JPH05215249A - 真空装置用ゲートバルブ - Google Patents
真空装置用ゲートバルブInfo
- Publication number
- JPH05215249A JPH05215249A JP5431692A JP5431692A JPH05215249A JP H05215249 A JPH05215249 A JP H05215249A JP 5431692 A JP5431692 A JP 5431692A JP 5431692 A JP5431692 A JP 5431692A JP H05215249 A JPH05215249 A JP H05215249A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- valve
- seal
- casing
- fluid passage
- valve seat
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- Pending
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- Details Of Valves (AREA)
Abstract
(57)【要約】 （修正有）
【目的】この発明の目的は、ゴミの発生を防止でき、シ
ールがよく、逆圧下でも使用可能な真空装置用ゲートバ
ルブを提供するものである。 【構成】この発明の真空装置用ゲートバルブは、板状の
弁体４内に流体通路６を設け、その流体通路の出口にリ
ング状の溝７を形成し、その溝にインフラシール８を固
定し、そのインフラシール内に流体通路からの加圧流体
を注入し、インフラシールを膨張させ、その膨張したイ
ンフラシールの一部を弁座に圧接して、シルを行うもの
である。また、中空ベローズ５内に弁棒３を入れたもの
である。
ールがよく、逆圧下でも使用可能な真空装置用ゲートバ
ルブを提供するものである。 【構成】この発明の真空装置用ゲートバルブは、板状の
弁体４内に流体通路６を設け、その流体通路の出口にリ
ング状の溝７を形成し、その溝にインフラシール８を固
定し、そのインフラシール内に流体通路からの加圧流体
を注入し、インフラシールを膨張させ、その膨張したイ
ンフラシールの一部を弁座に圧接して、シルを行うもの
である。また、中空ベローズ５内に弁棒３を入れたもの
である。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は弁体が弁座に着座した
ときに膨張又は収縮自在なインフラシールでシールを行
う真空装置用ゲートバルブに関するものである。
ときに膨張又は収縮自在なインフラシールでシールを行
う真空装置用ゲートバルブに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来の真空装置用ゲートバルブには種々
のものがあるが、その一例は、ケーシング外に設けられ
た駆動源の作動により、弁棒をケーシング内で移動さ
せ、そして、弁棒の先端部に取り付けられた板状の弁体
を、ケーシングに設けられた流入口又は流出口の位置ま
で移動させた後、リンク機構等の押圧手段によって、板
状の弁体を流入口又は流出口の弁座に押圧して着座させ
ていた。
のものがあるが、その一例は、ケーシング外に設けられ
た駆動源の作動により、弁棒をケーシング内で移動さ
せ、そして、弁棒の先端部に取り付けられた板状の弁体
を、ケーシングに設けられた流入口又は流出口の位置ま
で移動させた後、リンク機構等の押圧手段によって、板
状の弁体を流入口又は流出口の弁座に押圧して着座させ
ていた。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】従来の真空装置用ゲー
トバルブは、上記のようにリンク機構等の押圧手段によ
って、板状の弁体を流入口又は流出口の弁座に押圧して
着座させていたので、リンク機構等の押圧手段が動くと
きに、部品同士が摩擦して、ゴミが発生したり、また、
板状の弁体が弁座に押圧して着座していても、押圧する
圧力が均一でなく、シール不良が起きたり、更に、板状
