JP2021050765A - シリンダ装置 - Google Patents

Abstract

【課題】 シリンダ装置に備えられる流量制御弁に圧力流体を緩やかに供給することにある。【解決手段】ハウジング（１）のフランジ部（１ａ）の外面に装着孔（１３）が開口される。前記装着孔（１３）に流量制御弁（２０）のケーシング（２４）が装着される。前記装着孔（１３）の内周面と前記ケーシング（２４）の外周面との間に環状流路（３８）が区画形成される。前記装着孔（１３，１４）の雌ネジ部に螺合される前記ケーシング（２４）の雄ネジ部に連通溝（３９）が形成される。前記ケーシング（２４）の周壁にメータアウト出口（４０）が形成される。前記ケーシング（２４）の筒孔（２８）の内周面と前記弁部材（２９）の外周面との間に弁室（４１）が形成される。【選択図】 図２

Description

本発明は、流量制御弁を備えるシリンダ装置に関する。

この種の流量制御弁を備えるシリンダ装置には、従来では、特許文献１(日本国・特公平６−６０６９３号公報)に記載されたものがある。その従来技術は、次のように構成されている。
その従来技術の流量制御弁のケーシングは、圧油源からシリンダ装置までの圧油の配管やテーブル内に形成される流路の途中部であってシリンダ装置から離れた場所に配置されている。

特公平６−６０６９３号公報

上記の従来技術は次の問題がある。
上記の流量制御弁は、流路の途中部に装着されるので、圧油源（圧力流体の供給源）からの高圧な圧油（圧力流体）がケーシング内の弁室に直接かつ勢いよく供給される。このため、高圧な圧油によって、流量制御弁を構成する部材を摩耗したり、破損したりすることがある。
本発明の目的は、シリンダ装置に備えられる流量制御弁内に圧力流体を緩やかに給排することにある。

上記の目的を達成するため、第１の発明は、例えば、図１Ａから図３，図４に示すように、流量制御弁を備えるシリンダ装置を次のように構成した。
ハウジング１に形成されるシリンダ孔２にピストン３が軸方向に移動可能に挿入される。前記ピストン３の前記軸方向の先端側または基端側に流体作動室５，６が形成される。前記流体作動室５，６に連通される給排路１１，１２が前記ハウジング１に形成され、その給排路１１，１２が前記流体作動室５，６に圧力流体を給排する。前記給排路１１，１２の途中部に装着孔１３，１４が前記軸方向に対して交差する方向に形成される。装着孔１３，１４が前記ハウジング１のフランジ部１ａの外面に開口される。前記給排路１１，１２の一端部１１ａ，１２ａが装着孔１３，１４の底壁１３ａ，１４ａに開口されると共に、前記給排路１１，１２の他端部１１ｂ，１２ｂが装着孔１３，１４の周壁１３ｂ，１４ｂに開口される。前記装着孔１３，１４に流量制御弁２０が装着される。前記流量制御弁２０は、ケーシング２４と弁部材２９と弁孔３１と螺旋溝３２と環状流路３８と連通溝３９とメータアウト出口４０と弁室４１とメータアウト入口４２と逆止弁４３とを備える。前記装着孔１３，１４に形成される雌ネジ部に筒状のケーシング２４が螺合される。そのケーシング２４が前記装着孔１３，１４の底壁１３ａ，１４ａまたは周壁１３ｂ，１４ｂに当接されると共に、前記装着孔１３，１４の周縁であって前記フランジ部１ａの外面に当接される。前記ケーシング２４の筒孔２８内に弁部材２９が前記軸方向に移動可能に挿入される。前記ケーシング２４の前記筒孔２８の一部によって弁孔３１が構成され、その弁孔３１には、前記弁部材２９の先端部が挿入される。前記弁部材２９の先端部の外周壁に螺旋溝３２が形成される。前記弁孔３１と前記螺旋溝３２との間に絞り隙間Ｇが形成される。前記装着孔１３，１４の内周面と前記ケーシング２４の外周面との間に環状流路３８が区画形成される。前記環状流路３８に連通される連通溝３９が、前記装着孔１３，１４の雌ネジ部に螺合される前記ケーシング２４の雄ネジ部に形成される。前記ケーシング２４の周壁にメータアウト出口４０が形成される。前記メータアウト出口４０に連通される弁室４１、前記ケーシング２４の筒孔２８の内周面と前記弁部材２９の外周面との間に形成される。前記弁孔３1の先端側にメータアウト入口４２が設けられる。前記弁部材２９の内部に形成される逆止弁４３が、前記給排路１１，１２の前記他端部１１ｂ，１２ｂから前記一端部１１ａ，１２ａへの圧力流体の流れを許容すると共に、その逆の流れを制限する。

