JPH0926052A - アクチュエータ - Google Patents
アクチュエータInfo
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- JPH0926052A JPH0926052A JP19574495A JP19574495A JPH0926052A JP H0926052 A JPH0926052 A JP H0926052A JP 19574495 A JP19574495 A JP 19574495A JP 19574495 A JP19574495 A JP 19574495A JP H0926052 A JPH0926052 A JP H0926052A
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- JP
- Japan
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- piston
- actuator
- spindle
- valve
- bellows
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- Actuator (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 ピストンの軸シール用ベローズが不要な小型
で、熱負荷に対しても、繰り返し作動に対してもシール
部の耐久性に優れ、クリーンルーム内での組立時溶接や
焼取りが不要で、クリーンルーム内が汚染されず、組
立、分解、部品交換が容易なアクチュエータを提供す
る。 【構成】 高温に曝される弁を空気圧に関連して制御す
るアクチュエータに於いて、ピストンと軸を切り離し、
ピストンの移動方向と逆に軸を移動させるカムを内蔵し
て弁を開閉するようにすると共に、ピストンの高圧空気
導入側の周縁とハウジングキャップとの間に耐熱性のベ
ローズを設けたことを特徴とするアクチュエータ。
で、熱負荷に対しても、繰り返し作動に対してもシール
部の耐久性に優れ、クリーンルーム内での組立時溶接や
焼取りが不要で、クリーンルーム内が汚染されず、組
立、分解、部品交換が容易なアクチュエータを提供す
る。 【構成】 高温に曝される弁を空気圧に関連して制御す
るアクチュエータに於いて、ピストンと軸を切り離し、
ピストンの移動方向と逆に軸を移動させるカムを内蔵し
て弁を開閉するようにすると共に、ピストンの高圧空気
導入側の周縁とハウジングキャップとの間に耐熱性のベ
ローズを設けたことを特徴とするアクチュエータ。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、例えば、半導体産
業用ガス供給系、特に高沸点の有機金属ガスを取扱うガ
ス供給系に使用される弁などを、空気圧に関連して制御
するアクチュエータに関する。
業用ガス供給系、特に高沸点の有機金属ガスを取扱うガ
ス供給系に使用される弁などを、空気圧に関連して制御
するアクチュエータに関する。
【０００２】
【従来の技術】半導体産業用ガス供給系においては、Ａ
ｌ（Ｃ2Ｈ5）3やＧａ（Ｃ2Ｈ5）3などのような高沸点
(前者は１８６．６℃、後者は１４２．６℃)の有機金属
をガス化して使用する場合がある。
ｌ（Ｃ2Ｈ5）3やＧａ（Ｃ2Ｈ5）3などのような高沸点
(前者は１８６．６℃、後者は１４２．６℃)の有機金属
をガス化して使用する場合がある。
【０００３】このような高温雰囲気に曝される従来の弁
は、弁本体を構成する弁ケース、弁座、弁体等が全て金
属材料から作成されている。しかし、弁本体に直結され
る空気圧式アクチュエータは、大半が金属材料から作成
されているものの、シール用Ｏリングは、摺動部及び固
定的連結部のもの全てが弗素系ゴムから作成されてい
る。
は、弁本体を構成する弁ケース、弁座、弁体等が全て金
属材料から作成されている。しかし、弁本体に直結され
る空気圧式アクチュエータは、大半が金属材料から作成
されているものの、シール用Ｏリングは、摺動部及び固
定的連結部のもの全てが弗素系ゴムから作成されてい
る。
【０００４】弗素系ゴムは、高温用とされているが、２
００℃程度の雰囲気に曝されていると、経時的に圧縮永
久歪が顕著になり、弾性反撥力が漸減するため、シール
部における漏洩量が漸増する。
