JPWO2011021328A1 - シールド層と素子側電源端子が容量結合した半導体装置 - Google Patents
シールド層と素子側電源端子が容量結合した半導体装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JPWO2011021328A1 JPWO2011021328A1 JP2011527558A JP2011527558A JPWO2011021328A1 JP WO2011021328 A1 JPWO2011021328 A1 JP WO2011021328A1 JP 2011527558 A JP2011527558 A JP 2011527558A JP 2011527558 A JP2011527558 A JP 2011527558A JP WO2011021328 A1 JPWO2011021328 A1 JP WO2011021328A1
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- semiconductor device
- power supply
- terminal
- side power
- capacitive coupling
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L23/00—Details of semiconductor or other solid state devices
- H01L23/58—Structural electrical arrangements for semiconductor devices not otherwise provided for, e.g. in combination with batteries
- H01L23/64—Impedance arrangements
- H01L23/66—High-frequency adaptations
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L23/00—Details of semiconductor or other solid state devices
- H01L23/552—Protection against radiation, e.g. light or electromagnetic waves
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L23/00—Details of semiconductor or other solid state devices
- H01L23/58—Structural electrical arrangements for semiconductor devices not otherwise provided for, e.g. in combination with batteries
- H01L23/64—Impedance arrangements
- H01L23/642—Capacitive arrangements
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L24/00—Arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies; Methods or apparatus related thereto
- H01L24/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
- H01L24/10—Bump connectors ; Manufacturing methods related thereto
- H01L24/15—Structure, shape, material or disposition of the bump connectors after the connecting process
- H01L24/16—Structure, shape, material or disposition of the bump connectors after the connecting process of an individual bump connector
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/02—Bonding areas; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/023—Redistribution layers [RDL] for bonding areas
- H01L2224/0237—Disposition of the redistribution layers
- H01L2224/02371—Disposition of the redistribution layers connecting the bonding area on a surface of the semiconductor or solid-state body with another surface of the semiconductor or solid-state body
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/02—Bonding areas; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/04—Structure, shape, material or disposition of the bonding areas prior to the connecting process
- H01L2224/05—Structure, shape, material or disposition of the bonding areas prior to the connecting process of an individual bonding area
- H01L2224/0554—External layer
- H01L2224/05541—Structure
- H01L2224/05548—Bonding area integrally formed with a redistribution layer on the semiconductor or solid-state body
