JP2000205201A - ダンパ― - Google Patents
ダンパ―Info
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- JP2000205201A JP2000205201A JP11004368A JP436899A JP2000205201A JP 2000205201 A JP2000205201 A JP 2000205201A JP 11004368 A JP11004368 A JP 11004368A JP 436899 A JP436899 A JP 436899A JP 2000205201 A JP2000205201 A JP 2000205201A
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- liquid
- bellows
- pressure
- air chamber
- chamber
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- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F15—FLUID-PRESSURE ACTUATORS; HYDRAULICS OR PNEUMATICS IN GENERAL
- F15B—SYSTEMS ACTING BY MEANS OF FLUIDS IN GENERAL; FLUID-PRESSURE ACTUATORS, e.g. SERVOMOTORS; DETAILS OF FLUID-PRESSURE SYSTEMS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- F15B1/00—Installations or systems with accumulators; Supply reservoir or sump assemblies
- F15B1/02—Installations or systems with accumulators
- F15B1/04—Accumulators
- F15B1/08—Accumulators using a gas cushion; Gas charging devices; Indicators or floats therefor
- F15B1/10—Accumulators using a gas cushion; Gas charging devices; Indicators or floats therefor with flexible separating means
- F15B1/103—Accumulators using a gas cushion; Gas charging devices; Indicators or floats therefor with flexible separating means the separating means being bellows
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F15—FLUID-PRESSURE ACTUATORS; HYDRAULICS OR PNEUMATICS IN GENERAL
- F15B—SYSTEMS ACTING BY MEANS OF FLUIDS IN GENERAL; FLUID-PRESSURE ACTUATORS, e.g. SERVOMOTORS; DETAILS OF FLUID-PRESSURE SYSTEMS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- F15B2201/00—Accumulators
- F15B2201/20—Accumulator cushioning means
- F15B2201/205—Accumulator cushioning means using gas
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F15—FLUID-PRESSURE ACTUATORS; HYDRAULICS OR PNEUMATICS IN GENERAL
- F15B—SYSTEMS ACTING BY MEANS OF FLUIDS IN GENERAL; FLUID-PRESSURE ACTUATORS, e.g. SERVOMOTORS; DETAILS OF FLUID-PRESSURE SYSTEMS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- F15B2201/00—Accumulators
- F15B2201/30—Accumulator separating means
- F15B2201/315—Accumulator separating means having flexible separating means
- F15B2201/3153—Accumulator separating means having flexible separating means the flexible separating means being bellows
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- Engineering & Computer Science (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Fluid Mechanics (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Supply Devices, Intensifiers, Converters, And Telemotors (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 スプリングを用いることなく、高性能化と小
型化とを両立可能であるダンパーを提供することを課題
とする。 【解決手段】 ケーシング１０内に気室１１と液室２１
とを備え、気室１１内の圧力を調節することによって気
室１１と液室２１との圧力バランスを保持して、液室２
１を介して流動する液体の脈動を抑制するダンパーにお
いて、液室２１がベローズ２０を用いて形成されてお
り、ベローズ２０の動きと同期するようにベローズ２０
と一体的に設けられたスプール３１には、ケーシング１
０に形成された気体供給口１１ａとの連通が可能であっ
て且つケーシング１０に形成された気体排気口１１ｂと
も連通が可能であるケーシング側連通口と、気室１１と
の連通が可能である気室側連通口とが設けられており、
ケーシング側連通口と気室側連通口とが連通しているこ
とを特徴とする。
型化とを両立可能であるダンパーを提供することを課題
とする。 【解決手段】 ケーシング１０内に気室１１と液室２１
とを備え、気室１１内の圧力を調節することによって気
室１１と液室２１との圧力バランスを保持して、液室２
１を介して流動する液体の脈動を抑制するダンパーにお
いて、液室２１がベローズ２０を用いて形成されてお
り、ベローズ２０の動きと同期するようにベローズ２０
と一体的に設けられたスプール３１には、ケーシング１
０に形成された気体供給口１１ａとの連通が可能であっ
て且つケーシング１０に形成された気体排気口１１ｂと
も連通が可能であるケーシング側連通口と、気室１１と
の連通が可能である気室側連通口とが設けられており、
ケーシング側連通口と気室側連通口とが連通しているこ
とを特徴とする。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、ポンプ等を用いて
移送される液体の脈動を抑制するダンパーに関するもの
である。
移送される液体の脈動を抑制するダンパーに関するもの
である。
【０００２】
【従来の技術】図５は、従来技術に係るダンパーの概略
断面図を示したものであり、具体的には、ダンパーを構
成するバルブ部が中立位置にある場合の概略断面図を示
したものである。また、図６は、このバルブ部が空気供
給位置にある場合の概略断面図を示したものであり、図
７は、このバルブ部が空気排気位置にある場合の概略断
面図を示したものである。
断面図を示したものであり、具体的には、ダンパーを構
成するバルブ部が中立位置にある場合の概略断面図を示
したものである。また、図６は、このバルブ部が空気供
