JPWO2013011668A1 - 放熱基板用複合材料の製造方法 - Google Patents
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Abstract
Description
しかし、銅及び銅合金は、半導体素子を構成するけい素、ひ化ガリウムなどと比較して、熱膨張率が大きいため、半導体素子の発熱によって、半導体素子と放熱基板との間に熱膨張率の差に起因してクラックが発生することがある。このようなクラックの発生は、結果として、半導体素子の放熱特性の低下、及び半導体素子の破壊の要因となることがあった。
しかしながら、これらの放熱基板の材料は、熱伝導率が低いという欠点があり、熱伝導率が低いという欠点を補うために放熱基板の容積を増大させることは、これらの材料の密度が大きいこともあって、質量の増大につながっていた。
このような放熱基板への要望に対し、特許文献1及び特許文献2では、それぞれ、銅とダイヤモンドの複合材料及び銅と酸化第一銅の複合材料が提案されている。
特許文献3に開示された技術は、いわゆる含浸法による複合材料の製造方法である。具体的には、炭化けい素の粒子又は繊維を成型することによって炭化けい素の粒子又は繊維の凝集体である多孔質のプリフォームを形成した後、溶融アルミニウムを接触させ、多孔質のプリフォームの空隙に溶融アルミニウム合金を含浸させる方法である。
また、特許文献5、特許文献6、及び特許文献7に開示された技術は、いわゆる粉末冶金法によるアルミニウム合金と炭化けい素との複合材料の製造方法である。具体的には、アルミニウム粉末又はアルミニウム合金の粉末と、炭化けい素の粒子とを混合した後、焼結する方法である。
一方、鋳造法及び粉末冶金法は、コストを低く抑えることはできるものの、混合可能な炭化けい素の粒子の混合割合に制限があるため、高い熱伝導率と低い熱膨張率を両立することが難しかった。
ここで、本発明者らの研究によれば、上記加熱成型用型を鉄鋼製に変更した場合、加熱成型用型の寿命が短く、コストが高くなるという欠点があることが判明している。
そこで、本発明は上記の問題点に着目してなされたものであり、その目的は、高い熱伝導率と低い熱膨張率を両立し、放熱基板として満足できる性能を有する放熱基板用複合材料、及び低コストで上記複合材料を製造することができる上記複合材料の製造方法を提供することにある。
本発明は、本発明者らによる上記知見に基づくものであり、上記課題を解決するための本発明のある実施形態に係る放熱基板用複合材料の製造方法は、アルミニウム合金の粉末と、炭化けい素の粒子とを混合して混合物を得る混合工程と、
上記混合物をアルミニウム製の枠内に充填して加熱する加熱工程と、
上記アルミニウム合金が溶融状態となった半溶融状態の上記混合物を鍛造する鍛造工程とを含み、
上記炭化けい素の粒子同士が接している。
また、本発明の他の実施形態に係る放熱基板用複合材料の製造方法は、上記Al−Si合金が、Al−(7〜11)質量%Siでもよい。
また、本発明の他の実施形態に係る放熱基板用複合材料の製造方法は、上記加熱工程における加熱温度が、上記アルミニウム合金の液相線温度以上650℃以下の温度でもよい。
また、本発明のある実施形態に係る放熱基板用複合材料は、上記放熱基板用複合材料の製造方法により得られる。
また、本発明の他の実施形態に係る放熱基板用複合材料は、粉末冶金法を用いて製造され、アルミニウム合金及び炭化けい素を含有し、上記炭化けい素の粒子同士が接している。
(放熱基板用複合材料の製造方法)
本実施形態の放熱基板用複合材料(以下、複合材料ということがある。)の製造方法は、混合工程と、加熱工程と、鍛造工程とを少なくとも含む。なお、上記混合工程と上記加熱工程との間に、予備成形工程を含んでもよい。
<混合工程>
上記混合工程は、少なくとも、アルミニウム合金の粉末と、炭化けい素の粒子とを均一に混合して、混合物を得る工程である。
上記アルミニウム合金の粉末としては、Al−Si合金の粉末が好ましく、Al−(7〜11)質量%Siであることがより好ましい。上記Al−Si合金中のSiの含有量が7質量%未満であると、Siを含有することによる溶融状態での流動性の向上の効果が低いため、好ましくない。一方、Al−Si合金中のSiの含有量が11質量%を超えると、Al−Si系の共晶組織が発達し、凝固後の機械加工性が低下するため、好ましくない。