上記の第１の発明は、例えば、同上の図１Ａから図３，図４に示すように、次のように作用効果を奏する。
上記の流量制御弁を備えるシリンダ装置では、圧力流体の供給源から高圧の圧力流体が勢いよく供給されても、その圧力流体が環状流路と連通溝とメータアウト出口と弁室とを通ることにより、その圧力流体に流動抵抗が付与されながら逆止弁の逆止弁室に供給される。このため、ボールと逆止弁座との間の開弁隙間に到達する前に圧力流体の勢いが緩和され、圧油が開弁隙間を緩やかに流れる。従って、高圧の圧力流体の急激な流れによってボールや逆止弁座等が摩耗や破損するのを防止できる。

上記の目的を達成するため、第２の発明は、例えば、図５に示すように、流量制御弁を設けたシリンダ装置を次のように構成した。
ハウジング１に形成されるシリンダ孔２にピストン３が軸方向に移動可能に挿入される。前記ピストン３の前記軸方向の先端側または基端側に流体作動室５，６が形成される。前記流体作動室５，６に連通される給排路１１，１２が前記ハウジング１に形成され、その給排路１１，１２が前記流体作動室５，６に圧力流体を給排する。前記給排路１１，１２の途中部に装着孔１３，１４が前記軸方向に対して交差する方向に形成される。装着孔１３，１４が前記ハウジング１のフランジ部１ａの外面に開口される。前記給排路１１，１２の一端部１１ａ，１２ａが装着孔１３，１４の底壁１３ａ，１４ａに開口されると共に、前記給排路１１，１２の他端部１１ｂ，１２ｂが装着孔１３，１４の周壁１３ｂ，１４ｂに開口される。前記装着孔１３，１４に流量制御弁５０が装着される。前記流量制御弁５０は、ケーシング５４と弁部材５９と弁孔６１と螺旋溝６２と環状流路６８と連通溝６９とメータイン入口７０と弁室７１とメータイン出口７２と逆止弁７３とを備える。前記装着孔１３，１４に形成される雌ネジ部に筒状のケーシング５４が螺合される。そのケーシング５４が前記装着孔１３，１４の底壁１３ａ，１４ａまたは周壁１３ｂ，１４ｂに当接されると共に、前記装着孔１３，１４の周縁であって前記フランジ部１ａの外面に当接される。前記ケーシング５４の筒孔５８内に弁部材５９が前記軸方向に移動可能に挿入される。前記ケーシング５４の前記筒孔５８の一部によって弁孔６１が構成され、その弁孔６１には、前記弁部材５９の先端部が挿入される。前記弁部材５９の先端部の外周壁に螺旋溝６２が形成される。前記弁孔６１と前記螺旋溝６２との間に絞り隙間Ｇが形成される。前記装着孔１３，１４の内周面と前記ケーシング５４の外周面との間に環状流路５８が区画形成される。前記環状流路５８に連通される連通溝６９が、前記装着孔１３，１４の雌ネジ部に螺合される前記ケーシング５４の雄ネジ部に形成される。前記ケーシング５４の周壁にメータイン入口７０が形成される。前記メータイン入口７０に連通される弁室７１が、前記ケーシング５４の筒孔５８の内周面と前記弁部材５９の外周面との間に形成される。前記弁孔６1の先端側にメータイン出口７２が設けられる。前記弁部材５９の内部に形成される逆止弁７３が、前記給排路１１，１２の前記他端部１１ｂ，１２ｂから前記一端部１１ａ，１２ａへの圧力流体の流れを許容すると共に、その逆の流れを制限する。
この場合、圧力流体の供給源から高圧の圧力流体が勢いよく供給されても、その圧力流体が環状流路と連通溝とメータイン入口と弁室とを通ることにより、その圧力流体に流動抵抗が付与される。このため、絞り隙間に圧油が到達する前に圧油の流れが緩やかになる。よって、その圧油が螺旋溝と弁孔との間の開弁隙間を円滑に流れる。従って、高圧の圧力流体の急激な流れによって弁部材やケーシング等が摩耗や破損するのを防止できる。

