JPWO2008020574A1 - アンテナ素子およびその製造方法 - Google Patents

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Abstract

RFID(Radio Frequency Identification)システムを構成するタグに用いる、より簡単に製造できるアンテナ素子を提供する。アンテナ素子(10)は、(A)磁性材料およびポリマー材料を含んで成る磁性組成物から形成された層状磁性要素(20)、ならびに(B)層状磁性要素の一方の表面上に配置されたアンテナ配線(30)を有する。

Description

本発明は、アンテナ素子、特にRFID(Radio Frequency Identification)システムに用いる装置に用いることができるアンテナ素子、例えばICタグに用いることができるアンテナ素子、リーダー/ライターに用いるアンテナ素子に関する。更に、本発明は、そのようなアンテナ素子を有する電子装置、例えば無線タグまたはICタグ(携帯電話であってもよい)およびそれとの送受信に用いるリーダー/ライター等に関する。
RFIDシステムが種々の分野において使用され始め、その利便性が実証されている。その結果、更に別の多くの分野においてRFIDシステムを活用してその利便性を享受できるものと期待されている。その反面、RFIDシステムに関連する技術に関して、問題点が種々指摘され、今後解決することが望まれている。
そのような問題点の1つに、RFIDシステムを構成するユニットである、タグ、リーダー/ライター等が有するアンテナの問題がある。アンテナは、電磁誘導作用を利用することによって、信号の送受信および/または電力の供給に利用されている。
このようなアンテナは、それが配置される環境によって大きな影響を受けることが知られている。特に、アンテナのそばに金属製物品が存在すると、リーダー/ライターにおいてはそのアンテナにより発生する磁束によって金属面に渦電流が流れ、その結果、搬送波が大きく減衰し、また、タグにおいてはそのアンテナを貫通する磁束の強度が減衰して交信不能となることがある。
このような金属製物品によって生じる影響を抑制することを目的として、磁性材料で形成された部材をアンテナと組み合わせることが提案されている。例えば、金属物品による、通信への悪影響を防止すると共に、占有する空間部を小さくすることを目的として、アンテナの下にフレキシブルシート状の磁性体を配置した非接触型ICカードリーダ/ライタが提案されている(下記特許文献1参照)。このリーダ/ライタでは、アンテナとシート状の磁性体を両面テープによって貼り合わせている。
更に、ベース基材の一方の面に設けられたアンテナおよびICチップを有し、アンテナおよびICチップの少なくとも一方を覆うように磁性体層が配置されている非接触型データ受送信体が提案されている(下記特許文献2参照)。このデータ受送信体において、磁性体層によってそのように覆うことによって、金属を含む物品に接した場合であっても、十分な誘導起電力が発生すると記載されている。
このデータ受送信体は、ベース基材に金属箔を貼り合わせた後に、導電性箔をエッチングすることによってアンテナパターンを形成すると共に、ICチップを実装し、最後に、磁性材料を塗布して、乾燥・固化させることによって製造される。
特開2002−298095号公報 特開2006−113750号公報
RFIDシステムは、携帯電話等の携帯電子機器においてより広く使用されることが期待されており、そのためには、システムを構成するタグ、リーダー/ライター等に含まれるアンテナ素子をよりコンパクトにすることが望ましく、また、アンテナ素子をより簡単に製造できるようにすることが望まれる。
アンテナ素子について鋭意検討した結果、上記課題は、