の弁体に逆圧が作用するときには、使用が出来なくなる
等の問題が起きた。
トバルブは、上記のようにリンク機構等の押圧手段によ
って、板状の弁体を流入口又は流出口の弁座に押圧して
着座させていたので、リンク機構等の押圧手段が動くと
きに、部品同士が摩擦して、ゴミが発生したり、また、
板状の弁体が弁座に押圧して着座していても、押圧する
圧力が均一でなく、シール不良が起きたり、更に、板状
の弁体に逆圧が作用するときには、使用が出来なくなる
等の問題が起きた。
【０００４】この発明の目的は、上記問題を解決して、
ゴミの発生を防止でき、シールがよく、逆圧下でも使用
可能な真空装置用ゲートバルブを提供するものである。
ゴミの発生を防止でき、シールがよく、逆圧下でも使用
可能な真空装置用ゲートバルブを提供するものである。
【０００５】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、第１番目の発明は、ケーシング内を移動する板状の
弁体を、ケーシングに設けられた流入口および流出口の
少なくとも一方の弁座に着座させたり、あるいは、着座
させなかったりして、バルブの開閉を行う真空装置用ゲ
ートバルブにおいて、上記弁体内に流体通路を設け、そ
の流体通路内に加圧流体を流すと共に、上記弁体の弁座
と対向する面側にリング状の溝を形成し、そのリング状
の溝に上記流体通路の出口を接続し、更に、そのリング
状の溝内に膨張又は収縮自在なインフラシールを固定
し、そのインフラシール内に上記流体通路の出口より流
出する上記加圧流体を注入して、そのインフラシールを
膨張させ、その膨張した一部を上記弁体の弁座と対向す
る面より上記弁座側に突き出し、その突き出したインフ
ラシールの一部を上記弁座に圧接することによって、上
記弁体が弁座に着座したときのシールを行うことを特徴
とするものである。また、第２番目の発明は、上記第１
番の発明において、上記ケーシング外に駆動源を設け、
その駆動源の作動によりケーシング内を移動する弁棒の
先端部に上記板状の弁体を取り付ける共に、上記ケーシ
ングの一部と上記弁体との間に中空べローズを設け、そ
の中空べローズ内に上記弁棒を納め、上記弁棒の移動に
伴って、中空べローズを伸縮させることを特徴とするも
のである。
に、第１番目の発明は、ケーシング内を移動する板状の
弁体を、ケーシングに設けられた流入口および流出口の
少なくとも一方の弁座に着座させたり、あるいは、着座
させなかったりして、バルブの開閉を行う真空装置用ゲ
ートバルブにおいて、上記弁体内に流体通路を設け、そ
の流体通路内に加圧流体を流すと共に、上記弁体の弁座
と対向する面側にリング状の溝を形成し、そのリング状
の溝に上記流体通路の出口を接続し、更に、そのリング
状の溝内に膨張又は収縮自在なインフラシールを固定
し、そのインフラシール内に上記流体通路の出口より流
出する上記加圧流体を注入して、そのインフラシールを
膨張させ、その膨張した一部を上記弁体の弁座と対向す
る面より上記弁座側に突き出し、その突き出したインフ
ラシールの一部を上記弁座に圧接することによって、上
記弁体が弁座に着座したときのシールを行うことを特徴
とするものである。また、第２番目の発明は、上記第１
番の発明において、上記ケーシング外に駆動源を設け、
その駆動源の作動によりケーシング内を移動する弁棒の
先端部に上記板状の弁体を取り付ける共に、上記ケーシ
ングの一部と上記弁体との間に中空べローズを設け、そ
の中空べローズ内に上記弁棒を納め、上記弁棒の移動に
伴って、中空べローズを伸縮させることを特徴とするも
のである。
【０００６】
【作用】第１番目の発明においては、インフラシール内
に加圧流体を注入して、インフラシールを膨張させ、そ
の膨張した一部を弁体の弁座と対向する面より弁座側に
突き出し、その突き出したインフラシールの一部を弁座
に圧接することによって、弁体が弁座に着座したときの
シールを行うようにしているので、弁座とインフラシー
ルとが摩擦することがほとんどなく、ゴミの発生がなく
なる。また、シールが良好になる。更に、逆圧が作用し
ても、使用出来るようになる。次に、第２番目の発明に