００℃程度の雰囲気に曝されていると、経時的に圧縮永
久歪が顕著になり、弾性反撥力が漸減するため、シール
部における漏洩量が漸増する。
【０００５】このように従来のアクチュエータに於いて
は、シール部に弗素系ゴム等の樹脂からなるＯリングを
用いているため、熱負荷に対する制限が不可避であり、
しかも熱サイクルによって寿命が極端に短縮されるなど
の難点がある。
は、シール部に弗素系ゴム等の樹脂からなるＯリングを
用いているため、熱負荷に対する制限が不可避であり、
しかも熱サイクルによって寿命が極端に短縮されるなど
の難点がある。
【０００６】このようなことから近時、熱負荷に対する
シール性に優れた空気圧式アクチュエータとして、全構
成部分を金属材料から作成したアクチュエータが提案さ
れている（先行技術文献として、例えば、特開平５−２
４０３７０号公報がある。）。
シール性に優れた空気圧式アクチュエータとして、全構
成部分を金属材料から作成したアクチュエータが提案さ
れている（先行技術文献として、例えば、特開平５−２
４０３７０号公報がある。）。
【０００７】しかしながら、この高温用の空気圧アクチ
ュエータは、ピストンの摺動部のシールにダイヤフラム
やベローズのような金属を用いないとシールの耐久性を
保持できない。特にノーマル・クローズ（Ｎ．Ｃ）タイ
プのアクチュエータは、ピストンと弁を持ち上げる軸の
シールが必要で、ダイヤフラムやベローズが２〜３個必
要である。また、ダイヤフラムやベローズは、アクチュ
エータ部品の中でとりわけ疲労破壊を起こす部品であ
り、耐久性を良くするためにはダイヤフラムの径を大き
く、ベローズの自由長を長くする必要がある。さらに、
ピストン軸シール用ベローズがあると、クリーンルーム
内作業となるアクチュエータ組立時に溶接や焼取りが必
要となって、作業性が悪く、分解、部品交換ができな
い。
ュエータは、ピストンの摺動部のシールにダイヤフラム
やベローズのような金属を用いないとシールの耐久性を
保持できない。特にノーマル・クローズ（Ｎ．Ｃ）タイ
プのアクチュエータは、ピストンと弁を持ち上げる軸の
シールが必要で、ダイヤフラムやベローズが２〜３個必
要である。また、ダイヤフラムやベローズは、アクチュ
エータ部品の中でとりわけ疲労破壊を起こす部品であ
り、耐久性を良くするためにはダイヤフラムの径を大き
く、ベローズの自由長を長くする必要がある。さらに、
ピストン軸シール用ベローズがあると、クリーンルーム
内作業となるアクチュエータ組立時に溶接や焼取りが必
要となって、作業性が悪く、分解、部品交換ができな
い。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】そこで本発明は、ピス
トンの軸シール用ベローズが不要な小型で、熱負荷に対
しても、繰り返し作動に対しても、シール部の耐久性に
優れ、クリーンルーム内での組立時溶接や焼取りが不要
で、組立、分解、部品交換が容易なアクチュエータを提
供しようとするものである。
トンの軸シール用ベローズが不要な小型で、熱負荷に対
しても、繰り返し作動に対しても、シール部の耐久性に
優れ、クリーンルーム内での組立時溶接や焼取りが不要
で、組立、分解、部品交換が容易なアクチュエータを提
供しようとするものである。
【０００９】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
の本発明のアクチュエータは、高温に曝される弁を空気
圧に関連して制御するアクチュエータに於いて、ピスト
ンと軸を切り離し、ピストンの移動方向と逆に軸を移動
させるカムを内蔵して弁を開閉するようにすると共に、
ピストンの高圧空気導入側の周縁とハウジングキャップ
との間に耐熱性のベローズを設けたことを特徴とするも
のである。
の本発明のアクチュエータは、高温に曝される弁を空気
圧に関連して制御するアクチュエータに於いて、ピスト
ンと軸を切り離し、ピストンの移動方向と逆に軸を移動
させるカムを内蔵して弁を開閉するようにすると共に、
ピストンの高圧空気導入側の周縁とハウジングキャップ
との間に耐熱性のベローズを設けたことを特徴とするも
のである。
【００１０】
【作用】上記のように本発明のアクチュエータは、ピス
トンと軸を切り離し、軸側に高圧空気が入らないように
ピストンとハウジングキャップとの間にベローズを設け
