JPWO2010004690A1 - 炭素電極、電気化学センサ、および炭素電極の製造方法 - Google Patents
炭素電極、電気化学センサ、および炭素電極の製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JPWO2010004690A1 JPWO2010004690A1 JP2010519627A JP2010519627A JPWO2010004690A1 JP WO2010004690 A1 JPWO2010004690 A1 JP WO2010004690A1 JP 2010519627 A JP2010519627 A JP 2010519627A JP 2010519627 A JP2010519627 A JP 2010519627A JP WO2010004690 A1 JPWO2010004690 A1 JP WO2010004690A1
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- carbon
- layer
- electrode
- conductive layer
- film
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N27/00—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means
- G01N27/26—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating electrochemical variables; by using electrolysis or electrophoresis
- G01N27/28—Electrolytic cell components
- G01N27/30—Electrodes, e.g. test electrodes; Half-cells
- G01N27/308—Electrodes, e.g. test electrodes; Half-cells at least partially made of carbon
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Electrochemistry (AREA)
- Molecular Biology (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Biochemistry (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Immunology (AREA)
- Pathology (AREA)
- Electrodes For Compound Or Non-Metal Manufacture (AREA)
- Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Electric Means (AREA)
Abstract
Description
絶縁性基板と、
前記絶縁性基板の上に設けられた導電層と、
前記導電層の上に設けられた第一炭素層と、
前記第一炭素層を覆うように設けられた第二炭素層と、
を備え、
前記第一炭素層は、SP2結合とSP3結合を有し、アモルファス構造を有する炭素を含み、
前記第二炭素層は、SP2結合を有する炭素を含む炭素電極が提供される。
以下、本発明の第1の実施の形態について、図面を用いて説明する。尚、全ての図面において、同様な構成要素には同一符号を付し、適宜説明を省略する。第1の実施形態の炭素電極について図1を参照として説明する。
また、第1の実施の形態は、第一炭素層として炭素膜3を用い、第二炭素層として透水性炭素層4を用いた。
炭素膜がアモルファス構造を有することは、可視光レーザーを用いたラマン散乱分光測定によって確かめることができる。例えば、黒鉛では、1584cm−1付近に鋭いピークが1本観測されるのに対し、アモルファス構造を有する炭素膜は、1584cm−1付近にブロードなピークが観測されることが知られている。
続いて、本実施の形態に係る炭素電極10の製造方法について説明する。図4は、本実施の形態に係る炭素電極10の製造方法のフローチャートを示している。炭素電極10の製造方法は、導電層2を形成する工程(ステップS10)、炭素膜3を形成する工程(ステップS20)、透水性炭素層4を形成する工程(ステップS30)、およびダイシングする工程(ステップS40)を備えている。各工程の方法について、以下に詳述する。
まず、絶縁性基板1上に、スパッタ法によって導電層2を形成する(ステップS10)。なお、導電層2を形成する方法はスパッタ法に限定されず、イオンプレーティング法、真空蒸着法、CVD、および、電解法等を用いてもよい。さらに、必要に応じて、導電層2は絶縁性基板1上にパターニングされる(ステップS11)。導電層2のパターニングは、エッチング法、リフトオフ法、サンドブラスト法等を利用することができる。
続いて、導電層2が形成された絶縁性基板1の上に炭素膜3が形成される(ステップS20)。炭素膜3の成膜は、スパッタ法、イオンプレーティング法等の、いわゆる物理気相成長法、あるいは、プラズマ化学気相成長(CVD)法、熱CVD法、イオンビーム堆積(IBS)法など、いわゆる化学的気相成長(CVD)法が利用できる。気相成長法で形成されることにより、炭素膜3は、緻密な膜構造を形成し導電層2の表面を被覆する。さらに、必要に応じて、炭素膜3はパターニングされる(ステップS21)。パターニング方法は、炭素膜3の上にセラミックスやフォトレジスト等のマスクを形成して酸素プラズマ等によりエッチングする方法やメタルマスクを用いてサンドブラストで加工する方法等が利用できる。