おいては、ケーシングの一部と弁体との間に中空べロー
ズを設け、その中空べローズ内に弁棒を納め、弁棒の移
動に伴って、中空べローズを伸縮させるようにしている
ので、弁棒の移動の際に発生したゴミは中空べローズ内
に溜まり、中空べローズ外のケーシング内には浮遊しな
くなる。
に加圧流体を注入して、インフラシールを膨張させ、そ
の膨張した一部を弁体の弁座と対向する面より弁座側に
突き出し、その突き出したインフラシールの一部を弁座
に圧接することによって、弁体が弁座に着座したときの
シールを行うようにしているので、弁座とインフラシー
ルとが摩擦することがほとんどなく、ゴミの発生がなく
なる。また、シールが良好になる。更に、逆圧が作用し
ても、使用出来るようになる。次に、第２番目の発明に
おいては、ケーシングの一部と弁体との間に中空べロー
ズを設け、その中空べローズ内に弁棒を納め、弁棒の移
動に伴って、中空べローズを伸縮させるようにしている
ので、弁棒の移動の際に発生したゴミは中空べローズ内
に溜まり、中空べローズ外のケーシング内には浮遊しな
くなる。
【０００７】
【実施例】以下、この発明の実施例について図面を参照
しながら説明する。この発明の実施例の真空装置用ゲー
トバルブは図１に示されており、同図において、流入口
１ａと流出口１ｂとを持つケーシング１の上面の外には
駆動シリンダー２が取り付けられ、その駆動シリンダー
２にはケーシング１内に伸びる弁棒３が設けられてい
る。弁棒３の先端部には板状の弁体４が取り付けられ、
また、ケーシング１の上面と板状の弁体４との間には、
中空べローズ５がその内部に弁棒３を納めるように設け
られ、弁棒３の移動により、中空べローズ５が伸縮す
る。図２は板状の弁体４の詳細が示されており、同図に
よれば、板状の弁体４内には加圧流体を流す流体通路６
が設けられ、弁座と対向する面側にはリング状の溝７が
形成され、そのリング状の溝７は流体通路６の出口６ａ
に接続されている。リング状の溝７内には膨張又は収縮
自在なインフラシール８がリング金具９によって固定さ
れている。インフラシール８内に流体通路６の出口６ａ
より流出する加圧流体を注入して、インフラシール８を
膨張させ、符号Ａに示されるようにすると、その膨張し
た一部が弁座と対向する弁体４の面より弁座側に突き出
し、そして、その突き出したインフラシール８の一部を
流入口１ａと流出口１ｂの周縁の弁座に圧接することに
よって、弁体４が弁座に着座したときのシールを行うよ
うになる。
しながら説明する。この発明の実施例の真空装置用ゲー
トバルブは図１に示されており、同図において、流入口
１ａと流出口１ｂとを持つケーシング１の上面の外には
駆動シリンダー２が取り付けられ、その駆動シリンダー
２にはケーシング１内に伸びる弁棒３が設けられてい
る。弁棒３の先端部には板状の弁体４が取り付けられ、
また、ケーシング１の上面と板状の弁体４との間には、
中空べローズ５がその内部に弁棒３を納めるように設け
られ、弁棒３の移動により、中空べローズ５が伸縮す
る。図２は板状の弁体４の詳細が示されており、同図に
よれば、板状の弁体４内には加圧流体を流す流体通路６
が設けられ、弁座と対向する面側にはリング状の溝７が
形成され、そのリング状の溝７は流体通路６の出口６ａ
に接続されている。リング状の溝７内には膨張又は収縮
自在なインフラシール８がリング金具９によって固定さ
れている。インフラシール８内に流体通路６の出口６ａ
より流出する加圧流体を注入して、インフラシール８を
膨張させ、符号Ａに示されるようにすると、その膨張し
た一部が弁座と対向する弁体４の面より弁座側に突き出
し、そして、その突き出したインフラシール８の一部を
流入口１ａと流出口１ｂの周縁の弁座に圧接することに
よって、弁体４が弁座に着座したときのシールを行うよ
うになる。
【０００８】ところで、図１において、１０は加圧流体
である圧縮ガスを駆動シリンダー２に導入するための加
圧流体導入管、１１は導入弁、１２は排気弁である。弁
棒３内には図示されていないが、加圧流体を流す流体通
路が設けられ、その流体通路は板状の弁体４内の流体通
路６に繋がっている。
である圧縮ガスを駆動シリンダー２に導入するための加
