JPWO2008149652A1 - 塗布装置 - Google Patents

Abstract

千鳥状に配置された複数のインクジェットヘッド（３１）と、前記複数のインクジェットヘッド（３１）の塗布液の背圧を調整する圧力調整機構（４０）と、前記圧力調整機構（４０）から前記複数のインクジェットヘッド（３１）に前記塗布液を供給する複数の送液配管（４３）と、塗布液を貯留する貯留タンク（５０）とを有する塗布装置において、前記複数の送液配管（４３）の塗布液の送液量を同一（配管の流動抵抗を同一）に調整するものである。この構成により、複数のインクジェットヘッドの塗布液に対して、同一の背圧を付与できる。

Description

本発明は、連続搬送する長尺状の支持体に液滴吐出方式を用いて塗膜を形成する塗布装置であって、詳しくはインクジェット方式で塗布を行う塗布装置に関する。

インクジェット方式を用いて画像形成や、パターニングされた塗膜を含む塗膜を支持体上に形成する方法が一般的に知られている。インクジェット方式に用いられるインクジェットヘッドは複数のインク射出のノズルを有し、印字データを基に液滴を支持体上に射出して所望の画像や塗膜を形成するものである。

前記インク射出は、例えばピエゾ素子やヒータ等を用いて、前記ノズルからインクを微小な液滴として支持体に向けて射出する。前記ノズルには、例えば、電圧を印加することによって変形する圧電素子としてのピエゾ素子が付設されており、ピエゾ素子に駆動電圧を印加することによってピエゾ素子を変形させ、これによりインク流路を圧縮してノズルからインクを吐出させるようになっている。

ここで、インクは塗布液と、印字は塗布と同義とする。

前述の画像や塗膜を、広幅の支持体に形成する方法として、前記インクジェットヘッドを支持体の搬送方向又は幅方向に移動させて塗布を行うシリアル型の方法、支持体幅方向に複数のインクジェットヘッドを配置して塗布を行うライン型の方法等が知られている。前記ライン型は、支持体幅方向に塗布幅に対応した複数のインクジェットヘッドを配置して塗布を行うものである。

連続搬送する長尺状の支持体に塗膜を形成する場合、前記ライン型の方法が所謂インクジェットヘッドの副走査方向への走査をなくすことができ、塗布液の射出位置精度を向上させることができる。また、塗布速度を上げることができる。

連続搬送する長尺状の支持体に塗膜を形成することにより得られる部材は特に制限はなく、例えば、一般用及び産業用ハロゲン化銀感光材料、感熱材料、熱現像感光材料、フォトレジスト、ＬＣＤや有機ＥＬ等に代表される電気光学パネル用のデバイスが挙げられる。前記電気光学パネル用のデバイスとしてはＣＲＴや液晶表示装置の視認性を改善するために、表示装置前面に張り付ける反射防止層が形成された光学フィルムが挙げられる。ところで、テレビのような大画面の表示装置では、直接、ものが接触することがあり傷が付き易い。そこで、通常は傷つき防止のためにハードコート層を支持体上に形成し、その上に反射防止層が形成されたハードコート層付き反射防止フィルムが用いられる。これら光学フィルムは透過、反射する光の歪や透過光量が均一であることが求められることから塗膜の膜厚精度は非常に高いものが求められる。特に反射防止フィルムの場合は塗膜の上面と下面の反射光の干渉により入射する光を減衰させて反射光を弱めるものであり、光の波長に対応した膜厚が反射防止の能力を左右する。つまり膜厚がより均一であることが反射防止層の品質が高めることになる。

しかしながら、インクジェット方式による液滴の射出においては、インクジェットヘッドに入る直前の液圧、即ち背圧により、液滴の射出状態が異なる。前記背圧が高いと、前記液滴の射出量が増加するとともにサテライトが増加し、ノズルが設けられているノズルプレートの汚れが早くなる。更に、前記背圧が高すぎると、前記液滴の非射出時もノズルから液が染み出し、ノズルプレートの汚れ、液垂れが生じる。また、前記背圧が低いと液滴の射出量が減少し射出が不安定となり、更に低すぎると前記ピエゾ素子の動作にもかかわらず、射出困難となる。

