JP2007078856A - パターン露光方法および露光マスク - Google Patents
パターン露光方法および露光マスク Download PDFInfo
- Publication number
- JP2007078856A JP2007078856A JP2005264177A JP2005264177A JP2007078856A JP 2007078856 A JP2007078856 A JP 2007078856A JP 2005264177 A JP2005264177 A JP 2005264177A JP 2005264177 A JP2005264177 A JP 2005264177A JP 2007078856 A JP2007078856 A JP 2007078856A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- pattern
- light
- exposure
- mask
- mask pattern
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Withdrawn
Links
Landscapes
- Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)
- Preparing Plates And Mask In Photomechanical Process (AREA)
Abstract
【課題】平面部の露光の解像度が高く平面部および側面部を同時に露光する量産性に優れたパターン露光方法を提供すること。
【解決手段】被露光体の平面部および側面部にマスクパターンを投影するパターン露光において、透明な基板の一方の表面に遮光パターンを形成し他方の表面にマスクパターンを形成してなる露光マスクを用い、露光マスクを、マスクパターンを形成した側の表面が平面部に平行に対向するように配置し、遮光パターンを形成した側から光を照射して平面部および側面部に所定のパターンを投影する。
【選択図】図1
【解決手段】被露光体の平面部および側面部にマスクパターンを投影するパターン露光において、透明な基板の一方の表面に遮光パターンを形成し他方の表面にマスクパターンを形成してなる露光マスクを用い、露光マスクを、マスクパターンを形成した側の表面が平面部に平行に対向するように配置し、遮光パターンを形成した側から光を照射して平面部および側面部に所定のパターンを投影する。
【選択図】図1
Description
本発明は、立体の表面に微細なパターンを形成するためのパターン露光方法、パターン露光装置および露光マスクに関する。
微細パターンの形成にはフォトリソグラフィが用いられる。フォトリソグラフィは、パターニング対象物を感光性レジスト層で覆う所定の露光マスクを用いてパターニング用の感光性レジスト層に部分的に光を照射するパターン露光を含む。パターン露光によって感光性レジストを部分的に可溶化または非可溶化した後、可溶部分を取り除くことによって、露光マスクに対応したパターンのエッチングマスクが形成される。
パターン露光の対象物には半導体基板のような平面体だけでなく、平行でない複数の面をもつ立体もある。例えば、圧電ジャイロセンサ、磁気ヘッド、水晶振動子など、平面(上面)および側面に電極をもつ立体的な電子部品の製造においては、複数の面に対してパターン露光を行う必要がある。
立体に対するパターン露光に関しては、上面の斜め上方の位置に光源を配置するとともに、光源と立体との間の光路内に上面用および側面用のパターンをもつ1枚の露光マスクを上面と平行に配置し、上面および側面を同時に露光する手法がある。これによれば、1個の光源による1回の光照射で、上面および側面に所定のパターンを投影することができる。特許文献1および2には、2個の光源によって上面および左右の両側面を同時に露光する装置が記載されている。
特開2002−189300号公報
特開2005−17273号公報
1個の光源で上面および側面を同時に露光する従来の方法は、上面および側面のそれぞれに専用の光源を設ける方法や面ごとに別々に露光する方法と比べて量産性に優れるものの、上面および側面の双方がいわゆる斜め光によって露光されるので、垂直光による露光と比べてパターニングの解像度が低くなり易いという問題を有する。ここでいう斜め光とは、被露光面に対する入射角αが0<α<90[度]の光であり、垂直光とは入射角αが0度の光である。