上記炭化けい素の粒子としては、緑色炭化けい素の粒子又は黒色炭化けい素の粒子が使用できる。上記炭化けい素の粒子の粒径は、特に限定されないが、10μm〜100μmが好ましく、25μm〜60μmがより好ましい。上記粒径が100μmを超えると、上記混合工程において上記アルミニウム合金の粉末と均一に混合することが困難となる。一方、上記炭化けい素の粒子の粒径が10μmより小さいと、空気中に浮遊しやすくなり、取扱が容易でなくなる。
なお、上記炭化けい素の粒子の粒径は、レーザ回折式粒度分析測定法よる値を示す。また、上記炭化けい素の粒子の形状は特に限定されないが、例えば、涙滴状,真球状,回転楕円体状,フレーク状又は不定形状等、いずれであってもよい。
上記アルミニウム合金の粉末と、上記炭化けい素の粒子との混合比は、質量比で30:70〜60:40が好ましい。
ここで、上記混合比が、30:70を超える、すなわち、上記炭化けい素の粒子が多いと、上記「鍛造工程」後において、得られた複合材料内に空隙が残存するため、高い熱伝導率が得られない。その結果、上記複合材料は、電力制御用半導体素子の放熱基板として満足できる性能のものとならない。
上記アルミニウム合金の粉末と、上記炭化けい素の粒子とを混合する方法としては、公知の方法を採用することができる。例えば、Vブレンダー,クロスロータリーミキサー等のミキサー、振動ミル、遊星ミル等を使用し、1時間から6時間程度混合することが好ましい。
上記予備成形工程は、上記混合工程で得られた上記混合物を室温、又は室温〜300℃の温度範囲において、200MPa〜1000MPaの圧力でのプレス、又は圧力での静水圧により圧縮する工程である。この予備成形工程は省略可能であるが、この工程の実施により、後述する加熱工程における、上記混合物のアルミニウム製の枠内への充填が容易になる。なお、本工程において、プレス又は静水圧が200MPa未満であると、予備成形の有意の効果がない。他方、静水圧は1000MPaあれば十分であり、それ以上の圧力をかける必要はない。
上記加熱工程は、上記混合物を、アルミニウム製の枠内に充填して、加熱する工程である。
[加熱温度]
本工程における加熱温度は、上記アルミニウム合金の粉末の成分組成により異なるが、上記アルミニウム合金が溶融状態となる液相線温度以上、650℃以下の温度である。例えば、上記アルミニウム合金の粉末の成分組成がAl−11質量%Siであれば、液相線温度は590℃であるから、上記加熱温度は590〜650℃の範囲内となる。上記加熱温度が、上記アルミニウム合金の液相線温度未満であると、上記アルミニウム合金が溶融状態とならないため、上記鍛造工程を行うことができない。一方、上記加熱温度が650℃を超えると、加熱に要するコストが増大するほか、溶融状態の上記アルミニウム合金の表面酸化被膜が厚くなって、みかけ上の流動性が低下する。その結果、上記鍛造工程において、所要圧力及び所要時間が増大することとなり、好ましくない。
本工程における加熱中の雰囲気は特に限定されず、大気中、窒素ガス中、アルゴンガス中、又は真空中等の雰囲気を設定できるが、大気中とするとコストを低くすることができ、好ましい。
本工程では、次工程である上記鍛造工程まで保持する保持時間が、上記混合物が、液相線温度以上650℃以下の温度に達してから、10分〜200分とすることが好ましい。保持時間が10分未満であると、前述のようにSi含有量の異なる複数の上記アルミニウム合金の粉末を混合した場合に、上記アルミニウム合金の成分組成が均一化しない。一方、保持時間が200分を超えると、加熱に要するコストが増大するほか、溶融状態のアルミニウム合金の表面酸化被膜が厚くなって、みかけ上の流動性が低下する。その結果、上記鍛造工程において、所要圧力及び所要時間が増大することとなり、好ましくない。
上記鍛造工程は、上記加熱工程により、上記アルミニウム合金が溶融状態であって、半溶融状態の上記混合物を、所定の圧力で所定時間鍛造する工程である。なお、本工程では、上記アルミニウム合金が凝固しないように、上記アルミニウム合金の液相線温度以上650℃以下の温度に保持したまま鍛造される。
本工程における鍛造条件は、100MPa〜300MPaの圧力を1秒間〜20秒間作用させることが好ましい。上記圧力が100MPa未満であると、得られた上記複合材料内に空隙が残存するため、高い熱伝導率が得られない。上記圧力は300MPaあれば十分であり、それ以上の圧力をかける必要はない。
