JPWO2012133373A1 - 磁気ディスク用ガラス基板の製造方法 - Google Patents
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Abstract
ハードディスクに取り込んだ際に安定したヘッド浮上量が得られる磁気ディスク用ガラス基板の製造方法を提供する。本発明の磁気ディスク用ガラス基板の製造方法は、円盤状のガラス基板前駆体の主表面を研磨する工程を含むものであって、該主表面を研磨する工程は、少なくとも粗研磨工程と精密研磨工程との2段階の研磨を行なうものであり、粗研磨工程と精密研磨工程との間に洗浄工程を含み、該洗浄工程は、100nm/min以下の速度でガラス基板前駆体の主表面を除去する工程であることを特徴とする。
Description
本発明は、磁気ディスク用ガラス基板の製造方法に関する。
近年、ハードディスクドライブ(HDD)においては、磁気記録媒体の記録容量が高密度化してきている。これに伴い、磁気記録媒体と記録の読み書きを行なうヘッドとのギャップ(ヘッド浮上量)は数nmレベルまで低下している。ヘッド浮上量が低下すると、ヘッドと磁気記録媒体とが衝突してヘッドクラッシュと呼ばれる現象が起き、ハードディスクの読み書きエラーが起こりやすくなる。
上記のエラーの原因はいくつか考えられるが、その原因の1つとしてガラス基板の表面に付着した付着物による影響を挙げることができる。すなわち、ガラス基板の表面に付着物が付着していることにより、ヘッド浮上量が不均一になりヘッドクラッシュが生じやすくなる。上記の付着物は、研磨工程で研磨剤として用いられる酸化セリウムやコロイダルシリカの他、環境にわずかに存在する鉄およびその酸化物、カーボン等の可能性が考えられる。これらの中でも、特に酸化セリウムはガラス基板に残存しやすい。このため、これまでガラス基板の表面に付着した酸化セリウムを除去する種々の試みがなされている。
たとえば特開2008−269767号公報(特許文献1)では、酸化セリウムを用いてガラス基板の表面を研磨した後に、ガラス基板の主表面をエッチングすることにより、ガラス基板の表面に付着した酸化セリウムを除去する方法が開示されている。
しかしながら、特許文献1のガラス基板を用いて作製した磁気ディスクをハードディスクに搭載して使用すると、ヘッド浮上量が不均一になり、ヘッドと衝突したり、読み書きエラーが生じたりすることがあった。
本発明は、このような状況下においてなされたものであり、その目的とするところは、ハードディスクに取り込んだ際に安定したヘッド浮上量が得られる磁気ディスク用ガラス基板の製造方法を提供することにある。
本発明者らは、特許文献1の方法で作製したガラス基板のヘッド浮上量が不均一になる原因を検討したところ、ガラス基板の端面部の平坦性および平滑性が劣ることが原因であることを見出した。さらに、この端面部の平坦性および平滑性が劣る原因を検討したところ、ガラス基板の主表面を除去する洗浄工程において、ガラス基板を洗浄溶液から引き上げたときにエッチング液の液ダレが生じ、この液ダレが原因でガラス基板の中心側から見て外周側が過剰にエッチングされることに起因するのではないかとの知見を得た。
本発明者らは、かかる知見に基づき、研磨工程後のガラス基板の洗浄工程で行なうエッチングの条件に関し、鋭意検討を重ねることにより本発明を完成した。すなわち、本発明の磁気ディスク用ガラス基板の製造方法は、円盤状のガラス基板前駆体の主表面を研磨する工程を含むものであって、該主表面を研磨する工程は、少なくとも粗研磨工程と精密研磨工程との2段階の研磨を行なうものであり、粗研磨工程と精密研磨工程との間に洗浄工程を含み、該洗浄工程は、100nm/min以下の速度でガラス基板前駆体の主表面を除去する工程であることを特徴とする。
上記の洗浄工程は、30〜50mN/mの表面張力の溶液を用いてガラス基板前駆体の主表面を除去する工程であることが好ましい。上記のような表面張力を有するエッチング液でガラス基板前駆体の主表面を除去することにより、端面部の平坦度および平滑性を高めることができる。表面張力が30mN/m未満であると、気泡が発生しやすくなるため、ガラス基板前駆体の全面にエッチングムラが発生してしまう。また、端面部付近に泡が集まりやすくなるため、結果としてガラス基板前駆体の端部の平滑性および平坦性に影響がある。また、50mN/mを超えると、ガラス基板前駆体への濡れ性が悪くなり、端部付近の平坦度および平滑性に影響がある。洗浄工程は、ガラス基板前駆体の主表面から30〜100nmの厚みを除去する工程であることが好ましい。30nmより除去量が少ないと洗浄効果を十分に得ることができない可能性がある。また、100nmを超えると、ガラス基板前駆体の端部の形状に影響を与える。上記の精密研磨工程は、ガラス基板前駆体の主表面から0.3μm以上5μm以下の厚みを除去する工程であることが好ましい。0.3μm未満である場合は、ガラス基板前駆体の主表面を除去する工程で悪化した表面粗さやうねりを修正しきれない。また、5μmを超える厚みを除去すると、ガラス基板前駆体の端面部にいわゆるダレが発生する。
本発明の磁気ディスク用ガラス基板の製造方法は、上記のような構成を有することにより、ハードディスクに取り込んだ際に安定したヘッド浮上量が得られる磁気ディスク用ガラス基板を製造し得るという極めて優れた効果を示す。