給位置にある場合の概略断面図を示したものであり、図
７は、このバルブ部が空気排気位置にある場合の概略断
面図を示したものである。
【０００３】図５から図７に示されたダンパーは、ケー
シング１００内に、気室１０１を形成すると共に、液室
１１１を構成するベローズ１１０と、液室１１１内の圧
力の変化に対して機械的に応答可能であるバルブ部１２
０とを有している。また、ケーシング１００には、気室
１０１内に空気を供給する際の空気供給口１０１ａと、
気室１０１内から空気を排気する際の空気排気口１０１
ｂと、気室１０１と空気供給口１０１ａおよび空気排気
口１０１ｂとの連通口たる気室ポート１０１ｃと、液室
１１１内に液体を流入させる液体流入口１１１ａと、液
室１１１外に液体を流出させる液体流出口１１１ｂとが
設けられている。
シング１００内に、気室１０１を形成すると共に、液室
１１１を構成するベローズ１１０と、液室１１１内の圧
力の変化に対して機械的に応答可能であるバルブ部１２
０とを有している。また、ケーシング１００には、気室
１０１内に空気を供給する際の空気供給口１０１ａと、
気室１０１内から空気を排気する際の空気排気口１０１
ｂと、気室１０１と空気供給口１０１ａおよび空気排気
口１０１ｂとの連通口たる気室ポート１０１ｃと、液室
１１１内に液体を流入させる液体流入口１１１ａと、液
室１１１外に液体を流出させる液体流出口１１１ｂとが
設けられている。
【０００４】バルブ部１２０は、第一のバルブ１２１ａ
と、第二のバルブ１２１ｂと、第三のバルブ１２１ｃ
と、第一のバルブ１２１ａと第二のバルブ１２１ｂとを
連結している第一のスプール１２２ａと、第二のバルブ
１２１ｂと第三のバルブ１２１ｃとを連結している第二
のスプール１２２ｂと、第三のバルブ１２１ｃの下部に
設けられた第三のスプール１２２ｃと、ベローズ１１０
の上部であって且つ第三のスプール１２２ｃが貫通可能
であるように形成されたスリーブ１２３と、第三のバル
ブ１２１ｃおよび第三のスプール１２２ｃの外周部であ
って且つスリーブ１２３の上部に設けられたスプリング
１２４とを用いて構成されている。
と、第二のバルブ１２１ｂと、第三のバルブ１２１ｃ
と、第一のバルブ１２１ａと第二のバルブ１２１ｂとを
連結している第一のスプール１２２ａと、第二のバルブ
１２１ｂと第三のバルブ１２１ｃとを連結している第二
のスプール１２２ｂと、第三のバルブ１２１ｃの下部に
設けられた第三のスプール１２２ｃと、ベローズ１１０
の上部であって且つ第三のスプール１２２ｃが貫通可能
であるように形成されたスリーブ１２３と、第三のバル
ブ１２１ｃおよび第三のスプール１２２ｃの外周部であ
って且つスリーブ１２３の上部に設けられたスプリング
１２４とを用いて構成されている。
【０００５】次に、図５から図７を用いて、従来技術に
係るダンパーの作動状態について説明する。
係るダンパーの作動状態について説明する。
【０００６】ダンパーに液体が流入しない場合（すなわ
ち、供給側のポンプ等が休止している場合）には、ベロ
ーズ１１０内の液体圧力に変化は生じないので、ベロー
ズ１１０の伸縮も行われない。したがって、バルブ部１
２０の動きもなく、ダンパー内への空気の供給および排
気は、第二のバルブ１２２ｂで遮断されることとなる
（図５参照）。この状態のことを、ベローズ１１０、バ
ルブ１２１およびスプール１２２等が「中立位置状態」
にある、という。
ち、供給側のポンプ等が休止している場合）には、ベロ
ーズ１１０内の液体圧力に変化は生じないので、ベロー
ズ１１０の伸縮も行われない。したがって、バルブ部１
２０の動きもなく、ダンパー内への空気の供給および排
気は、第二のバルブ１２２ｂで遮断されることとなる
（図５参照）。この状態のことを、ベローズ１１０、バ
ルブ１２１およびスプール１２２等が「中立位置状態」
にある、という。
【０００７】ポンプ等が起動してベローズ１１０内に液
体が流入する場合、あるいは何らかの原因で液体の圧力
が上昇した場合には、ベローズ１１０内の液体圧力が上
昇して空気圧力との差圧が発生し、ベローズ１１０は伸
びる。そして、ベローズ１１０の伸びによりスリーブ１
２３および第三のスプール１２２ｃ（およびこれに連結
された各バルブ等）が押し上げられ、バルブ部１２０に
おいて空気供給口１０１ａと気室ポート１０１ｃとが連
通することとなる（図６参照）。空気供給口１０１ａに
は圧縮空気がかけられているので、気室１０１内には圧
縮空気が送り込まれることとなり、気室１０１内の空気
圧力は上昇する。この空気圧力の上昇によって（ベロー
ズ１１０内の）液体圧力との差圧は小さくなってくるの
で、ベローズ１１０は中立位置状態に戻る方向に変化
し、同時に各スプール１２２およびバルブ１２１も下降
する。その結果、ベローズ１１０が中立位置状態にまで
縮めば、空気供給口１０１ａと気室ポート１０１ｃとは
遮断されるので、空気の供給は止まり、液体圧力と空気
圧力との圧力バランスが保たれることとなる。
体が流入する場合、あるいは何らかの原因で液体の圧力
が上昇した場合には、ベローズ１１０内の液体圧力が上
昇して空気圧力との差圧が発生し、ベローズ１１０は伸
びる。そして、ベローズ１１０の伸びによりスリーブ１
２３および第三のスプール１２２ｃ（およびこれに連結
された各バルブ等）が押し上げられ、バルブ部１２０に
おいて空気供給口１０１ａと気室ポート１０１ｃとが連
通することとなる（図６参照）。空気供給口１０１ａに
は圧縮空気がかけられているので、気室１０１内には圧
縮空気が送り込まれることとなり、気室１０１内の空気
圧力は上昇する。この空気圧力の上昇によって（ベロー
ズ１１０内の）液体圧力との差圧は小さくなってくるの
で、ベローズ１１０は中立位置状態に戻る方向に変化
し、同時に各スプール１２２およびバルブ１２１も下降
する。その結果、ベローズ１１０が中立位置状態にまで
縮めば、空気供給口１０１ａと気室ポート１０１ｃとは
遮断されるので、空気の供給は止まり、液体圧力と空気
圧力との圧力バランスが保たれることとなる。
【０００８】ポンプ等が停止してベローズ１１０内への
液体の流入が停止する場合、あるいは何らかの原因で液
体の圧力が下降した場合には、ベローズ１１０内の液体
圧力が下降して空気圧力との差圧が発生し、ベローズ１
１０は縮む。そして、ベローズ１１０の縮みとスプリン
グ１２４の付勢力とによりスリーブ１２３が押し下げら
れ、中立位置状態を越える程ベローズ１１０が縮む場合
には、バルブ部１２０において空気排気口１０１ｂと気
室ポート１０１ｃとが連通することとなる（図７参
照）。そうすると、気室１０１内からは圧縮空気が排気
されるので、気室１０１内の空気圧力は減圧される。気
室１０１内の空気圧力が減圧されれば、液体圧力との差
圧は小さくなってくるので、ベローズ１１０は中立位置
状態に戻る方向に変化し、同時に各スプール１２２およ
びバルブ１２１も上昇する。その結果、ベローズ１１０
および各スプール１２２等が中立位置状態にまで戻れ
ば、空気排気口１０１ｂと気室ポート１０１ｃとは遮断
されるので、空気の排気は止まり液体圧力と空気圧力と
の圧力バランスが保たれることとなる
液体の流入が停止する場合、あるいは何らかの原因で液
体の圧力が下降した場合には、ベローズ１１０内の液体
圧力が下降して空気圧力との差圧が発生し、ベローズ１
１０は縮む。そして、ベローズ１１０の縮みとスプリン
グ１２４の付勢力とによりスリーブ１２３が押し下げら
れ、中立位置状態を越える程ベローズ１１０が縮む場合
には、バルブ部１２０において空気排気口１０１ｂと気
室ポート１０１ｃとが連通することとなる（図７参
照）。そうすると、気室１０１内からは圧縮空気が排気
されるので、気室１０１内の空気圧力は減圧される。気
室１０１内の空気圧力が減圧されれば、液体圧力との差
圧は小さくなってくるので、ベローズ１１０は中立位置
状態に戻る方向に変化し、同時に各スプール１２２およ
びバルブ１２１も上昇する。その結果、ベローズ１１０
および各スプール１２２等が中立位置状態にまで戻れ
ば、空気排気口１０１ｂと気室ポート１０１ｃとは遮断
されるので、空気の排気は止まり液体圧力と空気圧力と
の圧力バランスが保たれることとなる
【０００９】すなわち、上記従来技術に係るダンパーに
よれば、ポンプ等の運転中において、ベローズ１１０に
流入する液体圧力に変動が少ない場合には、ベローズ１
１０は、スリーブ１２３の可変長範囲Ｌ（図７参照）内
で伸縮を繰り返すこととなるので、ベローズ１１０等の
中立位置状態が保たれる。また、何らかの原因で液体圧
力に増減圧が生じた場合であっても、バルブ部１２０等
が上述したように作動するので、ベローズ１１０内の液
