JPWO2005075867A1 - 流量制御弁および流量制御弁付きシリンダ装置 - Google Patents

流量制御弁および流量制御弁付きシリンダ装置 Download PDF

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Abstract

カートリッジ式の筒状ケーシング(４０)内に、メータアウト入口(４３)と弁室(４４)とロッド室(４６)とメータアウト出口(４７)とを順に形成する。上記ロッド室(４６)と上記の弁室(４４)とをほぼ同心状に配置し、その弁室(４４)の周壁(４４ａ)の内周面に逆止弁座(５３)を設ける。上記の弁室(４４)に挿入した逆止ボール(５２)をバネ(５４)によって上記の逆止弁座(５３)に付勢する。上記ロッド室(４６)に螺合させた調節ロッド(４５)の先端部に絞り弁座(５９)を設け、その絞り弁座(５９)と上記の逆止ボール(５２)との間に絞り隙間(Ｇ)を形成する。

Description

この発明は、逆止機能と絞り機能とを備えた流量制御弁、及び、その流量制御弁を付設したシリンダ装置に関する。
この種の流量制御弁およびシリンダ装置には、従来では、特許文献１(日本国・特開平１１−３４７８６９号公報)に記載されたものがある。
その従来技術は、ワーククランプの油圧式シリンダ装置のハウジングに圧油給排用のマニホールド形ブロックを取り付け、個別に設けた逆止部材と絞り部材とを上記ブロック内に並列に配置することによって流量制御弁を構成したものである。
特開平１１−３４７８６９号公報
上記の従来技術では次の問題がある。
上記の逆止部材と絞り部材とを個別に設けて並列に配置したので流量制御弁が大形になる。
また、前記シリンダ装置の前記ハウジングにマニホールド形ブロックを取り付ける必要があるので、そのブロックが上記ハウジングから突出して上記シリンダ装置が大形になる。
本発明の目的は、コンパクトな流量制御弁を提供することにある。また、本発明の別の目的は、流量制御弁付きシリンダ装置を小形に造れるようにすることにある。
上記の目的を達成するため、本発明は、例えば、図２Ａと図２Ｂに示すように、流量制御弁を次のように構成した。
筒状ケーシング４０内で、メータアウト入口４３と、弁室４４と、調節ロッド４５を軸心方向へ進退可能に収容するロッド室４６と、メータアウト出口４７とを順に連通させる。上記の調節ロッド４５の先端部に絞り弁座５９を設け、その絞り弁座５９を上記の調節ロッド４５内の連通路６０を介して前記メータアウト出口４７に連通させる。上記の弁室４４に挿入した逆止部材５２を弾性体５４によって上記の絞り弁座５９へ向けて付勢する。上記の調節ロッド４５を軸心方向へ進退させることによって上記の絞り弁座５９と上記の逆止部材５２とを相対移動可能に構成する。これにより、上記の弁室４４の周壁４４ａ及び上記の逆止部材５２の少なくとも一方と上記の絞り弁座５９との間に形成した絞り隙間Ｇを調節する。
本発明は、次の作用効果を奏する。
前記の弁室の周壁及び逆止部材の少なくとも一方によって絞り部材を兼用することにより、専用の絞り部材を省略できる。このため、逆止部材と絞り部材とを個別に設けた前述の従来例とは異なり、流量制御弁をコンパクトに造れる。そのうえ、本発明は、専用の絞り部材を省略した分だけ部品点数が少なくなるので、安価に造れる。
また、メータアウト入口と弁室とロッド室とメータアウト出口とを順に連通させ、ロッド室内の調節ロッドに絞り弁座を設けたので、その絞り弁座をロッド室の内部に配置することが可能となった。このため、上記ケーシングの外径寸法が小さくなり、流量制御弁をさらにコンパクトに造れる。
本発明においては、前記ロッド室４６と前記の弁室４４とをほぼ同心状に配置し、その弁室４４の前記の周壁４４ａの内周面に逆止弁座５３を設け、前記の逆止部材５２を前記の弾性体５４によって上記の逆止弁座５３に接当可能に構成することが好ましい。この場合、上記の逆止弁座に受け止められた逆止部材に対して前記の絞り弁座を軸心方向へ進退できるので、絞り調節の精度が高くなる。
