD法により酸化シリコン膜を成膜しゲート絶縁膜を形成した後に、スパッタリング法によりモリブデンを成膜し、フォトリソグラフィ法を用いたエッチングによりゲート電極を形成する。次に、フォトリソグラフィ法とイオンドーピング装置により、高濃度のホウ素とリンをN型、P型それぞれの所望のエリアに注入し、ソースエリアおよびドレインエリアを形成する。次に、ガラス基板の第2主面側に、プラズマCVD法による酸化シリコンの成膜で層間絶縁膜を、スパッタリング法によりアルミニウムの成膜およびフォトリソグラフィ法を用いたエッチングによりTFT電極を形成する。次に、水素雰囲気下450℃60分間加熱処理し水素化処理をおこなった後に、プラズマCVD法による窒素シリコンの成膜で、パッシベーション層を形成する。次に、ガラス基板の第2主面側に、紫外線硬化性樹脂を塗布し、フォトリソグラフィ法により平坦化層およびコンタクトホールを形成する。次に、スパッタリング法により酸化インジウム錫を成膜し、フォトリソグラフィ法を用いたエッチングにより画素電極を形成する。
次に、もう片方の積層体A2を大気雰囲気下450℃60分間加熱処理する。次に、積層体Aにおけるガラス基板の第2主面上に、スパッタリング法によりクロムを成膜し、フォトリソグラフィ法を用いたエッチングにより遮光層を形成する。次に、ガラス基板の第2主面側に、ダイコート法によりカラーレジストを塗布し、フォトリソグラフィ法および熱硬化によりカラーフィルタ層を形成する。次に、スパッタリング法により酸化インジウム錫を成膜し、対向電極を形成する。次に、ガラス基板の第2主面側に、ダイコート法により紫外線硬化樹脂液を塗布し、フォトリソグラフィ法および熱硬化により柱状スペーサを形成する。次に、ロールコート法によりポリイミド樹脂液を塗布し、熱硬化により配向層を形成し、ラビングをおこなう。
次に、ディスペンサ法によりシール用樹脂液を枠状に描画し、枠内にディスペンサ法により液晶を滴下した後に、上記で画素電極が形成された積層体A1を用いて、2枚の積層体Aのガラス基板の第2主面側同士を貼り合わせ、紫外線硬化および熱硬化によりLCDパネルを得る。
本例では、実施例1で得た積層体Aを用いてOLEDを製造する。
まず、積層体Aにおけるガラス基板の第2主面上に、スパッタリング法によりモリブデンを成膜し、フォトリソグラフィ法を用いたエッチングによりゲート電極を形成する。次に、プラズマCVD法により、ガラス基板の第2主面側にさらに窒化ケイ素を成膜してゲート絶縁膜を形成し、続いてスパッタリング法により酸化インジウムガリウム亜鉛を成膜してフォトリソグラフィ法を用いたエッチングにより酸化物半導体層を形成する。次に、プラズマCVD法により、ガラス基板の第2主面側にさらに窒化ケイ素を成膜してチャネル保護層を形成し、続いてスパッタリング法によりモリブデンを成膜してフォトリソグラフィ法を用いたエッチングによりソース電極およびドレイン電極を形成する。次に、大気中で450℃にて60分間加熱処理を行う。次に、ガラス基板の第2主面側にさらにプラズマCVD法により窒化ケイ素を成膜してパッシベーション層を形成し、続いてスパッタリング法により酸化インジウム錫を成膜してフォトリソグラフィ法を用いたエッチングにより、画素電極を形成する。
続いて、蒸着法により、ガラス基板の第2主面側に、正孔注入層として4,4’,4”−トリス(3−メチルフェニルフェニルアミノ)トリフェニルアミン、正孔輸送層としてビス[(N−ナフチル)−N−フェニル]ベンジジン、発光層として8−キノリノールアルミニウム錯体(Alq3)に2,6−ビス[4−[N−(4−メトキシフェニル)−N−フェニル]アミノスチリル]ナフタレン−1,5−ジカルボニトリル(BSN−BCN)を40体積%混合したもの、電子輸送層としてAlq3をこの順に成膜する。次に、スパッタリング法によりアルミニウムを成膜し、フォトリソグラフィ法を用いたエッチングにより対向電極を形成する。次に、ガラス基板の第2主面側に、紫外線硬化型の接着層を介してもう一枚のガラス基板を貼り合わせて封止する。上記手順によって、ガラス基板上に有機EL構造体を形成する。ガラス基板上に有機EL構造体を有する積層体A(以下、パネルAという。)が、本発明の電子デバイス用部材付き積層体(支持板付き表示装置用パネル)である。
