JPWO2005098911A1 - 移動体の駆動方法、ステージ装置及び露光装置 - Google Patents
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Abstract
Description
b. そして、上記の加速開始から所定の加速時間(T1とする)が経過すると、両ステージRST、WSTがそれぞれの目標走査速度にほぼ達し、さらに整定時間(T2とする)が経過すると、レチクルステージRSTとウエハステージWSTとが等速同期状態に達し、照明光ILによってレチクルRのパターン領域が照明され始め、走査露光が開始される。
c. そして、レチクルRのパターン領域の異なる領域が照明光ILで逐次照明され、上記の露光開始から所定の露光時間(T3とする)が経過すると、パターン領域全面に対する照明が完了し、これにより、ウエハW上のショット領域Si,j(この場合ショット領域S1,1)に対する走査露光が終了し、レチクルRのパターンが投影光学系PLを介してウエハW上のショット領域Si,j(この場合ショット領域S1,1)に縮小転写される。
d. 上記のショット領域Si,jの走査露光が終了した時点から所定の等速オーバースキャン時間(T4=T2とする)の間、レチクルステージRSTとウエハステージWSTとは、走査露光時と同一の速度を維持したままオーバースキャンを行った後、減速を開始し、その減速開始から減速時間(T5=T1とする)が経過した時点で両ステージRST、WSTは停止する。これにより、ウエハW上のショット領域Si,j(この場合ショット領域S1,1)の露光のための両ステージRST、WSTの相対走査が終了する。
Ft1+Ft(i)=Ft1+Ft(2)
=(M+m)・SD/T−2・(M+m)・SD/T
=−(M+m)・SD/T
の力積が付与され、これにより、カウンタマス30には、−(M+m)・SD/T/M=−v0が、初速として与えられる。これ以後、カウンタマス30は、外力の作用に起因する運動量に比べて、−v0・M=Ft1+Ft(2)だけ大きな運動量を持つことになる。
Ft1+Ft(2)+Ft(3)=−(M+m)・SD/T+2・(M+m)・SD/T
=(M+m)・SD/T
の力積が付与され、これにより、カウンタマス30には、(M+m)・SD/T/M=v0が、初速として与えられる。これ以後、カウンタマス30は、外力の作用に起因する運動量に比べて、v0・M=Ft1+Ft(2)+Ft(3)だけ大きな運動量を持つことになる。
Claims (21)
- 少なくとも第1軸方向に移動する第1の移動体と、該第1の移動体の前記第1軸方向の駆動力の反力を受けて前記第1の移動体と反対方向に移動する第2の移動体とを駆動する移動体の駆動方法において、
前記第1の移動体が前記第1軸方向の2方向のうちの第1方向に移動する際に、前記第2の移動体に前記第1方向の初速を与えることを特徴とする移動体の駆動方法。 - 請求項1に記載の移動体の駆動方法において、
前記第1の移動体の移動開始よりも前のタイミングで、前記第2の移動体に前記初速を与えることを特徴とする移動体の駆動方法。 - 請求項1に記載の移動体の駆動方法において、
前記第1の移動体の移動開始とほぼ同じタイミングで、前記第2の移動体に前記初速を与えることを特徴とする移動体の駆動方法。 - 請求項1に記載の移動体の駆動方法において、
前記第2の移動体に与える初速は、前記第1の移動体の質量と前記第2の移動体の質量とに基づいて決定されることを特徴とする移動体の駆動方法。 - 請求項1に記載の移動体の駆動方法において、
前記第1の移動体と前記第2の移動体とを含む系の重心が前記第1軸方向に関する等速移動を行うように、前記第2の移動体に与える初速を設定することを特徴とする移動体の駆動方法。 - 請求項1に記載の移動体の駆動方法において、
前記第1の移動体は前記第1軸方向に直交する第2軸方向にも移動可能であり、
前記第1の移動体が前記第1方向と前記第2軸方向の2方向のうちの一方の第2方向とに移動している間に、前記第2の移動体が前記第1軸方向に沿って往復移動することを特徴とする移動体の駆動方法。 - 少なくとも第1軸方向に移動する第1の移動体と、該第1の移動体の前記第1軸方向の駆動力の反力を受けて前記第1の移動体と反対方向に移動する第2の移動体とを駆動する移動体の駆動方法において、
前記第1の移動体が前記第1軸方向の2方向のうちの第1方向に移動する際に、前記第2の移動体を前記第1方向に沿ってオフセットして位置決めしておくことを特徴とする移動体の駆動方法。 - 請求項7に記載の移動体の駆動方法において、
前記オフセットの量は、前記第1の移動体の質量と前記第2の移動体の質量とに基づいて決定されることを特徴とする移動体の駆動方法。 - 請求項7に記載の移動体の駆動方法において、
前記第1の移動体が前記第1方向に移動する際に、前記第2の移動体に前記第1方向の初速を与えることを特徴とする移動体の駆動方法。 - 少なくとも第1軸方向に移動するステージと;
前記ステージを駆動する第1駆動装置と;
前記第1駆動装置による前記第1軸方向に関する前記ステージの駆動力の反力の作用により前記ステージと反対方向に移動するカウンタマスと;
前記カウンタマスを前記第1軸方向に駆動する第2駆動装置と;
前記第1駆動装置を介して前記ステージを前記第1軸方向の2方向のうちの第1方向に移動する際に、前記第2駆動装置を制御して、前記カウンタマスに前記第1方向の初速を与える制御装置と;を備えることを特徴とするステージ装置。 - 請求項10に記載のステージ装置において、
前記制御装置は、前記ステージの移動開始よりも前に前記カウンタマスに前記初速を与えることを特徴とするステージ装置。 - 請求項10に記載のステージ装置において、
前記制御装置は、前記ステージの移動開始とほぼ同時に前記カウンタマスに前記初速を与えることを特徴とするステージ装置。 - 請求項10に記載のステージ装置において、
前記制御装置は、前記ステージの質量と前記カウンタマスの質量とに基づいて、前記カウンタマスに前記初速を与えることを特徴とするステージ装置。 - 請求項10に記載のステージ装置において、
前記制御装置は、前記ステージと前記カウンタマスとを含む系の重心が前記第1軸方向に関する等速移動を行うように、前記カウンタマスに前記初速を与えることを特徴とするステージ装置。 - 請求項10に記載のステージ装置において、
前記ステージは前記第1軸方向に直交する第2軸方向にも駆動可能であり、
前記制御装置は、前記ステージが前記第1方向と前記第2軸方向の2方向のうちの一方の第2方向とに移動している間に、前記カウンタマスを前記第1軸方向に沿って往復移動させることを特徴とするステージ装置。 - 少なくとも第1軸方向に移動するステージと;
前記ステージを駆動する第1駆動装置と;
前記第1駆動装置による前記第1軸方向に関する前記ステージの駆動力の反力の作用により前記ステージと反対方向に移動するカウンタマスと;
前記カウンタマスを前記第1軸方向に駆動する第2駆動装置と;
前記第1駆動装置を介して前記ステージを前記第1軸方向の2方向のうちの第1方向に移動する際に、前記第2駆動装置を制御して、前記カウンタマスを前記第1方向に沿ってオフセットして位置決めする制御装置と;を備えることを特徴とするステージ装置。 - 請求項16に記載のステージ装置において、
前記制御装置は、前記オフセットの量を前記ステージの質量と前記カウンタマスの質量とに基づいて決定することを特徴とするステージ装置。 - 請求項16に記載のステージ装置において、
前記制御装置は、前記ステージが前記第1方向に移動する際に、前記カウンタマスに前記第1方向の初速を与えることを特徴とするステージ装置。 - パターンを物体に転写する露光装置であって、
前記物体が前記ステージに保持される請求項10〜18のいずれか一項に記載のステージ装置を、前記物体の駆動装置として具備することを特徴とする露光装置。 - 少なくとも第1軸方向に移動する第1の移動体と、該第1の移動体に用力を供給するとともに、前記第1の移動体と同じ方向に移動する第2移動体とを駆動する駆動方法において、
前記第1の移動体が前記第1軸方向の第1方向に移動する際に、前記第2の移動体に前記第1方向の初速を与えることを特徴とする駆動方法。 - 前記第2の移動体に初速を与えた後に前記第2の移動体を等速移動させることを特徴とする請求項20に記載の駆動方法。
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