JP2021025529A - アクチュエータ及びそれを備えたエアオペレートバルブ - Google Patents
アクチュエータ及びそれを備えたエアオペレートバルブ Download PDFInfo
- Publication number
- JP2021025529A JP2021025529A JP2019140481A JP2019140481A JP2021025529A JP 2021025529 A JP2021025529 A JP 2021025529A JP 2019140481 A JP2019140481 A JP 2019140481A JP 2019140481 A JP2019140481 A JP 2019140481A JP 2021025529 A JP2021025529 A JP 2021025529A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- stem
- piston
- actuator
- peripheral surface
- pressure receiving
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 claims abstract description 65
- 239000012530 fluid Substances 0.000 claims abstract description 37
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 claims abstract description 30
- 238000003780 insertion Methods 0.000 claims abstract description 5
- 238000005192 partition Methods 0.000 claims description 20
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 13
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 claims description 7
- 230000037431 insertion Effects 0.000 claims description 4
- 230000008859 change Effects 0.000 claims description 3
- 238000000638 solvent extraction Methods 0.000 claims description 2
- 238000000034 method Methods 0.000 abstract description 9
- 230000006870 function Effects 0.000 description 25
- 238000007789 sealing Methods 0.000 description 22
- 238000000231 atomic layer deposition Methods 0.000 description 4
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 4
- 238000005452 bending Methods 0.000 description 3
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 2
- 238000005755 formation reaction Methods 0.000 description 2
- 230000007257 malfunction Effects 0.000 description 2
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 2
- 239000007769 metal material Substances 0.000 description 2
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 2
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 2
- 238000003825 pressing Methods 0.000 description 2
- 230000004043 responsiveness Effects 0.000 description 2
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 2
- 239000010935 stainless steel Substances 0.000 description 2
- 229910001220 stainless steel Inorganic materials 0.000 description 2
- 229920003002 synthetic resin Polymers 0.000 description 2
- 239000000057 synthetic resin Substances 0.000 description 2
- 230000006835 compression Effects 0.000 description 1
- 238000007906 compression Methods 0.000 description 1
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 230000009931 harmful effect Effects 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 1
- 230000008569 process Effects 0.000 description 1
- 229910001285 shape-memory alloy Inorganic materials 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
- F16K31/00—Actuating devices; Operating means; Releasing devices
- F16K31/12—Actuating devices; Operating means; Releasing devices actuated by fluid
- F16K31/122—Actuating devices; Operating means; Releasing devices actuated by fluid the fluid acting on a piston
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
- F16K17/00—Safety valves; Equalising valves, e.g. pressure relief valves
- F16K17/02—Safety valves; Equalising valves, e.g. pressure relief valves opening on surplus pressure on one side; closing on insufficient pressure on one side
