JPWO2007040000A1 - 単結晶試料の極性判定方法及び装置 - Google Patents
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Abstract
Description
R. L. Barns,ほか2名,"X-ray Determination of Polarity Sense by Anomalous Scattering at an Absorption Edge", J. Appl. Cryst. (1970) 3, 27, p.27-32
11 X線焦点
12 X線ビーム
14 多層膜ミラー
16 平行ビーム
18 試料
20 回折X線
22 X線検出器
24 φ軸
26 ω軸
28 χ軸
38 入射スリット
39 4結晶モノクロメータ
40 ゴニオメータ・ベース
42 2θ回転台
44 試料台
48 受光スリット
(1)図9の(1)式及び(2)式において,吸収端の長波長側の回折X線強度は二つの波長の平均をとっており,短波長側の回折X線強度も二つの波長の平均をとっているが,それぞれ,単一の波長の回折X線強度を用いてもよいし,三つ以上の波長についての回折X線強度の平均をとってもよい。
Claims (12)
- 次の各段階を備える単結晶試料の極性判定方法。
(ア)複数の元素から構成されていて極性を有する単結晶試料(18)を準備する段階。
(イ)前記複数の元素のいずれかの元素の吸収端の波長を挟んだ所定の波長範囲のX線を発生させることのできるX線源(10)を準備する段階。
(ウ)前記X線源から出射された発散性のX線ビーム(12)を放物面多層膜ミラー(14)で反射させて,前記所定の波長範囲のX線を含む平行ビーム(16)を作る段階。
(エ)前記平行ビームを入射X線として前記単結晶試料に照射して,前記単結晶試料からの回折X線(20)の強度をX線検出器(22)で検出する段階。
(オ)前記入射X線に対する前記単結晶試料の回転角度ωと,前記入射X線に対する前記回折X線のなす角度2θとを,1対2の角速度比で連動してスキャンすることにより,前記複数の元素のいずれかの元素の吸収端の波長を挟んだ波長範囲で,前記回折X線の強度の波長依存性を測定する段階。
(カ)前記吸収端よりも長波長側での回折X線強度に対する,前記吸収端よりも短波長側での回折X線強度の比率を求めて,その比率の値に基づいて前記極性を判定する段階。 - 請求項1に記載の極性判定方法において,極性を有しない標準試料についても,極性を有する前記単結晶試料と同様に回折X線強度を求めて,前記単結晶試料の各波長での回折X線強度を,前記標準試料の同じ波長での回折X線強度で割り算して,規格化した回折X線強度を求めて,この規格化した回折X線強度に基づいて,前記比率を求めることを特徴とする極性判定方法。
- 請求項1に記載の極性判定方法において,前記単結晶試料はウエハーの形状であることを特徴とする極性判定方法。
- 請求項1に記載の極性判定方法において,前記単結晶試料は基板上に成膜した単結晶膜であることを特徴とする極性判定方法。
- 請求項1に記載の極性判定方法において,前記単結晶試料はGa,Zn,Ge及びAsのいずれかを含む化合物であり,前記X線源のターゲットの材質はAu,W及びPtのいずれかであり,前記多層膜ミラーはGa,Zn,Ge及びAsのいずれかのK吸収端の付近の波長を反射させるように調整されることを特徴とする極性判定方法。
- 請求項1に記載の極性判定方法において,前記単結晶試料はTaを含む化合物であり,前記X線源のターゲットの材質はAu,W及びPtのいずれかであり,前記多層膜ミラーはTaのL吸収端の付近の波長を反射させるように調整されることを特徴とする極性判定方法。
- 次の構成を備える単結晶試料の極性判定装置。
(ア)所定の材質のターゲットを有するX線管(10)。
(イ)前記X線管から出射されるX線(12)を反射して平行ビーム(16)に変換する放物面の多層膜ミラー(14)。
(ウ)複数の元素から構成されていて極性を有する単結晶試料(18)を保持する試料ホルダー。
(エ)前記単結晶試料からの回折X線(20)を検出するX線検出器(22)。
(オ)前記平行ビームに対する前記単結晶試料の回転角度ωと,前記平行ビームに対する前記X線検出器とのなす角度2θとを連動してスキャンする制御装置。
(カ)前記平行ビームを入射X線として前記単結晶試料に照射して,前記単結晶試料からの回折X線の強度をX線検出器で検出する作業を実施し,前記角度ωと前記角度2θとを1対2の角速度比で連動してスキャンすることにより,前記複数の元素のいずれかの元素の吸収端の波長を挟んだ波長範囲で,前記回折X線の強度の波長依存性を測定する測定指令手段。
(キ)前記吸収端よりも長波長側での回折X線強度に対する,前記吸収端よりも短波長側での回折X線強度の比率を求めて,その比率の値に基づいて前記極性を判定する判定手段。 - 請求項7に記載の極性判定装置において,前記多層膜ミラーは前記X線管から出射されるX線に対して角度を変更可能であることを特徴とする極性判定装置。
- 請求項7に記載の極性判定装置において,前記ターゲットの材質はAu,W及びPtのいずれかであり,前記多層膜ミラーはGa,Zn,Ge及びAsのいずれかのK吸収端の付近の波長を反射するように調整可能であることを特徴とする極性判定装置。
- 請求項7に記載の極性判定装置において,前記ターゲットの材質はAu,W及びPtのいずれかであり,前記多層膜ミラーはTaのL吸収端の付近の波長を反射するように調整可能であることを特徴とする極性判定装置。
- 請求項7に記載の極性判定装置において,前記ターゲットの材質はAu,W及びPtのいずれかであり,前記多層膜ミラーは,Ga,Zn,Ge及びAsのいずれかのK吸収端の付近の波長と,前記ターゲットの特性X線の波長,のいずれかを選択的に反射するように調整可能であることを特徴とする極性判定装置。
- 請求項7に記載の極性判定装置において,前記ターゲットの材質はAu,W及びPtのいずれかであり,前記多層膜ミラーは,TaのL吸収端の付近の波長と,前記ターゲットの特性X線の波長,のいずれかを選択的に反射するように調整可能であることを特徴とする極性判定装置。
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