(A)磁性材料およびポリマー材料を含んで成る磁性組成物から形成された層状磁性要素(例えば、プレート状、シート状またはフィルム状の磁性要素)、ならびに
(B)層状磁性要素の少なくとも一方の表面上に配置されたアンテナ配線
を有して成るアンテナ素子
により解決されることが見出された。
本発明は、層状磁性要素およびその上に配置されたアンテナ配線を有して成るアンテナ素子の製造方法であって、
(1)磁性材料およびポリマー材料を含んで成る磁性組成物から層状磁性要素を得る工程、
(2)層状磁性要素の少なくとも一方の表面上に金属箔を直接的に付着する工程、ならびに
(3)金属箔をエッチングして所定のパターンを有するアンテナ配線を形成する工程
を含んで成るアンテナ素子の製造方法を提供する。この製造方法によって、上記および後述する本発明のアンテナ素子を好都合に製造できる。
本発明は、上述および後述の本発明のアンテナ素子を有する電子装置、特にICタグ、ICタグを有する携帯電子機器(例えば携帯電話、ノート型PC、PDA(携帯情報端末)等)、ICタグとの受送信に用いるリーダー/ライターをも提供する。
本発明のアンテナ素子は、アンテナ配線が層状磁性要素に直接取り付けられている。従って、アンテナ配線と層状磁性要素との間に介在するもの(例えば両面接着テープ、接着剤に由来する樹脂層)が存在せず、また、ベース基材のような他の要素を必要としないので、アンテナ素子をより薄く、従って、よりコンパクトに形成できる。
更に、本発明のアンテナ素子の製造方法では、層状磁性要素に金属箔を直接的に付着し、その後、エッチングすることによってアンテナ配線を有する層状磁性要素を得ることができるので、層状磁性要素への金属箔の付着が簡単になり、また、ベース基材を必要としないので、アンテナ素子の製造がより簡便になる。
図1は、本発明のアンテナ素子の模式的斜視図を示す。 図2は、本発明のアンテナ素子の製造方法のフローダイヤグラム(工程図)を示す。
符号の説明
10…アンテナ素子、20…層状磁性要素、30…アンテナ配線。
発明を実施するための形態
次に、図面を参照して本発明を更に詳細に説明する。図1は、本発明のアンテナ素子を模式的斜視図にて示す。図2は、本発明のアンテナ素子の製造方法をフローシートにて模式的に示す。
本発明のアンテナ素子10は、磁性材料およびポリマー材料を含んで成る磁性組成物から形成された層状磁性要素20、ならびに層状磁性要素20の一方の表面上に配置されたアンテナ配線30を有して成る。層状磁性要素20は、面状の広がりを有するいずれの適当な形態であってもよく、例えば、プレート状、シート状、フィルム状等であってよい。従って、本明細書において、用語「表面」とはそのような広がりを規定する面、即ち、主表面を意味し、層状磁性要素30は、2つの表面を両側に有する。従って、本発明のアンテナ素子は、層状磁性要素の一方の表面にアンテナ配線を有する態様、および層状磁性要素の両側の表面にアンテナ配線を有する態様の双方を包含する。
層状磁性要素を構成する磁性材料としては、アンテナ素子におけるアンテナの機能(即ち、受送信機能および/または電力供給機能)を発揮することができるものとして提案されている種々の磁性材料を用いることができる。特に、磁束を収束する機能を有する材料、即ち、透磁率に優れた材料を用いることが望ましい。具体的に使用するのが好ましい磁性材料としては、鉄−ケイ素合金、いわゆるフェライトと呼ばれている磁性材料、特にMn−Znフェライト、Ni−Znフェライト、鉄−ニッケル合金、特にパーマロイ、センダスト合金、アモルファス合金、好ましくは鉄基アモルファス合金と呼ばれている磁性材料、特にFeを主成分としてSi、B、Cu、Nbを添加したものを例示できる。より具体的には、TDK株式会社から複合電磁シールド材として市販されているIRL(TDK株式会社の商品名)、日立金属株式会社から市販されているファインメット等を使用できる。このような磁性材料は、いずれの適当な形態であってもよく、例えば粒状、フレーク状であってよい。