また、前述の目的を達成するため、本発明は、例えば、図３Ａと図３Ｂに示すように、流量制御弁を次のように構成した。
筒状ケーシング７０内で、メータイン入口７３と、調節ロッド７５を軸心方向へ進退可能に収容するロッド室７６と、そのロッド室７６とほぼ同心状に配置された絞り弁座８９と、メータイン出口７７とを順に連通させる。上記の調節ロッド７５の先端部と上記ロッド室７６との少なくとも一方に弁室７４を設け、その弁室７４に挿入した逆止部材８２を弾性体８４によって上記の絞り弁座８９へ向けて付勢する。上記の調節ロッド７５を軸心方向へ進退させることによって上記の逆止部材８２と上記の絞り弁座８９とを相対移動可能に構成する。これにより、上記の弁室７４の周壁７４ａ及び上記の逆止部材８２の少なくとも一方と上記の絞り弁座８９との間に形成した絞り隙間Ｇを調節する。
上記の発明は、次の作用効果を奏する。
前記の弁室の周壁及び逆止部材の少なくとも一方によって絞り部材を兼用することにより、専用の絞り部材を省略できる。このため、逆止部材と絞り部材とを個別に設けた前述の従来例とは異なり、流量制御弁をコンパクトに造れる。そのうえ、本発明は、専用の絞り部材を省略した分だけ部品点数が少なくなるので、安価に造れる。
また、メータイン入口とロッド室と絞り弁座とメータイン出口とを順に連通させたので、その絞り弁座とロッド室とを前記ケーシングの軸心方向に並べて配置することが可能となった。このため、上記ケーシングの外径寸法が小さくなり、流量制御弁をさらにコンパクトに造れる。
上記の発明においては、前記の調節ロッド７５の先端部内に前記の弁室７４を設けると共に、その弁室７４の前記の周壁７４ａの内周面に逆止弁座８３を設け、前記の逆止部材８２を前記の弾性体８４によって上記の逆止弁座８３に接当可能に構成することが好ましい。この場合、上記の逆止弁座に受け止められた逆止部材を前記の絞り弁座に対して軸心方向へ進退できるので、絞り調節の精度が高くなる。
また、前述した別の目的を達成するため、前記の流量制御弁を備えたシリンダ装置を、例えば、図２Ａと図２Ｂ、又は、図３Ａと図３Ｂに示すように、次のように構成した。
そのシリンダ装置のハウジング３内で流体作動室(１１，１２)を作業ポート(Ａ１，Ａ２)と給排路(２１，２２)とを介して圧力ポート(Ｐ１，Ｐ２)に連通させる。上記の給排路(２１，２２)に連通する取付け穴(３１，３２)を上記ハウジング３の外面に開口させ、上記の取付け穴(３１，３２)に前記の筒状ケーシング(４０，７０)を装着する。上記の作業ポート(Ａ１，Ａ２)を前記メータアウト入口４３又は前記メータイン出口７７に連通させると共に、上記の圧力ポート(Ｐ１，Ｐ２)を前記メータアウト出口４７又は前記メータイン入口７３に連通させる。
上記シリンダ装置の発明は、ハウジング内の給排路に連通する取付け穴を設けて、その取付け穴に筒状ケーシングを装着するだけでよいので、前述の従来例とは異なり、上記ハウジングからマニホールド形ブロックが突出しない。このため、流量制御弁付きシリンダ装置を小形に造れる。
また、上記の流量制御弁は、カートリッジ式に構成されるので、メンテナンス時の交換が容易であるうえ、既設のシリンダ装置にも比較的に容易に取り付け可能である。
さらに、前述した別の目的を達成するため、流量制御弁付きシリンダ装置を、例えば、図２Ａと図２Ｂ、又は、図３Ａと図３Ｂに示すように、次のように構成した。
シリンダ装置のハウジング３内で流体作動室(１１，１２)を作業ポート(Ａ１，Ａ２)と給排路(２１，２２)とを介して圧力ポート(Ｐ１，Ｐ２)に連通させる。上記ハウジング３の外面に開口される取付け穴(３１，３２)を設ける。その取付け穴(３１，３２)の底面に上記の給排路(２１，２２)の一端部を開口すると共に、上記の取付け穴(３１，３２)の周面に同上の給排路(２１，２２)の他端部を開口する。上記の取付け穴(３１，３２)に筒状ケーシング(４０，７０)を装着する。その筒状ケーシング(４０，７０)の先端部を上記の取付け穴(３１，３２)の底壁(３１ａ，３２ａ)に接当または近接させ、これにより、前記の作業ポート(Ａ１，Ａ２)と前記の圧力ポート(Ｐ１，Ｐ２)とを区画する。上記の筒状ケーシング(４０，７０)内に流量制御弁(３５，６８)のバルブ要素(５２，５３，５９)(８２，８３，８９)を配置する。そして、上記の作業ポート(Ａ１，Ａ２)と圧力ポート(Ｐ１，Ｐ２)とを上記バルブ要素を介して連通可能に構成する。
