JPWO2006092963A1 - 金属構造体およびその製造方法 - Google Patents
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Abstract
Description
上記のように、本発明における金属微粒子は、プラズモン共鳴吸収を有する金属微粒子であることを特徴とする。プラズモン共鳴吸収を有する金属としては、例えば、金や銀、銅、白金などの貴金属類が挙げられる。また、金属微粒子は、他の材料をこれらの貴金属でメッキした粒子であってもよい。
上記のように、本発明における金属微粒子は、ロッド状の形状を有することを特徴とする。各金属微粒子は、プラズモン共鳴を示す微粒子であればよいが、例えば、その大きさ(体積相当径)が1〜1000nmであることが好ましく、10〜500nmであることがより好ましい。「ロッド状」とは、相隣る面がすべて直角に交わる6面体である形状を意味する。また、ロッド状の金属微粒子を基板に垂直な上面から見た場合、該ロッド状の金属微粒子は、矩形状に見えることが好ましい。この矩形の各頂点は、必ずしも厳格な直角に見える必要はなく、例えば、各頂点が丸みを帯びた形状であってもよいし、頂点の角が削られた形状であってもよい。ただし、この場合、矩形の各頂点は、すべて一様な形状を帯びていることが好ましい。以下では、ロッド状の金属微粒子のアスペクト比とは、この矩形状の金属微粒子の長軸と短軸との比により得られるアスペクト比を意味するものとする。
上記のように、本発明における金属微粒子は、一定のサイズを有することを特徴とする。「サイズが一定」とは、基板上に配置されたロッド状の金属微粒子を、基板に垂直な上面からみた場合、長軸と短軸の長さがそれぞれ一定であり、かつ、各金属微粒子の面積および体積が一定であることを意味する。ここで規定する「ロッド状の金属微粒子の面積」とは、ロッド状の金属微粒子を基板に垂直な上面から見たときの矩形状のロッド状の金属微粒子の面積を意味する。
上記のように、本発明における金属微粒子は、一定の間隔で配置されていることを特徴とする。「間隔が一定」とは、基板上に配置された複数の金属微粒子の任意の1つと、これに隣接する金属微粒子との最短距離が200nm以下(好ましくは、100nm以下)であって、かつ、その変動率が5%以下であることを意味する。
上記のように、本発明における金属微粒子は、一定の方向で配置されていることを特徴とする。「一定の方向」とは、ロッド状の金属微粒子の長軸または短軸の少なくともいずれか一方が同一方向に整列されていることを意味する。
Claims (13)
- プラズモン共鳴吸収を有する金属構造体であって、
一定のサイズを有する複数のロッド状の金属微粒子を、基板上に、一定の間隔で、かつ、一定の方向に配置してなる金属構造体。 - 前記複数のロッド状の金属微粒子は、おのおの、サイズがナノメートルスケールで制御され、かつ、サイズの変動性が5%以下である、
請求項1記載の金属構造体。 - 前記複数のロッド状の金属微粒子は、隣接する前記ロッド状の金属微粒子間の間隔が200nm以下であり、かつ、前記間隔の変動性が5%以下である、
請求項1記載の金属構造体。 - 前記複数のロッド状の金属微粒子は、おのおの、長軸または短軸の少なくともいずれか一方が同一方向に整列されている、
請求項1記載の金属構造体。 - 前記複数のロッド状の金属微粒子は、おのおの、長軸が前記基板と平行に整列されており、かつ、前記複数のロッド状の金属微粒子が有する面のうち最も表面積の大きい面が前記基板に接触配置されている、
請求項1記載の金属構造体。 - 前記基板は、固定透明基板である、
請求項1記載の金属構造体。 - 前記複数のロッド状の金属微粒子は、おのおの、前記ロッド状の金属微粒子を前記基板に垂直な上面から見たときに、矩形状の前記ロッド状の金属微粒子の長軸と短軸との比により規定されるアスペクト比が1より大きく、かつ、10以下である、
請求項1記載の金属構造体。 - 入射光に垂直な平面上に互いに直交する2つの偏光方向を有する入射光に対し、前記2つの偏光方向に対応する2つのプラズモン共鳴吸収スペクトルの吸収極大を生じさせ、かつ、前記2つのプラズモン共鳴吸収スペクトルの吸収極大の間の差異が、50nm以上である、
請求項1記載の金属構造体。 - 前記2つの偏光方向に対応する2つのプラズモン共鳴吸収スペクトルの吸収極大は、それぞれ500nm〜1500nmまで変化されうる、
請求項8記載の金属構造体。 - プラズモン共鳴吸収を有する金属構造体であって、基板および基板上に配置された体積が一定である複数のロッド状の金属微粒子を含み、
前記各金属微粒子は、前記基板に垂直な上面から見たときに、長軸と短軸の長さがそれぞれ一定であって、
前記各金属微粒子は、互いに隣接する金属微粒子との最短距離が所定の値よりも短く、かつ
前記金属微粒子は、その長軸または短軸の少なくともいずれか一方が同一方向に整列されている金属構造体。 - 請求項1記載の金属構造体を製造する金属構造体の製造方法であって、
基板上にレジスト薄膜を形成する工程と、
基板上に形成したレジスト薄膜に所定のパターンを形成する工程と、
レジスト薄膜に所定のパターンを形成した基板上に金属膜を形成する工程と、
金属膜を形成した基板上から余分なレジスト膜を除去する工程と、
を有する金属構造体の製造方法。 - 前記パターン形成工程は、
電子線を用いてレジスト薄膜に所定のパターンを描画した後、現像を行うことにより、レジスト薄膜に所定のパターンを形成する工程を有し、
前記所定のパターンは、完成後の前記金属構造体の集積配置図をトレースしたものであり、一定のサイズを有する複数のロッド状の金属微粒子を、一定の間隔で、かつ、一定の方向に配置したパターンである、
請求項11記載の金属構造体の製造方法。 - 前記レジスト除去工程は、
レジストリムーバ溶液中で、加熱しながら超音波洗浄することにより、前記基板上から余分なレジスト膜を除去する工程を有する、
請求項11記載の金属構造体の製造方法。
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