圧流体導入管、１１は導入弁、１２は排気弁である。弁
棒３内には図示されていないが、加圧流体を流す流体通
路が設けられ、その流体通路は板状の弁体４内の流体通
路６に繋がっている。
【０００９】このような実施例において、導入弁１１を
開、排気弁１２を閉にして、加圧流体導入管１０より加
圧流体を駆動シリンダー２に導入すると、駆動シリンダ
ー２が作動して、弁棒３が中空べローズ５を伸ばしなが
らケーシング１内を移動し、板状の弁体４が流入口１ａ
と流出口１ｂのある位置まで移動する。その後、加圧流
体を弁棒３内の流体通路および弁体４内の流体通路６に
流し、加圧流体を流体通路６の出口６ａよりインフラシ
ール８内に注入して、図２の符号Ａに示されるようにイ
ンフラシール８を膨張させると、その膨張した一部が弁
座と対向する弁体４の面より弁座側に突き出し、そし
て、その突き出したインフラシール８の一部を流入口１
ａと流出口１ｂの周縁の弁座に圧接することによって、
弁体４が弁座に着座したときのシールを行うようにな
る。
開、排気弁１２を閉にして、加圧流体導入管１０より加
圧流体を駆動シリンダー２に導入すると、駆動シリンダ
ー２が作動して、弁棒３が中空べローズ５を伸ばしなが
らケーシング１内を移動し、板状の弁体４が流入口１ａ
と流出口１ｂのある位置まで移動する。その後、加圧流
体を弁棒３内の流体通路および弁体４内の流体通路６に
流し、加圧流体を流体通路６の出口６ａよりインフラシ
ール８内に注入して、図２の符号Ａに示されるようにイ
ンフラシール８を膨張させると、その膨張した一部が弁
座と対向する弁体４の面より弁座側に突き出し、そし
て、その突き出したインフラシール８の一部を流入口１
ａと流出口１ｂの周縁の弁座に圧接することによって、
弁体４が弁座に着座したときのシールを行うようにな
る。
【００１０】反対に、膨張したインフラシール８の加圧
流体を排気すると、インフラシール８は図２の符号Ｂに
示されるように収縮して、シールの解除がなされる。そ
の後、導入弁１１を閉、排気弁１２を開にして、加圧流
体を駆動シリンダー２より排気すると、弁棒３や弁体４
が流入口１ａと流出口１ｂより離れるように移動するよ
うになる。
流体を排気すると、インフラシール８は図２の符号Ｂに
示されるように収縮して、シールの解除がなされる。そ
の後、導入弁１１を閉、排気弁１２を開にして、加圧流
体を駆動シリンダー２より排気すると、弁棒３や弁体４
が流入口１ａと流出口１ｂより離れるように移動するよ
うになる。
【００１１】上記のように実施例では、膨張して突き出
したインフラシール８の一部を弁座に圧接することによ
って、シールを行うようにしているので、弁座とインフ
ラシール８とが摩擦することがほとんどなく、ゴミの発
生がなくなると共に、シールが良好になる。また、逆圧
が作用しても、バルブの使用が出来るようになる。
したインフラシール８の一部を弁座に圧接することによ
って、シールを行うようにしているので、弁座とインフ
ラシール８とが摩擦することがほとんどなく、ゴミの発
生がなくなると共に、シールが良好になる。また、逆圧
が作用しても、バルブの使用が出来るようになる。
【００１２】更に、中空べローズ５内に納めた弁棒３の
移動に伴って、中空べローズ５を伸縮させるようにして
いるので、弁棒３の移動の際に発生したゴミは中空べロ
ーズ５内に溜まり、中空べローズ５外のケーシング１内
には浮遊しなくなる。
移動に伴って、中空べローズ５を伸縮させるようにして
いるので、弁棒３の移動の際に発生したゴミは中空べロ
ーズ５内に溜まり、中空べローズ５外のケーシング１内
には浮遊しなくなる。
【００１３】なお、上記実施例は、突き出したインフラ
シール８の一部を流入口１ａと流出口１ｂの周縁の弁座
の双方に圧接するようにしているが、これに限ることな
く、流入口１ａと流出口１ｂの周縁の弁座のいずれか一
方にだけ圧接するものであってもよい。また、加圧流体
は圧縮空気又は油圧流体であってもよい。
シール８の一部を流入口１ａと流出口１ｂの周縁の弁座
の双方に圧接するようにしているが、これに限ることな
く、流入口１ａと流出口１ｂの周縁の弁座のいずれか一
