JPWO2008117527A1 - 高輝度発光ダイオード - Google Patents
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Abstract
Description
101 第1の光導波路
102 マルチモード干渉光導波路
103 第2の光導波路
104,105 テーパ状光導波路
106 第3の光導波路
109 光出射端面121に対する垂線とのなす角度
121 光出射端面
201 n−InP基板
202 n−InPバッファ層
203 InGaAsP/InGaAsP−1.3μm帯発光層
204 第1のp−InPクラッド層
205 p−InGaAsPエッチングストッパ層
206 第2のp−InPクラッド層
207 p−InGaAsコンタクト層
401 n−InP基板
402 マスク
403 リッジ
404 SiO2膜
本発明に係る第1の実施形態について図面を参照して詳細に説明する。図1は、第1の実施形態の高輝度発光ダイオードを概略的に示す上面図である。
次に本発明の第2の実施形態について図面を参照して詳細に説明する。図6は、第2の実施形態の高輝度発光ダイオードの概略構成を示す上面図である。
次に本発明の第3の実施形態について図面を参照して詳細に説明する。図7は、第3の実施形態の高輝度発光ダイオードの概略構成を示す上面図である。
次に、本発明に係る第4の実施形態について図面を参照しつつ説明する。図8は、第4の実施形態の高輝度発光ダイオードの概略構成を示す上面図である。
Claims (15)
- 半導体基板と、
前記半導体基板上に形成されたマルチモード干渉光導波路と、
前記半導体基板上に形成され、前記マルチモード干渉光導波路の一端と光学的に接続された一端と第1の光出射端面を構成する他端とを有する第1の光導波路と、
前記半導体基板上に形成され、前記マルチモード干渉光導波路の他端と光学的に接続された一端と第2の光出射端面を構成する他端とを有する第2の光導波路と、
を含み、
前記第1の光導波路および前記第2の光導波路は、いずれも、前記マルチモード干渉光導波路よりも狭い幅を有し、
前記第1の光導波路の他端において前記第1の光導波路の光軸に対して前記第1の光出射端面が傾斜しており、
前記第2の光導波路の他端において前記第2の光導波路の光軸に対して前記第2の光出射端面が傾斜している、高輝度発光ダイオード。 - 請求項1記載の高輝度発光ダイオードであって、前記第1の光出射端面に対して前記第1の光導波路が斜め方向に配置されている、高輝度発光ダイオード。
- 請求項1または2記載の高輝度発光ダイオードであって、前記第2の光出射端面に対して前記第2の光導波路が斜め方向に配置されている、高輝度発光ダイオード。
- 請求項1から3のうちのいずれか1項に記載の高輝度発光ダイオードであって、前記第1および第2の光導波路はいずれもシングルモード導波路である、高輝度発光ダイオード。
- 請求項1から3のうちのいずれか1項に記載の高輝度発光ダイオードであって、前記第1および第2の光導波路はいずれも2次モードカットオフ導波路である、高輝度発光ダイオード。
- 請求項1から5のうちのいずれか1項に記載の高輝度発光ダイオードであって、前記マルチモード干渉光導波路の一端と前記第1の光導波路の一端との間に介在し、かつ、前記第1の光導波路の一端から前記マルチモード干渉光導波路の一端に向かうにつれて漸次増加する幅を有するテーパ状光導波路を更に含む高輝度発光ダイオード。
- 請求項6記載の高輝度発光ダイオードであって、前記テーパ状光導波路は、第1及び第2のテーパ状光導波路を含み、前記第1のテーパ状光導波路のテーパ部と前記第2のテーパ状光導波路のテーパ部とは互いに異なる傾斜角を有する、高輝度発光ダイオード。
- 請求項7記載の高輝度発光ダイオードであって、前記第1のテーパ状光導波路は、前記第2のテーパ状光導波路よりも長い導波路長を有する、高輝度発光ダイオード。
- 請求項1から8のうちのいずれか1項に高輝度発光ダイオードであって、前記マルチモード干渉光導波路の他端と前記第2の光導波路の一端との間に介在し、かつ、前記第2の光導波路の一端から前記マルチモード干渉光導波路の他端に向かうにつれて漸次増加する幅を有するテーパ状光導波路を更に含む高輝度発光ダイオード。
- 請求項9に記載のテーパ状光導波路が、前記テーパ状光導波路は、第3及び第4のテーパ状光導波路を含み、前記第3のテーパ状光導波路のテーパ部と前記第4のテーパ状光導波路のテーパ部とは互いに異なる傾斜角を有する、高輝度発光ダイオード。
- 請求項10記載の高輝度発光ダイオードであって、前記第3のテーパ状光導波路は、前記第4のテーパ状光導波路よりも長い導波路長を有する、高輝度発光ダイオード。
- 請求項1から11のうちのいずれか1項に記載の高輝度発光ダイオードであって、
前記マルチモード干渉光導波路、前記第1の光導波路および前記第2の光導波路は、前記半導体基板上に形成された発光層と、前記発光層上に形成されたクラッド層と、前記クラッド層上に形成されたコンタクト層とを含み、
前記発光層が光導波路構造を有する、高輝度発光ダイオード。 - 請求項1から12のうちのいずれか1項に記載の高輝度発光ダイオードであって、前記第1および第2の光出射端面がいずれも低反射率端面である、高輝度発光ダイオード。
- 請求項1から13のうちのいずれか1項に記載の高輝度発光ダイオードであって、前記マルチモード干渉光導波路の一端と前記第1の光導波路との間に介在する少なくとも1つの副マルチモード干渉光導波路を更に含む高輝度発光ダイオード。
- 請求項1から14のうちのいずれか1項に記載の高輝度発光ダイオードであって、前記マルチモード干渉光導波路の他端と前記第2の光導波路との間に介在する少なくとも1つの副マルチモード干渉光導波路を更に含む高輝度発光ダイオード。
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