本発明の目的は、平面部の露光の解像度が高く平面部および側面部を同時に露光する量産性に優れたパターン露光方法を提供することである。
本発明の目的を達成するパターン露光方法およびパターン露光装置は、被露光体の平面部および側面部にマスクパターンを投影するために、透明な基板の一方の表面にマスクパターンを形成し、他方の表面にマスクパターンとは異なる遮光パターンを形成してなる露光マスクを用いる。マスクパターンは平面部用のパターンと側面部用のパターンとを含む。平面部用のパターンを遮光パターンの形成されていない部分の真裏の位置に設け、それ以外で且つ側面部へ向かう光が通る位置に側面部用のパターンを設ける。当該露光マスクをそのマスクパターンを形成した側の表面が平面部に平行に対向するように配置し、遮光パターンを形成した側から光を照射して平面部および側面部にマスクパターンを投影する。照射する光を、平面部に対して垂直な方向の垂直光と、垂直光に対して角度を有した斜め光とを含む光とし、垂直光によってマスクパターンのうちの平面部用パターンを平面部に投影し、斜め光によって側面部用パターンを側面部に投影する。遮光パターンを平面部に向かう斜め光を遮光するパターンとし、被露光体における平面部には垂直光のみを入射させ、且つ側面部には斜め光のみを入射させる。
遮光パターンが斜め光を遮光することにより、平面部について高解像度の露光を行うことができる。露光マスクにおける表裏両面のうちの被露光体に近い側の面にマスクパターンを設けることにより、遠い側の面に設ける場合よりも解像度を高めることができる。
露光装置の小型化および低価格化の上で、平行光を射出する1つの光源とプリズムやミラーなどの偏向手段とを用いて垂直光および斜め光を生成するのが有利である。ただし、垂直光および斜め光のそれぞれを別の光源によって生成してもよい。
請求項1ないし請求項5の発明によれば、平面部の露光の解像度が高く平面部および側面部を同時に露光する量産性に優れたパターン露光を実現することができる。
請求項5によれば、高解像度の露光が可能で且つ所定の機械的強度をもつ露光マスクが得られる。
図1は本発明に係るパターン露光装置の構成を模式的に示す図である。
パターン露光装置1は、立体的な被露光体5の平面部51および2つの側面部52,53に所定のパターンを投影するための装置であって、露光光源10と露光マスク20とを備える。
露光光源10は、紫外光を射出するランプ12、ランプ12からの光を所定断面形状の平行光ビームに成形して垂直光L1として射出するレンズ系13、および垂直光L1の一部を偏向して斜め光L2,L3を生成する光学系14,15からなる。ランプ12とレンズ系13とが光発生部11を構成する。光学系14,15はプリズムまたはミラーである。
斜め光L2は垂直光L1の進行方向に対して一方側に傾いた方向に進行し、斜め光L3は垂直光L1の進行方向に対して他方側に傾いた方向に進行する。傾きの方向は逆であるが、垂直光L1の進行方向に対する傾き角の大きさは斜め光L2と斜め光L3とで等しい。
露光マスク20は、透明な基板21、基板21の一方の表面(図では上面)S1に遮光パターンとして形成された複数の遮光帯22、基板21の他方の表面(図では下面)S2に形成されたマスクパターン26,27,28からなる。遮光帯22は被露光体5の平面部51への斜め光L2,L3の入射を防ぐストライプ状の遮光体を構成する。マスクパターン26は被露光体5における図中左側の側面部52に対応したパターンであり、マスクパターン27は平面部51に対応したパターンであり、マスクパターン28は図中右側の側面部53に対応したパターンである。表面S2において、表面S1における遮光帯22の形成されていない部分(透光スリット)に対する真裏の位置にマスクパターン27が配置され、それ以外で且つ側面部52,53へ向かう光が通る位置にマスクパターン26,28が配置されている。なお、図においては各マスクパターン26,27,28を“A”“B”“C”の文字によって区別しているが、これら文字はパターンとそれが投影される面との関係を示すための便宜上の記号であって、実際のパターン(投影すべき図形)を表すものではない。
このような露光マスク20は、マスクパターン26,27,28を形成した側の表面S2が被露光体5の平面部51に平行に対向するように露光光源10と被露光体5との間に配置される。図では露光マスク20と被露光体5とが離れているが、実際には露光の精度を高めるために露光マスク20をできるだけ被露光体5に近づけるのが望ましい。