続いて、パネルAの封止体側を定盤に真空吸着させたうえで、パネルAのコーナー部のガラス基板と樹脂層との界面に、厚さ0.1mmのステンレス製刃物を差し込み、ガラス基板と樹脂層の界面に剥離のきっかけを与える。そして、パネルAの支持板表面を真空吸着パッドで吸着した上で、吸着パッドを上昇させる。ここで刃物の差し込みは、イオナイザ(キーエンス社製)から除電性流体を当該界面に吹き付けながら行う。次に、形成した空隙へ向けてイオナイザからは引き続き除電性流体を吹き付けながら真空吸着パッドを引き上げる。その結果、定盤上に有機EL構造体が形成されたガラス基板のみを残し、樹脂層付き支持板を剥離することができる。
続いて、実施例1と同様の方法で分離したガラス基板の剥離面を清浄化し、分離されたガラス基板をレーザーカッタまたはスクライブ−ブレイク法を用いて切断し、複数のセルに分断した後、有機EL構造体が形成されたガラス基板と対向基板と、を組み立てて、モジュール形成工程を実施してOLEDを作製する。こうして得られるOLEDは、特性上問題は生じない。
実施例1と同様の方法で、支持板の第1主面上に、硬化性シリコーン樹脂(S4)の加熱硬化物からなる厚さ1μmの樹脂層を形成した。
続いて、実施例1と同様の方法でガラス基板と、支持板の樹脂層面と、を、室温下で真空プレスしたところ、樹脂層が硬く、ガラス基板と支持板の樹脂層面で一部積層していない部分がみられた。その後、350℃で10分間加熱処理を行ったところ、ガラス基板と支持板の樹脂層面全面で分離し、積層体が形成されなかった。
実施例1と同様の方法で、支持板の第1主面上に、硬化性シリコーン樹脂(S5)の加熱硬化物からなる厚さ1μmの樹脂層を形成した。樹脂層の表面は目視による観察でムラが確認されるほどの平坦度であった。
続いて、実施例1と同様の方法でガラス基板と、支持板の樹脂層面と、を、室温下で真空プレスしたところ、ガラス基板と支持板の樹脂層面全面で分離し、積層体が形成されなかった。
実施例1と同様の方法で、支持板の第1主面上に、硬化性シリコーン樹脂(S6)の加熱硬化物からなる厚さ1μmの樹脂層を形成した。
続いて、実施例1と同様の方法でガラス基板と、支持板の樹脂層面と、を、室温下で真空プレスしたところ、樹脂層が硬く、ガラス基板と支持板の樹脂層面で一部積層していない部分がみられた。その後、350℃で10分間加熱処理を行ったところ、ガラス基板と支持板の樹脂層面全面で分離し、積層体が形成されなかった。
支持板(縦200mm、横200mm、厚さ0.4mm)を純水洗浄、UV洗浄等で清浄化した後、該支持板上に、無溶剤付加反応型剥離紙用シリコーン(信越シリコーン株式会社製 KNS−320A)100質量部と白金系触媒(信越シリコーン株式会社製 CAT−PL−56)2質量部の混合物をスピンコータにて塗工し(塗工量10g/m2)、180℃にて30分間大気中で加熱硬化して膜厚16μmのシリコーン樹脂層を得た。
ガラス基板(縦200mm、横200mm、厚さ0.3mm)のシリコーン樹脂層と接触させる側の面を純水洗浄、UV洗浄等で清浄化した後、支持板のシリコーン樹脂層形成面と、ガラス基板と、を、室温下真空プレスにて貼り合わせ、付加重合型シリコーン樹脂層を有するガラス積層体Pを得た。
まず、積層体Pにおけるガラス基板の第2主面上に、プラズマCVD法により窒化シリコン、酸化シリコン、アモルファスシリコンの順に成膜した。次に、窒素雰囲気下450℃にて60分間加熱処理し脱水素処理をおこなった。脱水素処理後の積層体Pを目視で観察すると、面内の一部および積層体の端部において樹脂の揮発による発泡部が見られ、実施例1と同様の方法で積層体Aの4箇所のうち1箇所のコーナー部におけるガラス基板と支持板の樹脂層の界面に厚さ0.1mmのステンレス製刃物を挿入させて剥離の切欠部を形成しながら、ガラス基板と支持板それぞれの剥離面でない面に真空吸着パッドを吸着させ、互いにガラス基板と支持板が分離する方向に外力を加えて、ガラス基板と支持板を分離すると、ガラス基板の剥離面、すなわち第1主面上の一部に樹脂の付着が認められた。