以下、本発明の磁気ディスク用ガラス基板およびその製造方法について図面およびフローチャートを用いて説明する。なお、長さ、幅、厚さ、深さなどの寸法関係は図面の明瞭化と簡略化のために適宜に変更されており、実際の寸法関係を表わすものではない。
<磁気ディスク用ガラス基板>
図1は、本発明の製造方法によって製造される磁気ディスク用ガラス基板の一例を示す斜視図である。本発明の製造方法によって製造される磁気ディスク用ガラス基板は、ハードディスクドライブ装置等の情報記録装置において情報記録媒体の基板として用いられるものである。このような磁気ディスク用ガラス基板は、図1に示されるように円盤形状であり、その中心に孔1Hが形成されている。磁気ディスク用ガラス基板1の表面とは、表主表面1A、裏主表面1B、内周端面1C、および外周端面1Dを意味する。
図1は、本発明の製造方法によって製造される磁気ディスク用ガラス基板の一例を示す斜視図である。本発明の製造方法によって製造される磁気ディスク用ガラス基板は、ハードディスクドライブ装置等の情報記録装置において情報記録媒体の基板として用いられるものである。このような磁気ディスク用ガラス基板は、図1に示されるように円盤形状であり、その中心に孔1Hが形成されている。磁気ディスク用ガラス基板1の表面とは、表主表面1A、裏主表面1B、内周端面1C、および外周端面1Dを意味する。
本発明の磁気ディスク用ガラス基板1の大きさや形状は特に限定されず、たとえば0.8インチ、1.0インチ、1.8インチ、2.5インチ、または3.5インチである。磁気ディスク用ガラス基板1の厚さは、破損防止の観点からたとえば0.30〜2.2mmであることが好ましい。なお、磁気ディスク用ガラス基板1の厚さは、ガラス基板上の点対象となる任意の複数の点で測定した値の平均によって算出される。本発明の磁気ディスク用ガラス基板1の代表的な一例を示すと、磁気ディスク用ガラス基板の外径が約64mmであり、内径が約20mmであり、厚さが約0.8mmである。なお、一般的に2.5インチ型のハードディスクには、外径が65mmの磁気ディスク用ガラス基板を用いる。
本発明の磁気ディスク用ガラス基板を構成する材料は、アルミノシリケートガラスが好適に用いられる。かかるアルミノシリケートガラスの組成は、58質量%〜75質量%のSiO2、5質量%〜23質量%のAl2O3、3質量%〜10質量%のLi2O、4質量%〜13質量%のNa2Oを主成分として含有するものである。なお、このようなアルミノシリケートガラスのみに限定されるものではなく、種々のガラスの組成を用いることができる。
<磁気ディスク用ガラス基板の製造方法>
本発明の磁気ディスク用ガラス基板の製造方法は、円盤状のガラス基板前駆体の主表面を研磨する研磨工程を含むものであって、該研磨工程は、少なくとも粗研磨工程と精密研磨工程との2段階の研磨を行なうものであり、粗研磨工程と精密研磨工程との間に洗浄工程を含み、該洗浄工程は、ガラス基板前駆体の主表面を100nm/min以下の速度で除去する工程であることを特徴とする。
本発明の磁気ディスク用ガラス基板の製造方法は、円盤状のガラス基板前駆体の主表面を研磨する研磨工程を含むものであって、該研磨工程は、少なくとも粗研磨工程と精密研磨工程との2段階の研磨を行なうものであり、粗研磨工程と精密研磨工程との間に洗浄工程を含み、該洗浄工程は、ガラス基板前駆体の主表面を100nm/min以下の速度で除去する工程であることを特徴とする。
本発明のように洗浄工程においてガラス基板前駆体の主表面を100nm/min以下の速度でエッチングすることにより、エッチング液が液ダレを起こしても、ガラス基板前駆体を過剰にエッチングすることがないため、ガラス基板前駆体の平坦性および平滑性を高めることができる。このようにして作製された磁気ディスク用ガラス基板は、平坦性および平滑性が高いため、ヘッドクラッシュが生じにくいという優れた性質を示す。
本発明の磁気ディスク用ガラス基板を製造する方法は、このように粗研磨工程と精密研磨工程との間に洗浄工程を行なう限り、他の工程を含むことができる。ここで、他の工程としては、たとえば溶融ガラスを円盤状に加工するダイレクトプレス工程、ガラス基板前駆体の中心に穴をあけるコアリング工程、ガラス基板前駆体の内周端面および外周端面を面取りする内外加工工程、ガラス基板前駆体の主表面を研削するラッピング工程等を挙げることができる。
以下においては、ダイレクトプレス法によってガラス基板前駆体を作製する場合を説明するが、本発明の製造方法は、ダイレクトプレス法によってガラス基板前駆体を作製する方法のみに限定されるものではなく、ダウンドロー法やフロート法で形成したシートガラスを研削砥石で切り出してガラス基板前駆体を作製しても差し支えない。
本発明の磁気ディスク用ガラス基板を図2のフローチャートにしたがって作製するときの各工程を説明する。なお、本発明の磁気ディスク用ガラス基板の製造方法は、粗研磨工程と洗浄工程と精密研磨工程とをこの順に含み、該洗浄工程が上記の速度でガラス基板前駆体の主表面を除去する限り、さらにこれらの各工程の間に洗浄工程または研磨工程を含んでもよいし、その他の工程の順序を適宜変更しても差し支えない。
(ダイレクトプレス工程:ステップS10)