パターン露光装置1においては、露光マスク20を透過する垂直光L1によってマスクパターン27が被露光体5の平面部51に投影され、それと同時に、露光マスク20を透過する斜め光L2,L3によってマスクパターン26,28が側面部52,53に投影される。平面部51は垂直光L1のみによって露光されるので、斜め光による従来例の露光と比べて解像度の高い投影が可能である。
以下、露光マスクの構成についてさらに詳しく説明する。
図2はマスク構造の第1例を示す。図2において図1に対応する構成要素には同一の符号を付してある。
例示の露光マスク20の基板21は石英ガラス板であり、屈折率nは約1.5で厚さtは例えば2.25mmである。この程度の厚さであれば、実用上十分な機械的強度が得られる。基板21の下面S2のマスクパターン26,27,28は、例えばクロム(Cr)の蒸着膜をフォトリソグラフィによってパターニングしたものである。上面S1の遮光帯22はマスクパターン26,27,28と同様に形成してもよいし、顔料の印刷などによって形成してもよい。
マスクパターン26,27,28および遮光帯22の位置および寸法は、露光マスク20に対する斜め光L2の入射角を−45度とし、斜め光L3の入射角を45度として、被露光体5に対して所望のパターン露光が行われるように設計されている。入射角の大きさを45度とすれば、マスク面と直交する側面を露光する場合に、露光マスク20上のパターンとそれを投影した側面上のパターンとで大きさが等しくなるので、パターンの設計が容易になる。ただし、45度に限らない。例えば側面の垂直方向寸法が大きい場合には、側面の下端まで光が達するように入射角を小さくしてもよい。その場合にはマスク上のパターンよりも側面上のパターンが大きくなることを考慮してパターン設計を行えばよい。
図2における被露光体5は複数であり、一方向に並んでいる。各被露光体5は断面が略正方形の立体、厳密にはその立体の表層部である感光性レジスト層である。感光性レジスト層は支持体61の周面に被着したパターニング対象の膜(例えば電極材料膜)を覆っている。
被露光体5の具体例としては、図3に示すような音叉型圧電ジャイロ6の製造途中の仕掛かり品(ワーク)が挙げられる。図3では電極のパターニングを終えた段階の音叉型圧電ジャイロ6が描かれている。例示の音叉型圧電ジャイロ6は4つの角柱状のアーム部61とそれらを連結するにベース部とからなる櫛状である。図3のアーム部61が図2の支持体61に対応する。製造途中では複数個の音叉型圧電ジャイロ6が繋がっており、電極のパターニングを終えた後に分割される。その電極のパターニング工程において本発明のパターン露光方法を適用すれば、アーム部61の側面に電極を形成することができ、且つアーム部61およびベース部の上面に高精細パターンの電極を形成することができる。なお、音叉型圧電ジャイロ6の下面の露光は、上面および側面の露光の前または後に別途行ってもよいし、パターン露光装置20に下面用の光源およびマスクを設けておいて、上面および側面の露光と同時に行ってもよい。
本発明のパターン露光方法によれば、周期的に並んだ複数の被露光体5に対して一括に露光することができるので、音叉型圧電ジャイロ6のような部品の量産を効率的に行うことができる。露光光源10の仕様で決まる照射可能領域よりも照射すべき領域が大きい場合には、露光マスク20と被露光体5とを相対的に移動させるステッパ式の露光を行えばよい。
図4はマスク構造の第2例を示す。
図4の露光マスク20bでは、厚さt1が例えば0.7mmの石英ガラスからなる基板21Aに遮光帯22およびマスクパターン26,27,28が形成されている。基板21Aが薄いので、機械的強度を高めるために基板21Aの遮光帯22が形成された側の面S1に密着するように透明の補強基板21Bが設けられている。補強基板21Bの厚さt2は2mmであり、露光マスク20bの厚さは上記の例の露光マスク20と同じ値とされている。基板21Aの屈折率nは約1.5であり、補強基板21Bの屈折率nも約1.5である。両者の屈折率を等しくするのが望ましいが、多少異なっていてもよい。基板21Aと補強基板21Bとを同質のガラスで遮光帯22を埋め込むように一体形成するのが望ましいが、同質のガラス板を貼り合せてもよい。また、ガラス内部の屈折率を局部的に変化させる加工手法を用いて遮光帯22に相当する部分を形成してもよい。
基板21Aを薄くして遮光帯22とマスクパターン26,27,28とを近づけることにより、基板21A内部での回析などの影響が小さくなり、解像度が高まる。
