JPWO2009001834A1 - 光学特性の計測方法、光学特性の調整方法、露光装置、露光方法及び露光装置の製造方法 - Google Patents
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Abstract
第1面に配置される物体の像を第2面に形成する光学系の光学特性を計測する光学特性の計測方法において、前記第1面に少なくとも1つの位相パターンを配置する配置工程(S20)と、前記配置工程により配置された前記位相パターンを所定の波長の光で照明する照明工程(S22)と、前記位相パターンと前記光学系とを介して形成されるパターン像のうち、部分像を抽出する抽出工程(S23,S25)と、前記抽出工程により抽出された前記部分像に関する光の情報を検出する検出工程(S24,S26)とを含む。
Description
この発明は、半導体素子または液晶表示素子等の電子デバイスをリソグラフィ工程で製造するために用いられる光学系の光学特性を計測するための光学特性の計測方法、該光学系の光学特性を調整するための光学特性の調整方法、該光学系を備えた露光装置、該露光装置を用いた露光方法及び該露光装置を製造するための露光装置の製造方法に関するものである。
例えば半導体素子又は液晶表示素子等を製造する際に、マスク(レチクル、フォトマスク等)に形成されているパターンを光学系(投影光学系)を介してレジストが塗布された基板(ガラスプレート又は半導体ウエハ等)上に露光する露光装置が使用されている。この露光装置は、マスクに形成されているパターンを基板上に高解像度で投影する必要がある。そのために、露光装置が備える光学系は、諸収差を十分に抑制した良好な光学特性を有するように設計されている。
しかしながら、設計どおりの光学系を製造することは困難であり、実際に製造される光学系の光学特性は、設計上の光学特性と異なる場合がある。したがって、製造された光学系の光学特性を計測し、計測結果から光学系の光学特性を調整する必要がある。光学系の光学特性を計測する技術として、例えば、日本国特許出願公開2000−77295号公報には、光学系を介して形成される位相パターンの空間像を複数のデフォーカス位置で検出し、検出された位相パターンの空間像の強度分布の変化に基づいて光学系の光学特性の計測を求める技術が記載されている。
ところで、マスクパターンの微細化に伴い、露光装置に搭載された光学系の光学特性をより高精度に計測する必要性が生じている。ここで、光学系を介して形成された位相パターンの空間像を直接CCD等のセンサで検出し、位相パターンの空間像の強度分布を得ることが考えられる。しかしながら、この場合、センサには、位相パターンの空間像の強度分布の検出に要求される空間分解能が必要になる。すなわち、CCD等のセンサの画素を空間分解能に応じて、十分に小さくする必要がある。しかしながら、現在、この要求を満たすセンサが存在しないため、光学系の光学特性をより高精度に計測するのは困難であった。
また、CCD等のセンサで、必要な空間分解能が得られるように、センサの入射面側に拡大光学系を配置する方法もあるが、拡大光学系を配置することによって、計測系が大型化するという問題がある。
この発明の課題は、光学系の光学特性を高精度に計測することができる光学特性の計測方法、該光学系の光学特性を高精度に調整することができる光学特性の調整方法、該光学系を備えた露光装置、該露光装置を用いた露光方法及び該露光装置を製造するための露光装置の製造方法を提供することである。
この発明の光学特性の計測方法は、第1面に配置される物体の像を第2面に形成する光学系の光学特性を計測する光学特性の計測方法において、前記第1面に少なくとも1つの位相パターンを配置する配置工程と、前記配置工程により配置された前記位相パターンを所定の波長の光で照明する照明工程と、前記位相パターン及び前記光学系を介して形成されるパターン像のうち、部分像を抽出する抽出工程と、前記抽出工程により抽出された前記部分像に関する光の情報を検出する検出工程とを含むことを特徴とする。
また、この発明の光学特性の調整方法は、この発明の光学特性の計測方法により計測された光学系の光学特性の計測を行う計測工程と、前記計測工程の計測結果を用いて前記光学系の前記光学特性の調整を行う調整工程とを含むことを特徴とする。
また、この発明の露光装置は、マスクのパターンを感光性基板上に形成する露光装置において、この発明の光学特性の調整方法により調整された光学系を備えることを特徴とする。
また、この発明の露光装置は、マスクのパターンを光学系を介して感光性基板上に形成する露光装置において、前記光学系の物体面又は像面のいずれか一方に配置される位相パターンと、前記光学系とを介して形成されるパターン像のうち、一部分の像を抽出する抽出部と、前記抽出部により抽出された前記一部分の像に関する光の情報を検出する検出部とを備えることを特徴とする。
また、この発明の露光方法は、マスクのパターンを感光性基板上に形成する露光方法において、前記パターンを照明する照明工程と、前記照明工程により照明された前記パターンの像をこの発明の光学特性の調整方法により調整された光学系により前記感光性基板上に形成する露光工程とを含むことを特徴とする。
また、この発明の露光装置の製造方法は、マスクのパターンを光学系を介して感光性基板上に形成する露光装置を製造する露光装置の製造方法において、この発明の光学特性の調整方法により前記光学系の光学特性の調整を行う調整工程と、前記調整工程により調整された前記光学系を前記露光装置内に設置する設置工程とを含むことを特徴とする。