体圧力に追従して気室１０１内の空気圧力が適圧に調圧
され、液体圧力と空気圧力との圧力バランスが適当に保
持される。したがって、従来技術に係るダンパーによれ
ば、自動的に移送液（ポンプ等からダンパーを介して流
出される液体）の脈動を抑制することが可能となる。
よれば、ポンプ等の運転中において、ベローズ１１０に
流入する液体圧力に変動が少ない場合には、ベローズ１
１０は、スリーブ１２３の可変長範囲Ｌ（図７参照）内
で伸縮を繰り返すこととなるので、ベローズ１１０等の
中立位置状態が保たれる。また、何らかの原因で液体圧
力に増減圧が生じた場合であっても、バルブ部１２０等
が上述したように作動するので、ベローズ１１０内の液
体圧力に追従して気室１０１内の空気圧力が適圧に調圧
され、液体圧力と空気圧力との圧力バランスが適当に保
持される。したがって、従来技術に係るダンパーによれ
ば、自動的に移送液（ポンプ等からダンパーを介して流
出される液体）の脈動を抑制することが可能となる。
【００１０】
【発明が解決しようとする課題】上記従来技術に係るダ
ンパーにおいては、スプリング１２４の弾性力によって
スリーブ１２３がベローズ１１０側に付勢され、このス
プリング１２４とベローズ１１０上部に設けられたスプ
ール１２２等との動きに応じて、気室１０１内に対する
空気の供給・排気が調節される。すなわち、従来技術に
よれば、気室１０１内の圧力を調節するためには、スプ
リング１２４が必須の構成要素となる。
ンパーにおいては、スプリング１２４の弾性力によって
スリーブ１２３がベローズ１１０側に付勢され、このス
プリング１２４とベローズ１１０上部に設けられたスプ
ール１２２等との動きに応じて、気室１０１内に対する
空気の供給・排気が調節される。すなわち、従来技術に
よれば、気室１０１内の圧力を調節するためには、スプ
リング１２４が必須の構成要素となる。
【００１１】このスプリング１２４には、ダンパーが作
動している間、常に荷重がかかっている。したがって、
従来技術に係るダンパーを構成する際には、ベローズ１
１０の動作に追従する強い弾性力および高い耐久性等を
有したスプリング１２４が必要となる。
動している間、常に荷重がかかっている。したがって、
従来技術に係るダンパーを構成する際には、ベローズ１
１０の動作に追従する強い弾性力および高い耐久性等を
有したスプリング１２４が必要となる。
【００１２】また、近年は装置の小型化がさけばれてお
り、ダンパーについてもその小型化が要望されている。
ダンパーの小型化を実現するためには、スプリング１２
４を小さくする必要があるが、スプリング１２４の小型
化と、先述したスプリングに求められる機能（強い弾性
力および高い耐久性等）の向上とは、相反するものであ
る。すなわち、スプリング１２４を小さくしようとすれ
ば、自ずとその弾性力等の機能は、多くを望めなくな
る。さらに、スプリング損傷によるダンパー破損、およ
びスプリング作動によって発生する錆や金属粉によるダ
ンパー内のパーティクル汚染なども問題になっている。
り、ダンパーについてもその小型化が要望されている。
ダンパーの小型化を実現するためには、スプリング１２
４を小さくする必要があるが、スプリング１２４の小型
化と、先述したスプリングに求められる機能（強い弾性
力および高い耐久性等）の向上とは、相反するものであ
る。すなわち、スプリング１２４を小さくしようとすれ
ば、自ずとその弾性力等の機能は、多くを望めなくな
る。さらに、スプリング損傷によるダンパー破損、およ
びスプリング作動によって発生する錆や金属粉によるダ
ンパー内のパーティクル汚染なども問題になっている。
【００１３】したがって、従来技術に係るダンパーにお
いては、スプリング１２４自身の高性能化を抜きにし
て、ダンパーの高性能化と小型化とを両立できないとい
う問題があった。
いては、スプリング１２４自身の高性能化を抜きにし
て、ダンパーの高性能化と小型化とを両立できないとい
う問題があった。
【００１４】そこで、本発明は上記従来技術に係る問題
を解決するためになされたものであって、スプリングを
用いることなく、高性能化と小型化とを両立可能である
ダンパーを提供することを課題とする。
を解決するためになされたものであって、スプリングを
用いることなく、高性能化と小型化とを両立可能である
ダンパーを提供することを課題とする。
【００１５】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
のの本発明は、ケーシング１０内に気室１１と液室２１
とを備え、前記気室１１内の圧力を調節することによっ
て前記気室１１と前記液室２１との圧力バランスを保持
して、前記液室２１を介して流動する液体の脈動を抑制
するダンパーにおいて、前記液室２１がベローズ２０を
用いて形成されており、前記ベローズ２０の動きと同期
するように前記ベローズ２０と一体的に設けられたスプ
ール３１には、前記ケーシング１０に形成された気体供
給口１１ａとの連通が可能であって且つ前記ケーシング
１０に形成された気体排気口１１ｂとも連通が可能であ
るケーシング側連通口３１ａと、前記気室１１との連通
が可能である気室側連通口３１ｂとが設けられており、
前記ケーシング側連通口３１ａと前記気室側連通口３１
ｂとが連通していることを特徴とする。
のの本発明は、ケーシング１０内に気室１１と液室２１
とを備え、前記気室１１内の圧力を調節することによっ
て前記気室１１と前記液室２１との圧力バランスを保持
して、前記液室２１を介して流動する液体の脈動を抑制
するダンパーにおいて、前記液室２１がベローズ２０を
用いて形成されており、前記ベローズ２０の動きと同期
するように前記ベローズ２０と一体的に設けられたスプ
ール３１には、前記ケーシング１０に形成された気体供
給口１１ａとの連通が可能であって且つ前記ケーシング
１０に形成された気体排気口１１ｂとも連通が可能であ
るケーシング側連通口３１ａと、前記気室１１との連通
が可能である気室側連通口３１ｂとが設けられており、
前記ケーシング側連通口３１ａと前記気室側連通口３１
ｂとが連通していることを特徴とする。
【００１６】本発明に係るダンパーによれば、従来必要
であったスプリングを用いることなく、気体の供給およ
び排気を行う際の連通口３１ａ，３１ｂを有する前記ス
プール３１を前記ベローズ２０に一体的に設け、前記ス
プール３１が前記ベローズ２０の動きに同期して動くよ
うに構成されている。したがって、本発明によれば、比
較的簡単な構成でしかも容易に、液体圧力変動（前記ベ
ローズ２０の伸び・縮み）に応じて、前記気室１１内の
空気圧力を自動的に調節して、移送液（ポンプ等からダ
ンパーを介して流出される液体）の脈動を自動的に抑制
することが可能であるダンパーを得ることができる。よ
って、本発明によれば、スプリングの高性能化等を図る
ことなく、ダンパーの高性能化と小型化とを実現するこ
とが可能となる。
であったスプリングを用いることなく、気体の供給およ
び排気を行う際の連通口３１ａ，３１ｂを有する前記ス
プール３１を前記ベローズ２０に一体的に設け、前記ス
プール３１が前記ベローズ２０の動きに同期して動くよ
うに構成されている。したがって、本発明によれば、比
較的簡単な構成でしかも容易に、液体圧力変動（前記ベ
ローズ２０の伸び・縮み）に応じて、前記気室１１内の
空気圧力を自動的に調節して、移送液（ポンプ等からダ
ンパーを介して流出される液体）の脈動を自動的に抑制
することが可能であるダンパーを得ることができる。よ
って、本発明によれば、スプリングの高性能化等を図る
ことなく、ダンパーの高性能化と小型化とを実現するこ
とが可能となる。
【００１７】また、本発明に係るダンパーにおいては、
前記液室２１内の液体圧力が所定値よりも増圧された場
合には、前記ベローズ２０が伸びることによって前記ス
プール３１が移動して前記気体供給口１１ａと前記ケー
シング側連通口３１ａとが連通され、前記ケーシング側
連通口３１ａおよび前記気室側連通口３１ｂを介して、
前記気体供給口１１ａと前記気室１１とが連通される構
成であることが好ましい。
前記液室２１内の液体圧力が所定値よりも増圧された場
合には、前記ベローズ２０が伸びることによって前記ス
プール３１が移動して前記気体供給口１１ａと前記ケー
シング側連通口３１ａとが連通され、前記ケーシング側
連通口３１ａおよび前記気室側連通口３１ｂを介して、
前記気体供給口１１ａと前記気室１１とが連通される構
成であることが好ましい。
【００１８】この好ましい例によれば、前記液室２１内
が増圧し前記ベローズ２０が伸びることによって、前記
ケーシング側連通口３１ａおよび前記気室側連通口３１
