JPWO2010001772A1 - 反射防止構造を有する光学部品および前記光学部品の製造方法 - Google Patents
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Abstract
Description
前記反射防止構造は、前記面が複数の領域に区分され、それぞれの前記領域に、平行で直線状に延びる複数の突条部と複数の溝部とが交互に繰り返されて形成され、隣り合う前記領域で、前記突条部および前記溝部の延びる方向が90度相違していることを特徴とするものである。
例えば、それぞれの前記領域が四角形である。
前記転写パターンを転写した前記反射防止構造は、複数の領域に区分され、それぞれの前記領域に、平行で直線状に延びる複数の突条部と複数の溝部とが交互に繰り返されて形成され、隣り合う前記領域で、前記突条部および前記溝部の延びる方向が90度相違していることを特徴とするものである。
光学部品を形成する型のうちの入射面や出射面を転写する型表面にレジスト層を形成し、電子線露光装置を使用して、レジスト層を部分的に露光する。図3は、レジスト層20の第1の領域2に相当する区画領域21に、帯状のパターンを露光する工程を示している。電子線露光装置のビームガンから電子線23が間欠的に照射されて、レジスト層20に微小スポットが形成されて露光される。
2,2A,2B,3,3A,3B 領域
11x,11y 突条部
12x,12y 溝部
20 レジスト層
21,31 区画領域
24x,24y 感光部
25x,25y 非感光部
36 非感光部
Claims (9)
- 光が入射しまたは出射する面に反射防止構造が形成された光学部品において、
前記反射防止構造は、前記面が複数の領域に区分され、それぞれの前記領域に、平行で直線状に延びる複数の突条部と複数の溝部とが交互に繰り返されて形成され、隣り合う前記領域で、前記突条部および前記溝部の延びる方向が90度相違していることを特徴とする光学部品。 - 前記反射防止構造は、隣り合う前記領域の境界部において、90度相違する方向に延びる前記突条部どうしが繋がっている部分と、隣り合う前記領域の境界部において、90度相違する方向に延びる前記溝部どうしが繋がっている部分とを含んでいる請求項1記載の光学部品。
- それぞれの前記領域が四角形である請求項1または2記載の光学部品。
- 型の表面に、凹凸の転写パターンを形成する工程と、前記型で光学部品を形成する際に光学部品の光の入射面に前記転写パターンを転写して凹凸状の反射防止構造を形成する工程とを有し、
前記転写パターンを転写した前記反射防止構造は、複数の領域に区分され、それぞれの前記領域に、平行で直線状に延びる複数の突条部と複数の溝部とが交互に繰り返されて形成され、隣り合う前記領域で、前記突条部および前記溝部の延びる方向が90度相違していることを特徴とする光学部品の製造方法。 - 前記反射防止構造は、隣り合う前記領域の境界部において、90度相違する方向に延びる前記突条部どうしが繋がっている部分と、隣り合う前記領域の境界部において、90度相違する方向に延びる前記溝部どうしが繋がっている部分とを含んでいる請求項4記載の光学部品の製造方法。
- 前記型の表面にレジスト層を形成し、前記レジスト層を電子線で露光し現像して一部の前記レジスト層を残し、レジスト層が存在していない部分で前記型の表面を除去して前記転写パターンを形成する請求項4または5記載の光学部品の製造方法。
- 前記レジスト層に、前記領域単位で前記電子線を照射し、前記領域単位で前記レジスト層を露光する請求項6記載の光学部品の製造方法。
- 前記型で光学材料をプレスして前記光学部品を形成する請求項4ないし7のいずれかに記載の光学部品の製造方法。
- 前記型内に溶融した光学材料を供給し、冷却して前記光学部品を形成する請求項4ないし7のいずれかに記載の光学部品の製造方法。
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