上記シリンダ装置の発明は、ハウジング内の給排路に連通する取付け穴を設けて、その取付け穴に筒状ケーシングを装着するだけでよいので、前述の従来例とは異なり、上記ハウジングからマニホールド形ブロックが突出しない。このため、流量制御弁付きシリンダ装置を小形に造れる。
また、上記の流量制御弁は、カートリッジ式に構成されるので、メンテナンス時の交換が容易であるうえ、既設のシリンダ装置にも比較的に容易に取り付け可能である。
さらに、筒状ケーシングの先端部を取付け穴の底壁に接当または近接させることによって作業ポートと圧力ポートとを区画するので、その区画構造が簡素になる。その結果、シリンダ装置をさらに小形に造れる。
上記の発明においては、前記の取付け穴(３１，３２)に前記の筒状ケーシング(４０，７０)の胴部(４０ａ，７０ａ)を螺合させることが好ましい。
図１Ａは、本発明の第１実施形態の流量制御弁付きシリンダ装置を備えたクランプの立面図である。図１Ｂは、上記の図１Ａ中の１Ｂ−１Ｂ線矢視の部分平面図である。 図２Ａは、上記クランプの油圧回路図である。図２Ｂは、上記のクランプに装着した前記の流量制御弁の断面図である。 図３Ａと図３Ｂは、本発明の第２実施形態を示している。図３Ａは、上記の図２Ａに類似する図である。図３Ｂは、上記の図２Ｂに類似する図である。 図４Ａ・図４Ｂ・図４Ｃは、それぞれ、本発明の変形例を示し、上記の図２Ｂまたは図３Ｂに類似する部分図である。
符号の説明
３：シリンダ装置のハウジング，１１：流体作動室(リリース室)，１２：流体作動室(ロック室)，２１：第１給排路，２２：第２給排路，３１：第１取付け穴，３１ａ：底壁，３２：第２取付け穴，３２ａ：底壁，３５：流量制御弁，４０：筒状ケーシング，４０ａ：胴部，４３：メータアウト入口，４４：弁室，４４ａ：周壁，４５：調節ロッド，４６：ロッド室，４７：メータアウト出口，５２：逆止部材(逆止ボール，バルブ要素)，５３：逆止弁座(バルブ要素)，５４：弾性体(バネ)，５９：絞り弁座(バルブ要素)，６０：連通路，６８：流量制御弁，７０：筒状ケーシング，７０ａ：胴部，７３：メータイン入口，７４：弁室，７４ａ：周壁，７５：調節ロッド，７６：ロッド室，７７：メータイン出口，８２：逆止部材(逆止ボール，バルブ要素)，８３：逆止弁座(バルブ要素)，８４：弾性体(バネ)，８９：絞り弁座(バルブ要素)，Ａ１：第１作業ポート，Ａ２：第２作業ポート，Ｇ：絞り隙間，Ｐ１：第１圧力ポート，Ｐ２：第２圧力ポート．
図１Ａから図２Ｂは本発明の第１実施形態を示し、流量制御弁付きシリンダ装置を旋回式ワーククランプに適用した場合を例示してある。
まず、図１Ａ・図１Ｂ・図２Ａによって上記クランプの構造を説明する。図１Ａは、上記クランプのリリース状態の立面図である。図１Ｂは、上記の図１Ａ中の１Ｂ−１Ｂ線矢視の部分平面図である。図２Ａは、上記クランプの回路図である。
上記クランプ１は油圧複動式シリンダ装置２を備え、そのシリンダ装置２のハウジング３がワークパレット４の装着孔５に挿入される。上記ハウジング３の上部に設けたフランジ３ａが複数のボルト(図示せず)によって上記ワークパレット４の上面に固定される。上記ハウジング３内に、上下方向へ延びるシリンダ孔９が形成される。そのシリンダ孔９に挿入したピストン１０の下方にリリース室(第１の流体作動室)１１が形成され、上記ピストン１０の上方にロック室(第２の流体作動室)１２が形成される。上記ピストン１０から上下に突出させたクランプロッド１４の上部にアーム１５が固定され、そのクランプロッド１４の下半部に公知の旋回機構(図示せず)が連結される。
