JPWO2009054274A1 - 超音波アクチュエータ、及び磁気記録装置 - Google Patents
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Abstract
Description
前記当接部に加圧接触される被当接部を有して前記当接部の振動により、前記振動体に対して相対移動を生じる移動体と、を備えた超音波アクチュエータにおいて、
前記振動体の当接部と前記移動体の被当接部との間には、ゲル化剤を配合した潤滑剤が介在されていることを特徴とする超音波アクチュエータ。
前記当接部による超音波振動が印加されるにともない、液状化または粘性が低下し、該超音波振動の休止中にゲル化することを特徴とする前記1に記載の超音波アクチュエータ。
前記記録媒体に前記情報を読み書きする磁気ヘッドと、
前記磁気ヘッドを前記記録媒体に対して相対移動可能に支持するアームと、
前記1乃至6のいずれか1項に記載の超音波アクチュエータと、を有し、
前記アームは、前記超音波アクチュエータに設けられた前記移動体に固定されることを特徴とする磁気記録装置。
1 筐体
2 ディスク
3 ヘッド
4 アーム
5 超音波アクチュエータ
10 振動体
10a 貫通穴
101 圧電部材
101a A相電極
101b B相電極
101c 共通電極
103 チップ部材
20 ロータ(移動体)
20a V字状溝
20b 摺動面
201 ゲル状潤滑剤
30 FPC(フレキシブルプリント配線板)
40 固定部材
401 固定ピン
403 ネジ
405 接着剤
最初に固有モードについて図4を用いて説明する。振動体10の各頂点に同一回転方向の楕円振動を励起するために、本実施形態では、図4に示す2つの固有モードを用いる。図4(a)は、伸縮振動モード、図4(b)は、屈曲振動モードによる振動体10の変形の様子を示す模式図である。伸縮振動モードは、振動体10の重心位置Gを振動の節とし、各頂点を含む3分割された領域が伸縮振動し、各頂点が同位相で放射状に往復運動を行う。屈曲振動モードは、振動体10の重心位置Gを振動の節とし、各頂点を含む3分割された領域が屈曲振動し、各頂点が同位相で重心位置Gを中心とする振動体10の外接円の円周の接線方向に往復運動を行う。伸縮振動モードは、各A相電極101a、各B相電極101bに同位相、屈曲振動モードは、逆位相の各共振周波数と一致する駆動信号を入力することにより、それぞれ励起することができる。
前述の2つの固有モードの共振周波数を略一致させ、A相電極101a、B相電極101bに位相の90度ずれた共振周波数と一致する周波数の駆動信号VA、VBを入力することにより、2つの固有モードが励起・合成され、振動体10の各頂点に同じ回転方向の楕円振動が生成される。駆動信号VA、VBの位相を反転させることにより、楕円振動の回転方向が逆転する。また、駆動信号VA、VBの振幅や位相を変化させることにより、楕円振動の軌跡形状や大きさを変えることができる。
前述の2つの固有モードの共振周波数を所定値ずらし、その間の周波数の単相の駆動信号をA相電極101a、B相電極101bのいずれか一方に入力することにより、振動体10の各頂点に同一回転方向の楕円振動が励起される。入力する電極を切り替えることにより、楕円の回転方向を逆転できる。各固有モードの共振周波数を所定値ずらすことにより、片方の電極駆動による加振力によって、2つの固有モードの位相がずれて励起され、楕円振動が生成される。単相の駆動信号によって駆動できるので、駆動回路が簡略化でき、コストを低減することができる。
2つの固有モードの共振周波数は、チップ部材103の質量や、振動体10の重心位置に穴を設けて、穴径を調整することにより、所定の関係に設定することができる。また、製造時の2つの固有モードの共振周波数の誤差を後加工などで調整することができる。