炭素層3の上に、スピンコート法によってナノ構造を有する粉末状の炭素の分散液が塗布され、溶媒が揮発することにより透水性炭素層4が形成される(ステップS30)。透水性炭素層4は、π−π相互作用によって炭素膜3と密着する。さらに、透水性炭素層4は、必要に応じてパターニングされる(ステップS31)。パターニング方法としては、マスクを用いた酸素プラズマによるエッチングや、リフトオフ法等が用いられる。なお、塗布方法は、スピンコート法に限定されず、スクリーンプリント法、およびインクジェット法等を用いてもよい。スクリーンプリント法、およびインクジェット法等、パターン上に塗布できる方法を用いると、ステップS30とステップS31が一度におこなわれ、工程を省略することができる。
パターニングされた形状に応じて基板がダイシングされ、複数の炭素電極10に切り分けられる。ダイシング方法としては、ダイシングブレード、スクライブ装置を用いる方法が挙げられる。
(第2の実施の形態)
また、第2の実施の形態の炭素電極10は、前記第一炭素層と前記第二炭素層が接し、前記第一炭素層の前記SP2/SP3値が、前記第三炭素層のSP2/SP3値より高くなってもよい。
ここで、第2の実施の形態は、第一炭素層として炭素膜3を用い、第二炭素層として透水性炭素層4を用い、第三炭素層として炭素膜30を用いた。
(第3の実施の形態)
また、第3の実施の形態は、第二炭素層として透水性炭素層4を用いた。さらに、第3の実施の形態の炭素電極10は、修飾電極として用いることができる。
(第4の実施の形態)
(第5の実施の形態)
また、第5の実施の形態は、第一炭素層として炭素膜3を用いた。
(実施例1)
はじめに、10mmx10mm(厚さ0.515mm)の石英基板を用意し、アセトンで洗浄した後、過酸化水素と硝酸を同量含む溶液で洗浄した。
また、可視光レーザーを用いたラマン散乱分光測定によって、1584cm−1付近にブロードなピークが観測された。そのため、炭素膜は、アモルファス構造を有することが確認できた。
(比較例1)
(比較例2)
比較例2として、特許文献4に従ってグラッシーカーボンの上にカーボンナノチューブを塗布して作製した電気化学センサを用いた。電極は、市販のグラッシーカーボン(BAS社)に、0.2W/W%の含有量で懸濁したカーボンナノチューブを含む0.25W/W%のカルボキシメチルセルロース水溶液を8μL塗布し37%、1時間乾燥して作製した。
(比較例3)
(実施例2)
はじめに、10mmx10mm(厚さ0.515mm)の石英基板を用意し、アセトンで洗浄した後、過酸化水素と硝酸を同量含む溶液で洗浄した。
また、可視光レーザーを用いたラマン散乱分光測定によって、1584cm−1付近にブロードなピークが観測された。そのため、炭素膜は、アモルファス構造を有することが確認できた。
(実施例3)
また、可視光レーザーを用いたラマン散乱分光測定によって、1584cm−1付近にブロードなピークが観測された。そのため、炭素膜は、アモルファス構造を有することが確認できた。
(実施例4)
はじめに、4インチの石英ウエハを用意し、アセトンで洗浄した後、過酸化水素と硝酸を同量含む溶液で洗浄した。
また、可視光レーザーを用いたラマン散乱分光測定によって、1584cm−1付近にブロードなピークが観測された。そのため、炭素膜は、アモルファス構造を有することが確認できた。
この出願は、2008年7月9日に出願された日本特許出願特願2008−178870を基礎とする優先権を主張し、その開示の全てをここに取り込む。
Claims (23)
- 絶縁性基板と、
前記絶縁性基板の上に設けられた導電層と、
前記導電層の上に設けられた第一炭素層と、
前記第一炭素層を覆うように設けられた第二炭素層と、
を備え、
前記第一炭素層は、SP2結合とSP3結合を有し、アモルファス構造を有する炭素を含み、
前記第二炭素層は、SP2結合を有する炭素を含む炭素電極。 - 前記第一炭素層は、SP2結合とSP3結合の比率(SP2/SP3値)が0.01以上、100.0以下である請求項1に記載の炭素電極。
- 前記SP2/SP3値が0.1以上、10.0以下である請求項2に記載の炭素電極。
- 前記第一炭素層は、ダイヤモンドライクカーボンまたはアモルファスカーボンを含む請求項1から3のいずれかに記載の炭素電極。
- 前記第二炭素層は、ナノ構造を有する粉末状の炭素を含む請求項1から4のいずれかに記載の炭素電極。
- 前記ナノ構造を有する粉末状の炭素は、黒鉛、アモルファスカーボン、ダイヤモンドライクカーボン、カーボンファイバー、カーボンブラック、アセチレンブラック、ケッチェンブラック(登録商標)、カーボンナノチューブ、カーボンナノホーン、およびカーボンナノファイバーから選択される少なくとも1種を含む請求項5に記載の炭素電極。
- 前記ナノ構造を有する粉末状の炭素は、カーボンナノチューブまたはカーボンナノホーンを含む請求項6に記載の炭素電極。
- 前記第一炭素層のSP2/SP3値が、前記第一炭素層と前記第二炭素層の界面付近で最大となることを特徴とする請求項1から7のいずれかに記載の炭素電極。
- 前記第一炭素層が、前記第一炭素層と異なるSP2/SP3値を有する少なくとも1つの第三炭素層をさらに含む請求項1から8のいずれかに記載の炭素電極。
- 前記第一炭素層と前記第二炭素層が接し、前記第一炭素層の前記SP2/SP3値が、前記第三炭素層のSP2/SP3値より高くなることを特徴とする請求項9に記載の炭素電極。
- 前記導電層と前記第一炭素層の間に、Cr、Ti、およびWから選択される少なくとも1種を含む中間層をさらに備える請求項1から10のいずれかに記載の炭素電極。
- 前記導電層と前記中間層の界面付近で、前記導電層と前記中間層の組成が混合していることを特徴とする請求項11に記載の炭素電極。
- 前記中間層と前記第一炭素層の界面付近で、前記中間層と前記第一炭素層の組成が混合していることを特徴とする請求項11または12のいずれかに記載の炭素電極。
- 前記第二炭素層が修飾物質を担持している、請求項1から13のいずれかに記載の炭素電極。
- 前記修飾物質は、触媒、酵素、金属錯体、電子伝達メディエータ、抗体、核酸、受容体、タンパク質、脂質、高分子、細胞、微生物、および生体組織から選択される少なくとも1種を含む請求項14に記載の炭素電極。