ｂを介して前記気体供給口１１ａと前記気室１１とが連
通され、前記気体供給口１１ａから前記気室１１内に圧
縮空気が供給される。したがって、この好ましい例によ
れば、前記液室２１内の増圧に応じて、前記気室１１内
も増圧され、前記気室１１と前記液室２１との圧力バラ
ンスが保持されるので、移送液（ポンプ等からダンパー
を介して流出される液体）の脈動を自動的に抑制するこ
とが可能となる。
が増圧し前記ベローズ２０が伸びることによって、前記
ケーシング側連通口３１ａおよび前記気室側連通口３１
ｂを介して前記気体供給口１１ａと前記気室１１とが連
通され、前記気体供給口１１ａから前記気室１１内に圧
縮空気が供給される。したがって、この好ましい例によ
れば、前記液室２１内の増圧に応じて、前記気室１１内
も増圧され、前記気室１１と前記液室２１との圧力バラ
ンスが保持されるので、移送液（ポンプ等からダンパー
を介して流出される液体）の脈動を自動的に抑制するこ
とが可能となる。
【００１９】また、本発明に係るダンパーにおいては、
前記液室２１内の液体圧力が所定値よりも減圧された場
合には、前記ベローズ２０が縮むことによって前記スプ
ール３１が移動して前記ケーシング側連通口３１ａと前
記気体排気口１１ｂとが連通され、前記気室側連通口３
１ｂおよび前記ケーシング側連通口３１ａを介して、前
記気室１１と前記気体排気口１１ｂとが連通される構成
であることが好ましい。
前記液室２１内の液体圧力が所定値よりも減圧された場
合には、前記ベローズ２０が縮むことによって前記スプ
ール３１が移動して前記ケーシング側連通口３１ａと前
記気体排気口１１ｂとが連通され、前記気室側連通口３
１ｂおよび前記ケーシング側連通口３１ａを介して、前
記気室１１と前記気体排気口１１ｂとが連通される構成
であることが好ましい。
【００２０】この好ましい例によれば、前記液室２１内
が減圧し前記ベローズ２０が縮むことによって、前記気
室側連通口３１ｂおよび前記ケーシング側連通口３１ａ
を介して前記気室１１と前記気体排気口１１ｂとが連通
され、前記気体排気口１１ｂから前記気室１１内の排気
が行われる。したがって、この好ましい例によれば、前
記液室２１内の減圧に応じて、前記気室１１内も減圧さ
れ、前記気室１１と前記液室２１との圧力バランスが保
持されるので、移送液（ポンプ等からダンパーを介して
流出される液体）の脈動を自動的に抑制することが可能
となる。
が減圧し前記ベローズ２０が縮むことによって、前記気
室側連通口３１ｂおよび前記ケーシング側連通口３１ａ
を介して前記気室１１と前記気体排気口１１ｂとが連通
され、前記気体排気口１１ｂから前記気室１１内の排気
が行われる。したがって、この好ましい例によれば、前
記液室２１内の減圧に応じて、前記気室１１内も減圧さ
れ、前記気室１１と前記液室２１との圧力バランスが保
持されるので、移送液（ポンプ等からダンパーを介して
流出される液体）の脈動を自動的に抑制することが可能
となる。
【００２１】
【発明の実施の形態】以下、図面に基づいて本発明の実
施の形態を説明する。
施の形態を説明する。
【００２２】図１は、本発明の実施形態に係るダンパー
の概略断面図を示したものであり、具体的には、ダンパ
ーを構成する圧力調節部が中立位置（中立位置状態）に
ある場合の概略断面図を示したものである。また、図２
は、この圧力調節部が空気供給位置にある場合の概略断
面図を示したものであり、図３は、この圧力調節部が空
気排気位置にある場合の概略断面図を示したものであ
る。
の概略断面図を示したものであり、具体的には、ダンパ
ーを構成する圧力調節部が中立位置（中立位置状態）に
ある場合の概略断面図を示したものである。また、図２
は、この圧力調節部が空気供給位置にある場合の概略断
面図を示したものであり、図３は、この圧力調節部が空
気排気位置にある場合の概略断面図を示したものであ
る。
【００２３】図１から図３において、本実施形態に係る
ダンパーは、ケーシング１０内に、気室１１を形成する
と共に、液室２１を形成するベローズ２０と、気室１１
内に対する空気の供給・排気を行って、気室１１と液室
２１との圧力バランスを保持する圧力調節部３０とを有
している。
ダンパーは、ケーシング１０内に、気室１１を形成する
と共に、液室２１を形成するベローズ２０と、気室１１
内に対する空気の供給・排気を行って、気室１１と液室
２１との圧力バランスを保持する圧力調節部３０とを有
している。
【００２４】ケーシング１０内には、気室１１内に空気
を供給する際の気体供給口１１ａと、気室１１内から空
気を排気する際の気体排気口１１ｂとが設けられてい
る。そして、気体供給口１１ａは、ケーシング１０内に
設けられた供給側連通路１１ｃを介して、後述する圧力
調節部３０（を構成するケース）の気体供給側に連通す
るように構成され、気体排気口１１ｂは、ケーシング１
０内に設けられた排気側連通路１１ｄを介して、圧力調
節部３０（を構成するケース）の気体排気側に連通する
ように構成されている。
を供給する際の気体供給口１１ａと、気室１１内から空
気を排気する際の気体排気口１１ｂとが設けられてい
る。そして、気体供給口１１ａは、ケーシング１０内に
設けられた供給側連通路１１ｃを介して、後述する圧力
調節部３０（を構成するケース）の気体供給側に連通す
るように構成され、気体排気口１１ｂは、ケーシング１
０内に設けられた排気側連通路１１ｄを介して、圧力調
節部３０（を構成するケース）の気体排気側に連通する
ように構成されている。
【００２５】液室２１を構成するベローズ２０には、第
一の液体流入出口２１ａと、第二の液体流入出口２１ｂ
とが設けられており、これらの各液体流入出口２１ａ，
２１ｂは、必要に応じて、どちらか一方を液体流入側、
そして他方を液体流出側として設定することが可能であ
る。また、このベローズ２０は、後述する圧力調節部３
０を構成するスプール３１と連結されており、具体的に
は、スプール３１に固着されたフランジ２２と割りフラ
ンジ２３とを用いて、ベローズ２０の気室１１側の端部
（被挟持部２０ａ）が挟持され、フランジ２２、被挟持
部２０ａ、および割りフランジ２３がボルト２４によっ
て連結されている。このようにして、ベローズ２０とス
プール３１とは一体的に構成され、ベローズ２０（ある
いはスプール３１）の動きに同期して、スプール３１
（あるいはベローズ２０）が作動することとなる。本実
施形態においては、ダンパーを介して流動する液体が、
このベローズ２０内にのみ接触する。したがって、本実
施形態に係るダンパーを半導体の洗浄等の洗浄工程中に
配置させる場合には、少なくともその液体との接触部
を、耐薬品性・耐熱性等に優れたフッ素樹脂等を用いて
形成する必要がある。フッ素樹脂は、耐薬品性・耐熱性
に優れ、イオン溶出がなく、非常にピュアであるという
特徴を有しており、本実施形態に係るダンパーは、フッ
素樹脂を用いて形成されている。
一の液体流入出口２１ａと、第二の液体流入出口２１ｂ
とが設けられており、これらの各液体流入出口２１ａ，
２１ｂは、必要に応じて、どちらか一方を液体流入側、
そして他方を液体流出側として設定することが可能であ
る。また、このベローズ２０は、後述する圧力調節部３
０を構成するスプール３１と連結されており、具体的に
は、スプール３１に固着されたフランジ２２と割りフラ
ンジ２３とを用いて、ベローズ２０の気室１１側の端部
（被挟持部２０ａ）が挟持され、フランジ２２、被挟持
部２０ａ、および割りフランジ２３がボルト２４によっ
て連結されている。このようにして、ベローズ２０とス
プール３１とは一体的に構成され、ベローズ２０（ある
いはスプール３１）の動きに同期して、スプール３１
（あるいはベローズ２０）が作動することとなる。本実
施形態においては、ダンパーを介して流動する液体が、
このベローズ２０内にのみ接触する。したがって、本実
施形態に係るダンパーを半導体の洗浄等の洗浄工程中に
配置させる場合には、少なくともその液体との接触部
を、耐薬品性・耐熱性等に優れたフッ素樹脂等を用いて
形成する必要がある。フッ素樹脂は、耐薬品性・耐熱性
に優れ、イオン溶出がなく、非常にピュアであるという
特徴を有しており、本実施形態に係るダンパーは、フッ
素樹脂を用いて形成されている。
【００２６】圧力調節部３０は、ケーシング側連通口３
１ａおよび気室側連通口３１ｂを有するスプール３１
と、このスプール３１の外周部に設けられたポート形成
部３２と、このポート形成部３２の外周部に設けられた
ケース３３とを用いて構成されている。図４は、本実施
形態に係るダンパーを構成している圧力調節部３０の部