また、この発明の露光装置の製造方法は、マスクのパターンを光学系を介して感光性基板上に形成する露光装置を製造する露光装置の製造方法において、前記光学系を前記露光装置内に設置する設置工程と、この発明の光学特性の調整方法により前記設置工程により設置された前記光学系の光学特性の調整を行う調整工程とを含むことを特徴とする。
この発明の光学特性の計測方法によれば、位相パターンと光学系とを介して形成されるパターン像のうち、部分像を抽出し、抽出された部分像に関する光の情報を検出するため、光学系の光学特性を高精度に計測することができる。
また、この発明の光学特性の調整方法によれば、この発明の光学特性の計測方法により光学系の光学特性の計測を行い、その計測結果を用いて光学系の光学特性の調整を行うため、良好な光学特性を有する光学系を得ることができる。
また、この発明の露光装置によれば、この発明の光学特性の調整方法により調整された光学系を備えているため、マスクのパターンの像を良好な光学特性を有する光学系を介して感光性基板上に高解像度で形成することができる。
また、この発明の露光装置によれば、光学系の物体面または像面のいずれか一方に配置される位相パターンと光学系とを介して形成されるパターン像のうち、一部分の像を抽出する抽出部と、抽出部により抽出された一部分の像に関する光の情報を検出する検出部とを備えているため、光学系の光学特性を高精度に計測することができる。したがって、マスクのパターンの像を良好な光学特性を有する光学系を介して感光性基板上に高解像度で形成することができる。
また、この発明の露光方法によれば、この発明の光学特性の調整方法により調整された光学系により、マスクのパターンを感光性基板上に高解像度で形成することができる。
また、この発明の露光装置の製造方法によれば、この発明の光学特性の調整方法により光学系の光学特性の調整を行い、調整された光学系を露光装置内に設置する。または、光学系を露光装置内に設置し、この発明の光学特性の調整方法により露光装置内に設置された光学系の光学特性の調整を行う。したがって、良好な光学特性を有する光学系を備えた露光装置を製造することができる。
以下、図面を参照して、実施の形態に係る投影露光装置(露光装置)について説明する。図1は、この実施の形態に係る投影露光装置の概略構成を示す図である。
なお、以下の説明では、各図中に示したXYZ直交座標系を設定し、このXYZ直交座標系を参照しつつ各部材の位置関係について説明する。XYZ直交座標系は、X軸及びY軸がウエハ(感光性基板)Wに対して平行となるよう設定され、Z軸がウエハWに対して直交する方向に設定されている。X軸は図1の紙面に平行な方向とし、Y軸は図1の紙面に垂直な方向とする。
図1に示す投影露光装置は、露光光を供給するための光源(図示せず)及び光源からの光でマスクMを均一に照明する照明光学系(図示せず)と、マスクMに形成されているパターンをウエハW上に結像する投影光学系(光学系)15とを備えている。また、マスクMを保持し、かつ投影光学系15の物体面(XY平面と平行な面)に対し、マスクMのパターン形成面の位置を調整可能なマスクステージ12と、ウエハWを保持し、かつ投影光学系15の像面(XY平面と平行な面)に対し、ウエハWの表面の位置を調整可能なウエハステージ16を備えている。
なお、本実施の形態では、基板として、ウエハWを例に説明するが、ウエハWに限られず、ガラスプレートであってもよい。
なお、本実施の形態では、基板として、ウエハWを例に説明するが、ウエハWに限られず、ガラスプレートであってもよい。
光源から射出した光は、照明光学系を介してマスクMを重畳的に均一な照度で照明する。なお、光源としては、水銀ランプ、KrFエキシマレーザ、ArFエキシマレーザ、F2レーザ、極端紫外光等の光源を使用することができる。
マスクMを介した光は、投影光学系15に入射する。投影光学系15は、複数の光学部材により構成され、マスクMに形成されているパターンを所定の倍率(縮小倍率、等倍率、または拡大倍率)で、ウエハW上に結像する。ウエハWを保持するウエハステージ16は、X軸及びY軸方向に移動可能なXYステージと、Z軸方向に移動可能及びZ軸に対して傾斜可能なZステージ等により構成されている。ウエハステージ16のZステージにはウエハWを吸引保持するウエハホルダ17が設けられている。ウエハステージ16をXY平面内において二次元的に駆動制御しながら、ウエハWに形成された各露光領域にマスクMのパターンを逐次露光する。また、この投影露光装置には、ウエハW上のXY平面内における位置を計測するためのウエハステージ干渉計18及びウエハWのZ方向における位置を計測するためのオートフォーカス系19が設けられている。ウエハステージ干渉計18及びオートフォーカス系19による計測結果は、制御装置30に対して出力される。
また、この投影露光装置は、投影光学系15の光学特性を計測するための計測装置20を備えている。計測装置20の構成については後述する。計測装置20による計測結果は、制御装置30に出力される。
制御装置30は、計測装置20から出力された計測結果に基づいて、投影光学系15の光学特性を調整する。なお、投影光学系15の光学特性の計測方法及び調整方法の詳細な説明については後述する。
次に、図2のフローチャートを参照して、この実施の形態にかかる投影露光装置(露光装置)の製造方法について説明する。