磁性材料層を構成するポリマー材料は、磁性材料との組み合わせによってアンテナ素子におけるアンテナの機能(即ち、受送信機能および/または電力供給機能)を向上させることができるとして提案されている種々のポリマー材料を用いることができる。特に、磁束を収束する機能を有する磁性材料に悪影響を与えない、あるいは好影響を与えるポリマー材料を用いることが望ましい。具体的に使用するのが好ましいポリマー材料としては、結晶性ポリマーであっても、あるいは非晶性ポリマーであってもよく、例えば、ポリエチレン(PE)、塩素化ポリエチレン、ポリフェニレンサルファイド(PPS)、ポリプロピレン、ポリ塩化ビニル、ポリフッ化ビニリデン、ポリスチレン、ポリオキシメチレン、エチレン−ビニルアセテートコポリマー(EVA)、エチレン−ブチルアクリレートコポリマー(EBA)、ポリエチレンテレフタレート(PET)、ナイロン、アクリロニトリル−ブタジエン−スチレンターポリマー(ABS)等の熱可塑性ポリマーがある。また、熱可塑性エラストマーもポリマー材料として使用できる。
上述のような磁性材料およびポリマー材料を含む磁性組成物は、本発明のアンテナ素子がアンテナの機能を発揮できる限り、これらの成分をいずれの適当な割合で含んで成ってもよい。例えば、磁性組成物は、60〜95質量部の磁性材料および40〜5質量部のポリマー材料を含んで成り、より好ましくは75〜92質量部の磁性材料および25〜8質量部のポリマー材料を含んで成る。尚、必要に応じて、磁性組成物は、追加の成分(例えば、ポリマー材料用の可塑剤(例えば塩素化パラフィン、エポキシ化大豆油、オレフィン系ワックス)、有機/無機難燃剤等)を含んでよい。
本発明のアンテナ素子において、アンテナ配線30は、例えば図示するように層状磁性要素20の一方の表面上に配置されている。後述する別の態様では、双方の表面状に配置されていてもよい。いずれの態様においても、アンテナ配線30は層状磁性要素20に直接的に付着している。「表面上に」なる用語は、アンテナ配線が磁性層状要素の表面から突出していることを意味する。また、「直接的に」なる用語は、アンテナ配線と層状磁性要素とが相互に接触した状態で結合している、即ち、直接結合していることを意味する。尚、アンテナ配線は、いずれの適当な形状であってもよく、例えば図示するようにスパイラル形状(角形のスパイラル形状)である。他の形状、例えばループ、ヘリカル、モノポール、ダイポール、パッチ、スロット形状等であってもよい。
本発明のアンテナ素子は、アンテナ配線に加えて、必要な電子部品(ICチップ、コンデンサ、チップ抵抗器等)およびそれとの電気的な接続に必要な他の配線を適宜有してよい。このような電子部品および他の配線は、必要に応じて層状磁性要素のいずれの面に配置してもよい。1つの態様では、アンテナ配線が存在する、層状磁性要素の表面にこれらの電子部品および他の配線が存在する。別の態様では、層状磁性要素の反対の表面にこれらの電子部品および他の配線の少なくとも一部分が存在してよく、この場合、層状磁性要素に貫通孔を設けてそこに導電性要素(導電性樹脂、樹脂ハンダ等)を埋設して、あるいは貫通孔の内側に導電性金属のメッキ層を形成して層状磁性要素の表面に存在するアンテナ配線と電子部品および他の配線との間の電気的接続を確保してよい。
上述のように層状磁性要素の表面からアンテナ配線が突出した構造は、上述および後述の本発明のアンテナ素子の製造方法によって製造することによって固有的に得られる。即ち、層状磁性要素上に、アンテナ配線の前駆体としての金属箔を貼り付け、その後、アンテナ配線に対応する部分のみが残るように金属箔をエッチングすることによって、結果的にそのような構造が得られる。