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/10—Bump connectors; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/12—Structure, shape, material or disposition of the bump connectors prior to the connecting process
- H01L2224/13—Structure, shape, material or disposition of the bump connectors prior to the connecting process of an individual bump connector
- H01L2224/13001—Core members of the bump connector
- H01L2224/13099—Material
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/10—Bump connectors; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/15—Structure, shape, material or disposition of the bump connectors after the connecting process
- H01L2224/16—Structure, shape, material or disposition of the bump connectors after the connecting process of an individual bump connector
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/10—Bump connectors; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/15—Structure, shape, material or disposition of the bump connectors after the connecting process
- H01L2224/16—Structure, shape, material or disposition of the bump connectors after the connecting process of an individual bump connector
- H01L2224/161—Disposition
- H01L2224/16151—Disposition the bump connector connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive
- H01L2224/16221—Disposition the bump connector connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked
- H01L2224/16225—Disposition the bump connector connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked the item being non-metallic, e.g. insulating substrate with or without metallisation
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/10—Bump connectors; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/15—Structure, shape, material or disposition of the bump connectors after the connecting process
- H01L2224/16—Structure, shape, material or disposition of the bump connectors after the connecting process of an individual bump connector
- H01L2224/161—Disposition
- H01L2224/16151—Disposition the bump connector connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive
- H01L2224/16221—Disposition the bump connector connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked
- H01L2224/16225—Disposition the bump connector connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked the item being non-metallic, e.g. insulating substrate with or without metallisation
- H01L2224/16235—Disposition the bump connector connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked the item being non-metallic, e.g. insulating substrate with or without metallisation the bump connector connecting to a via metallisation of the item
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L23/00—Details of semiconductor or other solid state devices