- F16K17/04—Safety valves; Equalising valves, e.g. pressure relief valves opening on surplus pressure on one side; closing on insufficient pressure on one side spring-loaded
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
- F16K27/00—Construction of housing; Use of materials therefor
- F16K27/02—Construction of housing; Use of materials therefor of lift valves
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
- F16K31/00—Actuating devices; Operating means; Releasing devices
- F16K31/44—Mechanical actuating means
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Fluid-Driven Valves (AREA)
- Actuator (AREA)
Abstract
Description
本態様に係るアクチュエータは、作動流体の供給又は遮断によりステムを昇降させるアクチュエータであって、ステムが昇降可能に支持されるハウジングと、ハウジング内に区画され、作動流体が供給される圧力室と、ハウジング内にステムとともに昇降可能に収容されるピストンと、ステムとピストンとを連結する連結機構とを備え、連結機構は、ステムの外周面に対向する内周面を有し、内周面にステムに対する係合部を有する連結部材と、連結部材をピストンに固定する固定部材と、ステムに形成され、係合部が係合される被係合部とを含む。
また、本態様に係る前述したアクチュエータにおいて、第1ザグリ部の深さは、鍔部のステムの軸方向における厚み以下である。
また、本態様に係る前述したアクチュエータにおいて、連結機構は、ステムの外周面を拡径した鍔部と、鍔部をピストンに固定する固定部材とを含む。
また、本態様に係る前述したアクチュエータにおいて、第1及び第2弾性部材は、ステムの降下に伴い第1受圧面が第2受圧面に接触したときに第2ザグリ部に露出する。
また、本態様に係る前述したアクチュエータにおいて、ステムは、昇降により弁体を開閉作動し、ピストンの昇降に伴う弁体の開閉をピストンまでの距離の変化に基づいて検出する開閉検出センサを有する。
図4は、バルブ1の弁閉時における縦断面図を示し、図5は、図4のアクチュエータ18の拡大図を示す。図4及び図5の場合、ステム14がボンネット6内に設けられたスプリング16の弾性力により下方に付勢されている。
4 ダイヤフラム(弁体)
14 ステム
14b 外周面
18 アクチュエータ
30 ロッド(ステム)
30a 外周面
34d 開口
34e 内壁
34f 底壁(区画部材)
36 圧力室
37 下側Oリング(第2弾性部材)
38 ピストン
38a 摺動外周面
38b 第1受圧面
38c 内周面
39 下側嵌入部(第2嵌入部)
40 区画部材
40a 摺動内周面
40b 第2受圧面
42 開閉検出センサ
46 流路
48 第1Oリング(第1弾性部材)
50 圧入面部
52 第1嵌入部
54 第2Oリング(第2弾性部材)
60 第2嵌入部
62 第2ザグリ部
70 連結機構
72 連結部材
72a 内周面
74 ビス(固定部材)
76 鍔部(被係合部)
76b 上面(当接面、テーパ面)
78 第1ザグリ部(係合部)
78a 底面(当接面、テーパ面)
Claims (12)
- 作動流体の供給又は遮断によりステムを昇降させるアクチュエータであって、
前記ステムが昇降可能に支持されるハウジングと、
前記ハウジング内に区画され、前記作動流体が供給される圧力室と、
前記ハウジング内に前記ステムとともに昇降可能に収容されるピストンと、
前記ステムと前記ピストンとを連結する連結機構と
を備え、
前記連結機構は、
前記ステムの外周面に対向する内周面を有し、前記内周面に前記ステムに対する係合部を有する連結部材と、
前記連結部材を前記ピストンに固定する固定部材と、
前記ステムに形成され、前記係合部が係合される被係合部と
を含む、アクチュエータ。 - 前記被係合部は、前記ステムの外周面を拡径した鍔部であり、
前記係合部は、前記連結部材の内周面から前記ピストンに対向する前記連結部材の対向面に亘って環状に切り欠いて形成され、前記鍔部が嵌入される第1ザグリ部である、請求項1に記載のアクチュエータ。 - 前記第1ザグリ部の深さは、前記鍔部の前記ステムの軸方向における厚み以下である、請求項2に記載のアクチュエータ。
- 前記ステムの径方向における前記鍔部と前記第1ザグリ部との互いの当接面は、前記ステムから拡径し、且つ前記ピストンに近づく方向に傾斜したテーパ面である、請求項2又は3に記載のアクチュエータ。
- 前記連結機構は、
前記ステムの外周面を拡径した鍔部と、
前記鍔部を前記ピストンに固定する固定部材と
を含む、請求項1に記載のアクチュエータ。 - 前記ピストンは、
前記ステムの昇降に伴い前記ハウジングのボディの内壁に摺動される摺動外周面と、
前記圧力室を前記内壁とともに区画し、前記作動流体の圧力を受ける第1受圧面と、
前記ステムに挿入される挿入面部、及び該挿入面部に連なるとともに前記第1受圧面に亘って切り欠いて形成され、環状の第1弾性部材が嵌入される第1嵌入部からなる内周面と
を有する、請求項1から5の何れか一項に記載のアクチュエータ。 - 前記ステムは、前記圧力室に開口する前記作動流体の流路を有し、
前記アクチュエータは、前記内壁に固定されるとともに、前記第1受圧面及び前記内壁とともに前記圧力室を区画する区画部材を有し、
前記区画部材は、
前記ステムの昇降に伴い前記ステムの外周面が第2弾性部材を介して摺動される摺動内周面と、
前記圧力室を前記内壁及び前記第1受圧面とともに区画し、前記作動流体の圧力を受ける第2受圧面と、
前記摺動内周面から前記第2受圧面に亘って切り欠いて形成され、前記第2弾性部材が嵌入される第2嵌入部と
を有する、請求項6に記載のアクチュエータ。 - 前記第1及び第2受圧面の少なくとも何れか一方は、前記ステムの降下に伴い前記第1受圧面が前記第2受圧面に接触したときに前記流路が連通される第2ザグリ部を有する、請求項7に記載のアクチュエータ。
- 前記第1及び第2弾性部材は、前記ステムの降下に伴い前記第1受圧面が前記第2受圧面に接触したときに前記第2ザグリ部に露出する、請求項8に記載のアクチュエータ。
- 前記圧力室と、前記圧力室に面する前記ピストンとを複数有する、請求項1から9の何れか一項に記載のアクチュエータ。
- 前記ステムは、昇降により弁体を開閉作動し、
前記ピストンの昇降に伴う前記弁体の開閉を前記ピストンまでの距離の変化に基づいて検出する開閉検出センサを有する、請求項1から10の何れか一項に記載のアクチュエータ。 - 請求項1から11の何れか一項に記載のアクチュエータを備えるエアオペレートバルブ。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2019140481A JP7348628B2 (ja) | 2019-07-31 | 2019-07-31 | アクチュエータ及びそれを備えたエアオペレートバルブ |