分拡大図を示したものであり、具体的には、圧力調節部
３０が気体供給位置にある場合（図２参照）の部分拡大
図を示したものである。
１ａおよび気室側連通口３１ｂを有するスプール３１
と、このスプール３１の外周部に設けられたポート形成
部３２と、このポート形成部３２の外周部に設けられた
ケース３３とを用いて構成されている。図４は、本実施
形態に係るダンパーを構成している圧力調節部３０の部
分拡大図を示したものであり、具体的には、圧力調節部
３０が気体供給位置にある場合（図２参照）の部分拡大
図を示したものである。
【００２７】図４において、フランジ２０に固着されて
ベローズ２０と一体的に構成されたスプール３１には、
圧力調節部３０外（ケーシング１０）に形成された供給
側連通路１１ｃあるいは排気側連通路１１ｄとの連通が
可能であるケーシング側連通口３１ａと、気室との連通
が可能である気室側連通口３１ｂとが設けられており、
これらのケーシング側連通口３１ａと気室側連通口３１
ｂとはスプール３１内において連通している。
ベローズ２０と一体的に構成されたスプール３１には、
圧力調節部３０外（ケーシング１０）に形成された供給
側連通路１１ｃあるいは排気側連通路１１ｄとの連通が
可能であるケーシング側連通口３１ａと、気室との連通
が可能である気室側連通口３１ｂとが設けられており、
これらのケーシング側連通口３１ａと気室側連通口３１
ｂとはスプール３１内において連通している。
【００２８】また、スプール３１の外周部に設けられて
いるポート形成部３２は、第一のカラー３２ａ、第一の
Ｏリング３２ｂ、供給側ポート３２ｃ、第二のＯリング
３２ｄ、第二のカラー３２ｅ、第三のＯリング３２ｆ、
排気側ポート３２ｇ、第四のＯリング３２ｈ、および第
三のカラー３２ｉを積み重ねて構成されている。そし
て、各Ｏリング３２ｂ，３２ｄ，３２ｆ，３２ｈとスプ
ール３１との間には、それぞれ第一から第四のシールプ
レート３２ｊ，３２ｋ，３２ｍ，３２ｎが設けられてい
る。さらに、各ポート３２ｃ，３２ｇにおいては、その
開口部３２ｃ1，３２ｇ1が、気体の供給および排気を行
う際の連通領域となる。本実施形態においては、各ポー
ト３２ｃ，３２ｇの４箇所に各開口部３２ｃ1，３２ｇ1
が設けられている。
いるポート形成部３２は、第一のカラー３２ａ、第一の
Ｏリング３２ｂ、供給側ポート３２ｃ、第二のＯリング
３２ｄ、第二のカラー３２ｅ、第三のＯリング３２ｆ、
排気側ポート３２ｇ、第四のＯリング３２ｈ、および第
三のカラー３２ｉを積み重ねて構成されている。そし
て、各Ｏリング３２ｂ，３２ｄ，３２ｆ，３２ｈとスプ
ール３１との間には、それぞれ第一から第四のシールプ
レート３２ｊ，３２ｋ，３２ｍ，３２ｎが設けられてい
る。さらに、各ポート３２ｃ，３２ｇにおいては、その
開口部３２ｃ1，３２ｇ1が、気体の供給および排気を行
う際の連通領域となる。本実施形態においては、各ポー
ト３２ｃ，３２ｇの４箇所に各開口部３２ｃ1，３２ｇ1
が設けられている。
【００２９】ポート形成部３２の外周部に設けられたケ
ース３３には、ケーシング１０に形成された供給側連通
路１１ｃと供給側ポート３２ｃとを連通させるケース内
供給連通路３３ａと、ケーシング１０に形成された排気
側連通路１１ｄと排気側ポート３２ｇとを連通させるケ
ース内排気連通路３３ｂとが形成されている。
ース３３には、ケーシング１０に形成された供給側連通
路１１ｃと供給側ポート３２ｃとを連通させるケース内
供給連通路３３ａと、ケーシング１０に形成された排気
側連通路１１ｄと排気側ポート３２ｇとを連通させるケ
ース内排気連通路３３ｂとが形成されている。
【００３０】以下、図１から図４に基づいて、本実施形
態に係るダンパーの作動状態について説明する。
態に係るダンパーの作動状態について説明する。
【００３１】まず、ダンパーを構成するベローズ２０の
液室２１内に液体が流入しない場合（例えば、供給側の
ポンプ等が休止等している場合）には、ベローズ２０内
の液体圧力は変化しないので、ベローズ２０の伸縮も行
われない。したがって、ベローズ２０に固着されて一体
的に構成されているスプール３１も動くことはない。そ
うすると、スプール３１に形成されているケーシング側
連通口３１ａが、供給側ポート３２ｃ（の開口部３２ｃ
1 ）および排気側ポート３２ｇ（の開口部３２ｇ1 ）に
連通することはないため、ダンパーの気室１１内への空
気の供給および気室内１１からの空気の排気は、ポート
形成部３０により遮断されることとなる（図１および図
４参照）。この状態（気体の供給および排気が遮断され
ている状態）は、気室１１と液室２１との圧力バランス
が適当に保持された状態であるので、以下、この状態
（図１に示した状態）のことを、「中立位置状態」とい
うこととする。
液室２１内に液体が流入しない場合（例えば、供給側の
ポンプ等が休止等している場合）には、ベローズ２０内
の液体圧力は変化しないので、ベローズ２０の伸縮も行
われない。したがって、ベローズ２０に固着されて一体
的に構成されているスプール３１も動くことはない。そ
うすると、スプール３１に形成されているケーシング側
連通口３１ａが、供給側ポート３２ｃ（の開口部３２ｃ
1 ）および排気側ポート３２ｇ（の開口部３２ｇ1 ）に
連通することはないため、ダンパーの気室１１内への空
気の供給および気室内１１からの空気の排気は、ポート
形成部３０により遮断されることとなる（図１および図
４参照）。この状態（気体の供給および排気が遮断され
ている状態）は、気室１１と液室２１との圧力バランス
が適当に保持された状態であるので、以下、この状態
（図１に示した状態）のことを、「中立位置状態」とい
うこととする。
【００３２】ポンプ等が起動して、ベローズ２０内に液
体が流入する場合、あるいは何らかの原因で液体の圧力
が上昇した場合には、液室２１内の液体圧力が上昇して
気室１１内の空気圧力との差圧が発生し、ベローズ２０
は伸びる。そして、ベローズ２０の伸びに同期してスプ
ール３１が下降し、ベローズ２０の伸びが所定値を越え
ると（液体圧力が所定値よりも大きくなると）、ケーシ
ング側連通口３１ａが供給側ポート３２ｃに連通するこ
ととなり、延いては、供給側連通路１１ｃ、ケース内供
給連通路３３ａ、供給側ポート３２ｃ（開口部３２
ｃ1 ）、ケーシング側連通口３１ａ、スプール３１内
部、および気室側連通口３１ｂを介して、気体供給口１
１ａと気室１１とが連通されることとなる（図２および
図４参照）。気体供給口１１ａには圧縮空気が供給され
ているので、上記のように各構成要素が連通されれば、
気室１１内には圧縮空気が送り込まれることとなり、気
室１１内の空気圧力は上昇する。この空気圧力の上昇に
よって、気室１１内の空気圧力と液室２１内の液体圧力
との差圧は小さくなり、ベローズ２０は中立位置状態に
戻る方向に変化する。すなわち、圧縮空気の供給によっ
てベローズ２０は縮み、その動きに同期してスプール３
１は上昇する。その結果、ベローズ２０等が中立位置状
態となれば、図１に示すように、気体供給口１１ａと気
室１１とはスプール３１等によって遮断されることとな
るので、気室１１内に対する圧縮空気の供給は止まり、
液体圧力と空気圧力との圧力バランスは保たれる。した
がって、ダンパーから流出される液体の脈動を抑制する
ことが可能となる。
体が流入する場合、あるいは何らかの原因で液体の圧力
が上昇した場合には、液室２１内の液体圧力が上昇して
気室１１内の空気圧力との差圧が発生し、ベローズ２０
は伸びる。そして、ベローズ２０の伸びに同期してスプ
ール３１が下降し、ベローズ２０の伸びが所定値を越え
ると（液体圧力が所定値よりも大きくなると）、ケーシ
ング側連通口３１ａが供給側ポート３２ｃに連通するこ
ととなり、延いては、供給側連通路１１ｃ、ケース内供
給連通路３３ａ、供給側ポート３２ｃ（開口部３２
ｃ1 ）、ケーシング側連通口３１ａ、スプール３１内
部、および気室側連通口３１ｂを介して、気体供給口１
１ａと気室１１とが連通されることとなる（図２および
図４参照）。気体供給口１１ａには圧縮空気が供給され
ているので、上記のように各構成要素が連通されれば、
気室１１内には圧縮空気が送り込まれることとなり、気
室１１内の空気圧力は上昇する。この空気圧力の上昇に
よって、気室１１内の空気圧力と液室２１内の液体圧力
との差圧は小さくなり、ベローズ２０は中立位置状態に
戻る方向に変化する。すなわち、圧縮空気の供給によっ
てベローズ２０は縮み、その動きに同期してスプール３
１は上昇する。その結果、ベローズ２０等が中立位置状
態となれば、図１に示すように、気体供給口１１ａと気
室１１とはスプール３１等によって遮断されることとな