まず、諸収差を十分に補正し良好な光学特性を有するように、投影光学系15を設計し、その設計の後に製造された投影光学系15を投影露光装置内の所定の位置に設置する(ステップS10、設置工程)。次に、ステップS10において投影露光装置内に設置された投影光学系15の光学特性の計測を行う(ステップS11)。即ち、実際に製造された投影光学系には様々な要因に起因する諸収差が残存する場合があるため、投影光学系の光学特性を計測する。この計測結果に基づき、投影光学系15の光学特性が良好か否かの判断を行い(ステップS12)、良好でない場合には、投影光学系15の光学特性の調整を行ない(ステップS13、調整工程)、ステップS11に戻り、再度投影光学系15の光学特性の計測を行う。一方、投影光学系15の光学特性が良好な場合には投影露光装置の製造を終了する。
図3は、この実施の形態にかかる投影光学系(光学系)15の光学特性の計測方法(図2におけるステップS11の計測工程)を説明するためのフローチャートである。ここで、この実施の形態にかかる投影光学系15の光学特性とは、光学特性の計測方向に関して、投影光学系15の光軸に対称な収差(フォーカス、球面収差に代表される収差)を含む。なお、この実施の形態においては、投影光学系15のフォーカス位置の計測を例に挙げて説明する。
まず、位相パターンが形成されている計測用マスクをマスクステージ12上に配置する(ステップS20、配置工程)。図4(a)は計測用マスクM1の構成を示す平面図、図4(b)はA−A断面図である。図4(a)及び図4(b)に示すように、計測用マスクM1には計測方向(X方向)に数百nm幅を有する凹部40と凸部41により構成されるラインアンドスペースの透過型の位相パターン(回折格子)が形成されている。ここで、位相パターンの位相差θは、計測に用いる光の中心波長をλとしたとき、θ=nλ/4(n=±1,±3,±5…)、またはその近傍の位相差である。なお、本実施形態では、凹部40と凸部41とを通過する光の位相を90°ずらすように構成されている。なお、凹部40と凸部41とは、通過する光の位相を90°に限らず、270°にずらすように構成してもよい。
次に、ウエハステージ16をXY方向に移動させることにより、計測装置20を投影光学系15の投影領域(像野)内に配置する(ステップS21)。図5は計測装置20の構成を示す平面図、図6(a)は図5のA−A断面図、図6(b)は図5のB−B断面図である。図5、図6(a)及び図6(b)に示すように、計測装置20は、抽出部としての受光パターン43a、44aが形成されたパターン板20Cと、受光パターンを通過した光を受光する検出部としてのセンサ部20a(CCD、あるいは光量検出センサ等)とを備える。図1において、計測装置20はウエハステージ16上で、かつウエハホルダ17の近傍に設置されており、パターン板20Cにおけるパターン形成面はウエハW面と略同一の高さに設定されている。パターン板20Cは、第1受光パターン43aを有する領域43及び第2受光パターン44aを有する領域44を有する。第1受光パターン43aは、投影光学系15を介して、位相パターンの凹部40を透過した光のみを通過させ、第2受光パターン44aは、投影光学系15を介して、位相パターンの凸部41を透過した光のみを通過させる。なお、パターン板20Cは、第1受光パターン43aと第2受光パターン44aとの間に境界領域を備えていてもよい。
また、計測装置20が備えるセンサ部20aには、第1受光パターン43a、第2受光パターン44aまたは後述するリファレンス用開口45を通過する光をそれぞれ独立して受光するため、第1受光パターン43aに対応する受光領域、第2受光パターン44aに対応する受光領域、リファレンス用開口45に対応する受光領域を設定する設定部20bが接続されている。設定部20bにより、センサ部20aには、第1受光パターン43aを通過した光と、第2受光パターン44aを通過した光とをそれぞれ独立して検出する。即ち、第1受光パターン43a及び第2受光パターン44aは、位相パターン像の中から位相パターンの位相が相対的に進んでいる領域に対応する第1強度を有する一部の位相パターン像(部分像)と、位相パターン像の中から位相パターンの位相が相対的に遅れている領域に対応する第2強度を有する一部の位相パターン像(部分像)とを選択的に抽出する。なお、設定部20bの動作は、制御装置30により制御されている。
なお、光学特性を計測する際に、照明光の光量変化が計測精度に影響を与える場合もある。そこで、本実施の形態では、パターン板20Cには、照明光の光量変化をモニタするためのリファレンス用開口45が形成されている。設定部20bは、照明光の光量変化をモニタする場合に、リファレンス開口45に対応する受光領域を設定し、リファレンス用開口45を通過した光を検出する。そして、リファレンス開口45を通過した光の光量をモニタし、モニタ結果に基づいて投影光学系15の光学特性の計測結果を補正することにより高い計測精度を維持することができる。
次に、ステップS21において配置された計測用マスクを所定の波長の光、即ち露光に用いる光と同じ波長を有する計測光で照明する(ステップS22、照明工程)。そして、位相パターン及び投影光学系15を介して、位相パターンの像を計測装置20の領域43,44に形成する。
次に、第1受光パターン43aにより、位相パターンの凹部40に対応する第1強度を有する一部の位相パターン像(以下、第1部分像という。)を抽出し、第2受光パターン44aにより、位相パターンの凸部41に対応する第2強度を有する一部の位相パターン像(以下、第2部分像という。)を抽出する(ステップS23、抽出工程)。
