JPWO2010117004A1 - 光透過性板状物のリーム検出方法 - Google Patents

光透過性板状物のリーム検出方法 Download PDF

Info

Publication number
JPWO2010117004A1
JPWO2010117004A1 JP2011508372A JP2011508372A JPWO2010117004A1 JP WO2010117004 A1 JPWO2010117004 A1 JP WO2010117004A1 JP 2011508372 A JP2011508372 A JP 2011508372A JP 2011508372 A JP2011508372 A JP 2011508372A JP WO2010117004 A1 JPWO2010117004 A1 JP WO2010117004A1
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
ream
image
stripe pattern
light
plate
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Withdrawn
Application number
JP2011508372A
Other languages
English (en)
Inventor
秀人 谷
秀人 谷
静則 金子
静則 金子
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
AGC Inc
Original Assignee
Asahi Glass Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Asahi Glass Co Ltd filed Critical Asahi Glass Co Ltd
Publication of JPWO2010117004A1 publication Critical patent/JPWO2010117004A1/ja
Withdrawn legal-status Critical Current

Links

Images

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/84Systems specially adapted for particular applications
    • G01N21/88Investigating the presence of flaws or contamination
    • G01N21/89Investigating the presence of flaws or contamination in moving material, e.g. running paper or textiles
    • G01N21/892Investigating the presence of flaws or contamination in moving material, e.g. running paper or textiles characterised by the flaw, defect or object feature examined
    • G01N21/896Optical defects in or on transparent materials, e.g. distortion, surface flaws in conveyed flat sheet or rod
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01BMEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B11/00Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
    • G01B11/16Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring the deformation in a solid, e.g. optical strain gauge
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01BMEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B11/00Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
    • G01B11/16Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring the deformation in a solid, e.g. optical strain gauge
    • G01B11/167Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring the deformation in a solid, e.g. optical strain gauge by projecting a pattern on the object
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/84Systems specially adapted for particular applications
    • G01N21/88Investigating the presence of flaws or contamination
    • G01N21/8803Visual inspection

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Biochemistry (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • General Health & Medical Sciences (AREA)
  • Immunology (AREA)
  • Pathology (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Textile Engineering (AREA)
  • Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
  • Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
  • Liquid Crystal (AREA)

Abstract

リーム検出方法は、ストライプパターンが描かれたスクリーンと、光透過性板状物に対して光軸が所定角度傾斜した姿勢で固定配置され、部分的な線状の変形であるリームが存在しない前記光透過性板状物越しに前記ストライプパターンを撮像した場合に当該ストライプパターンの像が受光素子に結像するようにピント調整された撮像手段と、表示面を有する画像表示装置と、を備えるリーム検出装置を用いて、検出セクションを通過するように搬送される光透過性板状物のリームを検出するリーム検出方法において、前記撮像手段によって当該撮像手段の視野内を通過する前記光透過性板状物越しに前記ストライプパターンを含む画像を撮像するステップと、前記撮像された画像に基づいて、当該画像を構成する各画素の輝度分布を表すグラフを演算するステップと、前記演算されたグラフを前記画像表示装置の表示面に表示するステップと、を備えることを特徴とする。