まず、ガラス素材を溶融させて溶融ガラスを準備する。この溶融ガラスを下型に流し込み、上型および胴型によってプレス成形することにより円盤状のガラス基板前駆体を得る。このようにして溶融ガラスからガラス基板前駆体を得る工程のことをダイレクトプレス工程と呼ぶ。なお、上述したように、本発明の製造方法は、ダイレクトプレス工程によってガラス基板前駆体を作製するもののみに限られるものではなく、ダウンドロー法やフロート法を用いてもよい。
まず、ガラス素材を溶融させて溶融ガラスを準備する。この溶融ガラスを下型に流し込み、上型および胴型によってプレス成形することにより円盤状のガラス基板前駆体を得る。このようにして溶融ガラスからガラス基板前駆体を得る工程のことをダイレクトプレス工程と呼ぶ。なお、上述したように、本発明の製造方法は、ダイレクトプレス工程によってガラス基板前駆体を作製するもののみに限られるものではなく、ダウンドロー法やフロート法を用いてもよい。
(コアリング加工工程:ステップS20)
次に、コアリング加工工程で、ガラス基板前駆体の中心部に穴を開ける。穴開けは、カッター部にダイヤモンド砥石等を備えたコアドリル等で研削することで中心部に穴を開ける。穴の大きさは、ガラス基板前駆体の外径によって適宜変更することができ、たとえば外形が65mmのガラス基板前駆体の中心部には20mmの内径の孔(中心部の孔1Hの直径)を開ける。
次に、コアリング加工工程で、ガラス基板前駆体の中心部に穴を開ける。穴開けは、カッター部にダイヤモンド砥石等を備えたコアドリル等で研削することで中心部に穴を開ける。穴の大きさは、ガラス基板前駆体の外径によって適宜変更することができ、たとえば外形が65mmのガラス基板前駆体の中心部には20mmの内径の孔(中心部の孔1Hの直径)を開ける。
(粗ラッピング工程:ステップS30)
上記のガラス基板前駆体の表裏の両面に対し、ラッピング加工を施す。ここで、粗ラッピング加工では、たとえば両面ラッピング装置によって行なう。これによりガラス基板前駆体の全体形状、平行度、平坦度および厚みを予備的に調整することができる。
上記のガラス基板前駆体の表裏の両面に対し、ラッピング加工を施す。ここで、粗ラッピング加工では、たとえば両面ラッピング装置によって行なう。これによりガラス基板前駆体の全体形状、平行度、平坦度および厚みを予備的に調整することができる。
(内外加工工程:ステップS40)
次に、内外加工工程において、上記のガラス基板前駆体の外周端面および内周端面の面取り加工を行なう。これによりガラス基板前駆体の端面の平坦度を高めることができる。
次に、内外加工工程において、上記のガラス基板前駆体の外周端面および内周端面の面取り加工を行なう。これによりガラス基板前駆体の端面の平坦度を高めることができる。
(端面研磨工程:ステップS50)
続いて、端面研磨工程では、研磨砥粒として酸化セリウム砥粒を含むスラリー(遊離砥粒)を用いたブラシ研磨法により、ガラス基板前駆体の外周端面および内周端面を研磨する。ブラシ研磨法ではガラス基板前駆体を回転させながら外周端面および内周端面を研磨する。上記の内周側端面に対し、さらに磁気研磨法による研磨を行なうことにより、ガラス基板前駆体の内周端面を鏡面状態に加工する。そして、最後にガラス基板前駆体の表面を水で洗浄する。
続いて、端面研磨工程では、研磨砥粒として酸化セリウム砥粒を含むスラリー(遊離砥粒)を用いたブラシ研磨法により、ガラス基板前駆体の外周端面および内周端面を研磨する。ブラシ研磨法ではガラス基板前駆体を回転させながら外周端面および内周端面を研磨する。上記の内周側端面に対し、さらに磁気研磨法による研磨を行なうことにより、ガラス基板前駆体の内周端面を鏡面状態に加工する。そして、最後にガラス基板前駆体の表面を水で洗浄する。
(精ラッピング工程:ステップS60)
次いで、精ラッピング工程では、固定砥粒研磨パッドを用いてガラス基板前駆体の表裏を研削する。かかる精ラッピング工程は、遊星歯車機構を利用した両面研削機と呼ばれる公知の研削機を使用して研削することができる。この両面研削機は、上下に配置された円盤状の上定盤と下定盤とが互いに平行に備えられており、上定盤および下定盤が対向するそれぞれの面にガラス基板前駆体の表裏を研削するための複数のダイヤモンドペレットが貼り付けてある。
次いで、精ラッピング工程では、固定砥粒研磨パッドを用いてガラス基板前駆体の表裏を研削する。かかる精ラッピング工程は、遊星歯車機構を利用した両面研削機と呼ばれる公知の研削機を使用して研削することができる。この両面研削機は、上下に配置された円盤状の上定盤と下定盤とが互いに平行に備えられており、上定盤および下定盤が対向するそれぞれの面にガラス基板前駆体の表裏を研削するための複数のダイヤモンドペレットが貼り付けてある。
上定盤と下定盤との間には、下定盤の外周に円環状に設けられたインターナルギアと下定盤の回転軸の周囲に設けられたサンギアとに結合して回転するキャリアが複数ある。このキャリアには、複数の穴が設けられており、この穴にガラス基板前駆体をはめ込んで配置する。なお、上定盤、下定盤、インターナルギア、およびサンギアは別駆動で動作することができ、上定盤および下定盤が互いに逆方向に回転する。
そして、ダイヤモンドペレットを介して定盤に挟まれているキャリアが、複数のガラス基板前駆体を保持した状態で、自転しながら定盤の回転中心に対して下定盤と同じ方向に公転する。このように動作する研削機において、上定盤とガラス基板前駆体の間および下定盤とガラス基板前駆体との間に研削液を供給することによりガラス基板前駆体の表裏の研削を行なうことができる。
