JPWO2006046592A1 - 小型光走査装置 - Google Patents
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Abstract
Description
Claims (21)
- 観察対象物に照射する照射光を走査するための走査手段と、
前記観察対象物上で焦点を結ぶように前記照射光を集光する対物レンズ系と、
前記対物レンズ系の出射側で且つ前記対物レンズ系の光軸上に配置され、前記照射光を透過させてその透過した位置を検出する光検出素子と、を有することを特徴とする光走査装置。 - 前記対物レンズ系が像側テレセントリック光学系をなすことを特徴とする請求項1に記載の光走査装置。
- 観察対象物に照射する照射光を走査するための走査手段と、
前記走査手段からの照射光を受光し、像側テレセントリック光学系を構成する第一の対物レンズ系と、
前記第一の対物レンズ系から出射した照射光が前記観察対象物上で焦点を結ぶように集光する第二の対物レンズ系と、
前記第一の対物レンズ系と前記第二の対物レンズ系の間で且つ光軸上に配置され、照射光を透過させてその透過した位置を検出する光検出素子と、
を有することを特徴とする光走査装置。 - 前記光検出素子が、前記光軸と垂直に配置されていることを特徴とする請求項1から3のいずれかに記載の光走査装置。
- 前記光検出素子は、第一の方向に垂直に分割された受光領域を有する第一の光検出素子と、第二の方向に垂直に分割された受光領域を有する第二の光検出素子とを少なくとも有することを特徴とする請求項1から4のいずれかに記載の光走査装置。
- 前記第一の方向と前記第二の方向が直交することを特徴とする請求項5に記載の光走査装置。
- 前記光検出素子は、光軸に垂直で且つ光軸を中心とする同心円の円周により分割された受光領域を有する第一の光検出素子と、前記同心円のうちの最大の直径を有する円と等しい直径を有する円を複数の扇形により形成した場合の該複数の扇形からなる受光領域を有する第二の光検出素子と、を少なくとも有する、
ことを特徴とする請求項1から4のいずれかに記載の光走査装置。 - 前記光走査装置は、前記光検出素子の検出結果に基づいて、前記観察対象物上の照射光の位置をターゲットの位置にするために、フィードバック制御する制御手段を有することを特徴とする請求項1から7のいずれかに記載の光走査装置。
- 前記光検出素子は、光を透過する半導体で形成されたフォトダイオードを有することを特徴とする請求項1から8のいずれかに記載の光走査装置。
- 対物レンズ系を構成する光学部品と、光検出素子とが互いに接合して一体部品として構成される光位置検出器を備えることを特徴とする請求項1から9のいずれかに記載の光走査装置。
- 観察対象物上で焦点を結ぶように照射光を集光する対物レンズ系と、
前記対物レンズ系の出射側で且つ前記対物レンズ系の光軸上に配置され、前記照射光を透過させてその透過した位置を検出する光検出素子と、を有することを特徴とする光位置検出器。 - 前記対物レンズ系が像側テレセントリック光学系をなすことを特徴とする請求項11に記載の光位置検出器。
- 像側テレセントリック光学系を構成する第一の対物レンズ系と、
前記第一の対物レンズ系から出射した前記照射光が観察対象物上で焦点を結ぶように集光する第二の対物レンズ系と、
前記第一の対物レンズ系と前記第二の対物レンズ系の間で且つ光軸上に配置され、照射光を透過させてその透過した位置を検出する光検出素子と、を有することを特徴とする光位置検出器。 - 前記光検出素子が、前記光軸と垂直に配置されていることを特徴とする請求項11から13のいずれかに記載の光位置検出器。
- 前記光検出素子は、第一の方向に垂直に分割された受光領域を有する第一の光検出素子と、第二の方向に垂直に分割された受光領域を有する第二の光検出素子とを少なくとも有することを特徴とする請求項11から14のいずれかに記載の光位置検出器。
- 前記第一の方向と前記第二の方向が直交することを特徴とする請求項15に記載の光位置検出器。
- 前記光検出素子は、光軸に垂直で且つ光軸を中心とする同心円の円周により分割された受光領域を有する第一の光検出素子と、前記同心円のうちの最大の直径を有する円と等しい直径を有する円を複数の扇形により形成した場合の該複数の扇形からなる受光領域を有する第二の光検出素子と、を少なくとも有する、
ことを特徴とする請求項11から14のいずれかに記載の光位置検出器。 - 前記光検出素子は、光を透過する半導体で形成されたフォトダイオードを有する、
ことを特徴とする請求項11から17のいずれかに記載の光位置検出器。 - 対物レンズ系を構成する光学部品と、光検出素子とが互いに接合して一体部品として構成されることを特徴とする請求項11から18のいずれかに記載の光位置検出器。
- 請求項1から10のいずれかに記載の光走査装置を備えることを特徴とする共焦点プローブ装置。
- 請求項11から19のいずれかに記載の光位置検出器を備えることを特徴とする共焦点プローブ装置。
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USD726185S1 (en) * | 2013-05-23 | 2015-04-07 | Bluebird Inc. | Data scan device |
Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5782814A (en) * | 1980-11-12 | 1982-05-24 | Nec Corp | Optical scanner |
JPS60189724A (ja) * | 1984-03-09 | 1985-09-27 | Hitachi Medical Corp | 光走査装置 |
JPS62184304A (ja) * | 1986-02-07 | 1987-08-12 | Komatsu Ltd | 2次元半導体光位置検出器 |
JPH09103893A (ja) * | 1995-10-11 | 1997-04-22 | Nec Corp | レーザビームスキャナ及びレーザ加工装置 |
JPH11312821A (ja) * | 1998-04-30 | 1999-11-09 | Kazuhiro Hane | 透明な半導体受光素子およびその製造方法 |
JP2000098271A (ja) * | 1998-09-18 | 2000-04-07 | Hitachi Constr Mach Co Ltd | ガルバノミラー駆動装置 |
Family Cites Families (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS63306413A (ja) * | 1987-06-09 | 1988-12-14 | Olympus Optical Co Ltd | 走査型光学顕微鏡 |
JP3283400B2 (ja) * | 1995-06-20 | 2002-05-20 | 株式会社リコー | 光走査装置 |
JP3632886B2 (ja) * | 1997-10-22 | 2005-03-23 | 日本板硝子株式会社 | 液晶表示素子 |
US20020033988A1 (en) | 1998-03-19 | 2002-03-21 | Takashi Morita | Scanner having a light beam incident position adjusting device |
US6091067A (en) * | 1998-06-02 | 2000-07-18 | Science Applications International Corporation | Scanning device using fiber optic bimorph |
JP2001215634A (ja) | 2000-02-03 | 2001-08-10 | Asahi Optical Co Ltd | フィルムスキャナ |
JP2002031770A (ja) | 2000-07-19 | 2002-01-31 | Asahi Optical Co Ltd | レーザ走査装置の走査同期信号検出回路 |
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JP3722021B2 (ja) | 2001-07-18 | 2005-11-30 | 株式会社デンソー | 光スイッチ |
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Patent Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5782814A (en) * | 1980-11-12 | 1982-05-24 | Nec Corp | Optical scanner |
JPS60189724A (ja) * | 1984-03-09 | 1985-09-27 | Hitachi Medical Corp | 光走査装置 |
JPS62184304A (ja) * | 1986-02-07 | 1987-08-12 | Komatsu Ltd | 2次元半導体光位置検出器 |
JPH09103893A (ja) * | 1995-10-11 | 1997-04-22 | Nec Corp | レーザビームスキャナ及びレーザ加工装置 |
JPH11312821A (ja) * | 1998-04-30 | 1999-11-09 | Kazuhiro Hane | 透明な半導体受光素子およびその製造方法 |
JP2000098271A (ja) * | 1998-09-18 | 2000-04-07 | Hitachi Constr Mach Co Ltd | ガルバノミラー駆動装置 |
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