JPWO2011043189A1 - 逆圧対応仕切弁 - Google Patents
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Abstract
Description
以下、本発明の逆圧対応仕切弁を具体化した第1の実施の形態を、図1〜図3を参照して詳細に説明する。なお第1実施形態の逆圧対応仕切弁は、半導体や薄膜、液晶パネル等の製造に使用される真空装置において大気圧と真空とを仕切る弁として構成されている。
(1)シール面3に対向する弁板6の前面側の第1真空チャンバー1の内圧が同弁板6の後背側の第2真空チャンバー4の内圧よりも高い逆圧時には、シール材8が該シール材8の内圧に応じて突出され、それによりシール面3と弁板6とのクリアランスがシールされるようになる。そのため、大気圧によって弁板6がシール面3から離間する方向に押され、弁板6がシール面3から多少離間しても、突出したシール材8によりシール面3と弁板6とのクリアランスのシールを維持することができる。したがって、第1実施形態の逆圧対応仕切弁によれば、比較的簡易な構造で逆圧時にもシールを確実に維持することのできるようになる。
次に、本発明の逆圧対応仕切弁を具体化した第2の実施の形態を、図4を併せ参照して説明する。なお第2実施形態の逆圧対応仕切弁の構成は、そのシール材の構成が変更されている以外は、第1の実施の形態のものと同じとなっている。したがって第2実施形態において第1の実施の形態のものと共通する構成には、同一の符号を付してその詳細な説明は省略する。
例えばメンテナンス等を行うために、正圧から逆圧へ移行するときは、第1真空チャンバー1及び第2真空チャンバー4の内部を共に真空排気する。このとき、図4(b)に示すように、圧力室22の内部空間には、シール材20の先端部周囲と圧力室22の内部空間との差圧により、配管10を通じて空気が供給され、シール材20は、その空気に付勢されてシール面3に向けて進出する。
なお、以上の各実施形態は以下のように変更してもよい。
・上記実施形態では、回動により連通孔2を塞ぐ位置へと移動するように弁板6が構成されていたが、スライドにより連通孔2を塞ぐ位置へと移動するように弁板6が構成されてもよい。
Claims (11)
- 第1の内圧を有する第1のチャンバーと第2の内圧を有する第2のチャンバーとを仕切る逆圧対応仕切弁であって、
前記第1及び第2のチャンバーを連通する連通孔を有するシール面と、
前記シール面に対する押し付けに応じて前記連通孔を塞ぐ弁板であって、前記第1のチャンバーが前記シール面に対向する前記弁部の前面側に位置し、前記第2のチャンバーが前記弁板の後背側に位置する前記弁部と、
前記シール面と前記弁板とのいずれか一方から他方に向けて突出するとともに、その突出を解除可能に設けられて、その突出に応じて前記シール面と前記弁板とのクリアランスをシールするシール材と、を備え、
前記シール材は、前記第1の内圧が前記第2の内圧よりも高いときに突出し、前記第1の内圧が前記第2の内圧よりも低いときに突出を解除するように構成されていることを特徴とする逆圧対応仕切弁。 - 前記シール材は、流体圧の印加に応じて突出し、同流体圧の除荷に応じて突出を解除する、請求項1に記載の逆圧対応仕切弁。
- 前記シール材は、進退可能に設けられ、前記逆圧対応仕切弁はさらに、前記シール材の後背に形成された圧力室を備えており、
前記シール材は、前記圧力室への流体圧の印加に応じて進出することで突出し、同圧力室への流体圧の除荷に応じて後退することでその突出を解除する、請求項2に記載の逆圧対応仕切弁。 - 前記圧力室は大気に開放されている、請求項3に記載の逆圧対応仕切弁。
- 前記シール材は、その断面形状を変化させることで突出する、請求項1又は2に記載の逆圧対応仕切弁。
- 前記シール材は、中空の弾性体にて形成され、該中空内への流体圧の印加により膨張することでその断面形状を変化させる、請求項5に記載の逆圧対応仕切弁。
- 前記シール材の中空内が大気に開放されている、請求項6に記載の逆圧対応仕切弁。
- 前記シール材は、前記第1の内圧と前記第2の内圧との差に応じて突出量を変更するように構成されている、請求項1〜7のいずれか一項に記載の逆圧対応仕切弁。
- 前記シール面と前記弁部とのいずれか一方に設けられ、前記第1の内圧が前記第2の内圧よりも低いときに前記シール面と前記弁板とのクリアランスをシールする第2のシール材をさらに備える請求項1〜8のいずれか一項に記載の逆圧対応仕切弁。
- 前記逆圧対応仕切弁は、真空装置において大気圧と真空とを仕切る弁として構成されている、請求項1〜9のいずれか1項に記載の逆圧対応仕切弁。
- 前記シール面から離間する方向への前記弁板の変位を止めるストッパーをさらに備える請求項1〜10のいずれか1項に記載の逆圧対応仕切弁。
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