次に、平面部および側面部を同時に露光し且つ平面部の露光の解像度を高めることのできる他の露光形態について説明する。
図5はマスク構造の第3例を示す。図5(A)は斜視図、図5(B)は断面図である。
図5の露光マスク30は、透明な基板31A、基板31Aの一方の表面(図では上面)に形成されたマスクパターン37、基板31Aのマスクパターン37が形成されていない領域に形成された光偏向層38、および基板31Aのマスクパターン37が形成された側に密着した透明な補強基板31Bからなる。
マスクパターン37は、被露光体5の平面部に投影するパターンであり、上述の例と同様に例えばクロムの蒸着膜からなる。
光偏向層38は、微小プリズムまたはグレーティング構造からなって垂直光L1を回折によって斜め光L2、L3に変換する。光偏向層38の平面形状が被露光体5の平面部に投影するパターンとなる。基板31Aと補強基板31Bとが重なり合った構造の露光マスク30の内部に光偏向層38を設けることにより、被露光体5などとの接触による破損が防止でき且つ洗浄の容易な耐久性およびメンテナンス性に優れた露光マスク30が得られる。
露光マスク30は、マスクパターン37を形成した側の表面が被露光体5の平面部に平行に対向するように配置される。そして、露光マスク30の補強基板31Bと対向する位置に配置された図示しない露光光源から被露光体5に向けて所定波長の光が照射される。
本例の露光形態では、垂直光L1のみを射出する露光光源が用いられ、露光マスク30によって斜め光L2,L3が生成される。垂直光L1によってマスクパターン37が被露光体5の平面部に投影され、斜め光L2、L3によって側面部が部分的または全体的に露光される。側面部における露光範囲は上述のとおり光偏向層38の平面形状で決まる。
以上の実施形態によれば、1個の露光光源10で平面部および側面部の露光を同時に行うことができるので、パターン露光装置1の小型化および低価格化を図ることができる。
上述の実施形態において、パターン露光装置1の全体構成、露光マスク20,20b,30の全体または各部の構造や材質、被露光体5の3次元形状などは、本発明の主旨に沿って適宜変更することができる。例えば、パターン露光装置1において光学系14,15を省略し、代わりに2個の光発生部11を追加して計3個の光発生部11で垂直光L1、斜め光L2,L3を生成する構成としてもよい。
上述した実施形態には次の付記で記述される発明が含まれる。
(付記1)(1)
被露光体の平面部および側面部にマスクパターンを投影するパターン露光方法であって、
透明な基板の一方の表面に遮光パターンを形成し他方の表面にマスクパターンを形成してなる露光マスクを用い、
前記露光マスクを、前記マスクパターンを形成した側の表面が前記平面部に平行に対向するように配置し、
前記遮光パターンを形成した側から光を照射して前記平面部および側面部に所定のパターンを投影する、
ことを特徴とするパターン露光方法。
(付記2)(2)
前記光には、前記平面部に対して垂直な方向の垂直光と、前記垂直光に対して角度を有した斜め光とが含まれ、
前記垂直光によって、前記平面部用のマスクパターンを前記平面部に投影し、
前記斜め光によって、前記側面部用のマスクパターンを前記側面部に投影する、
付記1記載のパターン露光方法。
(付記3)(3)
被露光体の平面部および側面部にマスクパターンを投影するパターン露光装置であって、
前記平面部に対して垂直な方向の垂直光および前記垂直光に対して角度を有した斜め光を発生する露光光源と、
透明な基板の一方の表面に遮光パターンを形成し他方の表面にマスクパターンを形成してなる露光マスクと、を有し、
前記垂直光によって前記平面部用のマスクパターンを前記平面部に投影し、前記斜め光によって前記側面部用のマスクパターンを前記側面部に投影するように構成されている、
ことを特徴とするパターン露光装置。
(付記4)
前記露光マスクの前記遮光帯が形成された面に密着した状態で透明の補強基板が設けられている、
付記3記載のパターン露光装置。
(付記5)
前記斜め光の前記垂直光に対する角度は実質的に45度である、
付記3または4記載のパターン露光装置。
(付記6)
前記露光光源は、
前記垂直光を発生する光発生部と、
前記垂直光を前記斜め光に変換する光学系と、を有する、
付記3ないし5のいずれかに記載のパターン露光装置。
(付記7)(4)