Description

本発明は、板ガラス等の光透過性板状物のリームを検出する検出方法に関し、特に検査ライン上を搬送される板ガラス等の光透過性板状物のリームをノンストップで検出することが可能な検出方法に関する。
従来、板ガラス等の光透過性板状物の成形においては、成形後の光透過性板状物に部分的な(局所的な)線状の変形(以下リームと称す)が発生することがあり、品質管理上、当該リームを検出することが求められている。当該リームは、例えば、従来用いられているポイントライト投影法(特許文献1参照)を用いて検出することが考えられる。
図8は、ポイントライト投影法を実施するための装置構成等を説明するための図である。
ポイントライト投影法を用いたリームの検出方法は、ポイントライト(光源)からの投影像中にリームに起因して現れる微妙な明暗を直接目視で検出する方法であり、例えば、図8に示すように、暗室内にて、遠方に配置した光源100より板ガラス等の光透過性板状物110へ光を照射し、当該光透過性板状物110を透過した光をスクリーン120に投影して、この投影された光の像を検査員130が肉眼によって観察することで実施される。
日本国特開2003−042738号公報
しかしながら、ポイントライト投影法を用いたリームの検出方法においては、スクリーン120に投影される投影画像はコントラストが低く視認性が悪い等の理由により、リームの検出は検査員にとって過酷な作業となっており、リームを精度よく検出するのが極めて困難である、という問題がある。
本発明は、このような事情に鑑みてなされたものであり、板ガラス等の光透過性板状物に発生するリームの検出負担を軽減するとともに、リームを精度よく検出することが可能な検出方法を提供することを目的とする。
本発明の第1の態様は、前記目的を達成するため、ストライプパターンが描かれたスクリーンと、光透過性板状物に対して光軸が所定角度傾斜した姿勢で固定配置され、部分的な線状の変形であるリームが存在しない前記光透過性板状物越しに前記ストライプパターンを撮像した場合に当該ストライプパターンの像が受光素子に結像するようにピント調整された撮像手段と、表示面を有する画像表示装置と、を備えるリーム検出装置を用いて、検出セクションを通過するように搬送される光透過性板状物のリームを検出するリーム検出方法において、前記撮像手段によって当該撮像手段の視野内を通過する前記光透過性板状物越しに前記ストライプパターンを含む画像を撮像するステップと、前記撮像された画像に基づいて、当該画像を構成する各画素の輝度分布を表すグラフを演算するステップと、前記演算されたグラフを前記画像表示装置の表示面に表示するステップと、を備えることを特徴とする。
前記第1の態様においては、光透過性板状物に対して光軸が所定角度傾斜した姿勢で固定配置されており、かつ、リームが存在しない光透過性板状物越しにストライプパターンを撮像した場合に、当該ストライプパターンが受光素子に結像するようにピント調整されている。
このため、光透過性板状物にリームが存在した場合には、リームに起因して焦点距離が変化するため、当該画像にはデフォーカス部分を含む。当該デフォーカス部分は、画像の各画素の輝度分布グラフ中において、明暗の差が縮まり中間の明るさになるように輝度値のコントラストが低下する(明暗の明るさが平均化される)ため、輝度分布のピーク値の包絡線とボトム値の包絡線とが互いに接近して、両包絡線の間隔が収縮した状態となって現れる。このため、画像表示装置の表示面に、輝度分布グラフを表示した場合には、当該グラフ中のデフォーカス部分(即ち両包絡線の間隔が収縮した部分)が、容易に認識できるようになる。
すなわち、前記第1の態様によれば、従来のような、光透過性板状物のうねりであるリームを、ポイントライトからの投影像の微妙な明暗を直接目視で検出するポイントライト法に比べて、はるかに視認性が向上するだけでなく、検出の視野・距離を検査員にとって適正な範囲に限定することができることから、負担少なく安定した検出が可能となる。
本発明の第2の態様は、前記第1の態様において、前記撮像された画像を直前に撮像された画像に積み重ねる形で前記画像表示装置の表示面に表示するステップと、を備えることを特徴とする。
前記第2の態様においては、光透過性板状物に対して光軸が所定角度傾斜した姿勢で固定配置されており、かつ、リームが存在しない光透過性板状物越しにストライプパターンを撮像した場合に、当該ストライプパターンが受光素子に結像するようにピント調整されている。
このため、光透過性板状物にリームが存在した場合には、リームに起因して焦点距離が変化するため、当該画像にはデフォーカス部分を含む。このため、画像表示装置の表示面にストライプパターンを含む画像を直前に撮像された画像に積み重ねる形(履歴的な表示形態)で表示した場合には、当該画像中のデフォーカス部分(すなわち両包絡線の間隔が収縮した部分)が継続して表示される(リームは線状の変形であるため、線状のデフォーカス部分として表示される)こととなる。