更に、前記背圧は、大気圧に対して同等若しくは僅かな負圧とすることが好ましい。これにより、サテライトや液滴の非射出時のノズルからの塗布液の染み出しを防止でき、ノズルプレートの汚れ、液垂れを減少させることができる。これにより、スジ故障等の塗布故障を防止することができる。

特に、前述のライン型を用いた塗布装置では長時間の連続塗布が行われることがあり、その場合は、ヘッドクリーニングを行うことが困難であり、前記背圧の不良はスジ故障等の原因となる。このため、インクジェットヘッドの塗布液に対して適正な背圧を生じさせることが、液滴の射出を安定化させるために求められる。

前記背圧に関し、溶液タンク（送液タンク）内の溶液の液面は、インクジェットヘッドのノズル面よりも所定寸法低いレベルに維持し、そのレベル、即ちノズル面と液面との水頭が一定になるようにレベルセンサによって制御されている塗布装置が開示されている（例えば、特許文献１参照）。
特開２００４−２２３３５６号公報

特許文献１は、溶液タンク内の溶液の液面とノズル面との水頭が一定になるようにレベルセンサによって制御することにより、インクジェットヘッドの塗布液の背圧を管理するものであり、溶液タンクを前記背圧の圧力調整機構に用いている。

ところで、支持体の幅方向に複数のインクジェットヘッドを配置したライン型の塗布装置では、複数のインクジェットヘッドに送液配管を介して塗布液を送液し、液滴の射出を行う時に、送液配管内を流れる流動抵抗によりインクジェットヘッドに入る直前の液圧、即ち背圧は射出を行わない時に比べて低くなる。このため、特許文献１のように送液タンク或いはその下流側に設けられた背圧の圧力調整機構により液圧を調整しても、インクジェットヘッド毎の送液配管の長さ（以下、配管長ともいう）が異なり流動抵抗が異なるとインクジェットヘッドに入る直前の液圧、即ち背圧がインクジェットヘッド毎に変わってしまう。

また、前記ライン型の塗布装置においては、１つのインクジェットヘッドで射出できる塗布幅はインクジェットヘッドの外形寸法よりも狭いため、隙間なく塗布するためには複数のインクジェットヘッドを支持体搬送方向に対して千鳥状に配置する必要がある。インクジェットヘッドを千鳥配置した場合には、液滴の射出方向が鉛直下向き及び鉛直上向きでない限り、千鳥配置の列間で高さの違いが生ずる。このため、複数の圧力調整機構が必要であった。

ここで、前記高さとは重力方向の高さを意味し、例えば、圧力調整機構に対するインクジェットヘッドの高さとは、重力方向の高さをいう。

本発明は上記状況に鑑みなされたもので、簡単な構成で、支持体幅方向に塗布幅に対応して千鳥配置された複数のインクジェットヘッドの塗布液に適正な背圧を生じさせ、安定した塗布を行うことができる塗布装置を提供することを目的とする。