方にだけ圧接するものであってもよい。また、加圧流体
は圧縮空気又は油圧流体であってもよい。
【００１４】
【発明の効果】請求項１記載の発明は、インフラシール
内に加圧流体を注入して、インフラシールを膨張させ、
その膨張した一部を弁体の弁座と対向する面より弁座側
に突き出し、その突き出したインフラシールの一部を弁
座に圧接することによって、弁体が弁座に着座したとき
のシールを行うようにしているので、弁座とインフラシ
ールとが摩擦することがほとんどなく、ゴミの発生がな
くなると共に、シールが良好になる。また、逆圧が作用
しても、バルブの使用が出来るようになる。また、請求
項２記載の発明は、中空べローズ内に納めた弁棒の移動
に伴って、中空べローズを伸縮させるようにしているの
で、上記請求項１記載の発明が持つ効果の他に、弁棒の
移動の際に発生したゴミは中空べローズ内に溜まり、中
空べローズ外のケーシング内には浮遊しなくなる。
内に加圧流体を注入して、インフラシールを膨張させ、
その膨張した一部を弁体の弁座と対向する面より弁座側
に突き出し、その突き出したインフラシールの一部を弁
座に圧接することによって、弁体が弁座に着座したとき
のシールを行うようにしているので、弁座とインフラシ
ールとが摩擦することがほとんどなく、ゴミの発生がな
くなると共に、シールが良好になる。また、逆圧が作用
しても、バルブの使用が出来るようになる。また、請求
項２記載の発明は、中空べローズ内に納めた弁棒の移動
に伴って、中空べローズを伸縮させるようにしているの
で、上記請求項１記載の発明が持つ効果の他に、弁棒の
移動の際に発生したゴミは中空べローズ内に溜まり、中
空べローズ外のケーシング内には浮遊しなくなる。
【図１】この発明の実施例の説明図
【図２】この発明の実施例に用いられる板状の弁体の詳
細を示す説明図
細を示す説明図
１・・・・・・ケーシング １ａ・・・・・流入口 １ｂ・・・・・流出口 ２・・・・・・駆動シリンダー ３・・・・・・弁棒 ４・・・・・・弁体 ５・・・・・・中空べローズ ６・・・・・・流体通路 ６ａ・・・・・流体通路の出口 ７・・・・・・溝 ８・・・・・・インフラシール
Claims (2)
- 【請求項１】ケーシング内を移動する板状の弁体を、ケ
ーシングに設けられた流入口および流出口の少なくとも
一方の弁座に着座させたり、あるいは、着座させなかっ
たりして、バルブの開閉を行う真空装置用ゲートバルブ
において、上記弁体内に流体通路を設け、その流体通路
内に加圧流体を流すと共に、上記弁体の弁座と対向する
面側にリング状の溝を形成し、そのリング状の溝に上記
流体通路の出口を接続し、更に、そのリング状の溝内に
膨張又は収縮自在なインフラシールを固定し、そのイン
フラシール内に上記流体通路の出口より流出する上記加
圧流体を注入して、そのインフラシールを膨張させ、そ
の膨張した一部を上記弁体の弁座と対向する面より上記
弁座側に突き出し、その突き出したインフラシールの一
部を上記弁座に圧接することによって、上記弁体が弁座
に着座したときのシールを行うことを特徴とする真空装
置用ゲートバルブ。 - 【請求項２】請求項１記載の真空装置用ゲートバルブに
おいて、上記ケーシング外に駆動源を設け、その駆動源
の作動によりケーシング内を移動する弁棒の先端部に上
記板状の弁体を取り付ける共に、上記ケーシングの一部
と上記弁体との間に中空べローズを設け、その中空べロ
ーズ内に上記弁棒を納め、上記弁棒の移動に伴って、中
空べローズを伸縮させることを特徴とする真空装置用ゲ
ートバルブ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5431692A JPH05215249A (ja) | 1992-02-05 | 1992-02-05 | 真空装置用ゲートバルブ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5431692A JPH05215249A (ja) | 1992-02-05 | 1992-02-05 | 真空装置用ゲートバルブ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05215249A true JPH05215249A (ja) | 1993-08-24 |