- H01L23/48—Arrangements for conducting electric current to or from the solid state body in operation, e.g. leads, terminal arrangements ; Selection of materials therefor
- H01L23/488—Arrangements for conducting electric current to or from the solid state body in operation, e.g. leads, terminal arrangements ; Selection of materials therefor consisting of soldered or bonded constructions
- H01L23/498—Leads, i.e. metallisations or lead-frames on insulating substrates, e.g. chip carriers
- H01L23/49838—Geometry or layout
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2924/00—Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
- H01L2924/01—Chemical elements
- H01L2924/01004—Beryllium [Be]
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2924/00—Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
- H01L2924/01—Chemical elements
- H01L2924/01013—Aluminum [Al]
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2924/00—Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
- H01L2924/01—Chemical elements
- H01L2924/01029—Copper [Cu]
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2924/00—Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
- H01L2924/01—Chemical elements
- H01L2924/01032—Germanium [Ge]
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2924/00—Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
- H01L2924/01—Chemical elements
- H01L2924/01033—Arsenic [As]
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2924/00—Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
- H01L2924/01—Chemical elements
- H01L2924/01047—Silver [Ag]
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2924/00—Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
- H01L2924/01—Chemical elements
- H01L2924/01078—Platinum [Pt]
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2924/00—Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
- H01L2924/01—Chemical elements
- H01L2924/01079—Gold [Au]
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2924/00—Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
- H01L2924/013—Alloys
- H01L2924/014—Solder alloys
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2924/00—Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
- H01L2924/10—Details of semiconductor or other solid state devices to be connected
- H01L2924/11—Device type
- H01L2924/14—Integrated circuits
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2924/00—Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
- H01L2924/15—Details of package parts other than the semiconductor or other solid state devices to be connected
- H01L2924/151—Die mounting substrate
- H01L2924/156—Material
- H01L2924/15786—Material with a principal constituent of the material being a non metallic, non metalloid inorganic material
- H01L2924/15787—Ceramics, e.g. crystalline carbides, nitrides or oxides