ているので、軸シール用のベローズが不要となって、小
型化できると共に、クリーンルーム内での組立時軸シー
ル用のベローズを取り付ける必要が無いことからそのた
めの溶接や焼取りが不要となり、クリーンルーム内が汚
染されることがない。また、洗浄した部品のクリーンル
ーム内への搬入により組立、分解、部品交換が容易とな
り、作業性が向上する。さらに、アクチュエータのベロ
ーズは１個で、径が大きく、耐熱性を有するので、熱負
荷に対しても、繰り返し作動に対しても、シールの耐久
性に優れる。その上、本発明のアクチュエータは、カム
のてこ比を変えることにより、ピストンの推力を増大さ
せることができるので、ピストンのストロークを増し、
径を小さくすることができ、アクチュエータを一層小型
化できる。
トンと軸を切り離し、軸側に高圧空気が入らないように
ピストンとハウジングキャップとの間にベローズを設け
ているので、軸シール用のベローズが不要となって、小
型化できると共に、クリーンルーム内での組立時軸シー
ル用のベローズを取り付ける必要が無いことからそのた
めの溶接や焼取りが不要となり、クリーンルーム内が汚
染されることがない。また、洗浄した部品のクリーンル
ーム内への搬入により組立、分解、部品交換が容易とな
り、作業性が向上する。さらに、アクチュエータのベロ
ーズは１個で、径が大きく、耐熱性を有するので、熱負
荷に対しても、繰り返し作動に対しても、シールの耐久
性に優れる。その上、本発明のアクチュエータは、カム
のてこ比を変えることにより、ピストンの推力を増大さ
せることができるので、ピストンのストロークを増し、
径を小さくすることができ、アクチュエータを一層小型
化できる。
【００１１】
【発明の実施の形態】本発明のアクチュエータの一実施
例をノーマル・クローズ（Ｎ．Ｃ）タイプの場合を図に
よって説明すると、図１のクローズ状態の縦断面図に於
いて、１はアクチュエータで、そのハウジング２の一端
（図では下端）の連結部３の内側が逆Ｔ字形の弁本体４
の垂直部５の外周のねじ６に螺合連結されている。アク
チュエータ１のハウジング２内の底板７の中央にはステ
ムガイド孔８が穿設され、これにハウジング２内の中間
部に装入したステム９の細径部１０が貫通されている。
ステム９は細径部１０の基端にフランジ１１を有し、他
端側（図では上端側）の片半部の幾分径を細くした部分
１２にボンネット１３が嵌装されてハウジング２内の中
間部開口端の段部１４に図２に示すようにボルト１５に
て固定されている。前記フランジ１１とボンネット１３
との間には図１に示すようにステム９を弁本体４側に付
勢するスプリング１６が張設されている。ハウジング２
の他端側の大径部１７内にはピストン１８が装入され、
このピストン１８と切り離された軸１９が前記ステム９
の他端に結合されている。軸１９にはフランジ２０が設
けられ、このフランジ２０に前記大径部１７内で図２に
示すようにボンネット１３上の等角三方位置に夫々ピン
２１にて回動可能に設けたカム２２の一端が係合され、
他端に設けたローラ２３がピストン１８に当接されてい
る。ハウジング２の大径部１７の開口端には、高圧空気
導入口２４を中央に有するハウジングキャップ２５が気
密に取り付けられ、このハウジングキャップ２５とピス
トン１８の空気導入側の周縁との間に耐熱性のベローズ
２６が設けられて空気室２７が形成されている。
例をノーマル・クローズ（Ｎ．Ｃ）タイプの場合を図に
よって説明すると、図１のクローズ状態の縦断面図に於
いて、１はアクチュエータで、そのハウジング２の一端
（図では下端）の連結部３の内側が逆Ｔ字形の弁本体４
の垂直部５の外周のねじ６に螺合連結されている。アク
チュエータ１のハウジング２内の底板７の中央にはステ
ムガイド孔８が穿設され、これにハウジング２内の中間
部に装入したステム９の細径部１０が貫通されている。
ステム９は細径部１０の基端にフランジ１１を有し、他
端側（図では上端側）の片半部の幾分径を細くした部分
１２にボンネット１３が嵌装されてハウジング２内の中
間部開口端の段部１４に図２に示すようにボルト１５に
て固定されている。前記フランジ１１とボンネット１３
との間には図１に示すようにステム９を弁本体４側に付
勢するスプリング１６が張設されている。ハウジング２
の他端側の大径部１７内にはピストン１８が装入され、
このピストン１８と切り離された軸１９が前記ステム９