したがって、直前に撮像された画像に積み重ねる形で表示される画像中のデフォーカス部分(線状のデフォーカス部分。すなわち収縮した部分)に注目することで、リームを極めて容易に検出することが可能となる。すなわち、前記第2の態様によれば、ライン上を搬送される板ガラス等の光透過性板状物に発生するリームを、検査員の負担を軽減し、かつ精度が安定した検出をすることが可能となる。
本発明の第3の態様は、前記第1又は第2の態様において、前記演算されたグラフのピーク値の包絡線とボトム値の包絡線との間隔の収縮量を演算するステップと、前記演算されたピーク値の包絡線とボトム値の包絡線との間隔の収縮量と、所定の規格値とを比較するステップと、前記比較結果に基づいて、前記光透過性板状物のリームの有無判定を行うステップと、をさらに備えることを特徴とする。
前記第3の態様によれば、光透過性板状物に発生するリームの自動検出を行うことが可能となる。
本発明の第4の態様は、前記第1から第3の態様のいずれかに記載の発明において、前記光透過性板状物は、フラットパネルディスプレイ用の板ガラス、自動車用の板ガラス、又は、樹脂板であることを特徴とする。
前記第4の態様は、光透過性板状物の例示である。したがって、本発明の光透過性板状物はこれらに限定されない。
本発明の第5の態様は、ストライプパターンが描かれたスクリーンと、光透過性板状物に対して光軸が所定角度傾斜した姿勢で固定配置され、部分的な線状の変形であるリームが存在しない前記光透過性板状物越しに前記ストライプパターンを撮像した場合に当該ストライプパターンの像が受光素子に結像するようにピント調整された撮像手段と、表示面を有する画像表示装置と、を備えるリーム検出装置を用いて、検出セクションを通過するように搬送される光透過性板状物のリームを検出するリーム検出方法において、前記撮像手段によって当該撮像手段の視野内を通過する前記光透過性板状物越しに前記ストライプパターンを含む画像を撮像するステップと、前記撮像された画像に基づいて、当該画像を構成する各画素の輝度分布を表すグラフを演算するステップと、前記演算されたグラフのピーク値の包絡線とボトム値の包絡線との間隔の収縮量を演算するステップと、前記演算されたピーク値の包絡線とボトム値の包絡線との間隔の収縮量と、所定の規格値とを比較するステップと、前記比較結果に基づいて、前記光透過性板状物のリームの有無判定を行うステップと、を備えることを特徴とする。
前記第5の態様においては、光透過性板状物に対して光軸が所定角度傾斜した姿勢で固定配置されており、かつ、リームが存在しない光透過性板状物越しにストライプパターンを撮像した場合に、当該ストライプパターンが受光素子に結像するようにピント調整されている。
このため、光透過性板状物にリームが存在した場合には、リームに起因して焦点距離が変化するため、当該画像にはデフォーカス部分を含む。当該デフォーカス部分は、画像の各画素の輝度分布グラフ中において、錯乱範囲で平均化されるため、輝度分布のピーク値の包絡線とボトム値の包絡線とが互いに接近して、両包絡線の間隔が収縮した状態となって現れる。
前記第5の態様においては、ピーク値の包絡線とボトム値の包絡線との間隔の収縮量と、所定の規格値とを比較することのみで、光透過性板状物に発生するリームを精度よく自動検出することが可能となる。
以上説明したように、本発明によれば、板ガラス等の光透過性板状物に発生するリームの検出負担を軽減するとともに、リームを精度よく検出することが可能な検出方法を提供することが可能となる。
本実施形態のリーム検出方法に用いられるリーム検出装置10のシステム構成図である。 板ガラスの一般的な製造工程を説明するための図である。 スクリーン16に描かれたストライプパターンPの例である。 検査ライン30上の検出セクション32付近の平面図である。 ガラスリボン22のリームを検出する方法を説明するためのフローチャートである。 各画素の輝度分布を表すグラフG及びストライプパターン画像Iの例である。 ガラスリボン22にリームが存在しない場合のグラフGである。 ガラスリボン22にリームが存在する場合のグラフGである。 ガラスリボン22に汚れ又は異物が存在する場合のグラフGであ。 ポイントライト投影法を説明するための図である。
以下、添付図面に基づいて本発明に係るリーム検出方法の好ましい実施の形態を詳説する。
図1は、本実施形態のリーム検出方法に用いられるリーム検出装置10のシステム構成図である。図2は、板ガラスの一般的な製造工程を説明するための図である。図3は、スクリーン16に描かれたストライプパターンPの例である。図4は、検査ライン30上の検出セクション32付近の平面図である。