この両面研磨機を使用する際、ガラス基板前駆体に加わる定盤の加重及び定盤の回転数を所望の研削状態に応じて適宜調整する。精ラッピング工程においては、第1ラッピング工程および第2ラッピング工程の2回に分けてラッピングを行なうことが好ましい。第1ラッピング工程および第2ラッピング工程における加重は、60g/cm2から120g/cm2とするのが好ましい。また、定盤の回転数は、10rpmから30rpm程度とし、上定盤の回転数を下定盤の回転数より30%から40%程度遅くするのが好ましい。第2ラッピング工程を終えた時点で、ガラス基板前駆体の大きなうねり、欠け、ひび等の欠陥は除去される。
上記の定盤による加重を大きくするか、または定盤の回転数を速くすると、ガラス基板前駆体の研削量は多くなるが、加重を大きくしすぎるとガラス基板前駆体の面粗さが悪くなるため好ましくない。また、定盤の回転数が速すぎると平坦度が良好とならない。また加重が小さすぎたり、定盤の回転数が遅すぎたりしても、研削量が少なくなるため製造効率が低くなる。
上記の精ラッピング工程を終えた後のガラス基板前駆体の主表面の面粗さは、Raが0.05〜0.4μmであることが好ましく、主表面の平坦度は、7〜10μmであることが好ましい。このような面状態とすることにより、後の第1ポリッシング工程での研磨の効率を高めることができる。
(主表面研磨工程:ステップS70)
主表面研磨工程は、少なくとも粗研磨工程と精密研磨工程との2段階の研磨を行なうものである。粗研磨工程は、精ラッピング工程でガラス基板前駆体の表裏に残留した傷や歪みを除去するために行なうものであり、精密研磨工程は、ガラス基板前駆体の表裏を鏡面加工するために行なうものである。本発明の磁気ディスク用ガラス基板の製造方法は、上記の粗研磨工程と精密研磨工程との間に洗浄工程を含み、該洗浄工程が、100nm/min以下の速度でガラス基板前駆体の主表面を除去する工程であることを特徴とする。以下においては、主表面研磨工程中の粗研磨工程、洗浄工程、精密研磨工程をこの順に説明する。
主表面研磨工程は、少なくとも粗研磨工程と精密研磨工程との2段階の研磨を行なうものである。粗研磨工程は、精ラッピング工程でガラス基板前駆体の表裏に残留した傷や歪みを除去するために行なうものであり、精密研磨工程は、ガラス基板前駆体の表裏を鏡面加工するために行なうものである。本発明の磁気ディスク用ガラス基板の製造方法は、上記の粗研磨工程と精密研磨工程との間に洗浄工程を含み、該洗浄工程が、100nm/min以下の速度でガラス基板前駆体の主表面を除去する工程であることを特徴とする。以下においては、主表面研磨工程中の粗研磨工程、洗浄工程、精密研磨工程をこの順に説明する。
(粗研磨工程:ステップS71)
まず、粗研磨工程では、ポリッシャがスウェードパッドである研磨パッドを上記の両面研磨機にセットし、ガラス基板前駆体の表裏を研磨する。そして、上記ガラス基板前駆体の主表面に付着している研磨剤等の付着物を洗浄によって除去する。このようにしてガラス基板前駆体の表裏に付着した付着物のうちの平均粒子径が大きなものを除去する。
まず、粗研磨工程では、ポリッシャがスウェードパッドである研磨パッドを上記の両面研磨機にセットし、ガラス基板前駆体の表裏を研磨する。そして、上記ガラス基板前駆体の主表面に付着している研磨剤等の付着物を洗浄によって除去する。このようにしてガラス基板前駆体の表裏に付着した付着物のうちの平均粒子径が大きなものを除去する。
(洗浄工程:ステップS72)
次に、洗浄工程では、ガラス基板前駆体をエッチング液に浸漬させることによって、その主表面に付着している研磨剤等の付着物を洗浄によって除去する。かかる洗浄工程では、100nm/min以下の速度でガラス基板前駆体の主表面を除去することを特徴とする。このような低速でガラス基板前駆体を洗浄することにより、洗浄液から取り出すときに液ダレが生じても、ガラス基板前駆体の外周の均一性が損なわれにくく、磁気ディスク用ガラス基板の平坦性および平滑性を高めることができる。
次に、洗浄工程では、ガラス基板前駆体をエッチング液に浸漬させることによって、その主表面に付着している研磨剤等の付着物を洗浄によって除去する。かかる洗浄工程では、100nm/min以下の速度でガラス基板前駆体の主表面を除去することを特徴とする。このような低速でガラス基板前駆体を洗浄することにより、洗浄液から取り出すときに液ダレが生じても、ガラス基板前駆体の外周の均一性が損なわれにくく、磁気ディスク用ガラス基板の平坦性および平滑性を高めることができる。
上記のように液ダレが生じたときにもガラス基板前駆体の外周がエッチングされにくくするためには、10〜80nm/minであることが好ましく、より好ましくは30〜60nm/minである。上記の洗浄によるガラス基板前駆体の除去速度は、エッチング液の液ダレが生じたときにもガラス基板前駆体の外周の均一性を損なわないという観点からは可能な限り遅くすることが好ましいが、10nm/min未満であると、ガラス基板前駆体の洗浄工程に要する時間が長くなりすぎるため製造上好ましくない。ガラス基板前駆体の除去速度が100nm/minを超えると、洗浄後の液ダレによってガラス基板前駆体の外周側が過剰にエッチングされ、外周側の均一性が損なわれるため好ましくない。