次に、ステップS23において抽出された第1部分像に関する光の光量の総和I1(光の第1情報)及び第2部分像に関する光の光量の総和I2(光の第2情報)をそれぞれ検出する(ステップS24、検出工程)。具体的には、設定部20bにより、第1受光パターン43aを透過した光と第2受光パターン44aを透過した光をセンサ部20aによりそれぞれ検出するように、センサ部20aの受光領域を設定する。センサ部20aにより検出された光量の総和I1、I2は、制御装置30に対して出力される。
次に、ステップS24において検出された光量の総和I1及び光量の総和I2を比較し(ステップS25)、ステップS25における比較結果を用いて投影光学系15のフォーカス位置を計測する(ステップS26、計測工程)。ここで、投影光学系15のフォーカスずれがない場合(デフォーカス量Z=0の場合)、位相パターンの凹部40を透過した光の強度と位相パターンの凸部41を透過した光の強度は、図7のグラフに示すように同一となる。したがって、第1受光パターン43aを介して受光した光の光量の総和I1と、第2受光パターン44aを介して受光した光の光量の総和I2は等しくなり、光量の差ΔIはΔI=I1−I2=0となる。
一方、投影光学系15のフォーカスずれがある場合(Z>0またはZ<0の場合)、位相パターンの凹部40を透過した光の強度と位相パターンの凸部41を透過した光の強度は、図8のグラフに示すように異なる。したがって、第1受光パターン43aを介して受光した光の光量の総和I1と、第2受光パターン44aを介して受光した光の光量の総和I2が異なるため、光量の差ΔIはΔI=I1−I2≠0となる。なお、図9に示すように、ZとΔIの関係はsin関数となる。なお、デフォーカス量(Zの量)が小さい場合、ZとΔIは正比例の関係とみなすことができる。従って、ΔIを求めることにより、投影光学系15のフォーカス位置を高精度に計測することができる。
なお、図2のフローチャートのステップS11において計測した結果に基づく投影光学系15のフォーカス位置の調整(ステップS13の調整工程)は、計測結果に基づいてフォーカス位置の調整量を算出し、投影光学系15のフォーカス位置の調整を行う。具体的には、投影光学系15を構成する光学部材(例えば、クサビ状のペアガラス)を用いてフォーカス位置の調整を行う。なお、クサビ状のペアガラスを用いて、フォーカス位置の調整を行う場合、ペアガラスを相対的に回転すればよい。また、Zステージを投影光学系15の光軸方向に移動させることにより、フォーカス位置の調整を行ってもよい。
この実施の形態にかかる投影露光装置によれば、計測装置20に設けた受光パターン43a、44aにより、投影光学系15を介した位相パターン像の中から、位相パターンの位相が相対的に進んでいる領域に対応する強度を有する一部の位相パターン像(部分像)と、位相パターン像の中から位相パターンの位相が相対的に遅れている領域に対応する強度を有する一部の位相パターン像(部分像)とを選択的に抽出し、センサ部20aにより抽出されたそれぞれの部分像に関する光の光量に基づいて、投影光学系15の光学特性を高精度に計測することができる。さらに、この計測結果を用いることによって、投影光学系15の光学特性の調整を行うことができ、良好な光学特性を有する投影光学系15を得ることができる。したがって、マスクMのパターン像を良好な光学特性を有する投影光学系15を介してウエハW上に高解像度で形成することができる。
また、この実施の形態にかかる光学特性の計測方法によれば、位相パターン像の中から位相パターンの位相が相対的に進んでいる領域に対応する強度を有する一部の位相パターン像(部分像)と、位相パターン像の中から位相パターンの位相が相対的に遅れている領域に対応する強度を有する一部の位相パターン像(部分像)とを選択的に抽出して、抽出された各部分像に関する光の光量を検出するため、空間分解能が高い位相パターンの凹部40及び凸部41を使いながら、空間分解能が粗いCCD等のセンサにより受光することが可能となる。そのため、必要とする計測値を正確に検出することができ、投影光学系15の光学特性(フォーカス位置)を高精度に計測することができる。
また、この実施の形態にかかる光学特性の調整方法によれば、投影光学系15の光学特性の計測を行い、その計測結果を用いて投影光学系15の光学特性の調整を行うため、収差が十分に補正された良好な光学特性を有する光学系を得ることができる。
また、この実施の形態にかかる投影露光装置の製造方法によれば、この実施の形態にかかる光学特性の計測方法及び調整方法により投影光学系15の光学特性の計測及び調整を行う。したがって、収差が十分に補正された良好な光学特性を有する投影光学系を備えた
露光装置を製造することができる。
露光装置を製造することができる。
なお、この実施の形態にかかる光学特性の計測方法においては、図4に示すような位相パターン及び図5及び図6に示すような受光パターンを用いて投影光学系15のフォーカス位置を計測しているが、2つ以上の同じ形状の位相パターンが形成された計測マスクを用いても良い。この場合には、位相パターンの数に合わせて2つ以上の受光パターンを備えたパターン板を計測装置に装備すればよい。このような構成では、投影光学系15の投影領域内の複数の像高において、投影光学系15のフォーカス位置を計測することができる。