るので、気室１１内に対する圧縮空気の供給は止まり、
液体圧力と空気圧力との圧力バランスは保たれる。した
がって、ダンパーから流出される液体の脈動を抑制する
ことが可能となる。
【００３３】また、ポンプ等が停止してベローズ２０内
への液体の流入が停止する場合、あるいは何らかの原因
で液体の圧力が下降した場合には、ベローズ２０内の液
体圧力が下降して空気圧力との差圧が発生し、ベローズ
２０は縮む。そして、ベローズ２０の縮みに同期してス
プール３１が上昇し、ベローズ２０の縮みが所定値を越
えると（液体圧力が所定値よりも小さくなると）、ケー
シング側連通口３１ａが排気側ポート３２ｇに連通する
こととなり、延いては、気室側連通口３１ｂ、スプール
３１内部、ケーシング側連通口３１ａ、排気側ポート３
２ｇ（開口部３２ｇ1 ）、ケース内排気連通路３３ｂ、
および排気側連通路１１ｄを介して、気室１１と気体排
気口１１ｂとが連通されることとなる（図３および図４
参照）。気体排気口１１ｂには気室１１内の空気をケー
シング１０外に引き出す方向に圧力がかけられているの
で、上記のように各構成要素が連通されれば、気室１１
内からは空気が排気されることとなり、気室１１内の空
気圧力は下降する。この空気圧力の下降によって気室１
１内の空気圧力と液室２１内の液体圧力との差圧は小さ
くなり、ベローズ２０は中立位置状態に戻る方向に変化
する。すなわち、気室１１内の排気によってベローズ２
０は伸びることとなり、その動きに同期してスプール３
１は下降する。その結果、ベローズ２０等が中立位置状
態となれば、図１に示すように、気室１１と気体排気口
１１ｂとはスプール３１等によって遮断されることとな
るので、気室１１内からの排気は止まり、液体圧力と気
体圧力との圧力バランスは保たれる。したがって、ダン
パーから流出される液体の脈動を抑制することが可能と
なる。
への液体の流入が停止する場合、あるいは何らかの原因
で液体の圧力が下降した場合には、ベローズ２０内の液
体圧力が下降して空気圧力との差圧が発生し、ベローズ
２０は縮む。そして、ベローズ２０の縮みに同期してス
プール３１が上昇し、ベローズ２０の縮みが所定値を越
えると（液体圧力が所定値よりも小さくなると）、ケー
シング側連通口３１ａが排気側ポート３２ｇに連通する
こととなり、延いては、気室側連通口３１ｂ、スプール
３１内部、ケーシング側連通口３１ａ、排気側ポート３
２ｇ（開口部３２ｇ1 ）、ケース内排気連通路３３ｂ、
および排気側連通路１１ｄを介して、気室１１と気体排
気口１１ｂとが連通されることとなる（図３および図４
参照）。気体排気口１１ｂには気室１１内の空気をケー
シング１０外に引き出す方向に圧力がかけられているの
で、上記のように各構成要素が連通されれば、気室１１
内からは空気が排気されることとなり、気室１１内の空
気圧力は下降する。この空気圧力の下降によって気室１
１内の空気圧力と液室２１内の液体圧力との差圧は小さ
くなり、ベローズ２０は中立位置状態に戻る方向に変化
する。すなわち、気室１１内の排気によってベローズ２
０は伸びることとなり、その動きに同期してスプール３
１は下降する。その結果、ベローズ２０等が中立位置状
態となれば、図１に示すように、気室１１と気体排気口
１１ｂとはスプール３１等によって遮断されることとな
るので、気室１１内からの排気は止まり、液体圧力と気
体圧力との圧力バランスは保たれる。したがって、ダン
パーから流出される液体の脈動を抑制することが可能と
なる。
【００３４】すなわち、図１から図４に示すように構成
され、以上のように作動する本実施形態に係るダンパー
によれば、ポンプ等の運転中において、ベローズ２０に
流入する液体圧力の変動が少ない場合には、ベローズ２
０は、スプール３１の可変長範囲Ａ（図１および図４参
照）内で伸縮を繰り返すこととなるので、ベローズ２０
等の中立位置状態が保たれる。また、何らかの原因で液
体圧力に増減圧が生じた場合であっても、スプール３１
がベローズ２０に同期して上述したように作動するの
で、ベローズ２０（液室２１）内の液体圧力に追従して
気室１１内の空気圧力が適圧に調節され、液体圧力と気
体圧力との圧力バランスが適当に保持される。したがっ
て、本実施形態にかかるダンパーによれば、機械的に構
成された圧力調節部３０が、液体圧力変動（ベローズ２
０の伸び・縮み）に応じて、気室１１内の空気圧力を自
動的に調節するので、移送液（ポンプ等からダンパーを
介して流出される液体）の脈動を自動的に抑制すること
が可能となる。
され、以上のように作動する本実施形態に係るダンパー
によれば、ポンプ等の運転中において、ベローズ２０に
流入する液体圧力の変動が少ない場合には、ベローズ２
０は、スプール３１の可変長範囲Ａ（図１および図４参
照）内で伸縮を繰り返すこととなるので、ベローズ２０
等の中立位置状態が保たれる。また、何らかの原因で液
体圧力に増減圧が生じた場合であっても、スプール３１
がベローズ２０に同期して上述したように作動するの
で、ベローズ２０（液室２１）内の液体圧力に追従して
気室１１内の空気圧力が適圧に調節され、液体圧力と気
体圧力との圧力バランスが適当に保持される。したがっ
て、本実施形態にかかるダンパーによれば、機械的に構
成された圧力調節部３０が、液体圧力変動（ベローズ２
０の伸び・縮み）に応じて、気室１１内の空気圧力を自
動的に調節するので、移送液（ポンプ等からダンパーを
介して流出される液体）の脈動を自動的に抑制すること
が可能となる。
【００３５】また、本実施形態においては、従来技術に
係るダンパー（図５から図７参照）に必須の構成要素で
あったスプリングを用いることなく、ダンパーを構成し
ている。したがって、本実施形態によれば、スプリング
の高性能化等を図ることなく、ダンパーの高性能化と小
型化とを実現することが可能となる。
係るダンパー（図５から図７参照）に必須の構成要素で
あったスプリングを用いることなく、ダンパーを構成し
ている。したがって、本実施形態によれば、スプリング
の高性能化等を図ることなく、ダンパーの高性能化と小
型化とを実現することが可能となる。
【００３６】なお、本実施形態においては、気室内に空
気を供給する場合について説明したが、本発明はこの構
成に限定されるものではない。したがって、例えば、空
気の代わりに、窒素（Ｎ2）、二酸化炭素（ＣＯ2）等の
他の気体を気室内に供給してもよい。
気を供給する場合について説明したが、本発明はこの構
成に限定されるものではない。したがって、例えば、空
気の代わりに、窒素（Ｎ2）、二酸化炭素（ＣＯ2）等の
他の気体を気室内に供給してもよい。
【００３７】また、本実施形態においては、上述した装
置（ダンパー）を液体の脈動抑制に用いる場合について
説明したが、本発明はこの用途に限定されるものではな
い。したがって、例えば、空気圧力を一定の圧力に設定
しているエアーチャンバーおよびアキュムレータとして
の脈動抑制に用いることも可能である。さらに、その他
の用途として、気体排気口を塞ぐことによって蓄圧器と
して使用することも可能である。
置（ダンパー）を液体の脈動抑制に用いる場合について
説明したが、本発明はこの用途に限定されるものではな
い。したがって、例えば、空気圧力を一定の圧力に設定
しているエアーチャンバーおよびアキュムレータとして
の脈動抑制に用いることも可能である。さらに、その他
の用途として、気体排気口を塞ぐことによって蓄圧器と
して使用することも可能である。
【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、ベ
ローズにスプールを固着することによって、スプリング
を用いることなく、高性能化と小型化とを両立可能であ
るダンパーを得ることができる。
ローズにスプールを固着することによって、スプリング
を用いることなく、高性能化と小型化とを両立可能であ
るダンパーを得ることができる。
【図１】本発明の実施形態に係るダンパーの概略断面図
であって、このダンパーを構成する圧力調節部が中立位
置にある場合の概略断面図
であって、このダンパーを構成する圧力調節部が中立位
置にある場合の概略断面図
【図２】図１に示したダンパーの概略断面図であって、
このダンパーを構成する圧力調節部が気体供給位置にあ
る場合の概略断面図
このダンパーを構成する圧力調節部が気体供給位置にあ
る場合の概略断面図
【図３】図１に示したダンパーの概略断面図であって、
このダンパーを構成する圧力調節部が気体排気位置にあ
る場合の概略断面図
このダンパーを構成する圧力調節部が気体排気位置にあ
る場合の概略断面図
【図４】本発明の実施形態に係るダンパーを構成してい