上記目的は、下記の構成により達成される。
１．連続搬送する長尺状の支持体上に、インクジェット方式により塗布液の液滴を射出して塗膜を形成する塗布装置であって、
支持体の幅方向に塗布幅に対応して配置された複数のインクジェットヘッドと、
前記複数のインクジェットヘッドの塗布液の背圧を調整する圧力調整機構と、
前記圧力調整機構から前記複数のインクジェットヘッドに前記塗布液を供給する複数の送液配管と、
塗布液を貯留する貯留タンクと、を有し、
前記複数の送液配管は、前記複数のインクジェットヘッドまでの塗布液の送液量が同一に調整されてなることを特徴とする塗布装置。
２．前記複数のインクジェットヘッドに接続される送液配管の長さが同一であることを特徴とする１に記載の塗布装置。
３．前記複数のインクジェットヘッドの配置は、支持体の搬送方向に千鳥状の配置であることを特徴とする１又は２に記載の塗布装置。
４．前記圧力調整機構に対して同じ高さに配置された前記複数のインクジェットヘッドまでの前記送液配管の長さが、同一であることを特徴とする１乃至３の何れか１項に記載の塗布装置。
５．前記圧力調整機構から前記複数のインクジェットヘッドまでの前記送液配管が、前記圧力調整機構から前記複数のインクジェットヘッドまでの間で、順次分岐して各インクジェットヘッドに接続されることを特徴とする１乃至４の何れか１項に記載の塗布装置。
６．前記千鳥状に配置された前記複数のインクジェットヘッドを、支持体幅方向の千鳥配置の列毎に、前記圧力調整機構に対して異なる高さで配置するとともに、前記送液配管の長さをインクジェットヘッドの前記列毎に異なる長さとすることを特徴とする３乃至５の何れか１項に記載の塗布装置。
７．前記送液配管の配管径は、前記圧力調整機構から前記インクジェットヘッドまでの前記送液配管の長さに応じ設定されることを特徴とする１乃至３の何れか１項に記載の塗布装置。
８．前記送液配管の配管径は、前記圧力調整機構から前記インクジェットヘッドまでの前記送液配管の長さ及び前記インクジェットヘッドの千鳥配置の列の高さに応じ設定されることを特徴とする６に記載の塗布装置。
９．前記圧力調整機構は、塗布液を一時保持する送液タンクを有し、送液タンクの液面高さ調整により、前記インクジェットヘッドの塗布液の背圧を調整することを特徴とする１乃至８の何れか１項に記載の塗布装置。
１０．前記圧力調整機構は、塗布液を一時保持する送液タンクを有し、送液タンク内の空気圧調整により、前記インクジェットヘッドの塗布液の背圧を調整することを特徴とする１乃至８の何れか１項に記載の塗布装置。
１１．前記圧力調整機構は、前記貯留タンクから前記インクジェットヘッドへ塗布液を供給する送液配管の途中に設けられた送液ポンプで、前記インクジェットヘッドの塗布液の背圧を調整することを特徴とする１乃至８の何れか１項に記載の塗布装置。

上記により、圧力調整機構に対して同じ高さに配置された前記複数のインクジェットヘッドに対する送液配管を介しての送液量が同一に調整されるため、前記複数のインクジェットヘッドの塗布液の背圧を同一とすることができる。また、千鳥配置され、千鳥配置の列毎に圧力調整機構に対する高さが異なるインクジェットヘッドにおいても高さの差を補正することにより、送液量が同一に調整されるため、前記複数のインクジェットヘッドの塗布液の背圧を同一とすることができる。これにより、連続搬送する長尺状の支持体に前記インクジェットヘッドで塗布を行う際に、インクジェットヘッドの塗布液に適正な背圧を生じさせることができ、安定した塗布を行うことができる。

ライン型の塗布装置の構成を示す模式図である。 インクジェットヘッドの配置例を示す図である。 インクジェットヘッドの千鳥配置の位置関係を示す図である。 流動抵抗が異なる配管の例を示す模式図である。 送液量の調整の方法の一例を示す模式図である。 送液配管の配管長を同一とした時の配管の一例を示す模式図である。 送液配管の配管長により配管内径を変更した配管の一例を示す模式図である。 支持体をバックロールで支持し、バックロール上で塗布を行う例を示す図である。

符号の説明

１ 塗布装置
１０ 支持体
１０Ａ 捲き出しロール
１０Ｂ 巻き取りロール
２０ バックロール
３０ インクジェットユニット
３１ インクジェットヘッド
４０ 圧力調整機構
４１ 送液タンク
４２ 液面センサ
４３ 送液配管
４５ 送液バルブ
４６ 排液バルブ
４７ 排液タンク
５０ 貯留タンク
５１ 供給管
１００ 乾燥部
Ｐ 送液ポンプ

以下に図を参照しながら本発明の実施の形態を説明するが、本発明はこれに限定されるものではない。

ここで、配管長（送液配管の長さ）が同一とは、塗膜を形成する部材の要求精度により必要なレベルが異なるため一概に規定することはできないが、例えば反射防止フィルムなどの塗膜の仕上がりに高い精度が求められる光学フィルムの場合は、基準長１ｍの配管長に対して５ｍｍの誤差範囲内であることをいう。好ましくは１ｍｍの誤差範囲内である。また、配管径が同一な配管での配管径の誤差は、その配管における基準径に対して５％が許容範囲である。好ましくは１％の誤差範囲である。