Family
ID=12967185
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5431692A Pending JPH05215249A (ja) | 1992-02-05 | 1992-02-05 | 真空装置用ゲートバルブ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH05215249A (ja) |
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1999060294A1 (fr) * | 1998-05-20 | 1999-11-25 | Smc Kabushiki Kaisha | Soupape a pression tres negative |
| NL1016807C2 (nl) * | 2000-12-06 | 2002-06-07 | G C De Jong Systems B V | Schuifafsluiter voorzien van een hydraulisch expandeerbare afdichting. |
| WO2010101014A1 (ja) * | 2009-03-06 | 2010-09-10 | 東京エレクトロン株式会社 | ゲートバルブ及びゲートバルブの開閉方法 |
| WO2011043189A1 (ja) * | 2009-10-06 | 2011-04-14 | 株式会社 アルバック | 逆圧対応仕切弁 |
| KR101234055B1 (ko) * | 2010-11-15 | 2013-03-11 | 프리시스 주식회사 | 웨이퍼이동통로에 파우더 침착의 방지가 가능한 게이트밸브 |
| JP2013518223A (ja) * | 2010-01-28 | 2013-05-20 | バット ホールディング アーゲー | 閉塞装置 |
| KR101341431B1 (ko) * | 2012-03-02 | 2014-01-02 | 주식회사 에스에프에이 | 게이트 밸브 및 그를 구비하는 진공처리장치 |
| KR102597004B1 (ko) * | 2023-06-21 | 2023-11-02 | (주)리잰 | 팽창실린더 밸브 |
-
1992
- 1992-02-05 JP JP5431692A patent/JPH05215249A/ja active Pending
Cited By (12)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| JP2010209926A (ja) * | 2009-03-06 | 2010-09-24 | Tokyo Electron Ltd | ゲートバルブ及びゲートバルブの開閉方法 |
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| TWI407031B (zh) * | 2009-10-06 | 2013-09-01 | Ulvac Inc | 逆壓閘閥 |
| JP5490813B2 (ja) * | 2009-10-06 | 2014-05-14 | 株式会社アルバック | 逆圧対応仕切弁 |
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| US9383037B2 (en) | 2010-01-28 | 2016-07-05 | Vat Holding Ag | Device for closing an opening in a chamber wall |
| KR101234055B1 (ko) * | 2010-11-15 | 2013-03-11 | 프리시스 주식회사 | 웨이퍼이동통로에 파우더 침착의 방지가 가능한 게이트밸브 |
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