[リーム検出装置の概要]
図2に示すように、フロート法を用いた板ガラスは、一般的に、主原料の珪砂にカレット等を混ぜ合わせたものを溶解炉で溶かし、透明なガラス素地とする溶解工程、当該溶解後のガラス素地を溶融金属(錫)が蓄えられたフロートバスに流しこみ、板ガラスの形状に成形する成形工程、温度差に起因する歪みが発生しないように、当該成形後の板ガラスを徐々に冷却する徐冷工程、当該徐冷後の板ガラスに対し、洗浄・乾燥を行う洗浄・乾燥工程、当該洗浄・乾燥後の板ガラスの厚さ等を検査する検査工程(検査ライン)等を経て製造される。
本実施形態のリーム検出装置10は、フロート法を用いて成形されたプラズマディスプレイ(PDP)用の板ガラス(以下ガラスリボンと称す)に発生する部分的な(局所的な)線状の変形(以下リームと称す)を検出するために用いられる装置であり、図4に示すように、フロート法を用いた板ガラスの製造工程の上流側である検査ライン30上の検出セクション32に設置されている。検査対象のガラスリボン22は、公知の搬送手段(図示せず)により検査ライン30上を搬送され、検出セクション32を通過する。リーム検出装置10は、当該検出セクション32を通過するガラスリボン22のリームを検出する際に参照される画像等を逐次、画像表示装置20に表示する。
[リーム検出装置の構成]
図1に示すように、本実施形態のリーム検出装置10は、画像処理装置12、画像処理装置12に所定インターフェースを介して接続された撮像手段14、スクリーン16、照明手段18、画像表示装置20等からなる2組のリーム検出光学系を備えている。
画像処理装置12は、MPUやCPU等の演算・制御手段、RAMやROM等の記憶手段(いずれも図示せず)等を備えている。画像処理装置12は、演算・制御手段が記憶手段に読み込まれた所定プログラムを実行することにより、撮像手段14等を制御する制御手段、後述のストライプパターン画像を構成する各画素の輝度分布を表すグラフGを演算する演算手段等として機能する。
撮像手段14は、スクリーン16をガラスリボン22越しに(すなわちガラスリボン22を透過して)撮像するためのものであり、例えば、受光素子(図示せず)が一列に配列されたラインセンサ型CCD(例えば、撮影速度:数kHz)である。
撮像手段14は、水平姿勢のガラスリボン22(幅寸法:約5m)の幅方向中央部22aから幅方向一端部22b(及び他端部22c)にかけての範囲(リームの検出を所望する範囲)が視野内におさまるように、光軸AXが当該水平姿勢のガラスリボン22に対して約15〜30°(好ましくは15°)傾斜し、かつ、受光素子の配列方向が鉛直面に含まれる姿勢で、ガラスリボン22の幅方向両端部22b、22cそれぞれの下方に固定配置されている(図1、図4参照)。撮像手段14は、リームRが存在しない水平姿勢のガラスリボン22越しにスクリーン16を撮像した場合に当該スクリーン16(ストライプパターンP)の像が受光素子に結像するようにピント調整されている。
スクリーン16は光透過型のスクリーンであり、撮像手段14の光軸AXに対し、垂直の姿勢で配置されている(図1参照)。スクリーン16には、あらゆる方向のリームRを平均的に検出可能とするため、図3に示すように、撮像手段14の受光素子の配列方向(図3中一点鎖線で示す)に対し、約45°±30°(好ましくは、45°)傾斜したストライプパターンPが描かれている。ストライプパターンPは、例えば、デューティ比45:55〜55:45(好ましくは、50:50)、約2〜4mmピッチ(定ピッチ又は可変ピッチ)、約500本の白黒のストライプパターンである。
スクリーン16は、例えば、撮像手段14の撮影速度よりも高速の周波数で動作する照明手段18としての高周波蛍光灯により、均一に照明される。
撮像手段14は、当該撮像手段14の視野内を通過するガラスリボン22越しに、照明手段18により均一に照明されたスクリーン16(ストライプパターンP)を含む画像を撮像する。図3中の一点鎖線は、スクリーン16に対する撮像手段14の撮像範囲を表している。当該撮像された画像は、画像処理装置12に取り込まれる。
[リーム検出方法]
次に、上記構成のリーム検出装置10を用いて、検出セクション32を通過するように搬送されるガラスリボン22のリームRを検出する方法について、図5を参照しながら説明する。図5は、当該方法を説明するためのフローチャートである。以下の処理は、主に、画像処理装置12(演算・制御手段)が、記憶手段に読み込まれた所定プログラムを実行することにより実現される。
撮像手段14は、撮影タイミングごとに(ステップS10:Yes)、当該撮像手段14の視野内を通過するガラスリボン22越しに、照明手段18により均一に照明されたスクリーン16(ストライプパターンP)を含む画像I(以下ストライプパターン画像Iと称す)を撮像する(ステップS12)。