また、洗浄工程で用いるエッチング液は、30〜50mN/mの表面張力であることが好ましく、より好ましくは40〜48mN/mの表面張力である。このような表面張力のエッチング液を用いることにより、エッチング液がガラス基板前駆体の主表面に濡れやすくなるため、液ダレが発生しにくくなり、ガラス基板前駆体の外周部が過剰にエッチングされることを防止することができる。
ここで、洗浄工程では、ガラス基板前駆体の主表面から30〜100nmの厚みを除去することが好ましく、より好ましくは35〜80nmの厚みを除去することである。除去量の厚みが30nm未満であると、ガラス基板前駆体の除去量が足りずに、付着物がガラス基板前駆体の主表面に残るおそれがあり、100nmを超えると、ガラス基板前駆体の主表面をエッチングし過ぎる可能性がある。
洗浄工程で用いられるエッチング液としては、フッ化水素、フッ化水素アンモニウム、フッ化ナトリウム、フッ化ケイ素酸等を水に溶解させた水溶液を用いることが好ましく、たとえばフッ化水素を溶解させる場合は、0.1〜1質量%のフッ化水素を混合した水溶液を用いることがより好ましい。また、エッチング液の温度は、エッチング液の材料によっても異なるが、20〜50℃に調整した状態でガラス基板前駆体を浸漬させることが好ましい。また、ガラス基板前駆体をエッチング液に浸漬させるときは80kHz程度の超音波を照射することが好ましい。その後、中性洗剤で120kHzの超音波を照射してさらに超音波洗浄を行なってもよいし、純水でリンスを行なって主表面を処理してもよい。
(精密研磨工程:ステップS73)
続いて、精密研磨工程では、ガラス基板前駆体に対し、軟質ポリッシャ(スウェード)である研磨パッドを用いて、ガラス基板前駆体の表裏を研磨する。ここで、精密研磨工程では、ガラス基板前駆体の主表面から0.3μm以上の厚みを除去することが好ましい。0.3μm未満の厚みであると、上記の洗浄工程で発生した過剰なエッチングエリアを除去することができずに、磁気ディスク用ガラス基板の平滑性が低下することになるため好ましくない。また、精密研磨工程で用いる研磨剤としては、粗研磨工程で用いた酸化セリウムよりも微細なシリカ砥粒を用いることが好ましい。
続いて、精密研磨工程では、ガラス基板前駆体に対し、軟質ポリッシャ(スウェード)である研磨パッドを用いて、ガラス基板前駆体の表裏を研磨する。ここで、精密研磨工程では、ガラス基板前駆体の主表面から0.3μm以上の厚みを除去することが好ましい。0.3μm未満の厚みであると、上記の洗浄工程で発生した過剰なエッチングエリアを除去することができずに、磁気ディスク用ガラス基板の平滑性が低下することになるため好ましくない。また、精密研磨工程で用いる研磨剤としては、粗研磨工程で用いた酸化セリウムよりも微細なシリカ砥粒を用いることが好ましい。
(最終洗浄工程:ステップS80)
上記の研磨を終えたガラス基板前駆体に対し、中性洗剤および純水にて洗浄し乾燥させることが好ましい。このような洗浄を行なうことにより、ガラス基板前駆体に付着した異物を洗い流すことができる他、磁気ディスク用ガラス基板の主表面を安定にし、長期の保存安定性に優れたものとすることができる。以上のようにして磁気ディスク用ガラス基板を作製することができる。なお、このようにして作製した磁気ディスク用ガラス基板に対し、さらに磁気薄膜形成工程を行なうことにより、磁気ディスクを得ることができる。
上記の研磨を終えたガラス基板前駆体に対し、中性洗剤および純水にて洗浄し乾燥させることが好ましい。このような洗浄を行なうことにより、ガラス基板前駆体に付着した異物を洗い流すことができる他、磁気ディスク用ガラス基板の主表面を安定にし、長期の保存安定性に優れたものとすることができる。以上のようにして磁気ディスク用ガラス基板を作製することができる。なお、このようにして作製した磁気ディスク用ガラス基板に対し、さらに磁気薄膜形成工程を行なうことにより、磁気ディスクを得ることができる。
以下、実施例を挙げて本発明をより詳細に説明するが、本発明はこれらに限定されるものではない。
<実施例1>
本実施例では、以下の各工程の順に行なうことにより磁気ディスク用ガラス基板を製造した。
本実施例では、以下の各工程の順に行なうことにより磁気ディスク用ガラス基板を製造した。
(ダイレクトプレス工程:S10)
まず、ガラス素材を溶融させることにより溶融ガラスを準備した。この溶融ガラスを下型に流し入れて、上型および胴型を用いてダイレクトプレスすることにより、直径66mmφ、厚さ1.2mmの円盤状のガラス基板前駆体を得た。上記のガラス素材としては、アルミノシリケートガラスを用いた。
まず、ガラス素材を溶融させることにより溶融ガラスを準備した。この溶融ガラスを下型に流し入れて、上型および胴型を用いてダイレクトプレスすることにより、直径66mmφ、厚さ1.2mmの円盤状のガラス基板前駆体を得た。上記のガラス素材としては、アルミノシリケートガラスを用いた。
(コアリング加工工程:S20)
次に、カッター部にダイヤモンド砥石等を備えたコアドリルでガラス基板前駆体の中心部を研削することにより穴を開けた。このようにして外径が65mmのガラス基板前駆体の中心部に20mmの内径の孔(中心部の孔1Hの直径)を開けた。