図10は、5つの位相パターンが形成された計測用マスクM2の構成を示す図である。図10に示すように、計測用マスクM2には、投影光学系15の投影領域内の異なる像高の5点を計測するための位相パターン領域50〜54が形成されている。図11は、位相パターン領域50の構成を示す図である。なお、位相パターン領域51〜54の構成は、位相パターン領域50の構成と同一である。図11に示すように、位相パターン領域50には、互いに種類が異なる2つの位相パターンが形成されている。本実施の形態では、種類が異なる2つの位相パターンとして、互いに直交する第1の位相パターン50a、第2の位相パターン50bが形成されている。この2つの位相パターン50a、50bは、数百nm幅を有する凹部と凸部により構成される透過型のラインアンドスペースパターンで形成されている。
図12は、図10の計測マスクM2を用いて投影光学系15の光学特性を計測する場合の計測装置のパターン板20Aを示す図である。図12に示すように、パターン板20Aの上面には、位相パターン領域50〜54に対応するパターン領域55〜59が形成されている。図13は、パターン領域55の構成を示す図である。なお、パターン領域56〜59の構成は、パターン領域55の構成と同一である。図13に示すように、パターン領域55は、投影光学系15を介して、位相パターン50aを透過した光を受光する第1受光部55aと、投影光学系15を介して、位相パターン50bを透過した光を受光する第2受光部55bとを有する。第1受光部55aは、第1受光パターン60及び第2受光パターン61を有する。第1受光パターン60は、位相パターン50aの凹部を透過した光のみを通過させ、第2受光パターン61は、位相パターン50aの凸部を透過した光のみを通過させる。第2受光部55bは、第1受光パターン62及び第2受光パターン63を有する。第1受光パターン62は、位相パターン50bの凹部を透過した光のみを通過させ、第2受光パターン63は、位相パターン50bの凸部を透過した光のみを通過させる。
なお、計測装置20は、第1受光部55aの第1受光パターン60または第2受光パターン61、第2受光部55bの第1受光パターン62または第2受光パターン63のそれぞれを通過した光を個別(独立)に検出するようにセンサ部の受光領域を設定する図示しない設定部が接続されており、設定部による設定により、第1受光部55aの第1受光パターン60、第2受光パターン61、第2受光部55bの第1受光パターン62、第2受光パターン63の何れかを通過した光をそれぞれ別々に検出することが可能となる。また、パターン板20Aの受光パターンに1つ以上のリファレンス開口を設けてもよい。例えば、各受光パターン領域55〜59毎にリファレンス用開口を設けてもよい。
計測用マスクM2及びパターン板20Aを用いて位相パターンの像に関する光の情報を検出する場合には、投影光学系15の投影領域内の複数の像高における位相パターンの像を同時に計測することができるため、高精度かつ迅速に投影光学系15の光学特性を計測することができる。また、上記複数の像高における位相パターンの像に関する光の情報を比較することにより、投影光学系15の像面湾曲などの光学特性を計測することができる。
なお、上記複数の像高において、第1受光パターンまたは第2受光パターンを通過した光の情報のみを検出することによっても、各像高における検出結果を比較することにより投影光学系15の像面湾曲などの光学特性を計測することができる。
また、1つのパターン領域において、互いに直交する位相パターンの像に関する光の情報を比較することにより、投影光学系15の非点収差を計測することができる。また、投影光学系15の球面収差を計測する場合には、2つ以上の互いに異なるピッチを有する位相パターンを備えた計測用マスクを用いればよい。このように、この実施の形態の光学特性の計測方法を用いて投影光学系15の様々な収差を計測することができる。
また、計測のダイナミックレンジや感度の異なる計測を行う場合、パターンの形成方向、パターンの形状(例えば、パターン線幅、パターンピッチ等を含む)が異なる2つ以上の位相パターンを用いてもよい。
また、計測のダイナミックレンジや感度の異なる計測を行う場合、パターンの形成方向、パターンの形状(例えば、パターン線幅、パターンピッチ等を含む)が異なる2つ以上の位相パターンを用いてもよい。
また、この実施の形態にかかる光学特性の計測方法においては、第1受光パターン43aを介して受光した光の光量の総和I1と、第2受光パターン44aを介して受光した光の光量の総和I2とを比較することにより投影光学系15のフォーカスずれを計測しているが、第1受光パターン43a(または第2受光パターン44a)を介して受光した光の光量を所定時間毎に検出し、第1受光パターン43a(または第2受光パターン44a)を介して受光した光の光量の総和I1(I2)の経時変化量から経時的な投影光学系15のフォーカスずれを計測するようにしてもよい。
また、この実施の形態においては、凹部と凸部が繰り返し形成されている位相パターンを用いて投影光学系の光学特性を計測しているが、図14に示すような2組程度の位相パターンを用いて投影光学系の光学特性を計測するようにしてもよい。
また、本実施の形態においては、位相パターンの凹部を透過する光を第1受光パターンを介して受光し、位相パターンの凸部を透過する光を第2受光パターンを介して受光しているが、位相パターンの凹部を透過する光の一部、あるいは凹部を含む広範囲を透過する光を選択して第1受光パターンを介して受光し、位相パターンの凸部を透過する光の一部、あるいは凸部を含む広範囲を透過する光を選択して第2受光パターンを介して受光するようにしてもよい。
また、位相パターンの位相差は、θ=nλ/4(n=±1,±3,±5…)に限られない。ただし、本実施の形態では、位相パターンの位相差として、θ=nλ/2(n=±1,±3,±5…)は除かれる。