上記の旋回式クランプは次のように作動する。
前記ワークパレット４の上面に搬入したワーク(図示せず)をクランピングするときには、図１Ａのリリース状態において、前記リリース室１１の圧油を第１作業ポートＡ１と第１給排路２１と第１圧力ポートＰ１と前記ワークパレット４内の油路１７を介して外部へ排出すると共に、圧力源の圧油を上記ワークパレット４内の別の油路(図示せず)と第２圧力ポートＰ２と第２給排路２２と第２作業ポートＡ２とを介して前記ロック室１２へ供給して、前記ピストン１０を下降させる。すると、前記クランプロッド１４(及びアーム１５)は、まず、前記の旋回機構(図示せず)を介して水平面内で旋回しながら下降され、引き続いて、下方へ直進駆動される。
上記ロック状態のクランプ１を前記リリース状態に切り換えるときには、前記ロック室１２の圧油を排出すると共に前記リリース室１１へ圧油を供給すればよい。これにより、前記の下降位置のクランプロッド１４(及びアーム１５)は、まず、上方へ直進駆動され、引き続いて、旋回しながら上昇復帰される。
前記の第１給排路２１に連通する第１取付け穴３１が前記フランジ３ａの外面に開口されると共に、前記の第２給排路２２に連通する第２取付け穴３２が同上フランジ３ａの外面に開口される。上記の第１取付け穴３１にメータアウト流量制御弁３５が着脱可能に装着され、上記の第２取付け穴３２にはプラグ３６が着脱可能に装着される。そのプラグ３６は、詳しい構造は図示してないが、上記の第２給排路２２内の圧油の供給および排出を確保すると共に、その第２給排路２２の圧油が上記の第２取付け穴３２を通って外部へ漏れるのを阻止するようになっている。
上記メータアウト流量制御弁３５の具体的な構造を、前記の図１Ａから図２Ａを参照しながら図２Ｂの断面図によって説明する。
上記の第１取付け穴３１の底壁３１ａ(穴の底面)に前記の第１給排路２１の一端部(第１作業ポートＡ１側の端部)が偏心して開口される。また、上記の第１取付け穴３１の周壁３１ｂ(穴の周面)に上記の第１給排路２１の他端部(第１圧力ポートＰ１側の端部)が斜めに開口される。
メータアウト流量制御弁３５の筒状ケーシング４０の胴部４０ａが上記の第１取付け穴３１に螺合され、その胴部４０ａの左端部(先端部)が上記の底壁３１ａに接当される。その接当部分が、前記の第１作業ポートＡ１と前記の第１圧力ポートＰ１とを区画している。また、上記ケーシング４０の右端の頭部４０ｂが封止具４１を介して前記フランジ３ａの外面に接当される。
上記ケーシング４０内には、前記の第１作業ポートＡ１に連通されるメータアウト入口４３と、弁室４４と、調節ロッド４５を軸心方向へ進退可能に収容するロッド室４６と、前記の第１圧力ポートＰ１へ連通されるメータアウト出口４７とが順に形成される。
より詳しくいえば、上記ケーシング４０の胴部４０ａの左部内にボルト状の保持具(ケーシング端壁)５１がネジ止めされ、その保持具５１内に形成した前記の弁室４４に逆止ボール(逆止部材)５２が挿入される。上記の弁室４４の周壁４４ａの内周面に逆止弁座５３が形成され、上記の逆止ボール５２がバネ(弾性体)５４によって上記の逆止弁座５３に接当される。
また、上記の弁室４４と前記ロッド室４６とがほぼ同心状に配置され、ボルト状に形成した前記の調節ロッド４５が上記ロッド室４６の周壁に進退可能に螺合されると共にパッキン５６によって保密される。上記の調節ロッド４５の右端部には、六角レンチ(図示せず)が挿入される調節穴５７が形成されると共にロックナット５８が螺合されている。
さらに、上記の調節ロッド４５の左端(先端)の中央部に絞り弁座５９が設けられる。その絞り弁座５９の弁座孔が、上記の調節ロッド４５の先端部内の連通路６０を介して前記メータアウト出口４７に連通されている。
そして、上記の調節ロッド４５をネジ係合に従って軸心方向へ進退させることによって前記の逆止ボール５２に対して前記の絞り弁座５９を移動させ、これにより、上記の逆止ボール５２と上記の絞り弁座５９との間に形成した絞り隙間Ｇを調節するようになっている。