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2924/00—Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
- H01L2924/19—Details of hybrid assemblies other than the semiconductor or other solid state devices to be connected
- H01L2924/1901—Structure
- H01L2924/1904—Component type
- H01L2924/19041—Component type being a capacitor
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Toxicology (AREA)
- Semiconductor Integrated Circuits (AREA)
Abstract
Description
本願は、2009年8月18日に出願された特願2009−189130号に基づき優先権を主張し、その内容をここに援用する。
ミリ波帯においては、微少なインダクタンスやキャパシタンスが半導体装置のマッチング特性に影響するため、MMICとパッケージとを接続する配線は極力小さくする必要がある。そのため例えば、特許文献1の図1に記載されている半導体装置のように、金ワイヤ接続ではなく、ワイヤよりもインダクタンスが小さい金バンプなどを利用したフリップチップ接続が提案されている。
例えば、特許文献2に記載されている従来技術では、フリップチップ接続したMCM(Multichip Module)基板の裏面および側面をメタライズすると同時に、側面メタライズ部を実装基板に半田壁を形成し半田接続することで、シールド構造を実現している。
また、特許文献3に記載されている従来技術では、機能回路を囲うように接地電極に接続されたバンプを配列し、そこにカバー基板を接続することでシールド構造を実現している。
半導体チップの側壁には第1メタル層が設けられている。第2メタル層は、第1メタル層に接続され、グランドパッドまで延在している。一対の信号線パッドにはボンディングワイヤの一端がそれぞれ接続されていて、ボンディングワイヤの他端は信号線に接続されている。
また、半導体チップの下面には、第3メタル層が設けられている。
しかしながら、金や銅を利用したバンプ接続の場合は、バンプ接続工程に追加してハンダ壁を形成する工程が必要であり、製造コスト増となってしまう。
また、特許文献3に開示されたシールド構造体では、機能回路の外周に接地されたバンプ群を追加で配列する必要がある。さらにシールド対象が能動素子を含む場合、その周辺には電源端子あるいは電源配線を設ける必要があるので、特許文献3に示すようにシールド対象の周辺にバンプ群を配列することは非常に困難であり、現実的でない。
また、ボンディングワイヤと第2メタル層との隙間を小さくすることでも電磁波を遮断することができるが、隙間の寸法精度にバラツキが生じるので効果的ではない。
ここで、シールド層と素子側電源端子が一定の距離離間していても、両部材を容量結合させることにより、この両部材は実質的に短絡した状態となる。このため、シールド層と素子側電源端子の間においても電磁波を効果的に遮断することができる。
一般的に、半導体素子が動作するときには半導体素子から電磁波が発せられるが、フリップチップ接続される配線基板と半導体素子をこのように構成することにより、新たな工程を追加することなく、発せられる電磁波を確実に遮断することができる。
以下、本発明に係る半導体装置の第1実施形態を、図1から図5を参照しながら説明する。
図1に示すように、本実施形態の半導体装置1はミリ波帯(波長が1mm〜10mmの電磁波)で動作するMMIC等であり、多層基板(配線基板)2の後述する基材22の天面(第一の面)22a上に、平板状に形成された半導体素子3がフリップチップ接続により接続されて構成されている。
シールド層7は、底面5aの外縁部に設けられた外周グランド14と、基材5の側面に設けられた側面メタル15と、基材5の天面に設けられた裏面メタル16とが一体となって構成されている。
シールド層7は、ミリ波半導体製造によく使われる金メッキや金を用いたスパッタリングにて形成されることが最適である。シールド層7は全面が金属で形成されていることが望ましいが、一部に穴やスリットが空いていても良い。
一般的に、電子回路部6の動作周波数が30GHzのときの金の表皮深さが約0.45μmであることを考慮すると、金の厚さは1μm以上が最適である。しかしながら、もちろん1μm未満でも本発明の効果が損なわれるものではない。
また、シールド層7に金以外の金属を使用することも問題ない。さらに、シールド層7は、金単体でなく、金合金であったり、金の上層あるいは下層に他の金属を配置することで形成したものであったりしても何ら問題ない。
DC端子8は、外周グランド14から底面5aの中央部側に離間した位置に配置されている。グランド端子9は、外周グランド14の1つの角部の近くで、底面5aの中央部側に配置されていて、グランド端子9と外周グランド14は、配線パターン(導体)17により直接電気的に接続されている。
なお、図中には高周波の入出力用端子であるRF端子が示されていないが、DC端子8やグランド端子9の近傍にRF端子があっても良いことは言うまでもない。
また、本実施形態では、DC端子8とグランド端子9は、それぞれが平面視で略正方形形状に形成されるとしたが、DC端子とグランド端子の形状は平面視で円形や矩形等でも良く、特に限定されるものではない。
さらに、本実施形態では、複数のDC端子8と1つのグランド端子9が、電子回路部6を囲うように全体として矩形状に配置されているとした。しかし、これらDC端子とグランド端子の配置はこの配置に限定されるものではなく、全体として電子回路部6を囲うように配置されていれば良い。
本実施形態において、インターデジタル電極18、19は、平面視において、基材5の隣接する側面に直交する方向に延びている。
ミリ波帯において、インターデジタル電極18、19同士が互いにショートしていると見なすためには、第一の容量結合部10での容量が大きい方が良く、そのためにはインターデジタル電極18、19間の隙間は狭い方が良い。よって、半導体装置1の製造プロセスの最小ルールに基づきインターデジタル電極18、19を製造することが最適である。
