JPWO2013008652A1 - 光重合開始剤、感光性組成物及び硬化物 - Google Patents
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Abstract
Description
−C(R11)=N−O−C(R12)=O (1)
(ただし、R11及びR12は置換基を有していてもよい炭素原子数1〜20の飽和又は不飽和の一価の有機基を表す。R11及びR12は分岐構造や環構造を形成していてもよく、任意の位置にヘテロ原子が存在していてもよい。また、R11はインドール骨格上の置換基と結合していてもよい。更に、R11は水素原子でもよい。)
本発明の光重合開始剤は、置換基を有していてもよいインドール骨格にオキシムエステル結合を有する基が結合してなる。ここで、インドール骨格は少なくとも1つのニトロ基で置換されていることが必要であり、その置換位置は5位であることが好ましい。また、オキシムエステル結合を有する基としては下記一般式(1)で表される基が有利であり、このオキシムエステル結合を有する基がインドール骨格の3位に直接又はカルボニル基を介して結合していることが好ましい。
−C(R11)=N−O−C(R12)=O (1)
(ただし、R11及びR12は置換基を有していてもよい炭素原子数1〜20の飽和又は不飽和の一価の有機基を表す。R11及びR12は分岐構造や環構造を形成していてもよく、任意の位置にヘテロ原子が存在していてもよい。また、R11はインドール骨格上の置換基と結合していてもよい。更に、R11は水素原子でもよい。)
で表される。ここで、R1、R2、R4、R6及びR7は任意の置換基であってよいが、置換基を有していてもよい炭素原子数1〜20の飽和又は不飽和の一価の有機基であるか、水素原子、ハロゲン原子又はニトロ基であることが好ましい。かかる一価の有機基の場合、R1、R2、R4、R6及びR7は分岐構造や環構造を形成していてもよく、任意の位置にヘテロ原子が存在していてもよく、また相互に結合していてもよい。なお、R11及びR12は一般式(1)と同様である。
(ただし、R1a及びR11aは置換基を有していてもよい炭素原子数1〜20の飽和又は不飽和の二価の有機基を表す。R1、R2、R4、R6、R7、R11及びR12は一般式(1)及び(2)と同様である。)
(ただし、R1、R2、R4、R6、R7、R11及びR12は一般式(1)及び(2)と同様であり、R1a及びR11aは一般式(19)及び(20)と同様である。)
(光重合開始剤の合成)
以下4ステップの反応により、1−(1−エチル−5−ニトロインドール−3−イル)エタノン=O−アセチルオキシム(式(3)の化合物)を合成した。反応はガラス製反応器を用いて常圧下実施した。
実施例1と同様にして、1−(1−アリル−5−ニトロインドール−3−イル)エタノン=O−アセチルオキシム(式(4)の化合物)を合成した。ただしステップ1ではブロモエタンの代わりに3−ブロモプロペンを用い、油状の生成物を溶媒抽出により回収した。得られた純品を重クロロホルム中400MHzの1H−NMRで同定したところ、次の結果を示した。δ=9.29(d,1H,R4)、8.19(dd,1H,R6)、7.57(s,1H,R2)、7.37(d,1H,R7)、6.01(ddt,1H,R1)、5.33(ddt,1H,R1)、5.15(ddt,1H,R1)、4.81(ddd,2H,R1)、2.42(s,3H,R11)、2.39(s,3H,R12)。なお、ステップ1の生成物は1−アリル−5−ニトロインドール、ステップ2の生成物は1−(1−アリル−5−ニトロインドール−3−イル)エタノン、ステップ3の生成物は1−(1−アリル−5−ニトロインドール−3−イル)エタノン=オキシムであった。
実施例1と同様にして、1−(1−ブチル−5−ニトロインドール−3−イル)エタノン=O−アセチルオキシム(式(5)の化合物)を合成した。ただしステップ1ではブロモエタンの代わりに1−ブロモブタンを用い、油状の生成物を溶媒抽出により回収した。得られた純品を重クロロホルム中400MHzの1H−NMRで同定したところ、次の結果を示した。δ=9.27(d,1H,R4)、8.19(dd,1H,R6)、7.56(s,1H,R2)、7.38(d,1H,R7)、4.19(t,2H,R1)、2.42(s,3H,R11)、2.39(s,3H,R12)、1.87(tt,2H,R1)、1.37(tq,2H,R1)、0.97(t,3H,R1)。なお、ステップ1の生成物は1−ブチル−5−ニトロインドール、ステップ2の生成物は1−(1−ブチル−5−ニトロインドール−3−イル)エタノン、ステップ3の生成物は1−(1−ブチル−5−ニトロインドール−3−イル)エタノン=オキシムであった。