次に、画像処理装置12は、当該撮像されたストライプパターン画像I(1ライン分)を構成する各画素それぞれの輝度値を演算し、各画素それぞれの輝度分布を表すグラフG、すなわち、当該演算した各画素それぞれの輝度値を例えば縦軸が輝度値、横軸が各画素(各画素の画素位置)である座標系に描画したグラフGを作成し、図6に示すように、画像表示装置20の表示面に表示する(ステップS14)。
上記のように、撮像手段14は、リームRが存在しないガラスリボン22越しにストライプパターンPを撮像した場合に当該ストライプパターンPの像が受光素子に結像するようにピント調整されている。このため、リームRが存在しないガラスリボン22越しにストライプパターンPを含むストライプパターン画像Iを撮像した場合には、当該ストライプパターン画像Iは、デフォーカス部分Dを含まない。これに対し、リームRが存在するガラスリボン22越しにストライプパターンPを含むストライプパターン画像Iを撮像した場合には、リームRに起因して焦点距離が変化するため、当該ストライプパターン画像Iはデフォーカス部分Dを含む。このため、画像表示装置20の表示面に各画素の輝度分布を表すグラフGを表示した場合には、当該グラフG中のデフォーカス部分D(すなわちピーク値の包絡線EPとボトム値の包絡線EBとの間隔の収縮部分)が周囲の輝度値の平均値に収縮するため(図6参照)、従来のポイントライト投影法にくらべ、格段に容易に見て取ることができる。
したがって、各画素の輝度分布を表すグラフG中のデフォーカス部分Dに注目することで、ガラスリボン22に発生したリームRを極めて容易に検出すること(リーム検出の補助)が可能となる。すなわち、本実施形態のリーム検出方法によれば、従来のような、光透過性板状物のうねりであるリームを、ポイントライトからの投影像の微妙な明暗を直接目視で検出するポイントライト法に比べて、はるかに視認性が向上するだけでなく、検出の視野・距離を検査員にとって適正な範囲に限定することができることから、負担少なく安定した検出が可能となる。
なお、ガラスリボン22にリームが存在しない場合には、グラフGのピーク値の包絡線EPとボトム値の包絡線EBとの間隔は、ほぼ一定となる(図7A参照)。
一方、ガラスリボン22にリームが存在する場合には、当該リーム部分においてデフォーカス(ピンボケ)の状態になり、明暗の差が縮まり中間の明るさになるように輝度値のコントラストが低下するため、グラフGのピーク値の包絡線EP及びボトム値の包絡線EBの間隔が収縮する(図7B参照)。
また、ガラスリボン22に汚れ又は異物が存在する場合には、その部分において光が遮断される状態になり、明部の強度のみが弱まるため、グラフGのピーク値の包絡線EPがボトム値の包絡線EBに近づくように落ち込む(図7C参照)。
次に、画像処理装置12は、ステップS12で撮像されたストライプパターン画像Iを画像表示装置20の表示面に各画素の輝度分布を表すグラフGとともに表示する(ステップS16)。図6は、ステップS12で撮像されたストライプパターン画像Iを左右方向に伸びる1ライン分の画像(I1−I2)に変換し、上下方向にnライン分積み重ねた形で表示した例である。図6中、最下段のストライプパターン画像Itnはtn時間前(例えば10分前)に撮像されたことを表しており、最上段のストライプパターン画像It1は、t1時間前に撮像されたことを表している。
上記のように、リームRが存在するガラスリボン22越しにストライプパターンDを含むストライプパターン画像Iを撮像した場合には、リームRに起因して焦点距離が変化するため、当該ストライプパターン画像Iはデフォーカス部分Dを含む。このため、画像表示装置20の表示面にストライプパターンPを含むストライプパターン画像Iを直前に撮像されたストライプパターン画像Iに積み重ねる形(履歴的な表示形態)で表示した場合には、当該ストライプパターン画像I中のデフォーカス部分D(すなわち両包絡線EP、EBの間隔の収縮部分)が継続して表示される(リームRは線状の変形であるため、線状のデフォーカス部分Dとして表示される)こととなる。当該線状のデフォーカス部分Dは、周囲の輝度値の平均値に収縮するため、従来のポイントライト投影法にくらべ、格段に容易に見て取ることができる(図6参照)。
したがって、ストライプパターン画像I中のデフォーカス部分D(線状のデフォーカス部分D。すなわち収縮した部分)に注目することで、ガラスリボン22に発生したリームRを極めて容易に検出すること(リーム検出の補助)が可能となる。すなわち、本実施形態のリーム検出方法によれば、ライン上を搬送される板ガラス等の光透過性板状物に発生するリームを、検査員の負担を軽減し、かつ精度が安定した検出することが可能となる。