- 請求項1から15のいずれかに記載の炭素電極と、
参照極と、
を備える電気化学センサ。 - 対極をさらに備える請求項16に記載の電気化学センサ。
- 前記電気化学センサは、測定部と導線をさらに備え、
前記測定部と前記炭素電極は、前記導線で電気的に接続し、
前記導線は、前記第一炭素層を貫通して前記導電層と電気的に接触し、
前記導線の表面は、絶縁膜で被覆され、
前記絶縁膜と前記第一炭素層の表面は、封止材で被覆されることを特徴とする請求項16または17記載の電気化学センサ。 - 前記導線の先端が、テーパー状である請求項18に記載の電気化学センサ。
- 前記導線は、端部の少なくとも一部にかえし構造を備え、
前記かえし構造は前記導電層に埋設している請求項18または19のいずれかに記載の電気化学センサ。 - 前記導線の先端が、前記第一炭素層および前記導電層を貫通し、前記絶縁性基板に差し込まれている請求項18から20のいずれかに記載の電気化学センサ。
- 絶縁性基板上に、導電層を形成する工程と、
前記導電層の上面に第一炭素層を形成する工程と、
前記第一炭素層を覆うように第二炭素層を形成する工程と、
を含む請求項1から15のいずれかに記載の炭素電極の製造方法。 - 前記導電層を形成する工程の後に、前記導電層をパターニングして複数の導電層を形成する工程と、
前記第二炭素層を形成する工程の後に、複数の炭素電極に分割する工程をさらに含む請求項22に記載の炭素電極の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010519627A JP5120453B2 (ja) | 2008-07-09 | 2009-06-19 | 炭素電極、電気化学センサ、および炭素電極の製造方法 |
Applications Claiming Priority (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008178870 | 2008-07-09 | ||
JP2008178870 | 2008-07-09 | ||
PCT/JP2009/002794 WO2010004690A1 (ja) | 2008-07-09 | 2009-06-19 | 炭素電極、電気化学センサ、および炭素電極の製造方法 |
JP2010519627A JP5120453B2 (ja) | 2008-07-09 | 2009-06-19 | 炭素電極、電気化学センサ、および炭素電極の製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPWO2010004690A1 true JPWO2010004690A1 (ja) | 2011-12-22 |
JP5120453B2 JP5120453B2 (ja) | 2013-01-16 |
Family
ID=41506818
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2010519627A Expired - Fee Related JP5120453B2 (ja) | 2008-07-09 | 2009-06-19 | 炭素電極、電気化学センサ、および炭素電極の製造方法 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5120453B2 (ja) |
WO (1) | WO2010004690A1 (ja) |
Families Citing this family (29)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5186633B2 (ja) | 2010-09-13 | 2013-04-17 | 大日本印刷株式会社 | バイオセンサ及びその製造方法 |
JP5508312B2 (ja) * | 2011-03-01 | 2014-05-28 | 日本電信電話株式会社 | 電気化学測定用電極の製造方法 |
JP5525499B2 (ja) * | 2011-09-22 | 2014-06-18 | 株式会社日立ビルシステム | 吸収液中のインヒビター濃度把握方法及び装置、並びにその装置を備えた吸収式冷温水機 |
JP2013190212A (ja) * | 2012-03-12 | 2013-09-26 | Dainippon Printing Co Ltd | バイオセンサ及びその製造方法 |
CN104849329A (zh) * | 2015-05-07 | 2015-08-19 | 湖北民族学院 | 一种多壁碳纳米管修饰电极测白藜芦醇的方法 |
EP3378393A4 (en) | 2015-11-20 | 2019-08-14 | Toppan Printing Co., Ltd. | BIOSENSOR AND MANUFACTURING METHOD THEREFOR |
JP6844238B2 (ja) * | 2016-01-15 | 2021-03-17 | 凸版印刷株式会社 | 生体センサのための電極および生体センサ |
CN105954338A (zh) * | 2016-04-21 | 2016-09-21 | 福建师范大学 | 一种基于碳纳米角及三乙氧基硅烷的食源性污染物电化学传感方法 |
KR101922500B1 (ko) * | 2016-06-22 | 2018-11-28 | 한국과학기술연구원 | 커패시턴스-타입 센서 및 이의 제조 방법 |
WO2017222313A1 (ko) * | 2016-06-22 | 2017-12-28 | 한국과학기술연구원 | 커패시턴스-타입 센서 및 이의 제조 방법 |
GB2564862B (en) * | 2017-07-24 | 2021-03-24 | Clean Power Ltd | Electrode support and electrode assembly |