図1は、本実施形態の複合材料の製造方法によって作製された複合材料からなる放熱基板の構成を示す正面図である。図1に示すように、矩形状をなす放熱基板1は、その表面1aに電力制御用の半導体素子2が実装されている。半導体素子2は、例えば、シリコンよりなる半導体素子である。また半導体素子2は、熱伝達の目的で、表面1aに対して半田付け又はロウ付けされている。一方、放熱基板1の裏面1bには、多数のフィンを有するヒートシンク3が、図示しない伝熱グリスを介して、ボルト4によって放熱基板1に固定されている。このボルト4も、ヒートシンク3を放熱基板1に固定するだけでなく、熱伝達を補助する目的で設置されるものである。したがって、ボルト4は、熱伝導性が高い材料からなることが好ましい。
以上説明したように、本実施形態の複合材料の製造方法によれば、電力制御用半導体素子の放熱基板として、少なくとも縦弾性係数が好適なアルミニウム合金と炭化けい素との複合材料を低いコストで作製することができる。
(実施例1)
アルミニウム合金の成分組成がAl−8.3質量%Siとなるように、平均粒径30μmの純アルミニウムの粉末と、平均粒径54μmのAl−11質量%Si粉末を混合した。このアルミニウム合金の粉末に対してさらに、平均粒径40μmの緑色炭化けい素の粒子を質量比で、上記アルミニウム合金の粉末:緑色炭化けい素の粒子=46:54、となるように、Vブレンダーにより3時間、混合した(混合工程)。なお、上記アルミニウム合金の粉末と上記緑色炭化けい素の粒子の混合比は、体積比で50:50である。また、Al−8.3質量%Siの液相線温度は607℃である。
その後、加熱した上記混合物を30分間保持してから、220MPaの圧力を5秒間作用させることによって半溶融鍛造(鍛造工程)して、アルミニウム合金と炭化けい素との複合材料を得た。
実施例1の加熱工程における加熱温度を、液相線温度未満の温度である520℃とした以外は実施例1と同様にして複合材料を得た。
(比較例2)
実施例1の加熱工程における加熱温度を、液相線温度未満の温度である560℃とした以外は実施例1と同様にして複合材料を得た。
(比較例3)
平均粒径30μmの純アルミニウムの粉末に対して、平均粒径40μmの緑色炭化けい素の粒子を質量比で、アルミニウム粉末:緑色炭化けい素の粒子=46:54、となるように、Vブレンダーにより3時間、混合した(混合工程)。
その後、アルミニウム製の枠内に充填した混合物を、純アルミニウムの粉末の液相線温度未満の温度である、620℃に加熱した(加熱工程)。この工程によって上記純アルミニウムは溶融しなかった。
その後、加熱した上記混合物を30分間保持してから、220MPaの圧力を5秒間作用させることによって熱間鍛造して、純アルミニウムと炭化けい素との複合材料を得た。
[断面組織の観察]
以上のようにして得られた実施例1、比較例1〜3の複合材料について、光学顕微鏡により断面組織を観察した。観察結果を図2〜図5に示す。
図2〜図5において、白く観察される部分はアルミニウム、又はその合金、灰色に観察される部分は炭化けい素の粒子、黒く観察される部分は空隙である。
一方、図3及び図4に示すように、比較例1及び比較例2の複合材料の断面組織は、加熱温度がアルミニウム合金の液相線温度未満であり、アルミニウム合金が溶融状態とならないため、半溶融鍛造が不十分であって、黒く観察される空隙が多く残存していることがわかる。
また、炭化けい素の粒子同士が接していることを明確化するため、実施例1、及び比較例1の複合材料の断面組織の顕微鏡写真について、画像解析により炭化けい素の粒子の部分を黒く、それ以外の部分を白く、2値化する画像変換を試みた。それらの結果を図6及び図7に示す。
また、以上のようにして得られた実施例1、比較例1〜3の複合材料について、熱伝導率を測定した。熱伝導率の測定は、アルバック理工株式会社製TC−7000レーザフラッシュ法熱定数測定装置を用いて測定した。測定結果を表1に示す。なお、本実施例では、熱伝導率について、180W/(m・K)が必要とされる場合が多い(特許文献6の段落〔0008〕参照)ため、この値以上であることを評価基準とした。