図１は、ライン型の塗布装置１の構成を示す模式図である。

ロール状に巻かれた長尺状の支持体１０は、図示しない駆動手段により巻き出しロール１０Ａから矢印Ｘ方向に繰り出され搬送される。

長尺状の支持体１０はバックロール２０に巻回され支持されながら搬送される。インクジェットヘッドユニット３０より塗布液が支持体１０に向け射出され、塗布液が支持体１０に塗布される。インクジェットユニット３０は、支持体幅方向に塗布幅に対応した複数のインクジェットヘッド３１を有する。

図２は、インクジェトヘッドユニット３０のインクジェットヘッド３１の配置例である。また、全てのインクジェットヘッド３１が、圧力調整機構４０に対して同じ高さに配置されている例である。前述のように、１つのインクジェットヘッドで射出できる塗布幅（射出幅）はインクジェットヘッドの外形寸法よりも狭いことから、隙間なく塗布するために複数のインクジェットヘッドを支持体搬送方向に対して千鳥配置している。図２に示す例では、支持体幅方向に塗布幅に対応した複数のインクジェットヘッドを２列の千鳥配置としている。図３に、インクジェットヘッド３１の外形、射出幅及び千鳥配置の関係を示す。インクジェットヘッド３１の数及び千鳥配置の列数は、インクジェットヘッド３１の射出幅、塗布幅等により適宜設定されるものであり、図２の例に限定されるものではない。

塗布液は、インクジェットヘッド３１の塗布液の背圧を調整する圧力調整機構４０から複数の送液配管４３を介してインクジェットヘッド３１毎に供給される。なお、本説明において、図中の送液配管４３は、複数の配管である。

圧力調整機構４０への塗布液供給は、塗布液を貯留する貯留タンク５０から供給管５１の途中に配設された送液ポンプＰで行われる。

送液配管４３及び供給管５１の材質は、特に限定されるものではなく、塗布液に対し耐食性のある材質であればよい。例えば、ステンレス等の金属管、プラスチックチューブ等を用いることができる。本実施の形態では、フッ素樹脂チューブを用いている。

塗膜が形成された支持体は、乾燥部１００で塗膜の乾燥が行われ、巻き取りロール１０Ｂに巻き取られる。

次に、圧力調整機構４０による前記背圧の調整について説明する。

圧力調整機構４０は、塗布液を一時保持する送液タンク４１を有し、送液タンク４１の液面の高さ制御によって、インクジェットヘッド３１の塗布液の背圧の調整を行う。送液タンク４１の液面高さを液面センサ４２で検出し、送液ポンプＰを制御して貯留タンク５０からの送液量を調整することにより、送液タンク４１の液面高さを一定に保つ。これにより、前記背圧を所定値に維持する。液面センサ４２には、例えばレーザ変位計やフロート式センサのような液面位置測定センサや送液タンク４１内の塗布液の質量を検出する質量センサ等を挙げることができる。

前記背圧の調整は、送液タンク４１内にエアを圧送し、送液タンク４１内の内圧を調整することにより行うこともできる。また、前記背圧の調整は、送液タンク４１を用いず、送液ポンプＰを圧力調整機構４０として用い、送液ポンプＰを制御することにより行うこともできる。

送液ポンプＰは、ギヤポンプ、プランジャーポンプ、ダイヤフラムポンプ等既知のポンプを用いることができる。

しかしながら、前述のように塗布液は圧力調整機構４０から複数のインクジェットヘッド３１に複数の送液配管４３を介して送液されるため、インクジェットヘッドに入る直前の液圧、即ち背圧がインクジェットヘッド毎に変わるという問題を生ずる。これにより、前述のように安定した塗布に支障を生ずる。

前記問題は、送液配管４３毎の流動抵抗が異なる場合に生ずる。前記流動抵抗が異なると塗布液の流量が異なることになる。図４は前記流動抵抗が異なる配管の例を示す模式図である。圧力調整機構４０に近いインクジェットヘッド３１の送液配管４３は短いため流動抵抗は小さくなり、遠いインクジェットヘッド３１の送液配管４３は長いため流動抵抗は大きくなる。