被露光体の平面部に対して垂直な方向の垂直光および前記垂直光に対して角度を有した斜め光によって前記被露光体の前記平面部および側面部にマスクパターンを投影するための露光マスクであって、
透明な基板の一方の表面に遮光パターンが形成され且つ他方の表面に平面部用のマスクパターンおよび側面部用のマスクパターンが形成されており、
前記遮光パターンの形成されていない部分の真裏の位置に前記平面部用のマスクパターンが形成され、
前記斜め光による前記側面部への露光が行われる位置に前記側面部用のマスクパターンが形成され、
前記斜め光による前記平面部への露光を遮光する位置に前記遮光パターンが形成されてなる、
ことを特徴とする露光マスク。
(付記8)(5)
前記基板における前記遮光帯が形成された面に密着した状態で透明の補強基板が設けられている、
付記7記載の露光マスク。
(付記9)
被露光体の平面部に対して垂直な方向の垂直光および前記垂直光に対して角度を有した斜め光によって前記被露光体の前記平面部および側面部にマスクパターンを投影するための露光マスクであって、
透明な基板の一方の表面に平面部用のマスクパターンが形成されており、
前記遮光帯の形成されていない部分に、微小プリズムまたはグレーティング構造からなって垂直光を斜め光に変換する偏向手段が設けられてなる、
ことを特徴とする露光マスク。
(付記1)(1)
被露光体の平面部および側面部にマスクパターンを投影するパターン露光方法であって、
透明な基板の一方の表面に遮光パターンを形成し他方の表面にマスクパターンを形成してなる露光マスクを用い、
前記露光マスクを、前記マスクパターンを形成した側の表面が前記平面部に平行に対向するように配置し、
前記遮光パターンを形成した側から光を照射して前記平面部および側面部に所定のパターンを投影する、
ことを特徴とするパターン露光方法。
(付記2)(2)
前記光には、前記平面部に対して垂直な方向の垂直光と、前記垂直光に対して角度を有した斜め光とが含まれ、
前記垂直光によって、前記平面部用のマスクパターンを前記平面部に投影し、
前記斜め光によって、前記側面部用のマスクパターンを前記側面部に投影する、
付記1記載のパターン露光方法。
(付記3)(3)
被露光体の平面部および側面部にマスクパターンを投影するパターン露光装置であって、
前記平面部に対して垂直な方向の垂直光および前記垂直光に対して角度を有した斜め光を発生する露光光源と、
透明な基板の一方の表面に遮光パターンを形成し他方の表面にマスクパターンを形成してなる露光マスクと、を有し、
前記垂直光によって前記平面部用のマスクパターンを前記平面部に投影し、前記斜め光によって前記側面部用のマスクパターンを前記側面部に投影するように構成されている、
ことを特徴とするパターン露光装置。
(付記4)
前記露光マスクの前記遮光帯が形成された面に密着した状態で透明の補強基板が設けられている、
付記3記載のパターン露光装置。
(付記5)
前記斜め光の前記垂直光に対する角度は実質的に45度である、
付記3または4記載のパターン露光装置。
(付記6)
前記露光光源は、
前記垂直光を発生する光発生部と、
前記垂直光を前記斜め光に変換する光学系と、を有する、
付記3ないし5のいずれかに記載のパターン露光装置。
(付記7)(4)
被露光体の平面部に対して垂直な方向の垂直光および前記垂直光に対して角度を有した斜め光によって前記被露光体の前記平面部および側面部にマスクパターンを投影するための露光マスクであって、
透明な基板の一方の表面に遮光パターンが形成され且つ他方の表面に平面部用のマスクパターンおよび側面部用のマスクパターンが形成されており、
前記遮光パターンの形成されていない部分の真裏の位置に前記平面部用のマスクパターンが形成され、
前記斜め光による前記側面部への露光が行われる位置に前記側面部用のマスクパターンが形成され、
前記斜め光による前記平面部への露光を遮光する位置に前記遮光パターンが形成されてなる、
ことを特徴とする露光マスク。
(付記8)(5)
前記基板における前記遮光帯が形成された面に密着した状態で透明の補強基板が設けられている、
付記7記載の露光マスク。
(付記9)
被露光体の平面部に対して垂直な方向の垂直光および前記垂直光に対して角度を有した斜め光によって前記被露光体の前記平面部および側面部にマスクパターンを投影するための露光マスクであって、
透明な基板の一方の表面に平面部用のマスクパターンが形成されており、
前記遮光帯の形成されていない部分に、微小プリズムまたはグレーティング構造からなって垂直光を斜め光に変換する偏向手段が設けられてなる、