また、本実施の形態においては、位相パターンの凹部を透過する光を第1受光パターンを介して受光し、位相パターンの凸部を透過する光を第2受光パターンを介して受光しているが、位相パターンの凹部を透過する光の一部、あるいは凹部を含む広範囲を透過する光を選択して第1受光パターンを介して受光し、位相パターンの凸部を透過する光の一部、あるいは凸部を含む広範囲を透過する光を選択して第2受光パターンを介して受光するようにしてもよい。
また、位相パターンの位相差は、θ=nλ/4(n=±1,±3,±5…)に限られない。ただし、本実施の形態では、位相パターンの位相差として、θ=nλ/2(n=±1,±3,±5…)は除かれる。
また、上述の実施の形態においては、一つのセンサ部の受光領域において、設定部により、第1受光パターン43aを介した光と、第2受光パターン44aを介した光とを受光する受光領域を設定しているが、複数のセンサ部を用いて、各センサ部で、それぞれの光を受光してもよい。
さらに、一つのパターン板に、位相パターンの凹部を透過する光を通過させる第1受光パターンと、位相パターンの凸部を透過する光を通過させる第2受光パターンとを設けたが、二つのパターン板に、第1受光パターンおよび第2受光パターンを別々に分離して設けてもよい。
また、上述の実施の形態においては、投影光学系15のフォーカス位置を補正する場合には、クサビ状のペアガラスを相対的に回転させたり、ステージの位置を制御している。また、球面収差、非点収差などの光学特性の補正を行う場合には、投影光学系15を構成する光学部材の少なくとも1つの投影光学系15の光軸方向への移動、投影光学系15の光軸と直交する方向へのシフトまたは傾斜、投影光学系15の光軸を中心として回転により投影光学系15の光学特性の調整を行ってもよい。
さらに、一つのパターン板に、位相パターンの凹部を透過する光を通過させる第1受光パターンと、位相パターンの凸部を透過する光を通過させる第2受光パターンとを設けたが、二つのパターン板に、第1受光パターンおよび第2受光パターンを別々に分離して設けてもよい。
また、上述の実施の形態においては、投影光学系15のフォーカス位置を補正する場合には、クサビ状のペアガラスを相対的に回転させたり、ステージの位置を制御している。また、球面収差、非点収差などの光学特性の補正を行う場合には、投影光学系15を構成する光学部材の少なくとも1つの投影光学系15の光軸方向への移動、投影光学系15の光軸と直交する方向へのシフトまたは傾斜、投影光学系15の光軸を中心として回転により投影光学系15の光学特性の調整を行ってもよい。
また、上述の実施の形態においては、投影光学系15の投影領域内の複数の像高において、同時に投影光学系15のフォーカス位置を計測しているが、ウエハステージの駆動制御によって、受光パターンを備えた計測装置を異なる像高の2つ以上の位相パターンの像が形成される位置に順次走査させて、異なる像高におけるフォーカス位置を順次検出するようにしても良い。
また、この実施の形態においては、透過型の位相パターン及び透過型の受光パターンを用いて投影光学系の光学特性の計測を行っているが、反射型の位相パターン及び反射型の受光パターンの少なくとも一つを用いて投影光学系の光学特性の計測を行うようにしてもよい。
また、この実施の形態においては、受光パターンが光を透過させることにより光を抽出する例を示したが、受光パターンが光を遮光し、受光パターンの周辺が光を透過または反射させることにより光を抽出するようにしてもよい。
また、この実施の形態では、照明光の光量変化の影響を受けないように、リファレンス開口を通過した計測光の光量をモニタしたが、ΔI=(I1−I2)/(I1+I2)の式を用いて光量の差ΔIを求めることによって、リファレンス開口を省略することができる。
また、この実施の形態では、照明光の光量変化の影響を受けないように、リファレンス開口を通過した計測光の光量をモニタしたが、ΔI=(I1−I2)/(I1+I2)の式を用いて光量の差ΔIを求めることによって、リファレンス開口を省略することができる。
また、位相パターンの凹部を透過した光と凸部を透過した光との抽出を空間的に異なる受光パターンを用いた実施の形態を説明したが、パターン板として、液晶表示デバイスを用いて電気的に受光パターンを生成してもよい。勿論、パターン板にシャッタ機構を設けて機械的に受光パターンを作成してもよい。
また、この実施の形態にかかる投影露光装置の製造方法においては、投影露光装置が投影光学系15の光学特性を計測するための計測装置を備え、投影光学系15を投影露光装置内に設置した後で投影光学系15の光学特性の計測及び調整を行う例について説明したが、投影光学系15を投影露光装置内に設置する前に、本実施の形態に係る光学特性の計測方法により投影光学系15の光学特性の計測し、光学特性の調整を行うようにしてもよい。この場合においては、上述した投影光学系15の光学特性の調整の他に、投影光学系15を構成する光学部材の少なくとも1つの加工(例えば再研磨)または交換により投影光学系15の光学特性の調整を行うことも可能である。
また、この実施の形態においては、投影光学系15の物体側から計測光を照射し、投影光学系15の像面を介して計測光を検出することにより投影光学系15の光学特性を計測しているが、投影光学系15の像面側から計測光を照射し、投影光学系15の物体面を介して計測光を検出してもよい。すなわち、位相パターンを投影光学系15の像面側に配置し、受光パターンを投影光学系15の物体面側に配置して、投影光学系15の光学特性を計測してもよい。