次に、カッター部にダイヤモンド砥石等を備えたコアドリルでガラス基板前駆体の中心部を研削することにより穴を開けた。このようにして外径が65mmのガラス基板前駆体の中心部に20mmの内径の孔(中心部の孔1Hの直径)を開けた。
(粗ラッピング工程:S30)
次に、ガラス基板前駆体を両面ラッピング装置にセットして、#400(粒径約40〜60μm)の粒度のアルミナ砥粒を用いて、アルミナ上定盤の荷重を100kg程度に設定して、ガラス基板前駆体の表裏面を研磨した。このようにしてキャリア内に収納したガラス基板前駆体は、その両面の面精度が0μm〜1μmであり、表面粗さRmaxが6μm程度であった。
次に、ガラス基板前駆体を両面ラッピング装置にセットして、#400(粒径約40〜60μm)の粒度のアルミナ砥粒を用いて、アルミナ上定盤の荷重を100kg程度に設定して、ガラス基板前駆体の表裏面を研磨した。このようにしてキャリア内に収納したガラス基板前駆体は、その両面の面精度が0μm〜1μmであり、表面粗さRmaxが6μm程度であった。
(内外加工工程:S40)
次に、上記のガラス基板前駆体の外周端面および内周端面の面取り加工を行なった。これによりガラス基板前駆体の端面の面粗さは、Rmaxで2μm程度となった。
次に、上記のガラス基板前駆体の外周端面および内周端面の面取り加工を行なった。これによりガラス基板前駆体の端面の面粗さは、Rmaxで2μm程度となった。
(端面研磨工程:S50)
続いて、研磨砥粒として酸化セリウム砥粒を含むスラリー(遊離砥粒)を用いて、ブラシ研磨方法により、ガラス基板前駆体を回転させながらガラス基板前駆体の外周端面および内周端面を研磨した。ここでは、ガラス基板前駆体の外周端面および内周端面の表面粗さがRmaxで0.4μm、Raで0.1μm程度になるまで研磨を行なった。
続いて、研磨砥粒として酸化セリウム砥粒を含むスラリー(遊離砥粒)を用いて、ブラシ研磨方法により、ガラス基板前駆体を回転させながらガラス基板前駆体の外周端面および内周端面を研磨した。ここでは、ガラス基板前駆体の外周端面および内周端面の表面粗さがRmaxで0.4μm、Raで0.1μm程度になるまで研磨を行なった。
上記の内周側端面に対し、さらに磁気研磨法による研磨を行なうことにより、パーティクル等の発塵を防止する鏡面状態に加工した。そして、このようにして内周端面を研磨した後に、ガラス基板前駆体の主表面を水で洗浄した。
(精ラッピング工程:S60)
次いで、精ラッピング工程では、上記のガラス基板前駆体の表裏の両面を遊星歯車機構を利用した両面研削機にセットした。そして、ダイヤモンドシートを用いて、ガラス基板前駆体に加わる定盤の加重を60g/cm2から120g/cm2として、定盤の回転数を10rpmから30rpmとし、上の定盤の回転数を下の定盤回転数より30%から40%程度遅くして、ガラス基板前駆体の表裏を研磨した。このようにしてガラス基板前駆体の主表面の表面粗さRaが0.1μm以下で、平坦度を7μm以下となるまでラッピングを行なった。
次いで、精ラッピング工程では、上記のガラス基板前駆体の表裏の両面を遊星歯車機構を利用した両面研削機にセットした。そして、ダイヤモンドシートを用いて、ガラス基板前駆体に加わる定盤の加重を60g/cm2から120g/cm2として、定盤の回転数を10rpmから30rpmとし、上の定盤の回転数を下の定盤回転数より30%から40%程度遅くして、ガラス基板前駆体の表裏を研磨した。このようにしてガラス基板前駆体の主表面の表面粗さRaが0.1μm以下で、平坦度を7μm以下となるまでラッピングを行なった。
(主表面研磨工程:S70)
主表面研磨工程においては、以下のように粗研磨工程と精密研磨工程との間に洗浄工程を行なった。
主表面研磨工程においては、以下のように粗研磨工程と精密研磨工程との間に洗浄工程を行なった。
(粗研磨工程:S71)
まず、上述した両面研磨装置を用いて精ラッピング工程で残留した傷や歪みを除去するための粗研磨工程を行なった。この粗研磨工程においては、ポリッシャがスウェードパッドである研磨パッドを用いて、以下の条件でガラス基板前駆体の表裏を研磨した。
まず、上述した両面研磨装置を用いて精ラッピング工程で残留した傷や歪みを除去するための粗研磨工程を行なった。この粗研磨工程においては、ポリッシャがスウェードパッドである研磨パッドを用いて、以下の条件でガラス基板前駆体の表裏を研磨した。
研磨液 :酸化セリウム(平均粒径1.3μm)+水
荷 重 :80〜100g/cm2
研磨時間:30分〜50分
除去法 :35μm〜45μm
(洗浄工程:S72)
次に、上記ガラス基板前駆体の主表面に付着している研磨剤を洗浄によって除去した。該洗浄は、1質量%HFを含む水溶液をエッチング液として用い、これにガラス基板前駆体を浸漬させて、10nm/minのエッチングレートでガラス基板前駆体をエッチングすることにより行なった。このときエッチング液の温度を30℃に調整しており、エッチング液の表面張力は48mN/mであった。その後、中性洗剤で120kHzの超音波を照射して超音波洗浄を行ない、最後に純水でリンスを行なってIPA乾燥した。
荷 重 :80〜100g/cm2
研磨時間:30分〜50分
除去法 :35μm〜45μm
(洗浄工程:S72)