もちろん、外周グランド14と同様に、インターデジタル電極18、19に金以外の材料を使用したり、インターデジタル電極18、19の厚さを1μm未満に変えたりした場合でも、本発明における効果を損なうことはない。
グランド端子23及び複数のDC端子24は、基材22の天面22a上に半導体素子3の底面5aを重ねて平面視したときに、それぞれがグランド端子9及び複数のDC端子8に重畳する位置に配置されている。すなわち、グランド端子9とDC端子8は、基材22の天面22a上で互いに離間して全体として矩形状に配置されている。
グランド層25は金属により形成され、図2に示すDC端子8とグランド端子9が形成する矩形状の形状と同じかそれ以上の面積となる必要がある。
また図1において、グランド層25は基材22の底面22b上に設けられているが、基材22の内部の層に形成されても何ら問題ない。
この隙間はクリアランスと呼ばれ、半導体装置1の製造プロセス精度に依存して設計ルールとして規定されていることが一般的であり、隙間の大きさは設計ルールに従って設定されれば良い。
また、グランド端子23、DC端子24、グランド層25、グランドビア26、及びDCビア27は、銀や銅に金メッキすることにて形成されることが最適であるが、他の金属材料で形成されても何ら問題ない。
更に、多層基板2に、図1で図示していない他の導体層や他のビア等が存在しても何ら問題ない。
本発明の効果を実現するためには、バンプの種類は特に限定されないが、DC端子8、24やグランド端子9、23と同材料の金を用いたスタッドバンプが最適である。
さらに、外周グランド14に設けられたインターデジタル電極18とDC端子8に設けられたインターデジタル電極19が互いに容量結合しているために高周波的に同電位であり、かつ、多層基板2のDCビア27とグランド層25とが互いの間に数十μm程度の隙間を設けて近接して配置されている。
1mm〜10mmのミリ波帯の波長に対し、数十μm程度の隙間は1/10波長以下と十分小さな隙間であり、電磁波を遮断するシールド効果を損なわない隙間である。
したがって、DCビア27、DC端子24、バンプ28、DC端子8、第一の容量結合部10、シールド層7、配線パターン17、グランド端子9、バンプ29、グランド端子23、グランドビア26、及びグランド層25により、電子回路部6から発せられる電磁波を確実に遮断することができる。
そして、半導体素子3は多層基板2に、フリップチップ接続により接続されているので、多層基板2に半導体素子3をコンパクトに接続することができる。
さらに、グランド端子9と外周グランド14は、配線パターン17により直接電気的に接続されているので、グランド端子9と外周グランド14との間を電磁波が通過するのを防止することができる。
図4に示すように、半導体装置1の底面5a上に電磁波放射源32があることを想定し、半導体装置1の表面と、半導体装置1の外部にある電磁波受信アンテナ33との信号伝送特性を3次元電磁界解析により求めた。
この3次元電磁界解析による結果を図5に示す。図の横軸は電磁波放射源32が発する電磁波の周波数(GHz)であり、縦軸は本実施形態の半導体装置1の伝送利得と、比較例である第一の容量結合部10が無い場合の半導体装置の伝送利得との差(dB)を示している。
なお、図の縦軸の伝送利得の差が負の値であって、その値が小さくなるほど半導体装置1の第一の容量結合部10の効果が大きいことを示している。
図5の解析結果から、本実施形態の半導体装置1が100GHzを超えるミリ波帯において格段の効果を有していることが分かる。
次に、本発明に係る第2実施形態について説明するが、前記実施形態と同一の部位には同一の符号を付してその説明は省略し、異なる点についてのみ説明する。
図6に示すように、本実施形態の半導体装置における半導体素子42は、上記実施形態の半導体装置1における半導体素子3の第一の容量結合部10に代えて第一の容量結合部43を、そしてDC端子8とグランド端子9とを容量結合させる第二の容量結合部44を備えている。
平面視において、インターデジタル電極46は基材5の隣接する側面に平行な方向に延びていて、外周グランド14から基材5の隣接する側面に直交する方向に延びる配線パターン48に電気的に接続されている。インターデジタル電極47は、インターデジタル電極46に挟まれるようにインターデジタル電極46に対して略平行に配置されている。
前述の第一の容量結合部43は、配線パターン49を通して外周グランド14とDC端子8とを容量結合させるためにも備えられている。
さらに、図7に示すように、第一の容量結合部43は、配線パターン17を通して外周グランド14とDC端子8とを容量結合させるためにも備えられている。
図7に示すように、第二の容量結合部44は、DC端子8、グランド端子9にそれぞれ設けられたインターデジタル電極50、インターデジタル電極51を有し、それらインターデジタル電極50、51は、各々櫛形形状に形成されている。本実施形態において、インターデジタル電極50、51は、平面視において、基材5の隣接する側面に平行な方向に延びている。
このように構成された本実施形態の半導体装置によれば、新たな工程を追加すること無く、電子回路部6から発せられる電磁波を確実に遮断するシールド構造を構成することができる。
さらに、DC端子8とグランド端子9との間の第二の容量結合部44でインターデジタル電極50、51による容量結合を行うことで、電子回路部6が発する電磁波をより確実に遮断することができる。
なお、本実施形態では、全てのDC端子8に第一の容量結合部43を備えたが、一部のDC端子8のみに第一の容量結合部43を備えるように構成しても良い。
(第3実施形態)
次に、本発明に係る第3実施形態について説明するが、前記実施形態と同一の部位には同一の符号を付してその説明は省略し、異なる点についてのみ説明する。
図8に示すように、本実施形態の半導体装置における半導体素子62は、上記第2実施形態の半導体装置における半導体素子42の配線パターン48に接続された第一の容量結合部43に代えて、隣接するDC端子8同士を容量結合させる第三の容量結合部63を備えている。
図9に示すように、第三の容量結合部63は、一方のDC端子8、及びこれに隣接する他方のDC端子8にそれぞれ設けられたインターデジタル電極64、インターデジタル電極65を有し、インターデジタル電極64、65は、各々櫛形形状に形成されている。インターデジタル電極64、65は、互いに離間した状態でわずかな隙間を有して組み合わされるように配置されている。
インターデジタル電極64、65は、平面視において、基材5の隣接する側面に平行な方向に延びている。