従って、本発明のアンテナ素子の製造方法は、層状磁性要素に金属箔を直接的に付着(例えば熱圧着)してアンテナ素子前駆体を得る工程(図2の工程(2))、および金属箔をエッチングして所定のパターンを有するアンテナ配線(またはアンテナ回路)を形成してアンテナ素子を得る工程(図3の工程(3))を含んで成る。
層状磁性要素は、上述の磁性組成物を層状に成形する工程(図2の工程(1))によって得ることができる。好ましい1つの態様では、プレス成形または圧縮成形によって枚葉形態で層状磁性要素を得ることができる。例えば、層状要素の所定の厚さに対応する空隙内に、磁性組成物を充填してこれを加圧/加熱することによって、所定の厚さの層状要素を得ることができる。別の好ましい態様では、磁性組成物を加熱下で押出成形することによって層状磁性要素を得ることができ、この場合、長尺(または連続)の層状磁性要素とできる。尚、いずれの態様においても、必要に応じて、加熱状態にある層状磁性要素を冷却してもよい。
従って、本発明のアンテナ素子の製造方法は、1つの態様では、図2に示すように、
(1)磁性材料およびポリマー材料を含んで成る磁性組成物を層状に押し出して押出物を得る工程、
(2)押出物上に金属箔を直接的に付着する工程、ならびに
(3)金属箔をエッチングして所定のパターンを有するアンテナ配線を形成する工程
を含んで成る。
このような本発明の製造方法のフローダイヤグラムを図2に示す。尚、図2では、磁性組成物を得る工程をも図示している。この工程では、磁性材料とポリマー材料とを適当な混合/混練手段(例えばバンバリーミキサーや二軸混練機等)によって混合し、これらが均質に混ざった磁性組成物を得る。この組成物を成形して(例えば押出成形して)層状磁性要素を得る。
層状磁性要素への金属箔の直接的な付着は、層状磁性要素上に金属箔を配置し、例えば熱プレスを用いて、熱圧着によって実施するのが好ましい。この場合、予め製造しておいた層状磁性要素に金属箔を付着する場合は、例えば層状磁性要素を加熱する。少なくとも金属箔を配置する表面を少なくともポリマー材料の軟化温度に、好ましくは溶融温度に加熱する。層状磁性要素の加熱に関しては、それ単独で加熱しても、金属箔が上に配置されている状態で加熱してもよい。尚、必要に応じて、金属箔も加熱してよい。
押出によって層状磁性要素を得る場合、押出によって層状磁性要素を得た直後であって、層状磁性要素がまだ比較的高温であるときに、金属箔を熱圧着する、従って、押し出した直後に、金属箔を熱圧着するのが好ましい。この場合、押出および熱圧着を連続的プロセスとして実施するのが効率的であるので特に好ましい。この場合、必要に応じて層状磁性要素を、特にその表面を加熱してよい。このために、例えば加熱ローラーを使用してよい。
尚、使用する金属箔は、その表面の内、層状磁性要素に接触する表面がノジュラー(もしくはノジュール)または瘤状の突起を有するものが好ましく、層状磁性要素との十分な結合強度が確保できる。そのような金属箔は、電着によって瘤状の金属突起を析出させることによって表面に凹凸を設けた金属箔、いわゆる電解金属箔(例えば電解銅箔)として市販されているものを使用するのが好ましい。この場合、金属箔の凹凸面が層状磁性要素に接触するように配置するのが好ましい。このような凹凸表面を用いると、金属箔と層状磁性要素との間の接着性が瘤のアンカー効果によって向上する。
本発明のアンテナ素子の製造方法において、金属箔を付着してエッチングによってアンテナ配線のパターンを形成する際、金属箔は複数のアンテナ配線を形成できる程に十分な領域を有し、従って、エッチングによって複数のアンテナ配線を形成する。この場合、エッチングの後、個々のアンテナ配線を有する層状磁性要素に分割して個々のアンテナ素子を得ることができる。
上述のように、本発明のアンテナ素子は、アンテナ配線に加えて、必要な電子部品(例えばICチップ、コンデンサ等)を有してよく、そのような電子部品とアンテナ配線とを所定のように接続する他の配線を有してよい。そのような配線も、必要に応じて、アンテナ配線を形成するエッチングの時に同時に形成するのが好ましい。
尚、電子部品の実装は、エッチングによってアンテナ配線および他の必要な配線を形成した後に実施するのが好ましい。エッチングによって複数のアンテナ配線を形成する場合、個々のアンテナ素子に分割する前に、実装を実施するのが好ましい。
図面を参照した上記説明においては、層状磁性要素の一方の表面にアンテナ配線が存在したが、本発明のアンテナ素子の別の態様では、アンテナ配線は、層状磁性要素の両側の表面に有する。上述のアンテナ素子の製造方法の説明から理解できるように、このアンテナ素子は、層状磁性要素の両側に金属箔を直接的に付着し、その後、金属箔をエッチングすることによって形成できる。
層状磁性要素の一方の表面に金属箔を付着する場合に、熱圧着を用いることが好ましいが、この時、層状磁性要素および金属箔の双方が加熱され、その後、冷却されることになる。これらの熱膨張率(特に線膨張)が異なるため、冷却された状態では、熱圧着した層状磁性要素と金属箔との複合体は、見掛け上平坦であっても、膨張率の違いに起因する内部応力を含んで状態にある。その後、金属箔をエッチングすることによってその一部を除去すると、内部応力が顕在化して、反りを生じる可能性がある。
しかしながら、上記別の態様のように層状磁性要素の両側に金属箔を付着する場合、膨張率の差があっても層状磁性要素の両側に金属箔が存在するので、内部応力が両側で実質的に相殺されて、両方の表面に金属箔を有する層状磁性要素は、片方のみに金属層を有する場合と比較して、平坦性に優れることになる。エッチングによって金属箔をアンテナ配線に加工した後であっても、両側にアンテナ配線が存在する方が内部応力の相殺効果が有り得るため、平坦性では優れることになる。この意味で、本発明のアンテナ素子では、層状磁性要素の両側にアンテナ配線が存在するのが好ましい。この場合、層状磁性要素を介して実質的に対向するようにアンテナ配線を形成する、即ち、一方のアンテナ配線の上に層状磁性要素を介して他方のアンテナ配線が存在するのが好ましい。例えば、一方のアンテナ配線が、他方の配線層に好ましくは実質的に少なくとも部分的に重なる、好ましくは実質的に丁度重なるのが好ましい。
尚、両側にアンテナ配線が存在する場合は、一方のアンテナ配線の端部にて層状磁性要素に貫通孔を設け、その孔に導電性要素(導電性樹脂、樹脂ハンダ等)を埋設して、あるいは貫通孔の内側に導電性金属のメッキ層を形成して層状磁性要素の双方の表面間のアンテナ配線の電気的接続を確保してよい。
尚、層状磁性要素の両側にアンテナ配線が存在することによって、同じサイズの層状磁性要素を用いる場合、アンテナ配線の絶対長をより長くすることができる。これは、アンテナ素子のサイズをより小さくできることを意味する。絶対長が長くなるため、インダクタンス/キャパシタンスの調整しろをより多く確保することが可能となり、また、アンテナ配線のデザイン自由度が向上することとなり、層状磁性要素の片面へのアンテナ配線形成よりもアンテナ配線形成上受ける幾何学的制約を受けにくくすることが可能となる。
層状磁性要素の製造
下記の磁性材料およびポリマー材料を使用した:
・磁性材料
ファインメット(登録商標)FP−FT−5M(日立金属株式会社製、扁平状磁性フィラー、平均粒径:30−41μm、見かけ密度:0.5−0.7g/cm、タップ密度:1.0−1.4g/cm
・ポリマー材料
ダイソラック(登録商標)C−130(塩素化ポリエチレン、ダイソー株式会社製、真密度:1.11g/cm
これらの磁性材料およびポリマー材料を電子天秤にて下記の表1に示す割合となるように秤量し、サンプル容器内にてプラスチック製ヘラによって1分間混合して混合粉末を得た。
Figure 2008020574
その後、粉末混練機(東洋精機製作所製、ラボプラストミル:型式50C150、ブレードR60B)に混合粉末を45cc投入し、設定温度:100℃、ブレード回転数:60回転(毎分)で15分間混練し、混練塊を得た。
上述にように得られた混練塊を鉄板/テフロンシート/厚み調整スペーサー(SUS製、厚さ0.5mm)+混練塊/テフロンシート/鉄板というサンドイッチ構造にして、熱圧力プレス機(東邦プレス製作所製、油圧成形機:型式T−1)を用いて、設定温度100℃及び設定圧力:1MPaにて、3分間予備プレスした後、15MPaにて4分間本プレスを行った。その後、チラーにて設定温度22℃の水を循環させた冷却プレス機(東邦プレス製作所製、油圧成形機:型式T−1)を使用し1MPaにて4分間冷却プレスを行い、12cmx12cmの磁性シート(厚さ:0.4−0.6mm)を層状磁性要素として得た。
層状磁性要素の磁性特性の評価
上述のようにして得られた層状磁性要素から試験サンプル(15mm×5mm)を切り出し、下記の装置を用いてその透磁率及び飽和磁束密度を測定した:
透磁率測定:超高周波数帯域透磁率測定装置PMF−3000(凌和電子株式会社製)
飽和磁束密度測定:振動試料型磁力計(VSM)BHV−50H(理研電子株式会社製)
試験サンプルの14MHz帯での透磁率(単位:H/m)及び飽和磁束密度(単位:G)の測定結果を以下の表2に示す。
Figure 2008020574
次に、熱圧力プレス機を用いて、実施例1および実施例2の磁性シートの片面に、片側が粗化処理及びニッケル系化合物にて処理された電解銅箔(福田金属箔粉工業製、CF−T8GD−STD−35、厚さ35μm)を熱圧着した。
プレス条件として鉄板/シリコーンラバー/テフロンシート/厚み調整スペーサー(SUS製、厚さ0.5mm)+磁性シート+電解銅箔/テフロンシート/シリコーンラバー/鉄板というサンドイッチ構造にして、熱圧力プレス機(東邦プレス製作所製、油圧成形機:型式T−1)にて120℃、4MPa、4分間プレスした。尚、電解銅箔のノジュール面(凹凸を有する粗面)を磁性シートに隣接させた。
その後、チラーにて設定温度22℃の水を循環させた冷却プレス機(東邦プレス製作所 油圧成形機 型式T-1)を使用し1MPaにて4分間冷却プレスを行い、10cm×10cmの銅箔付き磁性シートを作製した。
上述にようにして得られた銅箔付き磁性シートに関して、先と同様にして、試験サンプルについて透磁率及び飽和磁束密度を測定した。測定結果を以下の表3に結果を示す。
Figure 2008020574
表2と表3の測定結果を比較すると明らかなように、透磁率および飽和磁束密度は、銅箔を付着することによって、共に向上していることが分かる。
上述のようにして得られた各銅箔つき磁性シートをエッチング処理して、図1に示すようなスパイラルアンテナ・パターンを磁性シート上に形成し、本発明のアンテナ素子を得た。その後、LCR METER 4263A(HEWLETT PACKARD製)を用いて、アンテナ両端に測定プローブを配置し、そのインダクタンスLおよびQ値を10kHzの周波数にて測定した。その結果を以下の表4に示す。
Figure 2008020574
表4の測定結果から、スパイラルアンテナ・パターンを持つ本発明のアンテナ素子は、十分なインダクタンスLおよびQ値を示し、従って、アンテナ素子としての機能を果たすことが分かる。
本発明は、より簡便に製造できるアンテナ素子を提供し、また、そのようなアンテナ素子の製造方法を提供する。

Claims (17)

  1. (A)磁性材料およびポリマー材料を含んで成る磁性組成物から形成された層状磁性要素、ならびに
    (B)層状磁性要素の少なくとも一方の表面上に配置されたアンテナ配線
    を有して成るアンテナ素子。
  2. アンテナ配線は、層状磁性要素の表面から突出していることを特徴とする請求項1に記載のアンテナ素子。
  3. 磁性材料は、鉄−ケイ素合金、フェライト、鉄−ニッケル合金、センダスト合金、およびアモルファス合金から成る群から選択される少なくとも1種である請求項1または2に記載のアンテナ素子。
  4. ポリマー材料は、ポリエチレン、ポリプロピレン、塩素化ポリエチレン、ポリ塩化ビニル、ポリフッ化ビニリデン、ポリスチレン、ポリオキシメチレン、エチレン−ビニルアセテートコポリマー、エチレン−ブチルアクリレートコポリマー、ポリエチレンテレフタレート、ナイロン、アクリロニトリル−ブタジエン−スチレンターポリマー、およびポリフェニレンサルファイドから選択される少なくとも1種である請求項1〜3のいずれかに記載のアンテナ素子。
  5. アンテナ配線は、凹凸面が層状磁性要素に接触する電解金属箔から形成されていることを特徴とする請求項1〜4のいずれかに記載のアンテナ素子。
  6. アンテナ配線は、熱圧着によって層状磁性要素の表面上に配置されていることを特徴とする請求項1〜5のいずれかに記載のアンテナ素子。
  7. 磁性組成物は、60〜95質量部の磁性材料および40〜5質量部のポリマー材料を含んで成ることを特徴とする請求項1〜6のいずれかに記載のアンテナ素子。
  8. アンテナ配線に接続されたICチップを更に含んで成ることを特徴とする請求項1〜7のいずれかに記載のアンテナ素子。
  9. 層状磁性要素およびその上に配置されたアンテナ配線を有して成るアンテナ素子の製造方法であって、
    (1)磁性材料およびポリマー材料を含んで成る磁性組成物から層状磁性要素を得る工程、
    (2)層状磁性要素の少なくとも一方の表面上に金属箔を直接的に付着する工程、ならびに
    (3)金属箔をエッチングして所定のパターンを有するアンテナ配線を形成する工程
    を含んで成るアンテナ素子の製造方法。
  10. 押出によって層状磁性要素を得た直後に、金属箔を熱圧着することによって、工程(1)および工程(2)を連続的に実施することを特徴とする請求項9に記載のアンテナ素子の製造方法。
  11. 工程(2)は、押出物の上に金属箔を配置して、その後、熱圧着することによって実施することを特徴とする請求項9または10に記載のアンテナ素子の製造方法。
  12. 工程(3)において複数のアンテナ配線を形成することを特徴とする請求項9〜11のいずれかに記載のアンテナ素子の製造方法。
  13. 工程(3)の後、各アンテナ配線に対応する所定のICチップを層状磁性要素上に配置し、各ICチップと各アンテナ配線とを所定のように電気的に接続することによってICチップを実装することを特徴とする請求項9〜12のいずれかに記載のアンテナ素子の製造方法。
  14. 複数のアンテナ配線が形成されている場合、実装後に、単一のアンテナ配線を有する個々のアンテナ素子に分割する工程を更に含むことを特徴とする請求項9〜13のいずれかに記載のアンテナ素子の製造方法。
  15. 請求項1〜8のいずれかに記載のアンテナ素子を有して成る、RFIDシステム用ICタグ。
  16. 請求項1〜8のいずれかに記載のアンテナ素子を有して成る、RFIDシステム用リーダー/ライター。
  17. 請求項1〜8のいずれかに記載のアンテナ素子を有して成る、携帯電子機器。
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