図１Ａは、本発明の第１実施形態の流量制御弁付きシリンダ装置を備えたクランプの立面視の模式図である。図１Ｂは、上記の図１Ａ中の１Ｂ−１Ｂ線矢視の断面図である。 図２は、上記のクランプに装着した流量制御弁の断面図である。 図３は、上記の流量制御弁を示す断面図であり、図２に類似する図である。 図４は、上記第１実施形態の流量制御弁の変形例を示す断面図であり、上記の図２に類似する図である。 図５は、本発明の第２実施形態の流量制御弁を示しており、上記の図２に類似する図である。

図１Ａから図３は本発明の第１実施形態を示し、流量制御弁付きシリンダ装置を油圧複動式の旋回クランプに適用した場合を例示してある。
まず、図１Ａおよび図１Ｂによって上記クランプの構造を説明する。図１Ａは、上記クランプのリリース状態の立面視の断面図である。図１Ｂは、上記の図１Ａ中の１Ｂ−１Ｂ線矢視の部分平面図である。

上記旋回クランプのハウジング１がテーブルＴの装着孔に挿入される。ハウジング１の上部に設けたフランジ部１ａが複数のボルトＢによってテーブルＴの上面に固定される。ハウジング１内に、上下方向へ延びるシリンダ孔２が形成される。そのシリンダ孔２に挿入されるピストン３の下方にリリース室(流体作動室)５が形成され、上方にロック室(流体作動室)６が形成される。ピストン３から上下に突出させたクランプロッド７の上部にアーム８が固定され、そのクランプロッド７の下部とハウジング１の下壁１ｂとに跨って旋回機構９が設けられる。

図１Ａおよび図１Ｂに示すように、ハウジング１のフランジ部１ａの下面に第１給排路１１が開口され、その第１給排路１１がリリース室５に連通される。また、図１Ｂに示すように、フランジ部１ａの下面で第１給排路１１とは別の場所に第２給排路１２が開口され、その第２給排路１２がロック室６に連通される。その第１給排路１１に連通する第１装着孔１３がフランジ部１ａの右側面（外面）に開口されると共に、第２給排路１２に連通する第２装着孔１４が第１装着孔１３と左右横並び状にフランジ部１ａの右側面に開口される。第１装着孔１３の底壁１３ａに第１給排路１１の一端部１１ａが開口される。また、第１装着孔１３の周壁１３ｂの内周面に第１給排路１１の他端部１１ｂが斜めに開口される。また、第２装着孔１４の底壁１４ａの底面に第２給排路１２の一端部１２ａが開口される。また、第２装着孔１４の周壁１４ｂに第２給排路１２の（図示しない）他端部１２ｂが斜めに開口される。その第１装着孔１３にメータアウト流量制御弁２０が着脱可能に装着され、第２装着孔１４に閉栓用のプラグ２１が着脱可能に装着される。

上記旋回クランプは、図１Ａに示すように、次のように作動する。
前記テーブルＴの上面に搬入したワーク(図示せず)をクランプするために、上記旋回クランプを図１Ａのリリース状態からロック状態へロック駆動させるときには、リリース状態において、リリース室５から圧油がハウジング１の外部へ排出されると共に、圧力源からの圧油がロック室６に供給される。すると、ピストン３が旋回機構９によってクランプロッド７の軸心周りに回転されながら下降される。次いで、クランプロッド７及びアーム８は、真っすぐに下方へ移動される。すると、アーム８がワークの上方から押圧して、ピストンロッド７およびピストン３は停止される。これにより、旋回クランプは、リリース状態からロック状態へ切り換えられる。