実施例1と同様にして、1−(1−エチル−5−ニトロインドール−3−イル)プロパン−1−オン=O−アセチルオキシム(式(6)の化合物)を合成した。ただしステップ2では塩化アセチルの代わりに塩化プロピオニルを用いた。得られた純品を重クロロホルム中400MHzの1H−NMRで同定したところ、次の結果を示した。δ=9.27(d,1H,R4)、8.19(dd,1H,R6)、7.60(s,1H,R2)、7.39(d,1H,R7)、4.26(q,2H,R1)、2.84(q,2H,R11)、2.39(s,3H,R12)、1.55(t,3H,R1)、1.29(t,3H,R11)。なお、ステップ2の生成物は1−(1−エチル−5−ニトロインドール−3−イル)プロパン−1−オン、ステップ3の生成物は1−(1−エチル−5−ニトロインドール−3−イル)プロパン−1−オン=オキシムであった。
実施例1と同様にして、1−(1−エチル−5−ニトロインドール−3−イル)エタノン=O−プロピオニルオキシム(式(7)の化合物)を合成した。ただしステップ4では無水酢酸の代わりに無水プロピオン酸を用いた。得られた純品を重クロロホルム中400MHzの1H−NMRで同定したところ、次の結果を示した。δ=9.28(d,1H,R4)、8.19(dd,1H,R6)、7.59(s,1H,R2)、7.38(d,1H,R7)、4.25(q,2H,R1)、2.68(q,2H,R12)、2.41(s,3H,R11)、1.54(t,3H,R1)、1.31(t,3H,R12)。
実施例1と同様にして、1−(1−エチル−5−ニトロインドール−3−イル)エタノン=O−シクロプロパンカルボニルオキシム(式(8)の化合物)を合成した。ただしステップ4では無水酢酸の代わりに塩化シクロプロパンカルボニルを用い、ピリジンを溶媒として室温で4時間反応させた。得られた純品を重クロロホルム中400MHzの1H−NMRで同定したところ、次の結果を示した。δ=9.30(d,1H,R4)、8.18(dd,1H,R6)、7.59(s,1H,R2)、7.37(d,1H,R7)、4.25(q,2H,R1)、2.44(s,3H,R11)、1.96(tt,1H,R12)、1.54(t,3H,R1)、1.21(dt,2H,R12)、1.03(dt,2H,R12)。
実施例1と同様にして、1−(1−エチル−5−ニトロインドール−3−イル)エタノン=O−ピバロイルオキシム(式(9)の化合物)を合成した。ただしステップ4では無水酢酸の代わりに塩化ピバロイルを用い、ピリジンを溶媒として室温で4時間反応させた。得られた純品を重クロロホルム中400MHzの1H−NMRで同定したところ、次の結果を示した。δ=9.32(d,1H,R4)、8.18(dd,1H,R6)、7.59(s,1H,R2)、7.37(d,1H,R7)、4.24(q,2H,R1)、2.41(s,3H,R11)、1.54(t,3H,R1)、1.37(s,9H,R12)。
実施例1と同様にして、1−(1−エチル−5−ニトロインドール−3−イル)プロパン−1−オン=O−アクリロイルオキシム(式(10)の化合物)を合成した。ただしステップ2では塩化アセチルの代わりに塩化プロピオニルを用い、ステップ4では無水酢酸の代わりに無水アクリル酸を用いた。得られた純品を重クロロホルム中400MHzの1H−NMRで同定したところ、次の結果を示した。δ=9.32(d,1H,R4)、8.19(dd,1H,R6)、7.60(s,1H,R2)、7.38(d,1H,R7)、6.61(dd,1H,R12)、6.40(dd,1H,R12)、5.98(dd,1H,R12)、4.26(q,2H,R1)、2.86(q,2H,R11)、1.55(t,3H,R1)、1.31(t,3H,R11)。なお、ステップ2の生成物は1−(1−エチル−5−ニトロインドール−3−イル)プロパン−1−オン、ステップ3の生成物は1−(1−エチル−5−ニトロインドール−3−イル)プロパン−1−オン=オキシムであった。
(感光性組成物の作製)