の他端に結合されている。軸１９にはフランジ２０が設
けられ、このフランジ２０に前記大径部１７内で図２に
示すようにボンネット１３上の等角三方位置に夫々ピン
２１にて回動可能に設けたカム２２の一端が係合され、
他端に設けたローラ２３がピストン１８に当接されてい
る。ハウジング２の大径部１７の開口端には、高圧空気
導入口２４を中央に有するハウジングキャップ２５が気
密に取り付けられ、このハウジングキャップ２５とピス
トン１８の空気導入側の周縁との間に耐熱性のベローズ
２６が設けられて空気室２７が形成されている。
【００１２】前記弁本体４は、一側にガス流入通路２
８、他側にガス流出通路２９が設けられている。ガス流
入通路２８の出口側は弁本体４内の中心に垂直に開口さ
れ、その開口周縁に弁座３０が設けられている。この弁
座３０に対向して弁本体４内にダイヤフラム３１が配さ
れ、その周縁が弁本体４内の段部３２に弁本体４内に嵌
入したダイヤフラム押え４０にて押えられ、ダイヤフラ
ム押え４０は前記アクチュエータ１のハウジング２の底
板７にて押えられている。ダイヤフラム押え４０の内側
には前記ダイヤフラム３１を押圧するダイヤフラム押し
込みピース３３が上下動可能に嵌入され、このダイヤフ
ラム押えピース３３は前記アクチュエータ１のハウジン
グ２内の底板７のステムガイド孔８を貫通したステム９
の細径部１０にて押さえられている。そして上記アクチ
ュエータ１及び弁本体２の全構成部品は、金属材料から
なる。
８、他側にガス流出通路２９が設けられている。ガス流
入通路２８の出口側は弁本体４内の中心に垂直に開口さ
れ、その開口周縁に弁座３０が設けられている。この弁
座３０に対向して弁本体４内にダイヤフラム３１が配さ
れ、その周縁が弁本体４内の段部３２に弁本体４内に嵌
入したダイヤフラム押え４０にて押えられ、ダイヤフラ
ム押え４０は前記アクチュエータ１のハウジング２の底
板７にて押えられている。ダイヤフラム押え４０の内側
には前記ダイヤフラム３１を押圧するダイヤフラム押し
込みピース３３が上下動可能に嵌入され、このダイヤフ
ラム押えピース３３は前記アクチュエータ１のハウジン
グ２内の底板７のステムガイド孔８を貫通したステム９
の細径部１０にて押さえられている。そして上記アクチ
ュエータ１及び弁本体２の全構成部品は、金属材料から
なる。
【００１３】次に上記実施例の動作について説明する。
アクチュエータ１のハウジングキャップ２５の高圧空気
導入口２４より空気室２７に高圧空気が導入されると、
ベローズ２６が伸長されると共にピストン１８が押し出
され、これによりカム２２の他端のローラ２３が押され
てピン２１を中心に回動し、図３に示すようにカム２２
の一端がフランジ２０を押して軸１９をピストン１８の
押出方向とは逆の方向に移動する。その結果、軸１９と
結合されているステム９がスプリング１６に抗して一体
に移動し、ダイヤフラム押し込みピース３３の押圧力が
そう失し、ダイヤフラム３１は自身の弾性復元力によっ
て弁座３０から離間し、ガス流入通路２８とガス流出通
路２９が相互に連通し、弁開状態となる。
アクチュエータ１のハウジングキャップ２５の高圧空気
導入口２４より空気室２７に高圧空気が導入されると、
ベローズ２６が伸長されると共にピストン１８が押し出
され、これによりカム２２の他端のローラ２３が押され
てピン２１を中心に回動し、図３に示すようにカム２２
の一端がフランジ２０を押して軸１９をピストン１８の
押出方向とは逆の方向に移動する。その結果、軸１９と
結合されているステム９がスプリング１６に抗して一体
に移動し、ダイヤフラム押し込みピース３３の押圧力が
そう失し、ダイヤフラム３１は自身の弾性復元力によっ
て弁座３０から離間し、ガス流入通路２８とガス流出通
路２９が相互に連通し、弁開状態となる。
【００１４】また、空気室２７から高圧空気を排出する
と、ピストン１８を押し出す力が無くなり、カム２２の
他端のローラ２３が解放される結果、軸１９と一体のス
テム９がスプリング１６の復元力により図１に示すよう
に弁本体４側に移動し、ダイヤフラム押し込みピース３
３を押圧し、ダイヤフラム３１を弁座３０に圧接し、弁
閉状態となる。この時カム２２は一端が軸１９のフラン
ジ２０に係合しているためピン２１を中心に前記とは逆
に回動し、他端のローラ２３がピストン１８を逆に移動
し、ベローズ２６を短縮することになる。