ことを特徴とする露光マスク。
本発明は、圧電ジャイロセンサ、磁気ヘッド、水晶振動子などの種々の立体的な電子部品の製造に利用可能である。
5 被露光体
51 平面部
52,53 側面部
26,27,28 マスクパターン
21,21A,31A 基板
S1 一方の表面
22 遮光帯(遮光パターン)
20,20b、30 露光マスク
L1 垂直光
L2,L3 斜め光
1 パターン露光装置
10 露光光源
21B,31B 補強基板
51 平面部
52,53 側面部
26,27,28 マスクパターン
21,21A,31A 基板
S1 一方の表面
22 遮光帯(遮光パターン)
20,20b、30 露光マスク
L1 垂直光
L2,L3 斜め光
1 パターン露光装置
10 露光光源
21B,31B 補強基板
Claims (5)
- 被露光体の平面部および側面部にマスクパターンを投影するパターン露光方法であって、
透明な基板の一方の表面に遮光パターンを形成し他方の表面にマスクパターンを形成してなる露光マスクを用い、
前記露光マスクを、前記マスクパターンを形成した側の表面が前記平面部に平行に対向するように配置し、
前記遮光パターンを形成した側から光を照射して前記平面部および側面部に所定のパターンを投影する、
ことを特徴とするパターン露光方法。 - 前記光には、前記平面部に対して垂直な方向の垂直光と、前記垂直光に対して角度を有した斜め光とが含まれ、
前記垂直光によって、前記平面部用のマスクパターンを前記平面部に投影し、
前記斜め光によって、前記側面部用のマスクパターンを前記側面部に投影する、
請求項1記載のパターン露光方法。 - 被露光体の平面部および側面部にマスクパターンを投影するパターン露光装置であって、
前記平面部に対して垂直な方向の垂直光および前記垂直光に対して角度を有した斜め光を発生する露光光源と、
透明な基板の一方の表面に遮光パターンを形成し他方の表面にマスクパターンを形成してなる露光マスクと、を有し、
前記垂直光によって前記平面部用のマスクパターンを前記平面部に投影し、前記斜め光によって前記側面部用のマスクパターンを前記側面部に投影するように構成されている、
ことを特徴とするパターン露光装置。 - 被露光体の平面部に対して垂直な方向の垂直光および前記垂直光に対して角度を有した斜め光によって前記被露光体の前記平面部および側面部にマスクパターンを投影するための露光マスクであって、
透明な基板の一方の表面に遮光パターンが形成され且つ他方の表面に平面部用のマスクパターンおよび側面部用のマスクパターンが形成されており、
前記遮光パターンの形成されていない部分の真裏の位置に前記平面部用のマスクパターンが形成され、
前記斜め光による前記側面部への露光が行われる位置に前記側面部用のマスクパターンが形成され、
前記斜め光による前記平面部への露光を遮光する位置に前記遮光パターンが形成されてなる、
ことを特徴とする露光マスク。 - 前記基板における前記遮光パターンが形成された面に密着した状態で透明の補強基板が設けられている、
請求項4記載の露光マスク。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005264177A JP2007078856A (ja) | 2005-09-12 | 2005-09-12 | パターン露光方法および露光マスク |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005264177A JP2007078856A (ja) | 2005-09-12 | 2005-09-12 | パターン露光方法および露光マスク |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2007078856A true JP2007078856A (ja) | 2007-03-29 |
Family
ID=37939283
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2005264177A Withdrawn JP2007078856A (ja) | 2005-09-12 | 2005-09-12 | パターン露光方法および露光マスク |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2007078856A (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN104102094A (zh) * | 2014-06-27 | 2014-10-15 | 京东方科技集团股份有限公司 | 掩模挡板及其制造方法 |