即ち、メータアウト流量制御弁３５のバルブ要素は、上記の逆止ボール５２と逆止弁座５３と絞り弁座５９などを備えている。
上記メータアウト流量制御弁３５は、図２Ａ及び図２Ｂに示すように、次のように作動する。
リリース用の第１作業ポートＡ１の圧油を前記の第１圧力ポートＰ１へ排出するときには、その第１作業ポートＡ１の圧油は、前記メータアウト入口４３と前記の保持具５１の周溝６２及び連通孔６３と前記の絞り隙間Ｇと前記の調節ロッド４５の連通路６０と前記メータアウト出口４７と前記ケーシング４０の胴部４０ａの周溝６４とを順に通って第１圧力ポートＰ１へ排出される。その排出される圧油は、上記の絞り隙間Ｇを通過する間に大きな流動抵抗が付与されるので、緩やかな速度で排出されていく。
上記とは逆に、上記の第１圧力ポートＰ１から第１作業ポートＡ１へ圧油を供給するときには、その第１圧力ポートＰ１の圧油は、上記の胴部４０ａの周溝６４とメータアウト出口４７とを通って前記の連通路６０へ供給され、その圧力によって前記の逆止ボール５２を逆止弁座５３から離間させる。これにより、上記の連通路６０へ供給された圧油は、逆止弁座５３内と弁室４４内とメータアウト入口４３とを通って第１作業ポートＡ１へ円滑に供給されると共に、上記の逆止弁座５３の外周空間と前記の周溝６２と上記メータアウト入口４３とを通って上記の第１作業ポートＡ１へ円滑に供給される。
上記の第１実施形態は次のように変更可能である。
前記の第１給排路２１の一端部(第１作業ポートＡ１側の端部)は、第１取付け穴３１と偏心状に配置するとしたが、これに代えて、その第１取付け穴３１と同心状に配置してもよい。また、上記の第１給排路２１の他端部(第１圧力ポートＰ１側の端部)は、第１取付け穴３１の周面に斜めに開口させるとしたが、これに代えて、その第１取付け穴３１と直交させてもよい。
筒状ケーシング４０の胴部４０ａの左端部(先端部)は、上記の第１取付け穴３１の底壁３１ａに強力に接当させることが好ましいが、これに代えて、その底壁３１ａに対して微小な隙間をあけて近接させてもよい。即ち、前記の第１作業ポートＡ１と前記の第１圧力ポートＰ１との両者を胴部４０ａによって完全に区画することは必須要件ではなく、上記の両者間に僅かな漏れが発生しても支障ない。また、上記の第１取付け穴３１の底壁３１ａには、例示した胴部４０ａを接当または近接させることに代えて、前記の保持具５１の左端面を接当または近接させても良い。
前記の絞り隙間Ｇは、逆止ボール５２と絞り弁座５９との間に形成するとしたが、これに代えて、又は、これに加えて、前記の弁室４４の周壁４４ａの右端面(逆止弁座５３の右端面)と上記の絞り弁座５９との間に上記の絞り隙間Ｇを形成するようにしてもよい。
図３Ａと図３Ｂは、本発明の第２実施形態を示している。図３Ａは、上記の図２Ａに類似する図である。図３Ｂは、上記の図２Ｂに類似する図である。
この第２実施形態は、上記の第１実施形態とは次の点で異なる。
前述した図１Ｂ中の前記の第１取付け穴３１には、前記メータアウト流量制御弁３５に代えて前記プラグ３６が装着される。また、図３Ａ及び図３Ｂに示すように、前記の第２取付け穴３２にメータイン流量制御弁６８が装着される。
上記の第２取付け穴３２の底壁３２ａ(穴の底面)に前記の第２給排路２２の一端部(第２作業ポートＡ２側の端部)が偏心して開口される。また、上記の第２取付け穴３２の周壁３２ｂ(穴の周面)に上記の第２給排路２２の他端部(第２圧力ポートＰ２側の端部)が斜めに開口される。
上記メータイン流量制御弁６８の筒状ケーシング７０の胴部７０ａが上記の第２取付け穴３２に螺合され、その胴部７０ａの左端部(先端部)が上記の第２取付け穴３２の底壁３２ａに接当される。その接当部分が、前記の第２作業ポートＡ２と前記の第２圧力ポートＰ２とを区画している。また、上記ケーシング７０の右端の頭部７０ｂが封止具７１を介して前記フランジ３ａの外面に接当される。
上記ケーシング７０内には、メータイン入口７３と、調節ロッド７５を軸心方向へ進退可能に収容するロッド室７６と、そのロッド室７６とほぼ同心状に配置された絞り弁座８９と、メータイン出口７７とが順に形成される。
より詳しくいえば、上記ケーシング７０の胴部７０ａの左部内にボルト状の保持具(ケーシング端壁)８１がネジ止めされ、その保持具８１の右端の中央部に上記の絞り弁座８９が形成される。その絞り弁座８９の弁座孔が、上記の保持具８１内の連通路９０を介して前記メータイン出口７７に連通されている。
上記の絞り弁座８９と上記ロッド室７６とがほぼ同心状に配置され、ボルト状に形成した前記の調節ロッド７５が上記ロッド室７６の周壁に進退可能に螺合されると共にパッキン８６によって保密される。上記の調節ロッド７５の右端部には、六角レンチ(図示せず)が挿入される調節穴８７が形成されると共にロックナット８８が螺合されている。
さらに、上記の調節ロッド７５の左端部(先端部)内に形成した弁室７４に逆止ボール(逆止部材)８２が挿入される。上記の弁室７４の周壁７４ａの内周面に逆止弁座８３が形成され、上記の逆止ボール８２がバネ(弾性体)８４によって上記の逆止弁座８３に接当される。
そして、上記の調節ロッド７５をネジ係合に従って軸心方向へ進退させることによって前記の絞り弁座８９に対して前記の逆止ボール８２を移動させ、これにより、上記の絞り弁座８９と上記の逆止ボール８２との間に形成した絞り隙間Ｇを調節するようになっている。
即ち、メータイン流量制御弁６８のバルブ要素は、上記の逆止ボール８２と逆止弁座８３と絞り弁座８９などを備えている。
上記メータイン流量制御弁６８は、図３Ａ及び図３Ｂに示すように、次のように作動する。
上記のロック用の第２圧力ポートＰ２から第２作業ポートＡ２へ圧油を供給するときには、その第２圧力ポートＰ２の圧油は、前記ケーシング７０の胴部７０ａの周溝９４とメータイン入口７３と逆止弁座８３の外周空間と前記の絞り隙間Ｇと前記の連通孔９０とメータイン出口７７とを順に通って第２作業ポートＡ２へ供給される。その供給される圧油は、上記の絞り隙間Ｇを通過する間に大きな流動抵抗が付与されるので、緩やかな速度で第２作業ポートＡ２へ供給されていく。
上記とは逆に、上記の第２作業ポートＡ２の圧油を前記の第２圧力ポートＰ２へ排出するときには、その第２作業ポートＡ２の圧油は、メータイン出口７７を通って前記の保持具８１の連通孔９０へ排出され、その圧力によって前記の逆止ボール８２を逆止弁座８３から離間させる。これにより、上記の連通孔９０の圧油は、前記の弁室７４内と前記の調節ロッド７５の連通孔９３と前記メータイン入口７３と前記の周溝９４とを通って第２圧力ポートＰ２へ円滑に排出されると共に、前記の逆止弁座８３の外周空間とメータイン入口７３と周溝９４とを通って上記の第２圧力ポートＰ２へ円滑に排出される。
上記の第２実施形態は次のように変更可能である。
前記の第２給排路２２の一端部(第２作業ポートＡ２側の端部)は、第２取付け穴３２と偏心状に配置するとしたが、これに代えて、その第２取付け穴３２と同心状に配置してもよい。また、上記の第２給排路２２の他端部(第２圧力ポートＰ２側の端部)は、第２取付け穴３２の周面に斜めに開口させるとしたが、これに代えて、その第２取付け穴３２と直交させてもよい。
筒状ケーシング７０の胴部７０ａの左端部(先端部)は、上記の第２取付け穴３２の底壁３２ａに強力に接当させることが好ましいが、これに代えて、その底壁３２ａに対して微小な隙間をあけて近接させてもよい。即ち、前記の第２作業ポートＡ２と前記の第２圧力ポートＰ２との両者を胴部７０ａによって完全に区画することは必須要件ではなく、上記の両者間に僅かな漏れが発生しても支障ない。また、上記の第２取付け穴３２の底壁３２ａには、例示した胴部７０ａを接当または近接させることに代えて、前記の保持具８１の左端面を接当または近接させても良い。
前記の絞り隙間Ｇは、逆止ボール８２と絞り弁座８９との間に形成するとしたが、これに代えて、又は、これに加えて、前記の弁室７４の周壁７４ａの左端面(逆止弁座８３の左端面)と上記の絞り弁座８９との間に上記の絞り隙間Ｇを形成するようにしてもよい。
なお、前記ワークパレット４が前記の油路１７及び別の油路(図示せず)を備えてない場合には、クランプ１は次のように使用される。
前記の第１取付け穴３１には、メータアウト流量制御弁３５に代えて、圧油給排用の外部配管を接続する。また、前記の第２取付け穴３２にも、メータイン流量制御弁６８に代えて、別の外部配管を接続する。
即ち、上記の取付け穴３１・３２のメネジ部を流量制御弁の取付け用と外部配管の接続用とに兼用することにより、クランプ１を標準化できる。
図４Ａ・図４Ｂ・図４Ｃは、それぞれ、本発明の変形例を示し、前記の図２Ｂまたは図３Ｂに類似する部分図である。これらの変形例においては、上記の図２Ｂまたは図３Ｂに類似する部材には同一の参照数字を付けてある。
図４Ａの第１変形例は、上記の図２Ｂに類似するメータアウト流量制御弁３５を示している。前記の弁室４４は、前記ロッド室４６の左部に形成した第１弁室部分９７と前記の保持具５１内に斜め向き形成した第２弁室部分９８とによって構成されている。この構成によれば、前記の調節ロッド４５を軸心方向へ進退させることにより、そのロッド４５に設けた前記の絞り弁座５９に対して前記の逆止ボール５２が偏心することが許容されるので、上記の両者５９・５２の間の絞り隙間Ｇを調節できる。
図４Ｂの第２変形例は、前記の図３Ｂに類似するメータイン流量制御弁６８を示している。前記の弁室７４は、前記ロッド室７６の左部に形成した第１弁室部分９７と前記の調節ロッド７５の左端部(先端部)内に斜め向き形成した第２弁室部分９８とによって構成されている。この構成によれば、前記の調節ロッド７５を軸心方向へ進退させることにより、前記の図４Ａと同様に、前記の絞り弁座８９に対して前記の逆止ボール８２が偏心することが許容されるので、上記の両者８９・８２の間の絞り隙間Ｇを調節できる。
図４Ｃの第３変形例は、上記の図４Ｂにおいて、前記の弁室７４を調節ロッド７５と同心状に形成し、その弁室７４の周壁７４ａの左端部(先端部)に退入溝９９を形成したものである。また、上記の周壁７４ａの内周の先端にはテーパ面１００が形成されている。そして、前記の調節ロッド７５を軸心方向へ進退させることにより、前記の図４Ｂと同様に、前記の絞り弁座８９に対して前記の逆止ボール８２が偏心することが許容されるので、上記の両者８９・８２の間の絞り隙間Ｇを調節できる。
上記の各実施形態や変形例は、さらに次のように変更可能である。
前記の逆止ボール５２・８２は、ポペット形またはニードル形等の他の形状に変更可能である。また、前記バネ５４・８４は、ゴム等によって代替可能である。
前記クランプ１は、例示した油圧複動式に代えて単動バネ復帰式であってもよく、作動流体は圧油等の液体に代えて圧縮空気等の気体であってもよい。そのクランプ１は、例示した旋回式の構造に限定されないことは勿論である。また、本発明の流量制御弁は、上記クランプ１のシリンダ装置２に装着することに代えて、そのクランプとは異なる用途のシリンダ装置に装着することも可能である。

Claims (7)

  1. 筒状ケーシング(４０)内で、メータアウト入口(４３)と、弁室(４４)と、調節ロッド(４５)を軸心方向へ進退可能に収容するロッド室(４６)と、メータアウト出口(４７)とを順に連通させ、
    上記の調節ロッド(４５)の先端部に絞り弁座(５９)を設け、その絞り弁座(５９)を上記の調節ロッド(４５)内の連通路(６０)を介して前記メータアウト出口(４７)に連通させ、
    上記の弁室(４４)に挿入した逆止部材(５２)を弾性体(５４)によって上記の絞り弁座(５９)へ向けて付勢し、
    上記の調節ロッド(４５)を軸心方向へ進退させることによって上記の絞り弁座(５９)と上記の逆止部材(５２)とを相対移動可能に構成し、これにより、上記の弁室(４４)の周壁(４４ａ)及び上記の逆止部材(５２)の少なくとも一方と上記の絞り弁座(５９)との間に形成した絞り隙間(Ｇ)を調節する、ことを特徴とする流量制御弁。
