JP6752432B1 - 電極および電気化学測定システム - Google Patents
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Abstract
Description
本発明の電極の一実施形態であるカーボン電極を、図1を参照して説明する。
図1に示すように、カーボン電極1は、所定の厚みを有するフィルム形状(シート形状を含む)を有し、平坦な厚み方向一方面および他方面を有する。
基材2は、カーボン電極1の厚み方向他方面を形成しており、フィルム形状を有する。
基材2は、導電性カーボン層3を支持する。
導電性カーボン層3は、導電性を有しており、電極としての役割を担う。導電性カーボン層3は、カーボン電極1の厚み方向一方面を形成する。導電性カーボン層3は、基材2の厚み方向一方面全面に接触する。
7194に準じて、4端子法により測定することができる。
カーボン電極1の製造方法は、例えば、基材2を用意する第1工程、基材2にカーボン薄膜を設ける第2工程、および、カーボン薄膜を表面処理して、導電性カーボン層3を生成する第3工程を、順に備える。
カーボン電極1は、各種の電極として用いることができ、好ましくは、電気化学測定法を実施する電気化学測定用の電極、具体的には、サイクリックボルタンメトリー(CV)を実施する作用電極(作用極)や、アノーディック−ストリッピング−ボルタンメトリー(ASV)を実施する作用電極(作用極)として用いることができる。
図1に示すカーボン電極1は、基材2および導電性カーボン層3からなるが、例えば、図示しないが、基材2と導電性カーボン層3との間に、または、基材2の下側に、1または2以上の機能層をさらに備えていてもよい。機能層としては、例えば、ガスバリア層、導電層、密着層、表面平滑層などが挙げられる。
厚みが300μmであるシリコン基板からなる基材2を用意した(第1工程の実施)。
ターゲット材:焼結カーボン
アルゴンガス圧:0.6Pa
ターゲットパワー:400W
基材温度:120℃以下
DCバイアス(シリコン基板と焼結カーボンターゲット間):75V
これにより、基材2およびカーボン薄膜を備える中間体(積層体)を得た。
<イオンミリング>
イオンミリング装置:3−IBE(伯東社製)
アルゴンガス圧:4×10−2Pa
これによって、カーボン薄膜から導電性カーボン層3を生成した(第3工程の実施)。
表1に記載の通り、導電性カーボン層3の厚みと、その厚み方向一方面の表面粗さRaとを変更した以外は、実施例1と同様に処理して、カーボン電極1を作製した。
イオンミリング後、導電性カーボン層3に対する紫外線(照度20mW/cm2、30秒)照射を実施した以外は、実施例1と同様にして、カーボン電極1を作製した。
イオンミリング後、導電性カーボン層3に対する紫外線(照度20mW/cm2、300秒)照射を実施した以外は、実施例1と同様にして、カーボン電極1を作製した。
イオンミリングに代えて、0Vおよび2.3V間で電圧を往復させる電圧印加サイクルを10回実施することによって、カーボン薄膜の厚み方向一方面を酸化処理して、導電性カーボン層3を生成した以外は、実施例1と同様にして、カーボン電極1を作製した。
イオンミリングに代えて、0Vおよび2.3V間で電圧を往復させる電圧印加サイクルを12回実施することによって、カーボン薄膜の厚み方向一方面を酸化処理して、導電性カーボン層3を生成した以外は、実施例1と同様にして、カーボン電極1を作製した。
(酸素濃度比の測定)(sp3およびsp2の測定)
各実施例および各比較例の導電性カーボン層3の厚み方向一方面に対して、下記の<測定条件>にてX線光電子分光法を実施した。これにより得られたスペクトルグラフ(図4および図5参照)から各ピーク面積を求め、濃度比および炭素原子数比を算出した。炭素に対する酸素の濃度比(O/C)を、表1に示す。sp2結合している炭素原子数とsp3結合している炭素原子数との和に対する、sp3結合の炭素原子数の比(sp3/sp3+sp2)は、いずれも約0.4であった。
測定装置:X線光電子分光分析(XPS)装置(島津製作所社製、商品名「AXIS Nova」)