と、ピストン１８を押し出す力が無くなり、カム２２の
他端のローラ２３が解放される結果、軸１９と一体のス
テム９がスプリング１６の復元力により図１に示すよう
に弁本体４側に移動し、ダイヤフラム押し込みピース３
３を押圧し、ダイヤフラム３１を弁座３０に圧接し、弁
閉状態となる。この時カム２２は一端が軸１９のフラン
ジ２０に係合しているためピン２１を中心に前記とは逆
に回動し、他端のローラ２３がピストン１８を逆に移動
し、ベローズ２６を短縮することになる。
【００１５】然して上記のように実施例のアクチュエー
タ１は、ピストン１８と軸１９を切り離し、軸１９側に
高圧空気が入らないようにピストン１８とハウジングキ
ャップ２５との間にベローズ２６を設けているので、従
来のような軸シール用のベローズが不要となって、小型
化できると共に、クリーンルーム内での組立時軸シール
用のベローズを取り付ける必要が無いことから、そのた
めの溶接や焼取りが不要となり、クリーンルーム内が汚
染されることがない。また、洗浄した部品のクリーンル
ーム内への搬入により、組立、分解、部品交換が容易と
なり、作業性が向上する。さらにアクチュエータ１のベ
ローズ２６は１個で、径が大きく、耐熱性を有するの
で、熱負荷に対しても、繰り返し作動に対しても、シー
ルの耐久性に優れる。その上、アクチュエータ１はカム
２２のてこ比を変えることにより、ピストン１８の推力
を増大させることができるので、ピストン１８のストロ
ークを増し、径を小さくすることができ、アクチュエー
タ１を一層小型化できる。
タ１は、ピストン１８と軸１９を切り離し、軸１９側に
高圧空気が入らないようにピストン１８とハウジングキ
ャップ２５との間にベローズ２６を設けているので、従
来のような軸シール用のベローズが不要となって、小型
化できると共に、クリーンルーム内での組立時軸シール
用のベローズを取り付ける必要が無いことから、そのた
めの溶接や焼取りが不要となり、クリーンルーム内が汚
染されることがない。また、洗浄した部品のクリーンル
ーム内への搬入により、組立、分解、部品交換が容易と
なり、作業性が向上する。さらにアクチュエータ１のベ
ローズ２６は１個で、径が大きく、耐熱性を有するの
で、熱負荷に対しても、繰り返し作動に対しても、シー
ルの耐久性に優れる。その上、アクチュエータ１はカム
２２のてこ比を変えることにより、ピストン１８の推力
を増大させることができるので、ピストン１８のストロ
ークを増し、径を小さくすることができ、アクチュエー
タ１を一層小型化できる。
【００１６】本発明のアクチュエータの他の実施例をノ
ーマル・オープン（Ｎ．Ｏ）タイプの場合を図４のオー
プン状態の縦断面図によって説明する。図中１〜１０
は、図１の実施例と同一につきその説明を省略する。ス
テム９は上端にフランジ１１′を有し、そのフランジ１
１′上面等角三方位置に突起３５が設けられている。フ
ランジ１１′とハウジング２内の底板７との間にステム
９を弁本体４の反対側即ち上方に付勢するスプリング１
６′が張設されている。ハウジング２の他端側の大径部
１７内にはピストン１８が装入され、このピストン１８
と切り離された軸１９′が図５に示す如くハウジング２
の中間隔壁３６と一体となっている。軸１９′にはフラ
ンジ２０が設けられ、このフランジ２０に前記中間隔壁
３５の等角三方位置に設けた溝３７に配したカム２２′
の一端が係合されている。カム２２′の中間に枢支した
ローラ３８は前記突起３５に当接しており、カム２２′
の他端に枢支したローラ２３′がピストン１８に当接し
ている。その他、符号２４〜３３及び４０は、図１の実
施例と同一につきその説明を省略する。この実施例にお
いてもアクチュエータ１及び弁本体２の全構成部品は、
金属材料からなる。
ーマル・オープン（Ｎ．Ｏ）タイプの場合を図４のオー
プン状態の縦断面図によって説明する。図中１〜１０
は、図１の実施例と同一につきその説明を省略する。ス
テム９は上端にフランジ１１′を有し、そのフランジ１
１′上面等角三方位置に突起３５が設けられている。フ
ランジ１１′とハウジング２内の底板７との間にステム
９を弁本体４の反対側即ち上方に付勢するスプリング１
６′が張設されている。ハウジング２の他端側の大径部
１７内にはピストン１８が装入され、このピストン１８
と切り離された軸１９′が図５に示す如くハウジング２