また、この実施の形態においては、投影光学系の光学特性を計測する方法について説明したが、他の光学装置、例えば、顕微鏡等の光学系の光学特性を計測することができる。
また、この実施の形態においては、投影光学系の光学特性を計測する方法について説明したが、他の光学装置、例えば、顕微鏡等の光学系の光学特性を計測することができる。
また、本実施の形態は、投影光学系とウエハとの間に液体を介在させた液浸型の露光装置にも適用することができる。
また、本実施の形態では、計測装置20をウエハステージ16に取り付ける構成について説明したが、計測装置20をウエハステージ16に着脱可能に設けてもよい。
さらに、露光装置に、ウエハステージと、計測ステージとの両方を用意し、計測ステージに計測装置20を設けてもよい。
また、本実施の形態では、計測装置20をウエハステージ16に取り付ける構成について説明したが、計測装置20をウエハステージ16に着脱可能に設けてもよい。
さらに、露光装置に、ウエハステージと、計測ステージとの両方を用意し、計測ステージに計測装置20を設けてもよい。
また、本実施の形態は、露光光として極端紫外光(EUV光)を用い、反射型の光学部材により構成される照明光学系及び投影光学系等を備えたEUV露光装置にも適用することができる。
上述の実施の形態にかかる投影露光装置では、投影光学系15を用いてマスクMにより形成された転写用のパターンを感光性基板(ウエハW)に露光する(露光工程)ことにより、マイクロデバイス(半導体素子、撮像素子、液晶表示素子、薄膜磁気ヘッド等)を製造することができる。以下、上述の実施の形態にかかる投影露光装置を用いて感光性基板としてのウエハW等に所定の回路パターンを形成することによって、マイクロデバイスとしての半導体デバイスを得る際の手法の一例につき図15のフローチャートを参照して説明する。
先ず、図15のステップS301において、1ロットのウエハW上に金属膜が蒸着される。次のステップS302において、その1ロットのウエハW上の金属膜上にフォトレジストが塗布される。その後、ステップS303において、上述の実施の形態にかかる投影露光装置を用いて、マスクMに形成されているパターンを照明光により照明し(照明工程)、照明光により照明されたパターンの像が、この実施の形態にかかる光学特性の計測方法及び調整方法により光学特性が計測及び調整された投影光学系15を介して、その1ロットのウエハW上の各ショット領域に順次露光転写(露光工程)される。その後、ステップS304において、その1ロットのウエハW上のフォトレジストの現像が行われた後、ステップS305において、その1ロットのウエハW上でレジストパターンをマスクとしてエッチングを行うことによって、マスクMのパターンに対応する回路パターンが、各ウエハW上の各ショット領域に形成される。
その後、更に上のレイヤの回路パターンの形成等を行うことによって、半導体素子等のデバイスが製造される。この実施の形態にかかる露光方法によれば、この実施の形態にかかる光学特性の調整方法により調整された投影光学系15を用いて露光を行っているため、ウエハW上に高解像度でマスクMのパターンの像を形成することができる。なお、ステップS301〜ステップS305では、ウエハW上に金属を蒸着し、その金属膜上にレジストを塗布、そして露光、現像、エッチングの各工程を行っているが、これらの工程に先立って、ウエハW上にシリコンの酸化膜を形成後、そのシリコンの酸化膜上にレジストを塗布、そして露光、現像、エッチング等の各工程を行っても良いことはいうまでもない。
なお、本発明は、2007年6月26日に提出された日本国特許出願2007−168021号に含まれた主題に関連し、その開示のすべては、ここに参照事項として明白に組み込まれる。
なお、本発明は、2007年6月26日に提出された日本国特許出願2007−168021号に含まれた主題に関連し、その開示のすべては、ここに参照事項として明白に組み込まれる。
本発明の光学特性の調整方法は半導体素子または液晶表示素子等の電子デバイスをリソグラフィ工程で製造するために用いられる光学系の光学特性を計測するために有用であり、本発明の光学特性の調整方法により調整された光学系を備えた露光装置、該露光装置を用いた露光方法を用いることにより光学系の光学特性を高精度に調整することができる。また、該露光装置を製造するための露光装置の製造方法により良好な光学特性を有する光学系を備えた露光装置を製造することができる。
Claims (22)
- 第1面に配置される物体の像を第2面に形成する光学系の光学特性を計測する光学特性の計測方法において、
前記第1面に少なくとも1つの位相パターンを配置する配置工程と、
前記配置工程により配置された前記位相パターンを所定の波長の光で照明する照明工程
と、
前記位相パターンと前記光学系とを介して形成されるパターン像のうち、部分像を抽出する抽出工程と、
前記抽出工程により抽出された前記部分像に関する光の情報を検出する検出工程と、
を含むことを特徴とする光学特性の計測方法。 - 前記所定の波長をλとしたとき、前記位相パターンの位相差θは、
θ=nλ/4 (n=±1,±3,±5…)
であることを特徴とする請求項1記載の光学特性の計測方法。 - 前記抽出工程は、前記第2面に配置される受光パターンにより前記部分像を抽出することを特徴とする請求項1または請求項2記載の光学特性の計測方法。
- 前記パターン像は、前記位相パターンの位相が相対的に進んでいる領域に対応する第1強度と、前記位相パターンの位相が相対的に遅れている領域に対応する第2強度とを有する強度分布を有し、
