JP4623723B2 - 回折光学素子及びこれを利用した光学ローパスフィルター - Google Patents
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Description
何れの長方形領域も、行方向及び列方向において隣接する長方形領域との間の辺を中心に頂点の位置を変えずにそれぞれの辺に直交する両方向に割り込んでなる中間領域が設定され、何れの長方形領域も最早長方形から中間領域の割り込み分変形され、各中間領域には、その両側の領域の位相を0〜2πの値に換算した値の略中間の値又はその値に2πの整数倍を加えた値の位相が与えられ、ただし、その両側の領域の位相を0〜2πの値に換算した値の差がπを越える場合は、その両側の領域の位相を0〜2πの値に換算した値の略中間の値又はその値に2πの整数倍を加えた値にさらにπを加えた値の位相が与えられてなることを特徴とするものである。
2、3…正方形領域
4、5、4’、5’…直線状領域
10…回折光学素子
11…CCD
12…撮像面
13…ガラス板
20…入射光
21+1x'、21-1x'、21+1y'、21-1y'…回折光
31〜34…正方形領域(領域)
41〜44…中間領域
50…フォトマスクブランク板
51…基板
52…クロム薄膜
53…レジスト層
53a…未露光部分(レジストパターン)
53b…易溶化部分
54…パターン
55…凹部
56…凸部
60…凹凸型
61…積層体
62…位相変調層
63…プラスチックフィルム
Claims (7)
- 透明基板表面が直交する2方向に整列して同一形状の微細な長方形領域に分割されており、何れか1方向に行端を揃えて複数の行が並んでいるものとして、透明基板表面に垂直に入射する基準波長光に対して、奇数番目の行の中の奇数番目の長方形領域は位相2pπを与えるように構成され、偶数番目の長方形領域は位相{(4q+1)π/2+δπ/2}を与えるように構成され、偶数番目の行の中の奇数番目の長方形領域は位相{(4r+3)π/2+3δπ/2}を与えるように構成され、偶数番目の長方形領域は位相{(4s+2)π/2+δπ}を与えるように構成されている(だだし、−0.25≦δ≦0.25,p,q,r,s:整数)回折光学素子において、
何れの長方形領域も、行方向及び列方向において隣接する長方形領域との間の辺を中心に頂点の位置を変えずにそれぞれの辺に直交する両方向に割り込んでなる中間領域が設定され、何れの長方形領域も最早長方形から中間領域の割り込み分変形され、各中間領域には、その両側の領域の位相を0〜2πの値に換算した値の略中間の値又はその値に2πの整数倍を加えた値の位相が与えられ、ただし、その両側の領域の位相を0〜2πの値に換算した値の差がπを越える場合は、その両側の領域の位相を0〜2πの値に換算した値の略中間の値又はその値に2πの整数倍を加えた値にさらにπを加えた値の位相が与えられてなることを特徴とする回折光学素子。 - 中間領域の割り込み分変形される前の長方形領域が同一形状の正方形領域からなることを特徴とする請求項1記載の回折光学素子。
- 中間領域の境界線が滑らかな曲線からなることを特徴とする請求項1又は2記載の回折光学素子。
- 滑らかな曲線が正弦波曲線からなることを特徴とする請求項3記載の回折光学素子。
- 透明基板に略垂直に入射する光束を4本又は5本の光束に分割する光束分割素子として使用されることを特徴とする請求項1から4の何れか1項記載の回折光学素子。
- 相互にずれた4枚又は5枚の同一画像を重畳して撮像面に入射させる光学ローパスフィルターとして使用されることを特徴とする請求項1から4の何れか1項記載の回折光学素子。
- 請求項1から6の何れか1項記載の回折光学素子の製造方法であって、フォトエッチングにより基板に2のn乗(n:2以上の自然数)の段数の凹凸を形成して凹凸型を得た後、前記凹凸型を用いて樹脂層に型付けを行い、前記樹脂層の表面に回折光学素子の凹凸を形成することを特徴とする回折光学素子の製造方法。
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