X線源:Rowland円直径500mmモノクロメータ付AlKα(1486.6eV)、15kV、10mA
光電子分光器:軌道半径165mm、静電二重半球型アナライザー/球面鏡アナライザー複合型
検出器:ディレイラインディテクター(DLD)システム
エネルギー分解能:Ag3d5/2光電子ピークが半値幅0.48 eV以下
帯電中和:均一低エネルギー電子照射
(厚みの測定)
X線反射率法を測定原理とし、粉末X線回折装置(リガク社製、「RINT−2200」)を用いて、下記の<測定条件>にてX線反射率を測定し、取得した測定データを解析ソフト(リガク社製、「GXRR3」)で解析することで、各実施例および各比較例の導電性カーボン層3の厚みを算出した。
測定装置:粉末X線回折装置(リガク社製、「RINT−2000」)
光源:Cu−Kα線(波長:1,5418Å)、40kV、40mA
光学系:平行ビーム光学系
発散スリット:0.05mm
受光スリット:0.05mm
単色化・平行化:多層ゲーベルミラー使用
測定モード:θ/2θスキャンモード
測定範囲(2θ):0.3〜2.0°
<解析条件>
解析ソフト:リガク社製、「GXRR3」
解析手法:最小自乗フィッティング
解析範囲(2θ):2θ=0.3〜2.0°
(表面粗さの測定)
各実施例および各比較例の導電性カーボン層3の厚み方向一方面の算術平均表面粗さRaを、原子間力顕微鏡(Digital Instruments社製 製品名「NanoscopeIV」)を用いて、500nm×500nmの範囲で、測定した。その結果を表1に示す。
(ASVによる亜鉛の測定)
実施例1〜3および比較例1〜3のカーボン電極1における導電性カーボン層3の厚み方向一方面に、直径2mmの穴を開けた絶縁テープを貼り付けて、導電性カーボン層3の露出面積を3.14mm2に設定した。このカーボン電極1と、参照電極5(銀−塩化銀:Ag/AgCl)と、対向電極6(白金:Pt)とを、アンモニア緩衝液(pH8.0)に挿入した。また、カーボン電極1と、参照電極5と、対向電極6とを、ポテンシオスタット7(CHIインスツルメンツ社製、ALS1240B)に接続した。
(CVによる過酸化水素の測定)
実施例1〜3および比較例1〜3のカーボン電極1における導電性カーボン層3の厚み方向一方面に、直径2mmの穴を開けた絶縁テープを貼り付けて、導電性カーボン層3の露出面積を3.14mm2に設定した。このカーボン電極1と、参照電極5(銀−塩化銀:Ag/AgCl)と、対向電極6(白金:Pt)とを、50mmol/Lリン酸緩衝液(pH7.0)に挿入した。さらに、上記したリン酸緩衝液に、過酸化水素濃度が200μモル/L(6.8μg/1mL)となるように、過酸化水素を添加した。また、カーボン電極1と、参照電極5と、対向電極6とを、ポテンシオスタット7(CHIインスツルメンツ社製、ALS1240B)に接続した。
不良:還元ピーク電位V1が、−1.0V未満であった。つまり、過酸化水素を還元させるのにより高い還元電圧が必要であり、感度の低下が起こることを意味する。
2 基材
3 導電性カーボン層
4 電気化学測定システム
Claims (6)
- 基材と、
前記基材の厚み方向一方側に配置され、sp2結合およびsp3結合を有する導電性カーボン層とを備え、
前記導電性カーボン層の厚み方向一方面において、炭素に対する酸素の濃度比が、0.07以下であることを特徴とする、電極。 - 前記導電性カーボン層の厚みが、5nm以上、200nm以下であることを特徴とする、請求項1に記載の電極。
- 前記導電性カーボン層の厚み方向一方面の表面粗さRaが、1.0nm以下であることを特徴とする、請求項1または2に記載の電極。
- 電気化学測定用の電極であることを特徴とする、請求項1〜3のいずれか一項に記載の電極。
- 前記電気化学測定が、アノーディック−ストリッピング−ボルタンメトリーであって、
作用電極であることを特徴とする、請求項4に記載の電極。 - 請求項4または5に記載の電極を備えることを特徴とする、電気化学測定システム。
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