図１に示す塗布装置１では、送液配管４３は、圧力調整機構４０に対して同じ高さに配置された複数のインクジェットヘッド３１までの塗布液の送液量が同一（流動抵抗が同一）になるように、即ち背圧が同一になるように調整される。

以下に、塗布液の送液量の調整例を説明する。
（調整例１）
図５は、送液量の調整方法の例を示す図である。送液配管４３の途中でインクジェットヘッド３１の直近に設けられた送液量を可変することができる送液バルブ４５で、送液量が調整される。前記送液量の調整は、送液配管４３とインクジェットヘッド３１の接続を外し、送液配管４３のインクジェットヘッド３１との接続口を、接続位置の高さに保持したまま圧力調整機構４０で液圧力を上げ、送液配管４３から直接塗布液を流出させて流量を測定することにより行うことができる。前記測定に基づき、各送液配管４３の送液量を同一に調整する。

前記送液量は、予め実験により送液量とインクジェットヘッド３１で実際の塗布を行った時の塗膜（膜厚）の相関を求めておき、所望の塗膜が得られる最適な送液量に設定される。前記調整は、各インクジェットヘッド３１で実際の塗布を行いながら所望の膜厚が得られるように送液量を調整することで行うこともできる。

上記により、各インクジェットヘッド３１の塗布液の背圧を最適にすることができる。

排液バルブ４６は、インクジェットヘッド３１に塗布液を充填する過程で気泡等を排出するため、塗布液の一部を排液タンク４７に排出する際に用いられる。
（調整例２）
塗布液の送液に際し、通常、圧力調整機構４０とインクジェットヘッド３１の間の送液配管４３内の流れは層流流れとなるため、配管内の流動抵抗ΔＰは配管の曲がりや流路の拡張収縮を無視すると次式で現すことができる。
ΔＰ＝（１２８μＬＱ）／（πＤ⁴）・・・（式１）
ここで、μは塗布液粘度、Ｌは配管長、Ｑは送液流量、Ｄは配管内径である。従って、送液配管４３の内径を一定にし、材質を同一にした場合は、圧力調整機構４０から各インクジェットヘッド３１までの送液配管４３の配管長を同一とすることにより、送液配管４３の流動抵抗を同一、即ち送液量を同一とすることができる。

図６は各インクジェットヘッド３１の送液配管４３の配管長を同一とした時の配管例を示す模式図である。図６（ａ）は、圧力調整機構４０から送液配管４３を分岐し、各インクジェットヘッド３１に配管した例である。図６（ｂ）は、圧力調整機構４３からインクジェットヘッド３１までの間で送液配管４３を順次分岐して各インクジェットヘッド３１に配管した例である。図６（ａ）の配管に比べ図６（ｂ）の配管は、全体の配管長を短くすることができ、送液配管４３の引き回し等敷設が容易になる。

送液量の調整は、１つのインクジェットヘッド３１で送液量を調整する。送液量の最適な設定は、調整例１に準ずる。これにより設定された配管長を他のインクジェットヘッド３１に適用することにより、各インクジェットヘッド３１の塗布液の背圧を最適にすることができる。個々のインクジェットヘッド３１での調整が不要になるため、調整の工数を少なくすることができ、また作業も簡単になる。
（調整例３）
前記（式１）より、送液配管４３の配管長が異なる場合は、配管内径を配管長に応じて変更することにより、送液配管４３の流動抵抗を同一、即ち送液量を同一とすることができる。例えば、配管長Ｌがｘ倍になる配管は、配管径をｘ^1/4倍にすると流動抵抗を同じくすることができる。これは、配管長が長くなる場合は、それに応じて配管径を太くすればよいことを示す。ここで、配管材質は同一とする。

図７は、配管長により配管内径を変更した配管例を示す模式図である。圧力調整機構４０に近いインクジェットヘッド３１の短い配管に対し、離れたインクジェットヘッド３１の長い配管は、配管長に応じて配管径を太くして配管している。送液配管４３の配管径種類は増えるが、各インクジェットヘッド３１までの配管長を最適にでき、引き回し等敷設が容易になる。