次に、リームRの自動検出を行うための処理について説明する(ステップS18〜S22)。なお、リームRの自動検出を行わない場合には、これらのステップS18〜S22を省略することが可能である。
画像処理装置12は、ステップS14で演算されたグラフGのピーク値の包絡線EPとボトム値の包絡線EBとの間隔の収縮量を演算し(ステップS18)、当該演算された両包絡線EP、EBの収縮量と予め定められた所定の規格値(設定範囲)とを比較し、その比較結果に基づいて、両包絡線EP、EBの収縮量が規格値(設定範囲)内か否か、すなわち、ガラスリボン22のリームRの有無判定を行う(ステップS20)。そして、画像処理装置12は、当該演算された包絡線EP、EBの収縮量が規格値(設定範囲)内であれば(ステップS20:Yes)、ステップS10に戻って、ステップS10〜S20の処理を繰り返す。すなわち、検査ライン30上を搬送されるガラスリボン22に対し、ノンストップでリームRを自動測定する。一方、画像処理装置12は、当該演算された両包絡線EP、EBの収縮量が規格値(設定範囲)内でなければ(ステップS20:No)、アラーム等を画像表示装置20の表示面に表示することによりその旨を報知する。
以上のように、本実施形態によれば、ステップS18〜S20の処理を行うことで(すなわち、ピーク値の包絡線EPとボトム値の包絡線EBとの間隔の収縮量と、所定の規格値とを比較することのみで)、ガラスリボン22に発生するリームRを精度よく自動検出することが可能となる。
次に、変形例について説明する。
上記実施形態では、検査対象の板ガラス(すなわちガラスリボン22)が、プラズマディスプレイ(PDP)用の板ガラスである例について説明したが、本発明はこれに限定されない。例えば、フラットパネルディスプレイ用の板ガラス(例えば、液晶ディスプレイ(LCD)用の板ガラス、フィールドエミッションディスプレイ用の板ガラス、有機EL用の板ガラス等のフラットディスプレイパネル(FPD)用の板ガラス)、自動車用の板ガラス、又は、樹脂板を、検査対象とすることが可能である。
また、上記実施形態では、検査対象が、切断されていない板ガラス(すなわちガラスリボン22)である例について説明したが、本発明はこれに限定されない。例えば、板ガラスを切断工程で切断した後のガラス板を検査対象とすることが可能である。
また、上記実施形態では、リーム検出装置10が2組のリーム検出光学系を備えている例について説明したが、本発明はこれに限定されない。例えば、ガラスリボン22の幅方向一端部22bから他端部22cにかけての範囲を視野内におさめることができるのであれば、1組のリーム検出光学系のみを用いてもよい。また、検出精度向上のため、3組以上のリーム検出光学系を用いてもよい。
また、上記実施形態では、撮像手段14がラインセンサ型CCDである例について説明したが、本発明はこれに限定されない。例えば、撮像手段14としてエリアセンサ型の撮像装置を用いてもよい。
また、上記実施形態では、各画素の輝度分布を表すグラフG及びストライプパターン画像Iを表示しながら、リームRを自動測定する例(図5中、ステップS10〜ステップS22参照)について説明したが、本発明はこれに限定されない。例えば、各画素の輝度分布を表すグラフG及びストライプパターン画像Iを表示することなく、リームRを自動測定することも可能である。
また、上記実施形態では、各画素の輝度分布を表すグラフG及びストライプパターン画像Iを同一の画面(画像表示装置20の表示面)に表示した例について説明したが、本発明はこれに限定されない。例えば、各画素の輝度分布を表すグラフGのみ、又は、ストライプパターン画像Iのみを表示してもよい。
また、上記実施形態では、撮像手段14は、ガラスリボン22の幅方向両端部22b、22cそれぞれの下方に固定配置されている(図1、図4参照)ように説明したが、本発明はこれに限定されない。例えば、撮像手段14は、ガラスリボン22の幅方向両端部22b、22cそれぞれの上方に固定配置されていてもよいし、その他に配置されていてもよい。
上記実施形態はあらゆる点で単なる例示にすぎない。これらの記載によって本発明は限定的に解釈されるものではない。本発明はその精神または主要な特徴から逸脱することなく他の様々な形で実施することができる。
本出願を詳細にまた特定の実施態様を参照して説明したが、本発明の精神と範囲を逸脱することなく様々な変更や修正を加えることができることは当業者にとって明らかである。本出願は、2009年4月9日出願の日本特許出願(特願2009-094937)に基づくものであり、その内容はここに参照として取り込まれる。
10…リーム検出装置
12…画像処理装置
14…撮像手段
16…スクリーン
18…照明手段
20…画像表示装置
22…ガラスリボン