JP2016206398A (ja) * | 2015-04-22 | 2016-12-08 | 株式会社サーマプレシジョン | 露光装置 |
JP2016206399A (ja) * | 2015-04-22 | 2016-12-08 | 株式会社サーマプレシジョン | 露光装置 |
-
2005
- 2005-09-12 JP JP2005264177A patent/JP2007078856A/ja not_active Withdrawn
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN104102094A (zh) * | 2014-06-27 | 2014-10-15 | 京东方科技集团股份有限公司 | 掩模挡板及其制造方法 |
JP2016206398A (ja) * | 2015-04-22 | 2016-12-08 | 株式会社サーマプレシジョン | 露光装置 |
JP2016206399A (ja) * | 2015-04-22 | 2016-12-08 | 株式会社サーマプレシジョン | 露光装置 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
TWI498663B (zh) | 照明光學裝置、曝光裝置以及元件製造方法 | |
KR960006817B1 (ko) | 집적회로장치의 제조방법 및 그에 사용되는 광학 마스크 | |
JP2634289B2 (ja) | 位相シフトマスクの修正方法 | |
US6028288A (en) | Laser beam machine and liquid crystal display device fabrication method using the machine | |
TWI428700B (zh) | 曝光方法、電子元件製造方法、曝光裝置及照明光學裝置 | |
CN111045302A (zh) | 测量装置及方法、曝光装置及方法、以及器件制造方法 | |
JP2002351055A (ja) | フォトマスクの欠陥修正方法 | |
JPH07506224A (ja) | 投影照明用の解像力強化光学位相構造体 | |
JP2889047B2 (ja) | 反射型フォトマスクの製造方法,反射型フォトマスク及びそれを用いた半導体基板の露光方法 | |
JP2007078856A (ja) | パターン露光方法および露光マスク | |
TWI417674B (zh) | 無遮罩曝光裝置、以及使用此裝置以製造用於顯示器之基板之方法 | |
WO2014006935A1 (ja) | 位置計測装置、ステージ装置、露光装置、およびデバイス製造方法 | |
JP4007231B2 (ja) | マーク検出方法および露光方法 | |
JP2006128321A (ja) | 照明光学系、露光装置及びマイクロデバイスの製造方法 | |
JP3555208B2 (ja) | 露光方法 | |
TW576945B (en) | Mask for optical projection-system and its production method | |
JP4848837B2 (ja) | 櫛型電極の露光方法および露光装置 | |
JP2630694B2 (ja) | 投影露光装置用マスク | |
JP5724766B2 (ja) | 露光マスク、ペリクル、半導体装置の製造方法 | |
JP6628121B2 (ja) | 偏光子の製造方法および電子線照射装置 | |
JPH05346503A (ja) | ゾーンプレートの製造方法 | |
JP2007219436A (ja) | 露光用マスク、レジストパターンの形成方法および薄膜パターンの形成方法 | |
JP2001296650A (ja) | レチクル | |
JP6370755B2 (ja) | マスク及びパターン形成方法 | |
JP4196076B2 (ja) | 柱面レンズの製造方法及びグレースケールマスク |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20081202 |