このように構成された本実施形態の半導体装置によれば、新たな工程を追加すること無く、電子回路部6から発せられる電磁波を確実に遮断するシールド構造を構成することができる。
さらに、隣接するDC端子8同士の第三の容量結合部63で、インターデジタル電極64、65による容量結合を行うことで、電子回路部6が発する電磁波をより確実に遮断するとともに、隣接するDC端子8同士を直接的に同電位にすることができる。
(第4実施形態)
次に、本発明に係る第4実施形態について説明するが、前記実施形態と同一の部位には同一の符号を付してその説明は省略し、異なる点についてのみ説明する。
図10に示すように、本実施形態の半導体装置における半導体素子72は、上記第1実施形態の半導体装置1における半導体素子3の第一の容量結合部10に代えて、MIMC(Metal−Insulator−Metal−Capacitor)構造の容量素子とされた第一の容量結合部73を備えている。
図11に示すように、第一の容量結合部73は、DC端子8と電気的に接続された下層導体層74と、前述の外周グランド14と、下層導体層74と外周グランド14に挟まれた誘電体75とにより構成されている。
DC端子8と下層導体層74とは、スルーホール76に金属部材77を埋め込むことにより互いに電気的に接続されている。また、外周グランド14と下層導体層74との半導体素子3の厚さ方向の間隔を数百nmとし、この間隔に誘電体75を配置することで、MIMC構造の容量素子を構成している。
下層導体層74は金やアルミニウム、白金などが最適であるが、他の導体でも本実施形態の効果を妨げるものではない。
また、下層導体層74とDC端子8との間隔は、100nm程度が最適であるが、この値に限定されるものではない。さらに、誘電体75の材料としては窒化シリコンが最適であるが、この材料に限定されるものではない。
このように構成された本実施形態の半導体装置によれば、新たな工程を追加すること無く、電子回路部6から発せられる電磁波を確実に遮断するシールド構造を構成することができる。
さらに、第一の容量結合部73の容量結合の容量を高め、外周グランド14とDC端子8との間を通る電磁波をより確実に遮断することができる。
以上、本発明の第1実施形態から第4実施形態について図面を参照して詳述したが、具体的な構成はこの実施形態に限られるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲の構成の変更等も含まれる。
例えば、上記第1実施形態から第4実施形態では、半導体素子3、42、62、72(以下、「半導体素子3等」と称する)がフリップチップ接続される配線基板を多層基板2としたが、図12に示すように、半導体素子3等は単層基板(配線基板)82にフリップチップ接続されてもよい。
単層基板82の天面82a上には、グランド端子(基板側グランド端子)83とDC端子(基板側電源端子)84が配設されている。そして、DC端子8はDC端子84にバンプ28により電気的に接続され、グランド端子9はグランド端子83にバンプ29により電気的に接続されている。
配線基板を単層基板82とすることで、半導体装置を製造するのに要するコストを低減させることができる。
なお、半導体素子3等を接続する対象は、多層基板2や単層基板82に限ることなく、例えば半導体素子3等を他の半導体素子に接続することができる等、その他多くの実施形態にて本発明の効果を実現することが出来ることは明らかである。
また、上記第1実施形態から第4実施形態では、第一の容量結合部、第二の容量結合部、及び第三の容量結合部として、一組のインターデジタル電極によるものと、MIMC構造の容量素子によるものとを適宜組み合わせて用いることができる。
さらに、上記第1実施形態から第4実施形態では、グランド端子9と外周グランド14とを配線パターン17で直接電気的に接続したが、グランド端子9と外周グランド14とを容量結合させることにより電気的に接続しても良い。
フリップチップ接続される配線基板と半導体素子を本発明のように構成することにより、新たな工程を追加することなく、発せられる電磁波を確実に遮断することができる。
2 多層基板(配線基板)
3、42、62、72 半導体素子
5a 底面(対向面)
6 電子回路部
7 シールド層
8 DC端子(素子側電源端子)
9 グランド端子(素子側グランド端子)
10、43、73 第一の容量結合部
18、19、46、47、50、51、64、65 インターデジタル電極
22a 天面(第一の面)
23、83 グランド端子(基板側グランド端子)
24、84 DC端子(基板側電源端子)
44 第二の容量結合部
63 第三の容量結合部
75 誘電体
82 単層基板(配線基板)
Claims (10)
- 第一の面上に基板側電源端子と基板側グランド端子とが設けられた配線基板と、
前記配線基板の前記第一の面側に配置され、前記第一の面に対向する位置に配置される対向面が設けられた半導体素子と、
前記半導体素子において、前記対向面以外の外表面を覆うように設けられたシールド層と、
前記対向面上に設けられ前記基板側電源端子に電気的に接続された素子側電源端子と、
前記対向面上に設けられ、前記基板側グランド端子及び前記シールド層にそれぞれ電気的に接続された素子側グランド端子と、
前記シールド層と前記素子側電源端子とを容量結合させる第一の容量結合部と、
を備えることを特徴とする半導体装置。 - 前記半導体素子は前記配線基板に、フリップチップ接続により接続されていることを特徴とする請求項1に記載の半導体装置。
- 前記対向面上に配置された電子回路部をさらに備え、
前記電子回路部の周囲には前記素子側電源端子が複数設けられていることを特徴とする請求項1に記載の半導体装置。 - 前記第一の容量結合部は、前記シールド層と前記素子側電源端子とにそれぞれ形成され、櫛形形状で互いに離間した状態で組み合わされるインターデジタル電極を有することを特徴とする請求項1に記載の半導体装置。
- 少なくとも一つの前記素子側電源端子と前記素子側グランド端子とを容量結合させる第二の容量結合部をさらに備えることを特徴とする請求項1に記載の半導体装置。
- 前記第二の容量結合部は、前記素子側電源端子と前記素子側グランド端子とにそれぞれ形成され、櫛形形状で互いに離間した状態で組み合わされるインターデジタル電極を有することを特徴とする請求項5に記載の半導体装置。
- 少なくとも一組の隣接する前記素子側電源端子同士を容量結合させる第三の容量結合部をさらに備えることを特徴とする請求項1に記載の半導体装置。