Claims (5)

  1. ストライプパターンが描かれたスクリーンと、光透過性板状物に対して光軸が所定角度傾斜した姿勢で固定配置され、部分的な線状の変形であるリームが存在しない前記光透過性板状物越しに前記ストライプパターンを撮像した場合に当該ストライプパターンの像が受光素子に結像するようにピント調整された撮像手段と、表示面を有する画像表示装置と、を備えるリーム検出装置を用いて、検出セクションを通過するように搬送される光透過性板状物のリームを検出するリーム検出方法において、
    前記撮像手段によって当該撮像手段の視野内を通過する前記光透過性板状物越しに前記ストライプパターンを含む画像を撮像するステップと、
    前記撮像された画像に基づいて、当該画像を構成する各画素の輝度分布を表すグラフを演算するステップと、
    前記演算されたグラフを前記画像表示装置の表示面に表示するステップと、
    を備えることを特徴とするリーム検出方法。
  2. 前記撮像された画像を直前に撮像された画像に積み重ねる形で前記画像表示装置の表示面に表示するステップと、
    を備えることを特徴とする請求項1に記載のリーム検出方法。
  3. 前記演算されたグラフのピーク値の包絡線とボトム値の包絡線との間隔の収縮量を演算するステップと、
    前記演算されたピーク値の包絡線とボトム値の包絡線との間隔の収縮量と、所定の規格値とを比較するステップと、
    前記比較結果に基づいて、前記光透過性板状物のリームの有無判定を行うステップと、をさらに備えることを特徴とする請求項1又は2に記載のリーム検出方法。
  4. 前記光透過性板状物は、フラットパネルディスプレイ用の板ガラス、自動車用の板ガラス、又は、樹脂板であることを特徴とする請求項1から3のいずれかに記載のリーム検出方法。
  5. ストライプパターンが描かれたスクリーンと、光透過性板状物に対して光軸が所定角度傾斜した姿勢で固定配置され、部分的な線状の変形であるリームが存在しない前記光透過性板状物越しに前記ストライプパターンを撮像した場合に当該ストライプパターンの像が受光素子に結像するようにピント調整された撮像手段と、表示面を有する画像表示装置と、を備えるリーム検出装置を用いて、検出セクションを通過するように搬送される光透過性板状物のリームを検出するリーム検出方法において、
    前記撮像手段によって当該撮像手段の視野内を通過する前記光透過性板状物越しに前記ストライプパターンを含む画像を撮像するステップと、
    前記撮像された画像に基づいて、当該画像を構成する各画素の輝度分布を表すグラフを演算するステップと、
    前記演算されたグラフのピーク値の包絡線とボトム値の包絡線との間隔の収縮量を演算するステップと、
    前記演算されたピーク値の包絡線とボトム値の包絡線との間隔の収縮量と、所定の規格値とを比較するステップと、
    前記比較結果に基づいて、前記光透過性板状物のリームの有無判定を行うステップと、を備えることを特徴とするリーム検出方法。
JP2011508372A 2009-04-09 2010-04-06 光透過性板状物のリーム検出方法 Withdrawn JPWO2010117004A1 (ja)