次に、上記ガラス基板前駆体の主表面に付着している研磨剤を洗浄によって除去した。該洗浄は、1質量%HFを含む水溶液をエッチング液として用い、これにガラス基板前駆体を浸漬させて、10nm/minのエッチングレートでガラス基板前駆体をエッチングすることにより行なった。このときエッチング液の温度を30℃に調整しており、エッチング液の表面張力は48mN/mであった。その後、中性洗剤で120kHzの超音波を照射して超音波洗浄を行ない、最後に純水でリンスを行なってIPA乾燥した。
(精密研磨工程:S73)
続いて、精密研磨工程では、軟質ポリッシャ(スウェード)である研磨パッドを用いて、ガラス基板前駆体の表裏を研磨し、ガラス基板前駆体の主表面から1μmの厚みを除去した。なお、精密研磨工程で用いる研磨剤としては、粗研磨工程で用いた酸化セリウムよりも微細なシリカ砥粒を用いた。
続いて、精密研磨工程では、軟質ポリッシャ(スウェード)である研磨パッドを用いて、ガラス基板前駆体の表裏を研磨し、ガラス基板前駆体の主表面から1μmの厚みを除去した。なお、精密研磨工程で用いる研磨剤としては、粗研磨工程で用いた酸化セリウムよりも微細なシリカ砥粒を用いた。
(最終洗浄工程:S80)
上記研磨処理を終えたガラス基板前駆体に対し、中性洗剤および純水にて洗浄し乾燥させた。以上のようにして本実施例の磁気ディスク用ガラス基板を作製した。
上記研磨処理を終えたガラス基板前駆体に対し、中性洗剤および純水にて洗浄し乾燥させた。以上のようにして本実施例の磁気ディスク用ガラス基板を作製した。
<実施例2〜10、比較例1>
上記の実施例1に対し、洗浄工程におけるガラス基板前駆体のエッチングレート、除去量、洗浄工程に用いる溶液の表面張力、精密研磨工程におけるガラス基板前駆体の取代を表1の各欄に示したように異なる他は、実施例1と同様の方法によって、実施例2〜10および比較例1の磁気ディスク用ガラス基板を作製した。
上記の実施例1に対し、洗浄工程におけるガラス基板前駆体のエッチングレート、除去量、洗浄工程に用いる溶液の表面張力、精密研磨工程におけるガラス基板前駆体の取代を表1の各欄に示したように異なる他は、実施例1と同様の方法によって、実施例2〜10および比較例1の磁気ディスク用ガラス基板を作製した。
<比較例2>
比較例2では、実施例1の工程の順序のうちの洗浄工程と精密研磨工程とを逆にしたことが異なる他は、実施例1と同様の方法によって磁気ディスク用ガラス基板を作製した。すなわち、粗研磨工程、精密研磨工程、洗浄工程の順にガラス基板前駆体の主表面を洗浄することにより、比較例2の磁気ディスク用ガラス基板を作製した。
比較例2では、実施例1の工程の順序のうちの洗浄工程と精密研磨工程とを逆にしたことが異なる他は、実施例1と同様の方法によって磁気ディスク用ガラス基板を作製した。すなわち、粗研磨工程、精密研磨工程、洗浄工程の順にガラス基板前駆体の主表面を洗浄することにより、比較例2の磁気ディスク用ガラス基板を作製した。
<評価>
上記の各実施例および各比較例で作製した磁気ディスク用ガラス基板に磁性膜を成膜してメディアを作製した後に、GAテスターに搭載し、ヘッド浮上安定性(グライドアバラン値(GA値))を測定した。その結果を表1の「GA値」の欄に示す。GA値の測定は、ドライブに見立ててメディアを7200rpmの回転数で回転させ、その上をヘッドが徐々に低下していき、r32の地点のヘッドの浮上が不安定になった高さをGA値とした。ここで、r32とは基板の中心から32mmの地点のことである。r32のGA値を測定することにより、ガラス基板前駆体の外端部付近での平坦度の影響がわかる。なお、GA値が低いほど、ヘッド浮上安定性が優れていることを示し、磁気ディスク用ガラス基板の平坦性および平滑性が高いことを示している。
上記の各実施例および各比較例で作製した磁気ディスク用ガラス基板に磁性膜を成膜してメディアを作製した後に、GAテスターに搭載し、ヘッド浮上安定性(グライドアバラン値(GA値))を測定した。その結果を表1の「GA値」の欄に示す。GA値の測定は、ドライブに見立ててメディアを7200rpmの回転数で回転させ、その上をヘッドが徐々に低下していき、r32の地点のヘッドの浮上が不安定になった高さをGA値とした。ここで、r32とは基板の中心から32mmの地点のことである。r32のGA値を測定することにより、ガラス基板前駆体の外端部付近での平坦度の影響がわかる。なお、GA値が低いほど、ヘッド浮上安定性が優れていることを示し、磁気ディスク用ガラス基板の平坦性および平滑性が高いことを示している。
表1から明らかなように、実施例1〜10の磁気ディスク用ガラス基板は、グライドアバランチ値が低いのに対し、比較例1〜2の磁気ディスク用ガラス基板は、グライドアバランチ値が高かった。
上記の表1のGA値の結果の理由として、実施例1〜10では、粗研磨工程と精密研磨工程との間に洗浄工程を行なっており、該洗浄工程におけるガラス基板前駆体の除去速度が100nm/min以下であったため、液ダレが生じてもガラス基板前駆体の外径が過剰にエッチングされずに、平坦性および平滑性の高い磁気ディスク用ガラス基板を作製することができたものと考えられる。
一方、比較例1では、洗浄工程におけるガラス基板前駆体の除去速度が120nm/minであることにより、エッチング液の液ダレが生じたときにガラス基板前駆体の外径の一部が過剰に除去されたため、磁気ディスク用ガラス基板の平坦性および平滑性が損なわれたものであった。また、比較例2では、精密研磨後に洗浄工程を行なっているため、洗浄工程で生じたガラス基板前駆体の外形の不均一性を精密研磨工程で整えることができなかった。