KR1020200074116A KR102405079B1 (ko) | 2019-07-31 | 2020-06-18 | 액추에이터 및 그것을 구비한 에어 오퍼레이트 밸브 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2019140481A JP7348628B2 (ja) | 2019-07-31 | 2019-07-31 | アクチュエータ及びそれを備えたエアオペレートバルブ |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2021025529A true JP2021025529A (ja) | 2021-02-22 |
JP7348628B2 JP7348628B2 (ja) | 2023-09-21 |
Family
ID=74561060
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2019140481A Active JP7348628B2 (ja) | 2019-07-31 | 2019-07-31 | アクチュエータ及びそれを備えたエアオペレートバルブ |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP7348628B2 (ja) |
KR (1) | KR102405079B1 (ja) |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH1193913A (ja) * | 1997-09-22 | 1999-04-06 | Fujikin Inc | 流体制御器 |
JP2014109314A (ja) * | 2012-11-30 | 2014-06-12 | Ckd Corp | 流量制御バルブ |
WO2016136427A1 (ja) * | 2015-02-27 | 2016-09-01 | 株式会社フジキン | 流体制御器 |
-
2019
- 2019-07-31 JP JP2019140481A patent/JP7348628B2/ja active Active
-
2020
- 2020-06-18 KR KR1020200074116A patent/KR102405079B1/ko active IP Right Grant
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH1193913A (ja) * | 1997-09-22 | 1999-04-06 | Fujikin Inc | 流体制御器 |
JP2014109314A (ja) * | 2012-11-30 | 2014-06-12 | Ckd Corp | 流量制御バルブ |
WO2016136427A1 (ja) * | 2015-02-27 | 2016-09-01 | 株式会社フジキン | 流体制御器 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
KR20210015632A (ko) | 2021-02-10 |
KR102405079B1 (ko) | 2022-06-07 |
JP7348628B2 (ja) | 2023-09-21 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
EP0892204B1 (en) | Improved diaphragm valve with leak detection | |
US7401760B2 (en) | Vacuum regulating valve | |
JPWO2019193978A1 (ja) | バルブ装置および流体制御装置、流体制御方法、半導体製造装置及び半導体製造方法 | |
US7175157B2 (en) | Fluid controller | |
JP5918188B2 (ja) | 制御弁 | |
US10371271B2 (en) | Fluid controller with diaphragm | |
JP5743744B2 (ja) | ダイアフラム式流体制御弁 | |
JP2001027353A (ja) | 多段ピストンアクチュエータ | |
EP3614025B1 (en) | Two-way valve | |
JP2021025529A (ja) | アクチュエータ及びそれを備えたエアオペレートバルブ | |
TWI679367B (zh) | 致動器、閥,以及半導體製造裝置 | |
JP2005321061A (ja) | 高温用弁 | |
JP7207693B2 (ja) | アクチュエータ及びそれを備えたエアオペレートバルブ | |
JP2023083160A (ja) | ダイヤフラム弁 | |
JP7458019B2 (ja) | 開閉弁装置 | |
TWI682119B (zh) | 致動器、閥、流體供給系統,以及半導體製造裝置 | |
TWI820791B (zh) | 閥裝置 | |
US20050151109A1 (en) | Integrated post-guided seat ring assembly | |
KR20230012754A (ko) | 다이어프램 밸브 | |
TW202346743A (zh) | 致動器及閥 | |
KR20220140821A (ko) | 밸브 장치 | |
JP2021116907A (ja) | バルブ装置 | |
JPS6372984A (ja) | 流体制御器 | |
JP2023148578A (ja) | ダイヤフラムバルブ | |
JP2007315603A (ja) | 圧力容器を被覆する方法及び装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20220621 |
|
RD02 | Notification of acceptance of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7422 Effective date: 20221108 |
|
RD04 | Notification of resignation of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7424 Effective date: 20221108 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20230426 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20230427 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20230516 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20230816 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20230901 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 7348628 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |