JPWO2011070856A1 - ネジ溝排気部の筒形固定部材と、これを使用した真空ポンプ - Google Patents
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Abstract
Description
外装ケース1は、筒状のポンプケース1Aと有底筒状のポンプベース1Bとをその筒軸方向にボルトで一体に連結した有底円筒形になっている。ポンプケース1Aの上端部側はガス吸気口2として開口しており、ポンプベース1Bの下端部側面にはガス排気口3を設けてある。
ポンプケース1A内の中央部には各種電装品を内蔵する円筒状のステータコラム4が設けられており、ステータコラム4はその下端側がポンプベース1B上にネジ止め固定される形態で立設してある。
図1の真空ポンプPでは、ロータ6の略上半分が翼排気部Ptとして機能するようになっている。以下、この翼排気部Ptを詳細に説明する。
駆動モータ12の起動により、ロータ軸5、ロータ6および複数の回転翼13が一体に高速回転し、最上段の回転翼13がガス吸気口2から入射した気体分子に下向き方向の運動量を付与する。この下向き方向の運動量を有する気体分子が固定翼14によって次段の回転翼13側へ送り込まれる。以上のような気体分子への運動量の付与と送り込み動作とが繰り返し多段に行われることにより、ガス吸気口2側の気体分子はネジ溝排気部Psの上流(より詳しくは後述するネジ溝排気通路Sの上流入口19A)に順次移行するように排気される。
図1の真空ポンプPにおいては、ロータ6の略下半分がネジ溝排気部Psとして機能する。以下このネジ溝排気部Psを詳細に説明する。
前述の通り駆動モータ12の起動によりロータ軸5、ロータ6および複数の回転翼13が一体に高速回転すると、前述した翼排気部Ptの排気動作によりネジ溝排気通路Sの上流入口19Aに到達した気体分子は、ネジ溝排気通路S内に入り、ロータ6の外周面とネジ溝19でのドラッグ効果によって遷移流から粘性流に圧縮されながらガス排気口3に向って移行し、最終的に図示しない補助ポンプを通じて外部へ排気される。
図5から図18は、ネジ溝排気部Psの他の実施形態の説明図である。
1A ポンプケース
1B ポンプベース
1C フランジ
2 ガス吸気口
3 ガス排気口
4 ステータコラム
5 ロータ軸
6 ロータ
7 ボス孔
8 フランジ
9 段部
10 ラジアル磁気軸受
10A ラジアル電磁石ターゲット
10B ラジアル電磁石
10C ラジアル方向変位センサ
11 アキシャル磁気軸受
11A アーマチュアディスク
11B アキシャル電磁石
11C アキシャル方向変位センサ
12 駆動モータ
12A 固定子
12B 回転子
13 回転翼
14 固定翼
18 ネジ溝排気部ステータ
18A、18B 分割片
19、190、191 ネジ溝
19A ネジ溝排気通路の上流入口
19B ネジ溝排気通路の下流出口
20 生成物堆積用の溝
21 ネジ溝位置合せ手段
21A 係合ピン
21B 係合孔
21C 確認窓
21D 第1の段差部
21E 第2の段差部
21F 係合凸部
21G 係合凹部
22 取っ手
22A ボルト
22B 把持部
30 分割片とその外側に位置する部材との隙間
40 蓋部
50 補強部材
D 嵌め合い
G、G1、G2 ロータとネジ溝排気部ステータとのギャップ
L1、L2 ネジ溝の溝幅
P 真空ポンプ
Pt 翼排気部
Ps ネジ溝排気部
S ネジ溝排気通路
θ ネジ溝のリード角
Claims (18)
- ネジ溝排気部の回転部材の外周を囲むように配置された筒形固定部材であって、
上記筒形固定部材と上記回転部材との間に気体を排気するための螺旋状のネジ溝排気通路が備えられており、上記筒形固定部材は、上記回転部材の回転軸心方向で2以上の分割片に分割されていること
を特徴とするネジ溝排気部の筒形固定部材。 - 上記筒形固定部材の分割片はそれぞれ異なる材料で形成されること
を特徴とする請求項1に記載のネジ溝排気部の筒形固定部材。 - 上記ネジ溝排気通路を形成するためのネジ溝が上記各分割片に設けられていて、
上記一の分割片と他の分割片ではネジ溝のリード角が異なっていること
を特徴とする請求項1に記載のネジ溝排気部の筒形固定部材。 - 上記ネジ溝排気通路を形成するためのネジ溝が上記各分割片に設けられていて、
上記一の分割片と他の分割片ではネジ溝の条数が異なっていること
を特徴とする請求項1に記載のネジ溝排気部の筒形固定部材。 - 上記ネジ溝排気通路を形成するためのネジ溝が上記各分割片に設けられていて、
上記一の分割片と他の分割片ではネジ溝の幅が異なっていること
を特徴とする請求項1に記載のネジ溝排気部の筒形固定部材。 - 上記ネジ溝排気通路を形成するためのネジ溝が上記各分割片に設けられていて、
上記一の分割片と他の分割片ではネジ溝の深さの変化量が異なっていること
を特徴とする請求項1に記載のネジ溝排気部の筒形固定部材。 - 上記ネジ溝排気通路を形成するためのネジ溝が上記各分割片に設けられていて、
上記一の分割片と他の分割片ではネジ溝の溝上端から回転部材までの距離を変えることによって筒形固定部材と回転部材とのギャップが異なっていること
を特徴とする請求項1に記載のネジ溝排気部の筒形固定部材。 - 上記筒形固定部材は、その上面に回転軸心方向に形成された溝を有していること
を特徴とする請求項1に記載のネジ溝排気部の筒形固定部材。 - 上記ネジ溝排気通路を形成するためのネジ溝が上記各分割片に設けられていて、
上記筒形固定部材は、
一の分割片のネジ溝と他の分割片のネジ溝とを連続するように連結させるネジ溝位置合せ手段を備えること
を特徴とする請求項1に記載のネジ溝排気部の筒形固定部材。 - 上記ネジ溝位置合せ手段は、
一の分割片の分割面に立設した係合ピンと、その分割面に接合される他の分割片の分割面に穿設した係合孔とからなるとともに、上記係合孔に上記係合ピンが挿入嵌合するようになっていること
を特徴とする請求項9に記載のネジ溝排気部の筒形固定部材。 - 上記係合孔は、上記分割片の上下端面を貫通する貫通孔からなり、その貫通孔の一端に上記係合ピンが挿入嵌合する一方、該貫通孔の他端は上記係合ピンの位置を確認する確認窓として機能すること
を特徴とする請求項10に記載のネジ溝排気部の筒形固定部材。 - 上記ネジ溝位置合せ手段は、
一の分割片の分割面に形成した第1の段差部と、その分割面に接合される他の分割片の分割面に形成した第2の段差部とからなるとともに、上記両段差部が互いに接合するようになっていること
を特徴とする請求項9に記載のネジ溝排気部の筒形固定部材。 - 上記ネジ溝位置合せ手段は、
一の分割片の分割面に形成した係合凹部と、その分割面に接合される他の分割片の分割面に形成した係合凸部とからなるとともに、上記係合凸部が上記係合凹部に係合するようになっていること
を特徴とする請求項9に記載のネジ溝排気部の筒形固定部材。 - 一の分割片を他の分割片の上に設置する作業用の取っ手が、当該一の分割片に着脱自在に取り付けられること
を特徴とする請求項1に記載のネジ溝排気部の筒形固定部材。 - 上記筒形固定部材は、その下端部がポンプベースで支持されていて、
上記2以上の分割片のうち最下部に位置する分割片は、上記ポンプベースの加工によって該ポンプベースと一体に設けられていること
を特徴とする請求項1に記載のネジ溝排気部の筒形固定部材。 - 上記筒形固定部材は、
上記分割片とその外側に位置する部材との隙間に生成物が入り込まないようにするための生成物混入防止手段として、2以上の分割片のうち最上部に位置する分割片の上端外周部に蓋部を備えること
を特徴とする請求項1に記載のネジ溝排気部の筒形固定部材。 - 上記分割片の外周部に補強部材が取り付けられていること
を特徴とする請求項1に記載のネジ溝排気部の筒形固定部材。 - 請求項1から17のいずれか1項に記載されたネジ溝排気部の筒形固定部材を使用した真空ポンプ。
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---|---|---|---|---|
JPS5183280A (ja) * | 1975-01-18 | 1976-07-21 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | Choenshinbunrikyokaitendoondobunpuseigyogatabunshihonpu |
DE3728154C2 (de) * | 1987-08-24 | 1996-04-18 | Balzers Pfeiffer Gmbh | Mehrstufige Molekularpumpe |
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DE4314418A1 (de) * | 1993-05-03 | 1994-11-10 | Leybold Ag | Reibungsvakuumpumpe mit unterschiedlich gestalteten Pumpenabschnitten |
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JP4504476B2 (ja) * | 1999-07-23 | 2010-07-14 | キヤノンアネルバ株式会社 | 分子ポンプ |
JP2002155891A (ja) * | 2000-11-22 | 2002-05-31 | Seiko Instruments Inc | 真空ポンプ |
JP2003172290A (ja) * | 2001-12-07 | 2003-06-20 | Boc Edwards Technologies Ltd | 真空ポンプ |
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