の中間隔壁３６と一体となっている。軸１９′にはフラ
ンジ２０が設けられ、このフランジ２０に前記中間隔壁
３５の等角三方位置に設けた溝３７に配したカム２２′
の一端が係合されている。カム２２′の中間に枢支した
ローラ３８は前記突起３５に当接しており、カム２２′
の他端に枢支したローラ２３′がピストン１８に当接し
ている。その他、符号２４〜３３及び４０は、図１の実
施例と同一につきその説明を省略する。この実施例にお
いてもアクチュエータ１及び弁本体２の全構成部品は、
金属材料からなる。
【００１７】この実施例の動作について説明すると、ア
クチュエータ１のハウジングキャップ２５の高圧空気導
入口２４より空気室２７に高圧空気が導入されると、ベ
ローズ２６が伸長されると共にピストン１８が押し出さ
れ、これにより図６に示す如くカム２２′の一端の軸１
９′との係合部を支点にして他端のローラ２３が押さ
れ、さらに中間のローラ３８が押され、このローラ３８
が当接している突起３５が押されてステム９がスプリン
グ１６′に抗して一体に下方に押圧される。その結果ダ
イヤフラム押し込みピース３３が押圧されてダイヤフラ
ム３１が弁座３０に圧接し、ガス流入通路２８がガス流
出通路２９が相互に遮断され、弁閉状態となる。
クチュエータ１のハウジングキャップ２５の高圧空気導
入口２４より空気室２７に高圧空気が導入されると、ベ
ローズ２６が伸長されると共にピストン１８が押し出さ
れ、これにより図６に示す如くカム２２′の一端の軸１
９′との係合部を支点にして他端のローラ２３が押さ
れ、さらに中間のローラ３８が押され、このローラ３８
が当接している突起３５が押されてステム９がスプリン
グ１６′に抗して一体に下方に押圧される。その結果ダ
イヤフラム押し込みピース３３が押圧されてダイヤフラ
ム３１が弁座３０に圧接し、ガス流入通路２８がガス流
出通路２９が相互に遮断され、弁閉状態となる。
【００１８】また、空気室２７から高圧空気を排出する
と、ピストン１８を押し出す力が無くなり、カム２２′
の他端のローラ２３′、中間のローラ３８が解放される
結果、ステム９はスプリング１６′の復元力により図４
に示すように上方に移動し、ダイヤフラム押し込みピー
ス３３の押圧力がそう失し、ダイヤフラム３１は自身の
弾性復元力によって弁座３０から離間し、ガス流入通路
２８とガス流出通路２９が相互に連通し、弁開状態とな
る。
と、ピストン１８を押し出す力が無くなり、カム２２′
の他端のローラ２３′、中間のローラ３８が解放される
結果、ステム９はスプリング１６′の復元力により図４
に示すように上方に移動し、ダイヤフラム押し込みピー
ス３３の押圧力がそう失し、ダイヤフラム３１は自身の
弾性復元力によって弁座３０から離間し、ガス流入通路
２８とガス流出通路２９が相互に連通し、弁開状態とな
る。
【００１９】この実施例のアクチュエータ１も、前記実
施例と同様にピストン１８と軸１９′を切り離し、軸１
９′側に高圧空気が入らないようにピストン１８とハウ
ジングキャップ２５との間にベローズ２６を設けている
ので、従来のような軸シール用のベローズが不要となっ
て、小型化できると共に、クリーンルーム内での組立時
軸シール用のベローズを取り付ける必要が無いことか
ら、そのための溶接や焼取りが不要となり、クリーンル
ーム内が汚染されることがない。また、洗浄した部品の
クリーンルーム内への搬入により組立、分解、部品交換
が容易となり、作業性が向上する。さらに、アクチュエ
ータ１のベローズ２６は１個で、径が大きく、耐熱性を
有するので、熱負荷に対しても、繰り返し作動に対して
も、シールの耐久性に優れる。その上、アクチュエータ
１はカム２２′のてこ比を変えることにより、ピストン
１８の推力を増大させることができるので、ピストン１
８のストロークを増し、径を小さくすることができ、ア
クチュエータ１を一層小型化できる。
施例と同様にピストン１８と軸１９′を切り離し、軸１
９′側に高圧空気が入らないようにピストン１８とハウ
ジングキャップ２５との間にベローズ２６を設けている
ので、従来のような軸シール用のベローズが不要となっ
て、小型化できると共に、クリーンルーム内での組立時
軸シール用のベローズを取り付ける必要が無いことか
ら、そのための溶接や焼取りが不要となり、クリーンル
ーム内が汚染されることがない。また、洗浄した部品の
クリーンルーム内への搬入により組立、分解、部品交換