ここで、楕円軌道と駆動性能の関係について前述の図5を用いて説明する。チップ部材103に生じる楕円振動を、ロータ20の接線方向Tと法線方向Nに分解した場合、ロータ20の速度は、チップ部材103の楕円運動の方向Tの速度によって決まるため、楕円軌跡の方向Tの径Rtと駆動周波数で決まり、Rtが大きいほど速度が大きくなる。一方、駆動力は、加圧力と接触点の摩擦係数の積で決まるが、楕円軌跡の法線方向Nの径Rnも関係する。これは、楕円軌跡の加圧方向の径Rnに対して、加圧力が相対的に低い場合は、チップ部材103はロータ20に対して接触、離脱を繰り返しながら、接触中に摩擦力により駆動を行うが、径Rnに対して加圧力が相対的に大きくなると、ロータ20や接触部表面の弾性変形や加圧力を受ける構造部材の弾性変形により、常時接触した状態で楕円振動を行うことになる。この状態では、チップ部材103が振動周期中の反駆動方向への移動時にも摩擦力が働きブレーキとなるため、加圧力を上げてもRnで決まる値以上の駆動力は発生しない。また、このような状態での駆動においては、速度ムラや再現性などの駆動状態が不安定になり、また、異音が発生する等の不具合が起きる場合もある。従って、楕円軌跡の加圧方向の径Rnが大きいほど駆動力は大きくなり、安定した駆動が可能となる。
次に、DC駆動について説明する。DC駆動は、ロータ20を微小に揺動動作させるための駆動方法で、非常に高精度な位置決めが要求される場合に用いられ、nmオーダーの位置決め分解能が得られる。前述の共振駆動により粗動(高速、広回転角駆動)を行った後、DC駆動により微動を行うことにより、広範囲、高速駆動、高精度位置決めが可能な駆動システムを実現できる。
ゲル状潤滑剤201は、ロータ20の摺動面20bに充分な量塗布される。特に正確な膜厚に塗布する必要がないため、工程が非常に簡略である。
本実施例における振動体10の楕円振動の周波数は、約200kHzであり、チップ部材103は、200kHzもの速度でロータ20に衝突、離反を繰り返す。その結果、振動体10のチップ部材103とロータ20の摺動面20bの間には、局所的、瞬間的に数百度もの熱が発生する。そのときの熱および駆動時のせん断力によりゲル状潤滑剤201が液化する。また、潤滑油がない場合は、そのときに発生する熱がロータ20の金属面を酸化させ磨耗の原因の一つになるが、本実施例の場合、熱がゲル状潤滑剤201に吸収されるため磨耗の低減にもつながる。
本実施例に用いるゲル状潤滑剤201は、液状の基油として、ナフテン系などの鉱物油、PAO(合成炭化水素)やエステルなどの合成油を用い、ワックスや高級脂肪酸などのゲル化剤を10〜30%程度配合したものである。ゲル化剤は、数10〜150℃程度の融点を有し、ゲル状潤滑剤201は、その前後の温度において、ゲルと液体とが可逆的に変化する。
Claims (7)
- 所定の振動を行う当接部を有する振動体と、
前記当接部に加圧接触される被当接部を有して前記当接部の振動により、前記振動体に対して相対移動を生じる移動体と、を備えた超音波アクチュエータにおいて、
前記振動体の当接部と前記移動体の被当接部との間には、ゲル化剤を配合した潤滑剤が介在されていることを特徴とする超音波アクチュエータ。 - 前記当接部の近傍の前記潤滑剤は、
前記当接部による超音波振動が印加されるにともない、液状化または粘性が低下し、該超音波振動の休止中にゲル化することを特徴とする請求の範囲第1項に記載の超音波アクチュエータ。 - 前記潤滑剤は、鉱物系または合成系の基油に、ワックスまたは高級脂肪酸を配合したものであることを特徴とする請求の範囲第2項に記載の超音波アクチュエータ。
- 前記潤滑剤の基油は、トラクションオイルであることを特徴とする請求の範囲第3項に記載の超音波アクチュエータ。
- 前記潤滑剤には、添加剤として極圧剤が配合されていることを特徴とする請求の範囲第4項に記載の超音波アクチュエータ。
- 前記振動体の当接部および前記移動体の被当接部またはそのいずれか一方の接触面には、前記潤滑剤を溜める複数の凹部または穴が形成されていることを特徴とする請求の範囲第1項乃至第5項のいずれか1項に記載の超音波アクチュエータ。
- 情報を記録する記録媒体と、
前記記録媒体に前記情報を読み書きする磁気ヘッドと、
前記磁気ヘッドを前記記録媒体に対して相対移動可能に支持するアームと、
請求の範囲第1項乃至第6項のいずれか1項に記載の超音波アクチュエータと、を有し、
前記アームは、前記超音波アクチュエータに設けられた前記移動体に固定されることを特徴とする磁気記録装置。
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