送液量の調整は、１つのインクジェットヘッド３１で送液量を調整する。送液量の最適な設定は、調整例１に準ずる。これにより設定された配管長及び配管径を基準として、（式１）により他のインクジェットヘッド３１の配管長から配管径を算出して適用する。個々のインクジェットヘッド３１での調整が不要になるため、調整の工数を少なくすることができ、また作業も簡単になる。

ところで、連続搬送する長尺状の支持体に、インクジェットヘッドから塗布液を射出して塗布を行う場合、バックロールに巻回された前記支持体に、前記バックロール上で塗布することが、支持体とインクジェットヘッドとの間隙を安定に維持するために好ましい。図８は、支持体１０を挟みバックロール２０に対向する位置に配置されたインクジェットヘッド３１で、バックロール上で塗布を行う例を示す図である。

前述の図２では、全てのインクジェットヘッド３１が、圧力調整機構４０に対して同じ高さに配置されている例を示したが、図８に示す例では、千鳥配置されたインクジェットヘッド３１の支持体幅方向の列毎に前記高さが異なる。即ち図８のインクジェットヘッド３１の列Ａ３１ａと列Ｂ３１ｂとでは、圧力調整機構４０に対する重力方向の高さが異なることになる。

しかしながら、安定した塗布を行うためには、図８に示す例においても、複数のインクジェットヘッド３１までの塗布液の送液量が同一になるように、即ち背圧が同一になるように調整される必要がある。

前記列Ａ３１ａと列Ｂ３１ｂの高さの違いにより生じる圧力差ΔＰ_hは、次式で現すことができる。
ΔＰ_h＝ρｇΔｈ・・・（式２）
ここで、ρは塗布液密度、ｇは重力加速度、Δｈは列Ａ３１ａと列Ｂ３１ｂの高さの差（図８のΔｈ）である。

従って、配管長を変えることにより高さの差による圧力差を相殺するためには、（式１）及び（式２）より、ΔＰ＝ΔＰ_h、即ち
（１２８μΔＬＱ）／（πＤ⁴）＝ρｇΔｈ・・・（式３）
の関係を満たせばよいことになる。ΔＬは配管長の増減分である。

また、配管長を変えずに配管径を変えることにより高さの差による圧力差を相殺するためには、（式１）及び（式２）より、
（１２８μＬＱ）／（π（ΔＤ）⁴）＝ρｇΔｈ・・・（式４）
の関係を満たせばよいことになる。ΔＤは配管径の増減分である。

次に、図８に示す形態での送液量の調整について説明する。

前述の（調整例１）は、図８に示す形態にも用いることができる。
（調整例４）
図８に示す形態に（調整例２）の方法を用い、更に列Ａ３１ａと列Ｂ３１ｂの高さの差を補正する例である。

まず、前述の（調整例２）を用いて、列Ａ３１ａの配管長を設定する。次に、列Ａ３１ａの配管長を基準にして（式３）で列Ｂ３１ｂの高さの差による配管長の増減分を算出し、列Ｂ３１ｂの配管長を設定する。図８に示すように、列Ｂ３１ｂが列Ａ３１ａより低い場合には、配管長を長くする方向での設定となる。列Ａ３１ａ、列Ｂ３１ｂはどちらを基準としてもよい。

これにより、各インクジェットヘッド３１の塗布液の背圧を最適にすることができる。また、個々のインクジェットヘッド３１での調整が不要になるため、調整の工数を少なくすることができ、また作業も簡単になる。
（調整例５）
図８に示す形態に（調整例３）の方法を用い、更に列Ａ３１ａと列Ｂ３１ｂの高さの差を補正する例である。

まず、列Ａ３１ａの１つのインクジェットヘッド３１で送液量を調整する。送液量の最適な設定は、調整例１に準ずる。これにより設定された配管長及び配管径を基準として、（式１）により他のインクジェットヘッド３１の配管長から配管径を算出する。列Ａ３１ａのインクジェットヘッド３１に対しては、前記算出した配管径を適用する。次に列Ｂ３１ｂのインクジェットヘッド３１に対しては、（式４）により高さの差による配管径の増減分を算出し、前記算出した配管径に補正を加え、適用する。図８に示す形態においても、（調整例３）と同様な効果がある。