  2. 請求項１の流量制御弁において、
    前記ロッド室(４６)と前記の弁室(４４)とをほぼ同心状に配置し、その弁室(４４)の前記の周壁(４４ａ)の内周面に逆止弁座(５３)を設け、前記の逆止部材(５２)を前記の弾性体(５４)によって上記の逆止弁座(５３)に接当可能に構成した、ことを特徴とする流量制御弁。
  3. 筒状ケーシング(７０)内で、メータイン入口(７３)と、調節ロッド(７５)を軸心方向へ進退可能に収容するロッド室(７６)と、そのロッド室(７６)とほぼ同心状に配置された絞り弁座(８９)と、メータイン出口(７７)とを順に連通させ、
    上記の調節ロッド(７５)の先端部と上記ロッド室(７６)との少なくとも一方に弁室(７４)を設け、その弁室(７４)に挿入した逆止部材(８２)を弾性体(８４)によって上記の絞り弁座(８９)へ向けて付勢し、
    上記の調節ロッド(７５)を軸心方向へ進退させることによって上記の逆止部材(８２)と上記の絞り弁座(８９)とを相対移動可能に構成し、これにより、上記の弁室(７４)の周壁(７４ａ)及び上記の逆止部材(８２)の少なくとも一方と上記の絞り弁座(８９)との間に形成した絞り隙間(Ｇ)を調節する、ことを特徴とする流量制御弁。
  4. 請求項３の流量制御弁において、
    前記の調節ロッド(７５)の先端部内に前記の弁室(７４)を設けると共に、その弁室(７４)の前記の周壁(７４ａ)の内周面に逆止弁座(８３)を設け、前記の逆止部材(８２)を前記の弾性体(８４)によって上記の逆止弁座(８３)に接当可能に構成した、ことを特徴とする流量制御弁。
  5. 請求項１から４のいずれかに記載した流量制御弁を備えるシリンダ装置であって、
    そのシリンダ装置のハウジング(３)内で流体作動室(１１，１２)を作業ポート(Ａ１，Ａ２)と給排路(２１，２２)とを介して圧力ポート(Ｐ１，Ｐ２)に連通させ、上記の給排路(２１，２２)に連通する取付け穴(３１，３２)を上記ハウジング(３)の外面に開口させ、上記の取付け穴(３１，３２)に前記の筒状ケーシング(４０，７０)を装着し、
    上記の作業ポート(Ａ１，Ａ２)を前記メータアウト入口(４３)又は前記メータイン出口(７７)に連通させると共に、上記の圧力ポート(Ｐ１，Ｐ２)を前記メータアウト出口(４７)又は前記メータイン入口(７３)に連通させる、ことを特徴とする流量制御弁付きシリンダ装置。
  6. シリンダ装置のハウジング(３)内で流体作動室(１１，１２)を作業ポート(Ａ１，Ａ２)と給排路(２１，２２)とを介して圧力ポート(Ｐ１，Ｐ２)に連通させ、
    上記ハウジング(３)の外面に開口される取付け穴(３１，３２)を設け、その取付け穴(３１，３２)の底面に上記の給排路(２１，２２)の一端部を開口すると共に、上記の取付け穴(３１，３２)の周面に同上の給排路(２１，２２)の他端部を開口し、
    上記の取付け穴(３１，３２)に筒状ケーシング(４０，７０)を装着し、その筒状ケーシング(４０，７０)の先端部を上記の取付け穴(３１，３２)の底壁(３１ａ，３２ａ)に接当または近接させ、これにより、前記の作業ポート(Ａ１，Ａ２)と前記の圧力ポート(Ｐ１，Ｐ２)とを区画し、
    上記の筒状ケーシング(４０，７０)内に流量制御弁(３５，６８)のバルブ要素(５２，５３，５９)(８２，８３，８９)を配置し、上記の作業ポート(Ａ１，Ａ２)と圧力ポート(Ｐ１，Ｐ２)とを上記バルブ要素を介して連通可能に構成した、ことを特徴とする流量制御弁付きシリンダ装置。
  7. 請求項６の流量制御弁付きシリンダ装置において、
    前記の取付け穴(３１，３２)に前記の筒状ケーシング(４０，７０)の胴部(４０ａ，７０ａ)を螺合させた、ことを特徴とする流量制御弁付きシリンダ装置。

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