次に、樹脂が付着したガラス基板の剥離面に対して、実施例1で実施したアルコール溶液(日本アルコール販売社製、ネオコールR7)によるブラシ洗浄を行ったが、樹脂の付着を除去することはできなかった。
一方、本発明の樹脂層ではない比較例4は電子デバイスを高温で形成すると発泡が見られ、揮発成分が発生していると思われる。また、ガラス基板に付着した樹脂を除去することができない。
12 支持板
14 樹脂層
14a 樹脂層の第1主面
16 ガラス基板
16a ガラス基板の第1主面
16b ガラス基板の第2主面
18 樹脂層付き支持板
20 電子デバイス用部材
22 電子デバイス用部材付き積層体
24 部材付ガラス基板
Claims (15)
- 支持板の層と樹脂層とガラス基板の層と、をこの順で備え、
前記支持板の層と前記樹脂層の界面の剥離強度(y)が、前記樹脂層と前記ガラス基板の界面の剥離強度(x)または前記樹脂層の凝集破壊強度(z)よりも高く、
前記樹脂層の樹脂が架橋シリコーン樹脂であり、
前記架橋シリコーン樹脂が、式(1)で表されるオルガノシロキシ単位(A−1)と、式(2)で表されるオルガノシロキシ単位(B−1)と、を含み、
全オルガノシロキシ単位に対する(A−1)+(B−1)の割合が70〜100モル%であり、かつ(A−1)と(B−1)の合計に対する(A−1)の割合が15〜50モル%の架橋シリコーン樹脂である、積層体。
- 全オルガノシロキシ単位に対する[(A−1)+(A−2)+(B−1)+(B−2)]の割合が95〜100モル%である、請求項2または3に記載の積層体。
- 前記式(1)〜(4)で表されるオルガノシロキシ単位がいずれもオルガノアルコキシシラン化合物に由来する単位である、請求項1〜4のいずれか1項に記載の積層体。
- 前記樹脂層の厚さが1〜5μmである、請求項1〜5のいずれか1項に記載の積層体。
- 前記支持板がガラス板である、請求項1〜6のいずれか1項に記載の積層体。
- 前記支持板と前記ガラス基板との25〜300℃における平均線膨張係数の差が0〜500×10-7/℃である、請求項1〜7のいずれか1項に記載の積層体。
- 架橋硬化して架橋シリコーン樹脂となる硬化性シリコーン樹脂の膜を支持板の表面に形成し、
前記支持板の表面上で前記硬化性シリコーン樹脂を架橋硬化させて架橋シリコーン樹脂の膜を形成し、次いで、
前記架橋シリコーン樹脂の膜の表面にガラス基板を積層して、支持板の層と樹脂層とガラス基板の層と、をこの順で備えた積層体を製造する積層体の製造方法。
架橋シリコーン樹脂:式(1)で表されるオルガノシロキシ単位(A−1)と、式(2)で表されるオルガノシロキシ単位(B−1)とを含み、全オルガノシロキシ単位に対する(A−1)+(B−1)の割合が70〜100モル%であり、かつ(A−1)と(B−1)の合計に対する(A−1)の割合が15〜50モル%の架橋シリコーン樹脂。
- 前記硬化性シリコーン樹脂がオルガノアルコキシシラン化合物の混合物の部分加水分解縮合物からなり、該硬化性シリコーン樹脂および溶媒を含む溶液を前記支持板の表面に塗布して、前記溶媒を除去することにより硬化性シリコーン樹脂の膜を形成する、請求項9に記載の積層体の製造方法。
- 前記部分加水分解縮合物の重量平均分子量が1万〜20万である、請求項10に記載の積層体の製造方法。
- 前記部分加水分解縮合物の重量平均分子量が1万〜10万である、請求項10に記載の積層体の製造方法。
- 請求項1〜8のいずれか1項に記載の積層体中の前記ガラス基板上に電子デバイス用部材を形成して、電子デバイス用部材付き積層体を製造し、
前記電子デバイス用部材付き積層体から、前記樹脂層のガラス基板側界面または前記樹脂層内部を剥離面として、電子デバイス用部材付きガラス基板と樹脂層付き支持板と、に分離し、次いで、
前記電子デバイス用部材付きガラス基板の剥離面を清浄化する
電子デバイス用部材付きガラス基板の製造方法。 - 前記清浄化が溶媒を用いた洗浄である、請求項13に記載の電子デバイス用部材付きガラス基板の製造方法。
- 前記洗浄が、溶解度パラメータが7〜15の溶媒を使用した洗浄である、請求項14に記載の電子デバイス用部材付きガラス基板の製造方法。
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