が容易となり、作業性が向上する。さらに、アクチュエ
ータ１のベローズ２６は１個で、径が大きく、耐熱性を
有するので、熱負荷に対しても、繰り返し作動に対して
も、シールの耐久性に優れる。その上、アクチュエータ
１はカム２２′のてこ比を変えることにより、ピストン
１８の推力を増大させることができるので、ピストン１
８のストロークを増し、径を小さくすることができ、ア
クチュエータ１を一層小型化できる。
【００２０】尚、アクチュエータ１のハウジングキャッ
プ２５とベローズ２６とピストン１８は、三者一体で、
図７に示すようにハウジング２の大径部１７より取り外
せるので、図８に示すようにノーマル・オープン（Ｎ．
Ｏ）タイプのカムを内蔵しないアクチュエータ１′にも
使用でき、部品の共通化が図れる。
プ２５とベローズ２６とピストン１８は、三者一体で、
図７に示すようにハウジング２の大径部１７より取り外
せるので、図８に示すようにノーマル・オープン（Ｎ．
Ｏ）タイプのカムを内蔵しないアクチュエータ１′にも
使用でき、部品の共通化が図れる。
【００２１】
【発明の効果】以上の説明で判るように本発明のアクチ
ュエータは、ピストンの軸シール用のベローズが不要と
なって、小型化できると共に、クリーンルーム内での組
立時軸シール用のベローズを取り付ける必要が無いこと
から、そのための溶接や焼取りが不要となり、クリーン
ルーム内が汚染されることがない。また、洗浄した部品
のクリーンルーム内への搬入により、アクチュエータの
組立、分解、部品交換が容易となり、作業性が向上す
る。さらに、アクチュエータのベローズは１個で、径が
大きく、耐熱性を有するので、熱負荷に対しても、繰り
返し作動に対しても、耐久性に優れる。その上、アクチ
ュエータは、カムのてこ比を変えることにより、ピスト
ンの推力を増大させることができるので、ピストンのス
トロークを増し、径を小さくすることができ、アクチュ
エータを一層小型化できる。
ュエータは、ピストンの軸シール用のベローズが不要と
なって、小型化できると共に、クリーンルーム内での組
立時軸シール用のベローズを取り付ける必要が無いこと
から、そのための溶接や焼取りが不要となり、クリーン
ルーム内が汚染されることがない。また、洗浄した部品
のクリーンルーム内への搬入により、アクチュエータの
組立、分解、部品交換が容易となり、作業性が向上す
る。さらに、アクチュエータのベローズは１個で、径が
大きく、耐熱性を有するので、熱負荷に対しても、繰り
返し作動に対しても、耐久性に優れる。その上、アクチ
ュエータは、カムのてこ比を変えることにより、ピスト
ンの推力を増大させることができるので、ピストンのス
トロークを増し、径を小さくすることができ、アクチュ
エータを一層小型化できる。
【図１】本発明のノーマル・クローズタイプのアクチュ
エータの一実施例を示すもので、図２のＢ−Ｂ線縦断面
図である。
エータの一実施例を示すもので、図２のＢ−Ｂ線縦断面
図である。
【図２】図１のＡ−Ａ線横断面図である。
【図３】図１のアクチュエータの弁開状態を示す図２の
Ｂ−Ｂ線縦断面図である。
Ｂ−Ｂ線縦断面図である。
【図４】本発明のノーマル・オープンタイプのアクチュ
エータの他の実施例を示すもので、図２のＢ−Ｂ線と同
様の縦断面図である。
エータの他の実施例を示すもので、図２のＢ−Ｂ線と同
様の縦断面図である。
【図５】図４のノーマル・オープンタイプのアクチュエ
ータの縦断面図である。
ータの縦断面図である。
【図６】図４のアクチュエータの弁閉状態を示す縦断面
図である。
図である。
【図７】図１のアクチュエータから取り外した三者一体
のハウジングキャップとベローズとピストンを示す縦断
面図である。
のハウジングキャップとベローズとピストンを示す縦断
面図である。
【図８】図７の三者一体の部品を、ノーマル・オープン
タイプのアクチュエータに使用した状態を示す縦断面図
である。
タイプのアクチュエータに使用した状態を示す縦断面図
である。
１ アクチュエータ ２ ハウジング ４ 弁本体 １８ ピストン １９ 、１９′ 軸 ２２ ２２′ カム ２４ 高圧空気導入口 ２５ ハウジングキャップ ２６ ベローズ ３０ 弁座 ３１ ダイヤフラム
Claims (1)
- 【請求項１】 高温に曝される弁を空気圧に関連して制
御するアクチュエータに於いて、ピストンと軸を切り離