上記各調整例でのように送液量を調整しても、インクジェットヘッド３１個々に塗布液の射出性能にばらつきが生じる。このばらつきはピエゾ素子の電圧調整で調整される。前記ピエゾ素子での調整に際しては、インクジェットヘッド３１を取り付けた状態で、インクジェットヘッド３１の個々の塗布液の射出量を測定することで行うことができる。また、実際の塗布を行い、塗膜の膜厚を測定し、所望の膜厚が得られるようにピエゾ素子の電圧調整を行うことでもできる。

上記のように、送液量を同一で適正な量とすることにより、前記複数のインクジェットヘッドの塗布液の背圧を同一とすることができる。これにより、連続搬送する長尺状の支持体に前記インクジェットヘッドで塗布を行う際に、インクジェットヘッドの塗布液に適正な背圧を生じさせることができ、安定した塗布液の射出を可能とし、安定した塗布を行うことができる。
＜実施例＞
図１に示す装置で、図４、図６（ａ）及び図６（ｂ）に示す配管を用いて、塗布を行い膜厚のばらつきの評価を行った。
１．支持体の作成
セルロースエステル、可塑剤、紫外線吸収剤、微粒子及び溶媒を用いてセルロース溶液（ドープ）を調整し、溶液流延成膜法にて幅１５００ｍｍ、厚さ８０μｍ、長さ３０００ｍのセルロースエステルフィルムを作成した。
２．塗布液作成
下記組成物を混合攪拌し、ハードコートの塗布液を調整した。
アクリルモノマー；ＫＡＹＡＲＡＤ ＤＰＨＡ（ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート（日本化薬製））：１７０質量部
トリメチロールプロパントリアクリレート：３０質量部
光重合開始剤（イルガキュア１８４（チバスペシャルティケミカルズ（株）製））：１０質量部
プロピレングリコールモノメチルエーテル：１００質量部
酢酸エチル：１００質量部
撥油性界面活性剤（ポリジメチルシロキサン；ＫＦ９６（信越化学製））：０．５質量部３．塗膜の形成
１で作成したセルロースエステルフィルムに２で調整した塗布液をインクジェット方式で塗布し、ハードコートの塗膜を形成した。

インクジェットユニット３０はライン型とし、ノズル径２７μｍ、ノズルピッチ７０μｍ、５１２のノズルを有するピエゾ素子型のインクジェットヘッド３１を用いた。前記インクジェットヘッド３１を４０個、支持体の幅方向に隙間なく射出できるように千鳥配置とした。前記千鳥配置は２列とし、各列に２０個のインクジェットヘッド３１を配置した。送液タンク４１からインクジェットヘッド３１までは断熱及び加温（４０℃）し、射出温度は４０℃、駆動周波数は２０ｋＨｚとした。

図４に示す例での配管は、各インクジェットヘッド３１毎に送液配管４３の引き回し敷設し易い長さとした。また、射出する塗布液の液滴は、送液配管４３が最長となるインクジェットヘッド３１、本実施例では図４端部のインクジェットヘッド３１で１４ｐｌになるように圧力調整機構４０の圧力を調整した。

図６（ａ）及び図６（ｂ）に示す例での配管は、まず、送液配管４３が最長となるインクジェットヘッド３１、本実施例では図６（ａ）及び図６（ｂ）端部のインクジェットヘッド３１で射出する塗布液の液滴が１４ｐｌになるように圧力調整機構４０の圧力を調整した。次に、前記端部のインクジェットヘッド３１の配管長で、他の全てのインクジェットヘッド３１の配管を行った。