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2009094937 2009-04-09
JP2009094937 2009-04-09
PCT/JP2010/056260 WO2010117004A1 (ja) 2009-04-09 2010-04-06 光透過性板状物のリーム検出方法

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPWO2010117004A1 true JPWO2010117004A1 (ja) 2012-10-18

Family

ID=42936285

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2011508372A Withdrawn JPWO2010117004A1 (ja) 2009-04-09 2010-04-06 光透過性板状物のリーム検出方法

Country Status (5)

Country Link
JP (1) JPWO2010117004A1 (ja)
KR (1) KR20120022701A (ja)
CN (1) CN102334025A (ja)
TW (1) TW201100747A (ja)
WO (1) WO2010117004A1 (ja)

Families Citing this family (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2012243929A (ja) * 2011-05-19 2012-12-10 Hitachi High-Technologies Corp 多結晶シリコン薄膜検査方法及びその装置
CN103020950B (zh) * 2011-09-27 2015-09-09 华为终端有限公司 亮度函数获取方法以及相关装置
JP6631261B2 (ja) * 2016-01-14 2020-01-15 セイコーエプソン株式会社 画像認識装置、画像認識方法および画像認識ユニット
JP6829946B2 (ja) * 2016-04-28 2021-02-17 川崎重工業株式会社 部品検査装置および方法
JP6969252B2 (ja) * 2017-09-12 2021-11-24 富士通株式会社 検査方法、装置、システム及びプログラム

Family Cites Families (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS61176838A (ja) * 1985-01-31 1986-08-08 Kanebo Ltd 透明または半透明の板状体の欠点検査方法
JPH05249052A (ja) * 1992-03-06 1993-09-28 Nippon Sheet Glass Co Ltd 透光板材の欠点検出装置
JPH0720059A (ja) * 1993-06-30 1995-01-24 Asahi Glass Co Ltd 透視歪の測定方法および装置
JPH0989603A (ja) * 1995-09-26 1997-04-04 Asahi Glass Co Ltd 測定装置の補正方法および測定装置
JP4495327B2 (ja) * 2000-10-05 2010-07-07 株式会社メック 欠陥検出装置及び方法
JP4633245B2 (ja) * 2000-11-06 2011-02-16 住友化学株式会社 表面検査装置及び表面検査方法
KR20040015728A (ko) * 2001-07-05 2004-02-19 닛폰 이타가라스 가부시키가이샤 시트형 투명체의 결점을 검사하는 방법 및 장치

Also Published As

Publication number Publication date
TW201100747A (en) 2011-01-01
KR20120022701A (ko) 2012-03-12
WO2010117004A1 (ja) 2010-10-14
CN102334025A (zh) 2012-01-25

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US8027036B2 (en) Apparatus for detecting particles on a glass surface and a method thereof
WO2010117004A1 (ja) 光透過性板状物のリーム検出方法
JP2010008177A (ja) 欠陥検出装置及び方法
JP2015105930A (ja) 透光性基板の微小欠陥検査方法および透光性基板の微小欠陥検査装置
JP2010181328A (ja) 太陽電池ウェハ表面の検査装置,太陽電池ウェハ表面の検査用プログラム,太陽電池ウェハ表面の検査方法
JP2009233753A (ja) レーザ溶接機におけるレーザ照射点検出装置及びシーム位置検出装置
JP5272784B2 (ja) 光学的検査方法および光学的検査装置
JP2009300137A (ja) 画像処理によるラインセンサ仰角測定装置
JP5572925B2 (ja) Vaパターン欠損検査方法および検査装置
JP2006038775A (ja) フラットパネルディスプレイ用透明基板の画像検査装置及び画像検査方法
KR20010042895A (ko) 물체 특히 방출 방향에 따라 휘도가 좌우되는 물체의휘도특성을 측정하기 위한 시스템
KR101085812B1 (ko) 하향 헤드라이트의 광축 조정 방법에 있어서의 엘보점 검출방법
JP2007205868A (ja) 光学式形状検査装置及び方法
JP2008091843A (ja) 基板の圧着状態検査装置
JP5200813B2 (ja) 測定用マークと基板エッジの距離測定方法
JP2004170400A (ja) 寸法測定方法及び装置
JP5531405B2 (ja) 周期性パターンのムラ検査方法及び検査装置
JP5589362B2 (ja) 鋼板の突き合わせギャップ中心位置の検出方法および装置
JP2006258649A (ja) 表面検査装置
JP5433221B2 (ja) 線幅測定方法
JP4657700B2 (ja) 測定装置の校正方法
JP2008242191A (ja) カラーフィルタ基板の検査方法、カラーフィルタ基板の絵素の検査装置、カラーフィルタ基板の製造方法及びカラーフィルタ基板を備えた表示装置
JP2012233782A (ja) 形状認識方法、形状認識装置及び実装基板生産装置
JP2009229326A (ja) レンズ欠陥検査装置
JP2011185683A (ja) パターン描画装置の状態監視方法および状態監視装置

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20130206

A761 Written withdrawal of application

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A761

Effective date: 20130301