- 前記第三の容量結合部は、隣接する前記素子側電源端子同士にそれぞれ形成され、櫛形形状で互いに離間した状態で組み合わされるインターデジタル電極を有することを特徴とする請求項7に記載の半導体装置。
- 前記第一の容量結合部は、前記シールド層と前記素子側電源端子とを、間に誘電体を挟んで接続することにより構成され、MIMC構造の容量素子とされていることを特徴とする請求項1に記載の半導体装置。
- 前記シールド層と前記素子側グランド端子とは、導体により直接電気的に接続されていることを特徴とする請求項1に記載の半導体装置。
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009189130 | 2009-08-18 | ||
JP2009189130 | 2009-08-18 | ||
PCT/JP2010/003835 WO2011021328A1 (ja) | 2009-08-18 | 2010-06-09 | シールド層と素子側電源端子が容量結合した半導体装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPWO2011021328A1 true JPWO2011021328A1 (ja) | 2013-01-17 |
Family
ID=43606790
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2011527558A Pending JPWO2011021328A1 (ja) | 2009-08-18 | 2010-06-09 | シールド層と素子側電源端子が容量結合した半導体装置 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US8592957B2 (ja) |
JP (1) | JPWO2011021328A1 (ja) |
CN (1) | CN102473690B (ja) |
WO (1) | WO2011021328A1 (ja) |
Families Citing this family (14)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US8884409B2 (en) | 2012-07-26 | 2014-11-11 | Advanced Micro Devices, Inc. | Wafer backside doping for thermal neutron shielding |
CN103681460A (zh) * | 2012-09-05 | 2014-03-26 | 欣兴电子股份有限公司 | 电子元件制造方法 |
CN105702664A (zh) * | 2012-11-16 | 2016-06-22 | 日月光半导体制造股份有限公司 | 半导体封装构造及其制造方法 |
US20140264784A1 (en) * | 2013-03-14 | 2014-09-18 | Nxp B. V. | Metal Shielding on Die Level |
CN105379116B (zh) * | 2013-07-17 | 2017-09-05 | 株式会社村田制作所 | 电子部件及其制造方法 |
US9160825B2 (en) * | 2013-10-30 | 2015-10-13 | Taiyo Yuden Co., Ltd. | Communication module |
JP5505915B1 (ja) * | 2013-10-30 | 2014-05-28 | 太陽誘電株式会社 | 通信モジュール |
KR101689833B1 (ko) * | 2015-05-19 | 2017-01-10 | 주식회사 프로텍 | Bga 반도체 패키지의 전자파 차폐막 형성 방법 및 이에 사용되는 베이스 테이프 |
CN105609489B (zh) * | 2015-12-29 | 2019-06-18 | 中国工程物理研究院电子工程研究所 | 基于改进的波导探针过渡对芯片进行模块化封装的结构 |
CN107195587A (zh) * | 2017-06-23 | 2017-09-22 | 苏州日月新半导体有限公司 | 集成电路封装体及其制造方法 |
US10211794B1 (en) * | 2017-12-04 | 2019-02-19 | Nxp Usa, Inc. | Silicon shielding for baseband termination and RF performance enhancement |
GB2584106B (en) * | 2019-05-21 | 2024-03-27 | Pragmatic Printing Ltd | Flexible electronic structure |
WO2022065994A1 (en) * | 2020-09-28 | 2022-03-31 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Non-galvanic interconnect for planar rf devices |
US11610848B2 (en) * | 2021-06-07 | 2023-03-21 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Company, Ltd. | Semiconductor package, semiconductor device and shielding housing of semiconductor package |
Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2003347441A (ja) * | 2002-05-22 | 2003-12-05 | Sharp Corp | 半導体素子、半導体装置、及び半導体素子の製造方法 |
Family Cites Families (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5510758A (en) * | 1993-04-07 | 1996-04-23 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Multilayer microstrip wiring board with a semiconductor device mounted thereon via bumps |