JP7337498B2 (ja) * | 2017-12-11 | 2023-09-04 | 日東電工株式会社 | 電極フィルムおよび電気化学測定システム |
WO2019117112A1 (ja) * | 2017-12-11 | 2019-06-20 | 日東電工株式会社 | 電極フィルムおよび電気化学測定システム |
CN109085224B (zh) * | 2018-08-27 | 2023-11-03 | 浙江大学 | 用于细胞表面区域atp检测的敏感微电极 |
WO2020175471A1 (ja) * | 2019-02-28 | 2020-09-03 | 日東電工株式会社 | 電極および電気化学測定システム |
JP6810330B2 (ja) * | 2019-02-28 | 2021-01-06 | 日東電工株式会社 | 電極および電気化学測定システム |
JP6752432B1 (ja) * | 2019-03-28 | 2020-09-09 | 日東電工株式会社 | 電極および電気化学測定システム |
KR102374999B1 (ko) * | 2019-05-10 | 2022-03-15 | 포항공과대학교 산학협력단 | 이방성 전도성 탄소 박막을 포함하는 접을 수 있는 하이브리드 회로 및 그의 제조방법 |
JP7181400B2 (ja) * | 2019-06-19 | 2022-11-30 | Tpr株式会社 | 蓄電デバイス電極用集電体、その製造方法、及び蓄電デバイス |
WO2021009845A1 (ja) * | 2019-07-16 | 2021-01-21 | 株式会社オプトラン | 電極及び電極チップ |
JP2021043087A (ja) * | 2019-09-12 | 2021-03-18 | 株式会社ニコン | 電気化学センサ用電極、電気化学センサ及び電気化学的分析装置 |
EP4130728A4 (en) * | 2020-03-26 | 2024-03-13 | Nitto Denko Corp | ELECTRODE |
CN115335690A (zh) * | 2020-03-27 | 2022-11-11 | 朱子诚 | 电极和电极芯片 |
WO2021192247A1 (ja) * | 2020-03-27 | 2021-09-30 | 子誠 朱 | 電気化学分析チップ |
JP2021173608A (ja) * | 2020-04-23 | 2021-11-01 | 住友化学株式会社 | 電気化学センサおよび電気化学センサの製造方法 |
CN116457655A (zh) * | 2020-09-30 | 2023-07-18 | 日东电工株式会社 | 电极 |
WO2023190657A1 (ja) * | 2022-03-31 | 2023-10-05 | 日東電工株式会社 | 電極および電気化学測定システム |
WO2024071292A1 (ja) * | 2022-09-30 | 2024-04-04 | 日東電工株式会社 | 電極および電気化学測定システム |
WO2024071293A1 (ja) * | 2022-09-30 | 2024-04-04 | 日東電工株式会社 | 電極および電気化学測定システム |
Family Cites Families (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
GB9211402D0 (en) * | 1992-05-29 | 1992-07-15 | Univ Manchester | Sensor devices |
JP2005233960A (ja) * | 2004-02-17 | 2005-09-02 | Univ Of Electro-Communications | マイクロプローブ並びにその製造装置及び方法 |
JP5089035B2 (ja) * | 2005-11-22 | 2012-12-05 | 学校法人 東洋大学 | Cnt薄膜の製造方法およびこの薄膜を用いたバイオセンサ |
JP5061342B2 (ja) * | 2006-09-11 | 2012-10-31 | 国立大学法人大阪大学 | カーボンナノチューブ電極及び当該電極を用いたセンサー |
-
2009
- 2009-06-19 WO PCT/JP2009/002794 patent/WO2010004690A1/ja active Application Filing
- 2009-06-19 JP JP2010519627A patent/JP5120453B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
WO2010004690A1 (ja) | 2010-01-14 |
JP5120453B2 (ja) | 2013-01-16 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5120453B2 (ja) | 炭素電極、電気化学センサ、および炭素電極の製造方法 | |
Liu et al. | Ultrasensitive voltammetric detection of trace heavy metal ions using carbon nanotube nanoelectrode array | |
Li et al. | Inlaid multi‐walled carbon nanotube nanoelectrode arrays for electroanalysis | |
US7452452B2 (en) | Carbon nanotube nanoelectrode arrays | |
Tu et al. | Carbon nanotubes based nanoelectrode arrays: fabrication, evaluation, and application in voltammetric analysis | |