実施例1で合成した光重合開始剤0.10重量%、ビスフェノールフルオレン型エポキシジアクリレート構造を有するアルカリ現像型感光性樹脂(オレフィン結合を有する重合性化合物)の56.5重量%プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート溶液(新日鐵化学社製「V−259ME」)26.20重量%、ペンタエリスリトールテトラアクリレート(オレフィン結合を有する重合性化合物)5.00重量%、シリコーン系界面活性剤(東レ・ダウコーニング社製「FZ−2122」)0.05重量%、3−(グリシジルオキシ)プロピルトリメトキシシラン(シランカップリング剤)0.05重量%及びプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート(溶剤)68.60重量%の割合で配合を行い、室温で3時間攪拌混合して感光性組成物を作製した。かかる感光性組成物は、固形分濃度20.0重量%のアルカリ現像可能なネガ型の透明フォトレジストである。なお、ここで固形分とは溶剤以外の成分をいう。
上記感光性組成物を無アルカリガラス基板にスピンコーターを用いて塗布し、80℃のホットプレートで1分間乾燥させて試験片を作成した。このとき、膜厚1.0μmの硬化膜が得られるように塗布条件(スピン回転数)を調節した。次に、透過率を0〜100%の間で段階的に変化させたフォトマスク及び350nm以下の光を吸収するカットフィルターを介して、照度30mW/cm2(i線基準)の超高圧水銀ランプで100mJ/cm2(i線基準)の紫外線を照射して試験片に画像露光を行った。その後、試験片を23℃のアルカリ現像液(新日鐵化学社製「V−2401ID」の10倍希釈液)で1分間処理し、更に水洗を行って画像を現像した。この画像は、光硬化に必要な露光量を読み取ることができるものである。最後に試験片を230℃の熱風オーブンで30分間焼成し、感光性組成物の硬化膜を得た。画像から判定された光硬化に必要な露光量は23mJ/cm2(i線基準)であった。
実施例11における光重合開始剤を実施例2で合成した光重合開始剤に変更し、その他は実施例11と同様にして感光性組成物を作製し評価を行った。画像から判定された光硬化に必要な露光量は23mJ/cm2(i線基準)であった。
実施例11における光重合開始剤を実施例3で合成した光重合開始剤に変更し、その他は実施例11と同様にして感光性組成物を作製し評価を行った。画像から判定された光硬化に必要な露光量は26mJ/cm2(i線基準)であった。
実施例11における光重合開始剤を実施例4で合成した光重合開始剤に変更し、その他は実施例11と同様にして感光性組成物を作製し評価を行った。画像から判定された光硬化に必要な露光量は23mJ/cm2(i線基準)であった。
実施例11における光重合開始剤を1−[9−エチル−6−(2−メチルベンゾイル)カルバゾール−3−イル]エタノン=O−アセチルオキシム(下記式(24)で示される化合物、BASF社製「イルガキュアOXE02」)に変更し、その他は実施例11と同様にして感光性組成物を作製し評価を行った。画像から判定された光硬化に必要な露光量は37mJ/cm2(i線基準)であって、実施例11〜14と比較して感度が低いことが示された(硬化に必要な露光量が少ないほど高感度である)。
実施例11における光重合開始剤を1−(1−エチルインドール−3−イル)エタノン=O−アセチルオキシム(下記式(25)で示される化合物)に変更し、その他は実施例11と同様にして感光性組成物を作製し評価を行った。その結果、感光性組成物は光硬化せずにアルカリ現像液にすべて溶解してしまい、実施例11〜14と比較して感度が低いことが示された。
実施例11における光重合開始剤を1−[1−エチル−5−(2−メチルベンゾイル)インドール−3−イル]エタノン=O−アセチルオキシム(下記式(26)で示される化合物)に変更し、その他は実施例11と同様にして感光性組成物を作製し評価を行った。画像から判定された光硬化に必要な露光量は83mJ/cm2(i線基準)であって、実施例11〜14と比較して感度が低いことが示された。
(感光性組成物の作製)
実施例1で合成した光重合開始剤0.60重量%、ビスフェノールフルオレン型エポキシジアクリレート構造を有するアルカリ現像型感光性樹脂(オレフィン結合を有する重合性化合物)の56.5重量%プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート溶液(新日鐵化学社製「V−259ME」)8.23重量%、ペンタエリスリトールテトラアクリレート(オレフィン結合を有する重合性化合物)1.35重量%、カーボンブラック顔料(着色材)をカチオン性高分子分散剤でプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートに分散した分散液(カーボンブラック顔料濃度30.0重量%、固形分濃度34.5重量%)26.69重量%、フッ素系界面活性剤(DIC社製「メガファックF−556」)0.05重量%、3−(グリシジルオキシ)プロピルトリメトキシシラン(シランカップリング剤)0.15重量%、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート(溶剤)29.33重量%及びシクロヘキサノン(溶剤)33.60重量%の割合で配合を行い、室温で3時間攪拌混合して感光性組成物を作製した。