JP3066855U (ja) | 1999-08-24 | 2000-03-07 | 株式会社アドバンテスト | 回路基板上のシ―ルド構造体 |
US6297551B1 (en) | 1999-09-22 | 2001-10-02 | Agere Systems Guardian Corp. | Integrated circuit packages with improved EMI characteristics |
JP2001267487A (ja) | 2000-03-23 | 2001-09-28 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 高周波モジュール |
CN100452329C (zh) * | 2003-12-02 | 2009-01-14 | 全懋精密科技股份有限公司 | 可供形成预焊锡材料的半导体封装基板及其制法 |
JP2006216672A (ja) | 2005-02-02 | 2006-08-17 | Toshiba Corp | 半導体装置及び半導体装置の製造方法 |
JP2009158751A (ja) * | 2007-12-27 | 2009-07-16 | Sanyo Electric Co Ltd | 素子搭載用基板およびその製造方法、半導体モジュールおよびその製造方法、ならびに携帯機器 |
-
2010
- 2010-06-09 JP JP2011527558A patent/JPWO2011021328A1/ja active Pending
- 2010-06-09 WO PCT/JP2010/003835 patent/WO2011021328A1/ja active Application Filing
- 2010-06-09 CN CN201080036316.6A patent/CN102473690B/zh not_active Expired - Fee Related
- 2010-06-09 US US13/390,184 patent/US8592957B2/en not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2003347441A (ja) * | 2002-05-22 | 2003-12-05 | Sharp Corp | 半導体素子、半導体装置、及び半導体素子の製造方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US20120139091A1 (en) | 2012-06-07 |
CN102473690A (zh) | 2012-05-23 |
US8592957B2 (en) | 2013-11-26 |
WO2011021328A1 (ja) | 2011-02-24 |
CN102473690B (zh) | 2014-10-08 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
WO2011021328A1 (ja) | シールド層と素子側電源端子が容量結合した半導体装置 | |
US11456255B2 (en) | Impedance controlled electrical interconnection employing meta-materials | |
US7649499B2 (en) | High-frequency module | |
CN110556365B (zh) | 用于集成电路晶片的匹配电路 | |
JP2015061258A (ja) | Ebg構造体、半導体デバイスおよび回路基板 | |
JP2015023473A (ja) | アンテナ装置 | |
JP2005026263A (ja) | 混成集積回路 | |
JP2011187812A (ja) | 高周波モジュール | |
US20180033736A1 (en) | Semiconductor device packages | |
JP4646969B2 (ja) | 半導体装置 | |
JP6215577B2 (ja) | 半導体パッケージ容器、半導体装置、電子機器 | |
US8385084B2 (en) | Shielding structures for signal paths in electronic devices | |
JPH11195731A (ja) | 半導体装置 | |
JP6940286B2 (ja) | 配線基板、電子部品用パッケージおよび電子装置 | |
JPH1168029A (ja) | 半導体装置 | |
JP2007324499A (ja) | 高周波用半導体装置 | |
JP6352839B2 (ja) | 高周波パッケージ | |
KR101305581B1 (ko) | 차폐 부재 및 이를 포함하는 인쇄회로기판 | |
WO2024084556A1 (ja) | 高周波半導体パッケージ | |
EP4243065A2 (en) | Microelectronic packages having coaxially-shielded radio frequency input/output interfaces | |
JP5545904B1 (ja) | 導波管マイクロストリップ線路変換器 | |
JPH09252191A (ja) | 回路基板装置 | |
JP5720261B2 (ja) | 電子回路及び送受信システム | |
JP4737192B2 (ja) | 2つのマイクロストリップ線路の接続構造及び筐体を用いた集積回路チップの実装基板への実装構造 | |
JP5987222B2 (ja) | 半導体装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20130513 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20140401 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20140530 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20141216 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20150721 |