Kranz | Recent advancements in nanoelectrodes and nanopipettes used in combined scanning electrochemical microscopy techniques | |
Zoski | Ultramicroelectrodes: design, fabrication, and characterization | |
Zuaznabar-Gardona et al. | A wide-range solid state potentiometric pH sensor based on poly-dopamine coated carbon nano-onion electrodes | |
Revin et al. | Electrochemical sensor for neurotransmitters at physiological pH using a heterocyclic conducting polymer modified electrode | |
Zhu et al. | Enzyme-free glucose biosensor based on low density CNT forest grown directly on a Si/SiO2 substrate | |
US20120255860A1 (en) | Carbon-based electrodes with graphene modification | |
Bagal-Kestwal et al. | Electrically nanowired-enzymes for probe modification and sensor fabrication | |
Huang et al. | Sensitive detection of noradrenaline in human whole blood based on Au nanoparticles embedded vertically-ordered silica nanochannels modified pre-activated glassy carbon electrodes | |
Ghanbari et al. | An electrochemical sensor based on Pt nanoparticles decorated over-oxidized polypyrrole/reduced graphene oxide nanocomposite for simultaneous determination of two neurotransmitters dopamine and 5-Hydroxy tryptamine in the presence of ascorbic acid | |
Seddon et al. | The application of excimer laser micromachining for the fabrication of disc microelectrodes | |
Miserendino et al. | Electrochemical characterization of parylene-embedded carbon nanotube nanoelectrode arrays | |
Srinivas et al. | Edge and basal plane anisotropy of a preanodized pencil graphite electrode surface revealed using scanning electrochemical microscopy and electrocatalytic dopamine oxidation as a molecular probe | |
Kundys et al. | Electrochemical determination of selected neurotransmitters at electrodes modified with oppositely charged carbon nanoparticles | |
Takaloo et al. | Detection of c-reactive protein using a flexible biosensor with improved bending life | |
JP4982899B2 (ja) | 微小電極およびその製造方法 | |
JPH01153952A (ja) | 酵素センサ | |
JP2000314714A (ja) | 電極及びその製造方法及び該電極を用いた電気化学センサー | |
Budai | Carbon fiber-based microelectrodes and microbiosensors | |
KR20120126977A (ko) | 탄소나노튜브 기반 3전극 시스템, 그 제조방법 및 이를 이용한 전기화학 바이오센서 | |
Nagy et al. | Electrochemical sensors developed for gathering microscale chemical information |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20120511 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20120925 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20121008 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20151102 Year of fee payment: 3 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |