JPWO2007148552A1 - アルカリ水溶液の精製方法 - Google Patents
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Abstract
Description
NaOH+CO2 → NaHCO3
2NaHCO3 → Na2CO3+H2
そのため、本来アルカリ成分として純度を保持しなければならないNaOHがNa2CO3となり、エッチングに寄与しなくなるので、二酸化炭素の溶解量を低減する必要がある。また、当然の事ながら、主成分であるアルカリ金属や水酸化物等の濃度が変化するとエッチング処理に多大な影響を及ぼす。
また、強塩基性陰イオン交換体、弱塩基性陰イオン交換体、キレート化材、硝酸で処理した活性炭から選ばれる材料のうち1種又は2種以上を同一反応槽内に積層又は混合し、精製すべきアルカリ水溶液を流動化させ、次いでフィルターで濾過し使用することができる。
本発明による金属不純物の除去は、例えば、図1に示すようにアルカリの濃度が高濃度のもとでは、金属は負電荷の水酸化物錯イオンを形成していることから、陰イオン交換体を用いることができ、さらに、アルカリ水溶液中に多量に存在する陰イオンである水酸化物イオン共存下でも陰イオン交換基と親和性の高い水酸化物錯イオンが選択的に吸着除去されることによると考えられる。
このとき、キレート化材の場合には、負電荷の水酸化物錯イオンは、その水酸化物イオンの代わりにキレート化材が金属イオンと結合することで除去されると考えられ、金属イオンと配位子である水酸化物イオンとの結合よりも強いキレート力を有する官能基を用いることが好ましい。
処理体充填カラム 3/4インチPFAカラム 200mm
(PFA:テトラフルオロエチレン−パーフルオロアルキルビニルエーテル共重合体)
試験系及び使用タンクの材質 PTFE(ポリテトラフルオロエチレン)
ポンプ ((株)イワキ社製 ベローズポンプ FS−15HT)
(A)強塩基性陰イオン交換繊維:
メーカー:(株)ニチビ
商品名:IEF−SA
母材:ポリビニルアルコール
官能基:第4級アミン基
形状:直径100μm、長さ2〜5mm繊維状
メーカー:(株)ニチビ
商品名:IEF−WA
母材:ポリビニルアルコール
官能基:第1級〜第3級アミン基
形状:直径100μm、長さ2〜5mm繊維状
メーカー:ロームアンドハースジャパン(株)
商品名:DUOLITE A378D
母材:スチレン・ジビニルベンゼン共重合体
官能基:第1級〜第3級アミン基
形状:直径400〜650μmのビーズ状
メーカー:(株)日立ハイテクノロジー
商品名:ノビアスCHELATE−PA1
母材:ポリヒドロキシメタクリレート
官能基:エチレンジアミン三酢酸基、イミノ二酢酸基
形状:45〜90μmのビーズ状
メーカー:(株)ニチビ
商品名:IEF−IAc
母材:ポリビニルアルコール
官能基:イミノ酢酸基
形状:直径100μm、長さ2〜5mm繊維状
メーカー:ロームアンドハースジャパン(株)
商品名:A201CL
母材:スチレン・ジビニルベンゼン共重合体
官能基:第4級アミン基
形状:粒径500〜750μmのビーズ状
メーカー:ロームアンドハースジャパン(株)
商品名:DUOLITE C255LFH
母材:スチレン・ジビニルベンゼン共重合体
官能基:スルホン酸基
形状:粒径550μmのビーズ状
メーカー:三菱化学カルゴン(株)
商品名:W 10−30
母材:ヤシ殻系
形状:粒径10〜35mesh
メーカー:三菱化学カルゴン(株)
商品名:Filtrasorb 400
母材:石炭系
形状:粒径10〜35mesh
メーカー:(株)アドバンテック
商品名:ウルトラフィルターQ0100
母材:ポリサルホン
分画分子量:MWCO 10000
形状:直径76mm薄膜
メーカー:(株)ロキテクノ
商品名:マイクロチャコールMCKタイプ
母材:繊維状活性炭、ヤシ殻活性炭
(使用器具等の洗浄)
PTFE製タンク(容積1200ml)、PFA製カラム(φ3/4インチ、長さ200mm)、サンプリング用PE(ポリエチレン)製容器(容積1000ml)の全てを、金属汚染を排除するため、予め、1N硝酸に1時間以上浸漬させた後、超純水で流水洗浄した。洗浄に用いた硝酸は関東化学(株)製の電子工業用グレード(EL)であり、約1Nとなるよう超純水で希釈したものである。超純水は超純水製造システムで製造された金属含有量が各金属1ppt以下、Si50ppt以下、無機炭素10ppb以下のものである。
対象のアルカリ水溶液の成分濃度が変化しないように末端基に処理を施した(A)〜(G)の各種吸着体をPFAカラム(φ3/4インチ、長さ200mm)に充填した。また、(H)、(I)の活性炭は予め6.5N硝酸中に1時間浸漬洗浄した後に使用した。
充填は十分洗浄したPTFE製の押し込み棒で軽く吸着体を押し込みながら徐々に充填し、カラム内部が密になるようにして充填した。
ICP−MSによる分析では、分析器導入前の処理として必要に応じて固相抽出法によるNa及びK成分の除去を行った。
結果を表2に示す。
(使用器具の洗浄)
上記と同様の方法で使用器具を洗浄した。
(J)の限外濾過膜は超純水で12時間通水洗浄した後に使用した。また(K)の活性炭フィルターは予め6.5N硝酸中に1時間浸漬洗浄を行い、超純水で12時間通水洗浄をした後に使用した。洗浄したフィルターは専用カートリッジに挿入し、ポンプでアルカリ水溶液を通液後に濾過液の金属、ケイ素化合物及び無機炭酸の濃度をICP−MS、ICP−AES、NDIR法により測定した。金属分析項目は、銅、ニッケルの様なウェーハ内部に拡散しやすい金属とカルシウム、マグネシウム、マンガン、鉄、コバルト、亜鉛、アルミニウム、鉛などのウェーハ表面に留まる金属とした。
結果を表2に示す。
(使用器具の洗浄)
上記と同様の方法で使用器具を洗浄した。
上記と同様の方法で、実施例10として(A)の強塩基性陰イオン交換繊維及び(B)の弱塩基性陰イオン交換繊維を混合した試料、実施例11として(A)及び(D)のエチレンジアミン三酢酸・イミノ二酢酸混合キレート樹脂を混合した試料、実施例12として(A)及び(B)の混合体と(D)を直列に並べた試料をカラムに充填し、実施例1〜8と同様の方法で精製処理を行った。
結果を表3に示す。
(使用器具の洗浄)
上記と同様の方法で使用器具を洗浄した。
処理対象の50%NaOHを超純水で希釈した0.1%NaOHに代え、実施例13として(A)及び(B)を混合した試料、実施例14として(C)の弱塩基性陰イオン交換樹脂、実施例15として(A)及び(B)の混合体と(D)を直列に並べた試料、比較例4として(G)の強酸性陽イオン交換樹脂、をカラムに充填し、実施例1〜8と同様の方法で精製処理を行った。
結果を表4に示す。
(使用器具の洗浄)
上記と同様の方法で使用器具を洗浄した。
処理対象の50%NaOHを超純水で希釈した0.01%NaOHに代え、実施例16として(A)及び(B)を混合した試料、実施例17として(C)、実施例18として(A)及び(B)の混合体と(D)を直列に並べた試料、比較例6として(G)をカラムに充填し、実施例1〜8と同様の方法で精製処理を行った。
結果を表5に示す。
(使用器具の洗浄)
上記と同様の方法で使用器具を洗浄した。
処理対象のアルカリ水溶液を実施例19〜21では48%KOHに代え、実施例19として(A)及び(B)を混合した試料、実施例20として(C)、実施例21として(A)及び(B)の混合体と(D)を直列に並べた試料、比較例8として(G)、をカラムに充填し、実施例1〜8と同様の方法で精製処理を行った。
結果を表6に示す。
(使用器具の洗浄)
上記と同様の方法で使用器具を洗浄した。
処理対象のアルカリ水溶液を実施例22〜24では23%Na2CO3に代え、実施例22として(A)及び(B)を混合した試料、実施例23として(C)、実施例24として(A)及び(B)の混合体と(D)を直列に並べた試料、比較例10として(G)、をカラムに充填し、実施例1〜8と同様の方法で精製処理を行った。
結果を表7に示す。
(使用器具の洗浄)
上記と同様の方法で使用器具を洗浄した。
処理対象のアルカリ水溶液を実施例25〜27では50%K2CO3に代え、実施例25として(A)及び(B)を混合した試料、実施例26として(C)、実施例27として(A)及び(B)の混合体と(D)を直列に並べた試料、比較例12として(G)、をカラムに充填し、実施例1〜8と同様の方法で精製処理を行った。
結果を表8に示す。
(使用器具の洗浄)
上記と同様の方法で使用器具を洗浄した。
処理対象のアルカリ水溶液を実施例28〜30では8%NaHCO3に代え、実施例28として(A)及び(B)を混合した試料、実施例29として(C)、実施例32として(A)及び(B)の混合体と(D)を直列に並べた試料、比較例14として(G)、をカラムに充填し、実施例1〜8と同様の方法で精製処理を行った。
結果を表9に示す。
(使用器具の洗浄)
上記と同様の方法で使用器具を洗浄した。
処理対象のアルカリ水溶液を実施例31〜33では50%KHCO3に代え、実施例31として(A)及び(B)を混合した試料、実施例32として(C)、実施例33として(A)及び(B)の混合体と(D)を直列に並べた試料、比較例16として(G)、をカラムに充填し、実施例1〜8と同様の方法で精製処理を行った。
結果を表10に示す。
(使用器具の洗浄)
上記と同様の方法で使用器具を洗浄した。
処理対象のアルカリ水溶液を実施例34〜36では28%アンモニア水に代え、実施例34として(A)及び(B)を混合した試料、実施例35として(C)、実施例36として(A)及び(B)の混合体と(D)を直列に並べた試料、比較例18として(G)、をカラムに充填し、実施例1〜8と同様の方法で精製処理を行った。
結果を表11に示す。
(使用器具の洗浄)
上記と同様の方法で使用器具を洗浄した。
処理対象のアルカリ水溶液を実施例37〜39では25%水酸化テトラメチルアンモニウム水溶液に代え、実施例37として(A)及び(B)を混合した試料、実施例38として(C)、実施例39として(A)及び(B)の混合体と(D)を直列に並べた試料、比較例20として(G)、をカラムに充填し、実施例1〜8と同様の方法で精製処理を行った。
結果を表12に示す。
(使用器具の洗浄)
上記と同様の方法で使用器具を洗浄した。
実施例1〜8と同様の方法で、実施例40の(C)及び(F)の混合体と(A)及び(B)の混合体とをこの順番で直列に並べた試料、実施例41の(A)及び(B)の混合体と(C)及び(F)の混合体とをこの順番で直列に並べた試料、実施例42の(K)と、(C)及び(F)の混合体並びに(A)及び(B)の混合体をこの順番で直列に並べた試料をカラムに充填し、実施例1〜8と同様の方法で精製処理を行った。
結果を表13に示す。
(使用器具の洗浄)
PTFE製タンク(容積1200ml)、サンプリング用PE(ポリエチレン)製容器(容積1000ml)は全て金属汚染を排除するため予め、1N硝酸で1時間以上浸漬させた後超純水で流水洗浄した。
洗浄に用いた硝酸は関東化学(株)製の電子工業用グレード(EL)であり、約1Nとなるよう超純水で希釈したものであり、超純水は超純水製造システムで製造された金属含有量が各金属1ppt以下、Si50ppt以下、無機炭素10ppb以下のものである。
実施例43、44としてPTFE製タンク(容積1200ml)の中で50%NaOH及び50%KOHをそれぞれ(C)と24時間接触させたバッチ法による精製処理を行った。
結果を表14に示す。
(使用器具の洗浄)
上記と同様の方法で使用器具を洗浄した。
(処理操作)
実施例45〜47としてPTFE製タンク(容積1200ml)の中に50%NaOHを貯留し、4インチシリコンウェーハを投入し、80℃にて3時間加熱後、徐冷したものを比較例10のアルカリ水溶液とした。これに(A)を24時間接触させたバッチ法及び(A)と(B)を実施例1〜9と同様なカラムにて精製処理を行った。
結果を表15に示す。
(使用器具の洗浄)
上記と同様の方法で使用器具を洗浄した。
(処理操作)
実施例48〜49、比較例22として(A)の強塩基性陰イオン交換繊維、(E)キレート繊維及び(G)強酸性陽イオン交換樹脂を20mlと70%酢酸アンモニウム水溶液を200mlとをPE製容器内で混合し、24時間、バッチ法による精製処理を行った。
結果を表16に示す。
(使用器具の洗浄)
上記と同様の方法で使用器具を洗浄した。
(処理操作)
実施例50、比較例24として(E)キレート繊維及び(G)強酸性陽イオン交換樹脂を20mlと1%セルロース水溶液を200mlとをPE製容器内で混合し、24時間、バッチ法による精製処理を行った。
結果を表17に示す。
しかし、比較例3のように限外濾過法を用いても微量な金属不純物は除去できなかった。
Claims (8)
- 金属不純物を含むアルカリ水溶液を、繊維状又はビーズ状の強塩基性陰イオン交換体、弱塩基性陰イオン交換体及びキレート化材並びに賦活させた後に硝酸に接触させた活性炭から選択される少なくとも一種の材料中に接触させることを特徴とするアルカリ水溶液の精製方法。
- ケイ素化不純物と、炭酸不純物と、金属不純物とを含むアルカリ水溶液を、繊維状又はビーズ状の強塩基性陰イオン交換体、弱塩基性陰イオン交換体、及びキレート化材並びに賦活させた後に硝酸に接触させた活性炭から選択される少なくとも一種の材料中に接触させ、金属不純物だけを除去することを特徴とするアルカリ水溶液の精製方法。
- 精製すべきアルカリ水溶液におけるアルカリ成分は、水酸化ナトリウム、水酸化カリウム、水酸化テトラメチルアンモニウム、アンモニア、炭酸ナトリウム、炭酸水素ナトリウム、炭酸カリウム及び炭酸水素カリウムから選択されたものであることを特徴とする請求項1記載のアルカリ水溶液の精製方法。
- ビーズ状の強塩基性陰イオン交換体、弱塩基性陰イオン交換体及びキレート化材から選択される少なくとも一種の材料は、ハイポーラス型、ポーラス型、マクロポーラス型又はマクロレテキュラ型であることを特徴とする請求項1記載のアルカリ水溶液の精製方法。
- 繊維状又はビーズ状の強塩基性陰イオン交換体、弱塩基性陰イオン交換体、及びキレート化材並びに賦活させた後に硝酸に接触させた活性炭から選択される材料を、カラム又は塔中に一種又は二種以上で充填し、二種以上の場合は混合又は積層の形で充填するか、あるいはカラム又は塔中に充填した後に各々を連結するかして、精製すべきアルカリ水溶液を通液させることを特徴とする請求項1記載のアルカリ水溶液の精製方法。
- 繊維状又はビーズ状の強塩基性陰イオン交換体、弱塩基性陰イオン交換体及びキレート化材並びに賦活させた後に硝酸に接触させた活性炭から選択される材料を、精製すべきアルカリ水溶液とともに反応槽内に一種又は二種以上で収容し、二種以上の場合は同一反応槽内に層状又は混合した形で配置し、精製すべきアルカリ水溶液を流動化させ、次いで濾過されることを特徴とする請求項1記載のアルカリ水溶液の精製方法。
- アルカリ水溶液のアルカリ成分が水酸化ナトリウム又は水酸化カリウムであって、アルカリの濃度が5〜50重量%であることを特徴とする請求項1記載のアルカリ水溶液の精製方法。
- 精製されたアルカリ水溶液中の金属濃度が50ppb以下であることを特徴とする請求項1記載のアルカリ水溶液の精製方法。
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