かかる感光性組成物は、固形分濃度16.0重量%のアルカリ現像可能なネガ型の遮光性フォトレジストである。
上記感光性組成物を無アルカリガラス基板にスピンコーターを用いて塗布し、90℃のホットプレートで1分間乾燥させて試験片を作成した。このとき、膜厚1.0μmの硬化膜が得られるように塗布条件(スピン回転数)を調節した。次に、線幅5μmのマトリクス状のパターンを有するフォトマスクを介して、照度30mW/cm2(i線基準)の超高圧水銀ランプで100mJ/cm2(i線基準)の紫外線を照射して試験片に画像露光を行った。その後、試験片を23℃のアルカリ現像液(新日鐵化学社製「V−2401ID」の10倍希釈液)で1分間処理し、更に水洗を行って画像を現像した。最後に試験片を230℃の熱風オーブンで30分間焼成し、感光性組成物の硬化膜を得た。試験片には直線性良好で現像残渣のない線幅5μmの高品位なブラックマトリクスが形成された。ブラックマトリクスの光学濃度は4.4/μmであり、高い遮光性を有していた。
実施例21における光重合開始剤を実施例2で合成した光重合開始剤に変更し、その他は実施例21と同様にして感光性組成物を作製し評価を行った。試験片には直線性良好で現像残渣のない線幅5μmの高品位なブラックマトリクスが形成された。ブラックマトリクスの光学濃度は4.4/μmであり、高い遮光性を有していた。
実施例21における光重合開始剤を実施例3で合成した光重合開始剤に変更し、その他は実施例21と同様にして感光性組成物を作製し評価を行った。試験片には直線性良好で現像残渣のない線幅5μmの高品位なブラックマトリクスが形成された。ブラックマトリクスの光学濃度は4.4/μmであり、高い遮光性を有していた。
実施例21における光重合開始剤を実施例4で合成した光重合開始剤に変更し、その他は実施例21と同様にして感光性組成物を作製し評価を行った。試験片には直線性良好で現像残渣のない線幅5μmの高品位なブラックマトリクスが形成された。ブラックマトリクスの光学濃度は4.4/μmであり、高い遮光性を有していた。
実施例21における光重合開始剤を1−[9−エチル−6−(2−メチルベンゾイル)カルバゾール−3−イル]エタノン=O−アセチルオキシム(式(24)で示される化合物、BASF社製「イルガキュアOXE02」)に変更し、その他は実施例21と同様にして感光性組成物を作製し評価を行った。その結果、現像で除去されるべき未露光部が現像後も基板上に残存してブラックマトリクスを得ることはできず、感光性組成物の現像液への溶解性が不足していることが示された。
Claims (5)
- 置換基を有していてもよいインドール骨格にオキシムエステル結合を有する基が結合しており、かつインドール骨格が少なくとも1つのニトロ基で置換されていることを特徴とする光重合開始剤。
- インドール骨格の3位に下記一般式(1)で表されるオキシムエステル結合を有する基が直接又はカルボニル基を介して結合し、かつインドール骨格の5位がニトロ基で置換されている請求項1に記載の光重合開始剤。
−C(R11)=N−O−C(R12)=O (1)
(ただし、R11及びR12は置換基を有していてもよい炭素原子数1〜20の飽和又は不飽和の一価の有機基を表す。R11及びR12は分岐構造や環構造を形成していてもよく、任意の位置にヘテロ原子が存在していてもよい。また、R11はインドール骨格上の置換基と結合していてもよい。更に、R11は水素原子でもよい。) - オレフィン結合を有する重合性化合物及び請求項1又は2に記載の光重合開始剤を含有する感光性組成物。
- 溶剤としてプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートを含有する請求項3に記載の感光性組成物。
- 請求項3又は4に記載の感光性組成物を硬化した硬化物。
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