前記抽出工程は、前記部分像として、前記パターン像の中から前記第1強度を有する一部の像を抽出し、
前記検出工程は、前記部分像に関する光の第1情報を検出することを特徴とする請求項1乃至請求項3の何れか一項に記載の光学特性の計測方法。 - 前記第1情報に基づいて、前記光学特性を計測する計測工程を含むことを特徴とする請求項4記載の光学特性の計測方法。
- 前記パターン像は、前記位相パターンの位相が相対的に進んでいる領域に対応する第1強度と、前記位相パターンの位相が相対的に遅れている領域に対応する第2強度とを有する強度分布を有し、
前記抽出工程は、前記部分像として、前記パターン像の中から前記第2強度を有する一部の像を抽出し、
前記検出工程は、前記部分像に関する光の第2情報を検出することを特徴とする請求項1乃至請求項3の何れか一項に記載の光学特性の計測方法。 - 前記第2情報に基づいて、前記光学特性を計測する計測工程を含むことを特徴とする請求項6記載の光学特性の計測方法。
- 前記パターン像は、前記位相パターンの位相が相対的に進んでいる領域に対応する第1強度と、前記位相パターンの位相が相対的に遅れている領域に対応する第2強度とを有する強度分布を有し、
前記抽出工程は、前記部分像として、前記パターン像の中から前記第1強度を有する一部の像と、前記パターン像の中から前記第2強度を有する一部の像とを選択的に抽出し、
前記検出工程は、前記第1強度を有する前記一部の像に関する光の第1情報と、前記第2強度を有する前記一部の像に関する光の第2情報とを検出することを特徴とする請求項1乃至請求項3の何れか一項に記載の光学特性の計測方法。 - 前記第1情報と前記第2情報とを比較することによって、前記光学系の前記光学特性を計測する計測工程を含むことを特徴とする請求項8記載の光学特性の計測方法。
- 前記配置工程は、前記位相パターンを前記第1面内に2つ以上配置することを特徴とする請求項1乃至請求項9の何れか一項に記載の光学特性の計測方法。
- 前記2つ以上の位相パターンは、互いに種類が異なるパターンを含むことを特徴とする請求項10に記載の光学特性の計測方法。
- 前記光学特性は、該光学特性の計測方向に関して前記光学系の光軸に対称な収差であることを特徴とする請求項1乃至請求項11の何れか一項に記載の光学特性の計測方法。
- 請求項1乃至請求項12の何れか一項に記載の光学特性の計測方法により光学系の光学特性の計測を行う計測工程と、
前記計測工程の計測結果を用いて前記光学系の前記光学特性の調整を行う調整工程と、
を含むことを特徴とする光学特性の調整方法。 - 前記調整工程において、前記光学系を構成する光学部材の少なくとも1つの加工または交換により前記光学特性の調整を行うことを特徴とする請求項13記載の光学特性の調整方法。
- 前記調整工程において、前記光学系を構成する光学部材の少なくとも1つの前記光学系の光軸方向への移動と、前記光軸方向と直交する方向へのシフトまたは傾斜と、前記光学系の光軸を中心とする回転との少なくとも一つにより前記光学特性の調整を行うことを特徴とする請求項13記載の光学特性の調整方法。
- マスクのパターンを感光性基板上に形成する露光装置において、
請求項13乃至請求項15の何れか一項に記載の光学特性の調整方法により調整された光学系を備えることを特徴とする露光装置。 - マスクのパターンを光学系を介して感光性基板上に形成する露光装置において、
前記光学系の物体面または像面のいずれか一方に配置される位相パターンと、前記光学系とを介して形成されるパターン像のうち、一部分の像を抽出する抽出部と、
前記抽出部により抽出された前記一部分の像に関する光の情報を検出する検出部と、
を備えることを特徴とする露光装置。 - 前記パターン像は、前記位相パターンの位相が相対的に進んでいる領域に対応する第1強度と、前記位相パターンの位相が相対的に遅れている領域に対応する第2強度とを有する強度分布を有し、
前記抽出部は、前記一部分の像として、前記パターン像の中から前記第1強度を有する一部の像及び前記第2強度を有する一部の像の少なくとも一方を抽出することを特徴とする請求項17記載の露光装置。 - 前記感光性基板を保持する基板ステージと、
前記検出部で検出された前記光の情報に基づいて、前記基板ステージの位置を制御する制御装置とを備えることを特徴とする請求項17または請求項18記載の露光装置。 - マスクのパターンを感光性基板上に形成する露光方法において、
前記パターンを照明する照明工程と、
前記照明工程により照明された前記パターンの像を請求項13乃至請求項15の何れか一項に記載の光学特性の調整方法により調整された光学系により前記感光性基板上に形成する露光工程と、
を含むことを特徴とする露光方法。 - マスクのパターンを光学系を介して感光性基板上に形成する露光装置を製造する露光装置の製造方法において、
請求項13乃至請求項15の何れか一項に記載の光学特性の調整方法により前記光学系の光学特性の調整を行う調整工程と、
前記調整工程により調整された前記光学系を前記露光装置内に設置する設置工程と、
を含むことを特徴とする露光装置の製造方法。 - マスクのパターンを光学系を介して感光性基板上に形成する露光装置を製造する露光装置の製造方法において、
前記光学系を前記露光装置内に設置する設置工程と、
請求項13乃至請求項15の何れか一項に記載の光学特性の調整方法により前記設置工程により設置された前記光学系の光学特性の調整を行う調整工程と、
を含むことを特徴とする露光装置の製造方法。
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