したがって、本発明の製造方法に従って製造された磁気ディスク用ガラス基板は、平坦性および平滑性が高いことが示された。特に、実施例6に示されるように、表面張力が高い(表面張力67mN/m)エッチング液を用いて洗浄工程を行なったときに磁気ディスク用ガラス基板の平坦性および平滑性の低下が顕著であった。これは、表面張力が高いエッチング液を用いることにより、液ダレが生じたときにも過剰にエッチングされたからと考えられる。
また、実施例7〜8に示されるように、精密研磨工程における取代を0.3μm以下としたときに、磁気ディスク用ガラス基板の平坦性および平滑性の向上が顕著であった。これは、洗浄工程で不均一となったガラス基板前駆体の端面を精密研磨工程で均一に整えることができたことによるものと考えられる。
また、実施例10で示されるように、表面張力が30mN/m未満のエッチング液を用いて洗浄したときにGA値が若干上昇した。これは、エッチング液の表面張力が小さいことにより、エッチング液に微小な泡が発生して、エッチングムラとなって液ダレが発生し、ガラス基板前駆体の端面の平坦性が悪化したことによるものと考えられる。
以上のように本発明の実施の形態および実施例について説明を行なったが、上述の各実施の形態および実施例の構成を適宜組み合わせることも当初から予定している。
今回開示された実施の形態および実施例はすべての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は上記した説明ではなくて請求の範囲によって示され、請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更が含まれることが意図される。
1 ガラス基板前駆体、1A 表主表面、1B 裏主表面、1C 内周端面、1D 外周端面、1H 孔。
Claims (4)
- 円盤状のガラス基板前駆体の主表面を研磨する工程を含む磁気ディスク用ガラス基板の製造方法であって、
前記主表面を研磨する工程は、少なくとも粗研磨工程と精密研磨工程との2段階の研磨を行なうものであり、
前記粗研磨工程と前記精密研磨工程との間に洗浄工程を含み、
前記洗浄工程は、100nm/min以下の速度で前記ガラス基板前駆体の主表面を除去する工程である、磁気ディスク用ガラス基板の製造方法。 - 前記洗浄工程は、30〜50mN/mの表面張力の溶液を用いて前記ガラス基板前駆体の主表面を除去する工程である、請求項1に記載の磁気ディスク用ガラス基板の製造方法。
- 前記洗浄工程は、前記ガラス基板前駆体の主表面から30〜100nmの厚みを除去する工程である、請求項1または2に記載の磁気ディスク用ガラス基板の製造方法。
- 前記精密研磨工程は、前記ガラス基板前駆体の主表面から0.3μm以上の厚みを除去する工程である、請求項1〜3のいずれかに記載の磁気ディスク用ガラス基板の製造方法。
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2011074195 | 2011-03-30 | ||
JP2011074195 | 2011-03-30 | ||
PCT/JP2012/057870 WO2012133373A1 (ja) | 2011-03-30 | 2012-03-27 | 磁気ディスク用ガラス基板の製造方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPWO2012133373A1 true JPWO2012133373A1 (ja) | 2014-07-28 |
Family
ID=46931090
Family Applications (1)
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Country Status (2)
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WO (1) | WO2012133373A1 (ja) |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2006146250A (ja) * | 2002-07-17 | 2006-06-08 | Hoya Corp | マスクブランクス用ガラス基板、及び転写マスク |
JP2008269767A (ja) * | 2007-03-29 | 2008-11-06 | Hoya Corp | 磁気ディスク用ガラス基板の製造方法および磁気ディスク製造方法 |
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- 2012-03-27 JP JP2013507589A patent/JPWO2012133373A1/ja active Pending
- 2012-03-27 WO PCT/JP2012/057870 patent/WO2012133373A1/ja active Application Filing
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