また、塗布部下流に設けられた乾燥部１００で９０℃で乾燥後、紫外線ランプを用い、紫外線照度０．１Ｗ／ｃｍ²で照射量が０．２Ｊ／ｃｍ²で硬化させた。これにより、乾燥膜厚５μｍの塗膜を支持体上に形成した。
４．膜厚のばらつき測定
４０個のインクジェットヘッド３１で塗布された塗膜部分の膜厚を、インクジェットヘッド３１毎に、支持体幅方向に２ｍｍ間隔で１０点測定し、インクジェットヘッド３１毎の平均膜厚を算出し、個の平均膜厚を得た。これら４０個の平均膜厚の内、最大最小の差を全測定膜厚の平均で除した値Ａを膜厚のばらつきとした。膜厚測定は、光干渉膜厚計ＦＥ−３０００（大塚電子（株）製）を用いた。
５．膜厚ばらつきの評価
評価は、以下とした。
Ａ≦０．０５ ：◎
０．０５＜Ａ≦０．１：○
０．１＜Ａ ：×
６．評価結果
表１に評価結果を示す。

表１に示すように送液タンク４１からインクジェットヘッド３１までの配管長を同一にすること、即ち送液量（背圧）を同一にすることで塗布の膜厚のばらつきを所定量以下とすることができた。

Claims (11)

1. 連続搬送する長尺状の支持体上に、インクジェット方式により塗布液の液滴を射出して塗膜を形成する塗布装置であって、
   支持体の幅方向に塗布幅に対応して配置された複数のインクジェットヘッドと、
   前記複数のインクジェットヘッドの塗布液の背圧を調整する圧力調整機構と、
   前記圧力調整機構から前記複数のインクジェットヘッドに前記塗布液を供給する複数の送液配管と、
   塗布液を貯留する貯留タンクと、を有し、
   前記複数の送液配管は、前記複数のインクジェットヘッドまでの塗布液の送液量が同一に調整されてなることを特徴とする塗布装置。
2. 前記複数のインクジェットヘッドに接続される送液配管の長さが同一であることを特徴とする請求の範囲第１項に記載の塗布装置。
3. 前記複数のインクジェットヘッドの配置は、支持体の搬送方向に千鳥状の配置であることを特徴とする請求の範囲第１項又は第２項に記載の塗布装置。
4. 前記圧力調整機構に対して同じ高さに配置された前記複数のインクジェットヘッドまでの前記送液配管の長さが、同一であることを特徴とする請求の範囲第１項乃至第３項の何れか１項に記載の塗布装置。
5. 前記圧力調整機構から前記複数のインクジェットヘッドまでの前記送液配管が、前記圧力調整機構から前記複数のインクジェットヘッドまでの間で、順次分岐して各インクジェットヘッドに接続されることを特徴とする請求の範囲第１項乃至第４項の何れか１項に記載の塗布装置。
6. 前記千鳥状に配置された前記複数のインクジェットヘッドを、支持体幅方向の千鳥配置の列毎に、前記圧力調整機構に対して異なる高さで配置するとともに、前記送液配管の長さをインクジェットヘッドの前記列毎に異なる長さとすることを特徴とする請求の範囲第３項乃至第５項の何れか１項に記載の塗布装置。
7. 前記送液配管の配管径は、前記圧力調整機構から前記インクジェットヘッドまでの前記送液配管の長さに応じ設定されることを特徴とする請求の範囲第１項乃至第３項の何れか１項に記載の塗布装置。
8. 前記送液配管の配管径は、前記圧力調整機構から前記インクジェットヘッドまでの前記送液配管の長さ及び前記インクジェットヘッドの千鳥配置の列の高さに応じ設定されることを特徴とする請求の範囲第６項に記載の塗布装置。
9. 前記圧力調整機構は、塗布液を一時保持する送液タンクを有し、送液タンクの液面高さ調整により、前記インクジェットヘッドの塗布液の背圧を調整することを特徴とする請求の範囲第１項乃至第８項の何れか１項に記載の塗布装置。
10. 前記圧力調整機構は、塗布液を一時保持する送液タンクを有し、送液タンク内の空気圧調整により、前記インクジェットヘッドの塗布液の背圧を調整することを特徴とする請求の範囲第１項乃至第８項の何れか１項に記載の塗布装置。
11. 前記圧力調整機構は、前記貯留タンクから前記インクジェットヘッドへ塗布液を供給する送液配管の途中に設けられた送液ポンプで、前記インクジェットヘッドの塗布液の背圧を調整することを特徴とする請求の範囲第１項乃至第８項の何れか１項に記載の塗布装置。