し、ピストンの移動方向と逆に軸を移動させるカムを内
蔵して弁を開閉するようにすると共に、ピストンの高圧
空気導入側の周縁とハウジングキャップとの間に耐熱性
のベローズを設けたことを特徴とするアクチュエータ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7195744A JP3067977B2 (ja) | 1995-07-10 | 1995-07-10 | アクチュエータ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7195744A JP3067977B2 (ja) | 1995-07-10 | 1995-07-10 | アクチュエータ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0926052A true JPH0926052A (ja) | 1997-01-28 |
| JP3067977B2 JP3067977B2 (ja) | 2000-07-24 |
Family
ID=16346252
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7195744A Expired - Lifetime JP3067977B2 (ja) | 1995-07-10 | 1995-07-10 | アクチュエータ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3067977B2 (ja) |
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002054761A (ja) * | 2000-08-10 | 2002-02-20 | Ckd Corp | 流体制御バルブ |
| JP2004183786A (ja) * | 2002-12-03 | 2004-07-02 | Fujikin Inc | 制御器 |
| US7159839B2 (en) * | 2002-09-02 | 2007-01-09 | Fujikin Incorporated | Control device |
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| JP2017067104A (ja) * | 2015-09-29 | 2017-04-06 | 日立オートモティブシステムズ株式会社 | 弁体駆動機構及びこれを備えた流量制御弁 |
| KR20190111933A (ko) | 2017-01-31 | 2019-10-02 | 가부시키가이샤 깃츠 에스시티 | 밸브용 액추에이터와 이것을 구비한 다이아프램 밸브 |
| CN114229047A (zh) * | 2021-12-23 | 2022-03-25 | 中国科学院力学研究所 | 一种基于液态co2快速气化推动的星箭分离装置 |
-
1995
- 1995-07-10 JP JP7195744A patent/JP3067977B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (11)
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| US10883614B2 (en) | 2017-01-31 | 2021-01-05 | Kitz Sct Corporation | Valve actuator and diaphragm valve including the same |
| CN114229047A (zh) * | 2021-12-23 | 2022-03-25 | 中国科学院力学研究所 | 一种基于液态co2快速气化推动的星箭分离装置 |
| CN114229047B (zh) * | 2021-12-23 | 2024-06-04 | 中国科学院力学研究所 | 一种基于液态co2快速气化推动的星箭分离装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3067977B2 (ja) | 2000-07-24 |
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