る圧力調節部の部分拡大図
る圧力調節部の部分拡大図
【図５】従来技術に係るダンパーであって、これを構成
するバルブ部が中立位置にある場合の概略断面図
するバルブ部が中立位置にある場合の概略断面図
【図６】従来技術に係るダンパーであって、これを構成
するバルブ部が空気供給位置にある場合の概略断面図
するバルブ部が空気供給位置にある場合の概略断面図
【図７】従来技術に係るダンパーであって、これを構成
するバルブ部が空気排気位置にある場合の概略断面図
するバルブ部が空気排気位置にある場合の概略断面図
１０…ケーシング、１１…気室、１１ａ…気体供給口、
１１ｂ…気体排気口、１１ｃ…供給側連通路、１１ｄ…
排気側連通路、２０…ベローズ、２０ａ…被挟持部、２
１…液室、２２…フランジ、２３…割りフランジ、２４
…ボルト、３０…圧力調節部、３１…スプール、３１ａ
…ケーシング側連通口、３１ｂ…気室側連通口、３２…
ポート形成部、３２ａ…第一のカラー、３２ｂ…第一の
Ｏリング、３２ｃ…供給側ポート、３２ｃ1 …開口部、
３２ｄ…第二のＯリング、３２ｅ…第二のカラー、３２
ｆ…第三のＯリング、３２ｇ…排気側ポート、３２ｇ1
…開口部、３２ｈ…第四のＯリング、３２ｉ…第三のカ
ラー、３２ｊ…第一のシールプレート、３２ｋ…第二の
シールプレート、３２ｍ…第三のシールプレート、３２
ｎ…第四のシールプレート、３３…ケース、３３ａ…ケ
ース内供給連通路、３３ｂ…ケース内排気連通路
１１ｂ…気体排気口、１１ｃ…供給側連通路、１１ｄ…
排気側連通路、２０…ベローズ、２０ａ…被挟持部、２
１…液室、２２…フランジ、２３…割りフランジ、２４
…ボルト、３０…圧力調節部、３１…スプール、３１ａ
…ケーシング側連通口、３１ｂ…気室側連通口、３２…
ポート形成部、３２ａ…第一のカラー、３２ｂ…第一の
Ｏリング、３２ｃ…供給側ポート、３２ｃ1 …開口部、
３２ｄ…第二のＯリング、３２ｅ…第二のカラー、３２
ｆ…第三のＯリング、３２ｇ…排気側ポート、３２ｇ1
…開口部、３２ｈ…第四のＯリング、３２ｉ…第三のカ
ラー、３２ｊ…第一のシールプレート、３２ｋ…第二の
シールプレート、３２ｍ…第三のシールプレート、３２
ｎ…第四のシールプレート、３３…ケース、３３ａ…ケ
ース内供給連通路、３３ｂ…ケース内排気連通路
─────────────────────────────────────────────────────
【手続補正書】
【提出日】平成１１年１１月１６日（１９９９．１１．
１６）
１６）
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正内容】
【特許請求の範囲】
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１５
【補正方法】変更
【補正内容】
【００１５】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
のの本発明は、ケーシング１０内に気室１１と液室２１
とを備え、前記気室１１内の圧力を調節することによっ
て前記気室１１と前記液室２１との圧力バランスを保持
して、前記液室２１を介して流動する液体の脈動を抑制
するダンパーにおいて、前記液室２１がベローズ２０を
用いて形成されており、前記ベローズ２０の動きと同期
するように前記ベローズ２０と一体的に設けられたスプ
ール３１には、前記ケーシング１０に形成された気体供
給口１１ａとの連通が可能であって且つ前記ケーシング
１０に形成された気体排気口１１ｂとも連通が可能であ
るケーシング側連通口３１ａと、前記気室１１との連通
が可能である気室側連通口３１ｂとが設けられ、前記ケ
ーシング側連通口３１ａと前記気室側連通口３１ｂとが
連通しており、前記液体の脈動に対して、前記スプール
３１を介した前記気室１１に対する気体の供給および排
気を行う場合には、スプリング等の付勢手段を用いるこ
となく、前記ベローズ２０と前記スプール３１とが同期
して駆動することを特徴としている。
のの本発明は、ケーシング１０内に気室１１と液室２１
とを備え、前記気室１１内の圧力を調節することによっ
て前記気室１１と前記液室２１との圧力バランスを保持
して、前記液室２１を介して流動する液体の脈動を抑制
するダンパーにおいて、前記液室２１がベローズ２０を
用いて形成されており、前記ベローズ２０の動きと同期
するように前記ベローズ２０と一体的に設けられたスプ
ール３１には、前記ケーシング１０に形成された気体供
給口１１ａとの連通が可能であって且つ前記ケーシング
１０に形成された気体排気口１１ｂとも連通が可能であ
るケーシング側連通口３１ａと、前記気室１１との連通
が可能である気室側連通口３１ｂとが設けられ、前記ケ
ーシング側連通口３１ａと前記気室側連通口３１ｂとが
連通しており、前記液体の脈動に対して、前記スプール
３１を介した前記気室１１に対する気体の供給および排
気を行う場合には、スプリング等の付勢手段を用いるこ
となく、前記ベローズ２０と前記スプール３１とが同期
して駆動することを特徴としている。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１７
【補正方法】変更
【補正内容】
【００１７】また、本発明に係るダンパーにおいては、
前記液室２１内の液体圧力が所定値よりも増圧された場
合には、前記ベローズ２０の動きに同期して前記スプー
ル３１が移動することによって、前記気体供給口１１ａ
と前記ケーシング側連通口３１ａとが連通され、前記ケ
ーシング側連通口３１ａおよび前記気室側連通口３１ｂ
を介して、前記気体供給口１１ａと前記気室１１とが連
通される構成であることが好ましい。
前記液室２１内の液体圧力が所定値よりも増圧された場
合には、前記ベローズ２０の動きに同期して前記スプー
ル３１が移動することによって、前記気体供給口１１ａ
と前記ケーシング側連通口３１ａとが連通され、前記ケ
ーシング側連通口３１ａおよび前記気室側連通口３１ｂ
を介して、前記気体供給口１１ａと前記気室１１とが連
通される構成であることが好ましい。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１８
【補正方法】変更
【補正内容】
【００１８】この好ましい例によれば、前記液室２１内
が増圧することによる前記ベローズ２０の動きに同期し
て、前記スプールが移動することによって、前記ケーシ
ング側連通口３１ａおよび前記気室側連通口３１ｂを介
して前記気体供給口１１ａと前記気室１１とが連通さ
れ、前記気体供給口１１ａから前記気室１１内に圧縮空
気が供給される。したがって、この好ましい例によれ
ば、前記液室２１内の増圧に応じて、前記気室１１内も
増圧され、前記気室１１と前記液室２１との圧力バラン
スが保持されるので、移送液（ポンプ等からダンパーを
介して流出される液体）の脈動を自動的に抑制すること
が可能となる。
が増圧することによる前記ベローズ２０の動きに同期し
て、前記スプールが移動することによって、前記ケーシ
ング側連通口３１ａおよび前記気室側連通口３１ｂを介
して前記気体供給口１１ａと前記気室１１とが連通さ
れ、前記気体供給口１１ａから前記気室１１内に圧縮空
気が供給される。したがって、この好ましい例によれ
ば、前記液室２１内の増圧に応じて、前記気室１１内も
増圧され、前記気室１１と前記液室２１との圧力バラン
スが保持されるので、移送液（ポンプ等からダンパーを
介して流出される液体）の脈動を自動的に抑制すること
が可能となる。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１９
【補正方法】変更
【補正内容】
【００１９】また、本発明に係るダンパーにおいては、
前記液室２１内の液体圧力が所定値よりも減圧された場
合には、前記ベローズ２０の動きに同期して前記スプー
ル３１が移動することによって、前記ケーシング側連通
口３１ａと前記気体排気口１１ｂとが連通され、前記気
室側連通口３１ｂおよび前記ケーシング側連通口３１ａ
を介して、前記気室１１と前記気体排気口１１ｂとが連
通される構成であることが好ましい。
前記液室２１内の液体圧力が所定値よりも減圧された場
合には、前記ベローズ２０の動きに同期して前記スプー
ル３１が移動することによって、前記ケーシング側連通
口３１ａと前記気体排気口１１ｂとが連通され、前記気
室側連通口３１ｂおよび前記ケーシング側連通口３１ａ
を介して、前記気室１１と前記気体排気口１１ｂとが連
通される構成であることが好ましい。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２０