また、以上のようにして得られた実施例1、比較例1〜3の複合材料について、20℃〜150℃の平均熱膨張率を測定した。平均熱膨張率の測定は、真空理工株式会社製DL−7000熱膨張率計を用いて測定した。測定結果を表1に示す。ここで、一般に、Si(けい素)及びGaAs(ひ化ガリウム)の熱膨張率は、それぞれ4.2×10−6/℃及び6.5×10−6/℃である(特許文献6の段落〔0003〕参照)ため、本実施例では、9×10−6/℃以下を評価基準とした。
さらに、以上のようにして得られた実施例1、比較例1〜3の複合材料について、縦弾性係数を測定した。縦弾性係数の測定は、アルミニウム製の枠の部分を切削加工により除去したものについて、3点支持しつつ一定荷重で弾性変形させ、その撓み変形量から縦弾性係数を計算した。測定結果を表1に示す。
これに対し、比較例1〜3の複合材料の熱伝導率は、いずれも160W/(m・K)未満であると共に、20℃〜150℃の平均熱膨張率がいずれも9×10−6/℃を超える値となっていることがわかる。このような値の差は、断面組織観察において観察された空隙量の差により、もたらされたものと考えられる。
以上、本発明の実施の形態について説明してきたが、本発明はこれに限定されずに、種々の変更、改良を行うことができる。
2 半導体素子
3 ヒートシンク
4 ボルト
そこで、本発明は上記の問題点に着目してなされたものであり、その目的は、高い熱伝導率と低い熱膨張率を両立し、放熱基板として満足できる性能を有する放熱基板用複合材料を、低コストで製造することができる上記複合材料の製造方法を提供することにある。
また、本発明の他の実施形態に係る放熱基板用複合材料の製造方法は、上記アルミニウム合金が、Al−Si合金でもよい。
また、本発明の他の実施形態に係る放熱基板用複合材料の製造方法は、上記Al−Si合金が、Al−(7〜11)質量%Siでもよい。
また、本発明の他の実施形態に係る放熱基板用複合材料の製造方法は、上記加熱工程における加熱温度が、上記アルミニウム合金の液相線温度以上650℃以下の温度でもよい。
(放熱基板用複合材料の製造方法)
本実施形態の放熱基板用複合材料(以下、複合材料ということがある。)の製造方法は、混合工程と、加熱工程と、鍛造工程とを少なくとも含む。なお、上記混合工程と上記加熱工程との間に、予備成形工程を含んでもよい。
(実施例1)
アルミニウム合金の成分組成がAl−8.3質量%Siとなるように、平均粒径30μmの純アルミニウムの粉末と、平均粒径54μmのAl−11質量%Si粉末を混合した。このアルミニウム合金の粉末に対してさらに、平均粒径40μmの緑色炭化けい素の粒子を質量比で、上記アルミニウム合金の粉末:緑色炭化けい素の粒子=46:54、となるように、Vブレンダーにより3時間、混合した(混合工程)。なお、上記アルミニウム合金の粉末と上記緑色炭化けい素の粒子の混合比は、体積比で50:50である。また、Al−8.3質量%Siの液相線温度は607℃である。
Claims (7)
- アルミニウム合金の粉末と、炭化けい素の粒子とを混合して混合物を得る混合工程と、
前記混合物をアルミニウム製の枠内に充填して加熱する加熱工程と、
前記アルミニウム合金が溶融状態となった半溶融状態の前記混合物を鍛造する鍛造工程とを含み、
前記炭化けい素の粒子同士が接していることを特徴とする放熱基板用複合材料の製造方法。 - 前記アルミニウム合金が、Al−Si合金であることを特徴とする請求項1に記載の放熱基板用複合材料の製造方法。
- 前記Al−Si合金が、Al−(7〜11)質量%Siであることを特徴とする請求項2に記載の放熱基板用複合材料の製造方法。
- 前記加熱工程における加熱温度が、前記アルミニウム合金の液相線温度以上650℃以下の温度であることを特徴とする請求項1に記載の放熱基板用複合材料の製造方法。
- 前記鍛造工程における鍛造条件が、100MPa〜300MPaの圧力を1秒間〜20秒間作用させることを特徴とする請求項1に記載の放熱基板用複合材料の製造方法。
- 請求項1〜5のいずれか1項に記載の放熱基板用複合材料の製造方法により得られたことを特徴とする放熱基板用複合材料。
- 粉末冶金法を用いて製造され、
アルミニウム合金及び炭化けい素を含有し、前記炭化けい素の粒子同士が接していることを特徴とする放熱基板用複合材料。
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