【補正方法】変更
【補正内容】
【００２０】この好ましい例によれば、前記液室２１内
が減圧することによる前記ベローズ２０の動きに同期し
て、前記スプールが移動することによって、前記気室側
連通口３１ｂおよび前記ケーシング側連通口３１ａを介
して前記気室１１と前記気体排気口１１ｂとが連通さ
れ、前記気体排気口１１ｂから前記気室１１内の排気が
行われる。したがって、この好ましい例によれば、前記
液室２１内の減圧に応じて、前記気室１１内も減圧さ
れ、前記気室１１と前記液室２１との圧力バランスが保
持されるので、移送液（ポンプ等からダンパーを介して
流出される液体）の脈動を自動的に抑制することが可能
となる。
が減圧することによる前記ベローズ２０の動きに同期し
て、前記スプールが移動することによって、前記気室側
連通口３１ｂおよび前記ケーシング側連通口３１ａを介
して前記気室１１と前記気体排気口１１ｂとが連通さ
れ、前記気体排気口１１ｂから前記気室１１内の排気が
行われる。したがって、この好ましい例によれば、前記
液室２１内の減圧に応じて、前記気室１１内も減圧さ
れ、前記気室１１と前記液室２１との圧力バランスが保
持されるので、移送液（ポンプ等からダンパーを介して
流出される液体）の脈動を自動的に抑制することが可能
となる。
Claims (3)
- 【請求項１】 ケーシング（１０）内に気室（１１）と
液室（２１）とを備え、前記気室（１１）内の圧力を調
節することによって前記気室（１１）と前記液室（２
１）との圧力バランスを保持して、前記液室（２１）を
介して流動する液体の脈動を抑制するダンパーにおい
て、前記液室（２１）がベローズ（２０）を用いて形成
されており、前記ベローズ（２０）の動きと同期するよ
うに前記ベローズ（２０）と一体的に設けられたスプー
ル（３１）には、前記ケーシング（１０）に形成された
気体供給口（１１ａ）との連通が可能であって且つ前記
ケーシング（１０）に形成された気体排気口（１１ｂ）
とも連通が可能であるケーシング側連通口（３１ａ）
と、前記気室（１１）との連通が可能である気室側連通
口（３１ｂ）とが設けられており、前記ケーシング側連
通口（３１ａ）と前記気室側連通口（３１ｂ）とが連通
していることを特徴とするダンパー。 - 【請求項２】 前記液室（２１）内の液体圧力が所定値
よりも増圧された場合には、前記ベローズ（２０）が伸
びることによって前記スプール（３１）が移動して前記
気体供給口（１１ａ）と前記ケーシング側連通口（３１
ａ）とが連通され、前記ケーシング側連通口（３１ａ）
および前記気室側連通口（３１ｂ）を介して、前記気体
供給口（１１ａ）と前記気室（１１）とが連通される請
求項１に記載のダンパー。 - 【請求項３】 前記液室（２１）内の液体圧力が所定値
よりも減圧された場合には、前記ベローズ（２０）が縮
むことによって前記スプール（３１）が移動して前記ケ
ーシング側連通口（３１ａ）と前記気体排気口（１１
ｂ）とが連通され、前記気室側連通口（３１ｂ）および
前記ケーシング側連通口（３１ａ）を介して、前記気室
（１１）と前記気体排気口（１１ｂ）とが連通される請
求項１または２に記載のダンパー。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11004368A JP3020941B1 (ja) | 1999-01-11 | 1999-01-11 | ダンパ― |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11004368A JP3020941B1 (ja) | 1999-01-11 | 1999-01-11 | ダンパ― |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP3020941B1 JP3020941B1 (ja) | 2000-03-15 |
| JP2000205201A true JP2000205201A (ja) | 2000-07-25 |
Family
ID=11582440
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11004368A Expired - Fee Related JP3020941B1 (ja) | 1999-01-11 | 1999-01-11 | ダンパ― |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3020941B1 (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP3296570A1 (en) | 2016-09-14 | 2018-03-21 | Surpass Industry Co., Ltd. | Tube pump system and method for controlling the tube pump system |
| EP3543532A1 (en) | 2018-03-19 | 2019-09-25 | Surpass Industry Co., Ltd. | Tube pump system and method for controlling the tube pump system |
| US10519941B2 (en) | 2015-03-11 | 2019-12-31 | Surpass Industry Co., Ltd. | Flow control apparatus |
| US11542937B2 (en) | 2019-02-15 | 2023-01-03 | Surpass Industry Co., Ltd. | Tube pump system and method for controlling the tube pump system |
-
1999
- 1999-01-11 JP JP11004368A patent/JP3020941B1/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US10519941B2 (en) | 2015-03-11 | 2019-12-31 | Surpass Industry Co., Ltd. | Flow control apparatus |
| EP3296570A1 (en) | 2016-09-14 | 2018-03-21 | Surpass Industry Co., Ltd. | Tube pump system and method for controlling the tube pump system |
| US10528064B2 (en) | 2016-09-14 | 2020-01-07 | Surpass Industry Co., Ltd. | Tube pump system and method for controlling the tube pump system |
| EP3543532A1 (en) | 2018-03-19 | 2019-09-25 | Surpass Industry Co., Ltd. | Tube pump system and method for controlling the tube pump system |
| KR20190110062A (ko) | 2018-03-19 | 2019-09-27 | 사파스고교 가부시키가이샤 | 튜브 펌프 시스템 및 그 제어 방법 |
| US11035355B2 (en) | 2018-03-19 | 2021-06-15 | Surpass Industry Co., Ltd. | Tube pump system and method for controlling the tube pump system |
| US11542937B2 (en) | 2019-02-15 | 2023-01-03 | Surpass Industry Co., Ltd. | Tube pump system and method for controlling the tube pump system |
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| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3020941B1 (ja) | 2000-03-15 |
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