上記ロック状態のクランプ１をリリース状態に切り換えるときには、ロック室６から圧油が排出されると共に、リリース室５に圧油が供給される。これにより、下降位置のクランプロッド７及びアーム８は、まず、真っすぐ上方へ移動されて、引き続いて、旋回しながら上昇復帰される。

上記メータアウト流量制御弁２０の具体的な構造を、図１Ａを参照しながら図２および図３の部分断面図によって説明する。
メータアウト流量制御弁２０の筒状のケーシング２４は、基端部分２４ａと、胴部分２４ｂと、先端部分２４ｃとを有する。胴部分２４ａの外周壁に雄ネジ部が形成される。その基端部分２４ａは、胴部分２４ｂより大径に形成されている。先端部分２４ｃは、胴部分２４ｂの筒孔に挿入される。そして、胴部分２４ｂの薄肉状の左端外周壁が外側からの外力によって塑性変形されて、その左端外周壁が胴部分２４ｂを締め付けることにより当該胴部分２４ｂに一体となるように固定されている。

上記の胴部分２４ａの外周壁に形成される雄ネジ部が、第１装着孔１３の内周壁に形成される雌ネジ部に螺合され、ケーシング２４の先端部分２４ｃの左端部(先端部)が底壁１３ａに当接されている。ケーシング２４内に筒孔２８が貫通するように形成され、その筒孔２８内に第１弁部材２９が左側（胴部分２４ｂの先端側）から螺入される。第１弁部材２９の右端部には、六角レンチ(図示せず)が挿入される調節穴２９ａが形成される。その第１弁部材２９が六角レンチによって締付け回転および緩め回転されることにより左右方向（ケーシングの筒孔の軸方向）へ移動されるように構成される。その第１弁部材２９の右部がケーシング２４の基端部分２４ｂの右端面から右側へ突出している。その弁部材２９の右部にロックナット３０が装着され、第１弁部材２９がケーシング２４にロックナット３０によって固定されている。ケーシング２４の先端部分２４ｃの筒孔によって弁孔３１が構成される。その弁孔３１に第１弁部材２９の左端部（先端部）が左右方向へ移動可能に挿入され、その第１弁部材２９の左端部の外周壁に螺旋溝３２が形成される。その螺旋溝３２が先端側に向かうにつれて溝の深さが深くなると共に、溝幅も広くなるように形成されている。その弁孔３１の内周面と螺旋溝３２内との間に絞り隙間Ｇが形成される。また、ケーシング２４の先端部分２４ｃの右端部であって弁孔３１の周壁に弁座３３が形成され、その弁座３３に当接可能な弁面３４が、第１弁部材２９の周壁であって螺旋溝３２の端部より右側（基端側）に形成される。

上記のケーシング２４の筒孔２８の途中部に段差部分が形成され、その段差部分に係止部３５が設けられる。その係止部３５に当接可能な係合部３６が、第１弁部材２９の外周壁に形成される。そのケーシング２４の係止部３５は、係合部３６を介して第１弁部材２９を右側（基端側）から受け止めることができる。このため、第１弁部材２９を過度に緩め回転して、第１弁部材２９が誤って取り外されることが防止できる。

前述したように、ケーシング２４の先端部材２４ｃの左端部(先端部)が底壁１３ａに当接されている。その当接部分が、第１装着孔１３内を第１給排路１１の一端部１１ａ側と他端部１１ｂ側とに区画している。また、ケーシング２４の基端部分２４ａの左端面が封止具３７を介してフランジ部１ａの右側外面（外面）に当接される。このため、第１装着孔１３の内周面とケーシング２４の外周面との間に環状の環状流路３８が区画形成される。その環状流路３８に連通される連通溝３９が、第１弁部材２９の外周壁に左右方向へ形成される。その連通溝３９に連通されるメータアウト出口４０が、ケーシング２４の胴部分２４ｂの周壁に貫通するように形成される。メータアウト出口４０が連通される弁室４１が、ケーシング２４の筒孔２８の内周面と第１弁部材２９の外周面との間に形成される。その弁室４１が絞り隙間Ｇと弁孔３１の先端側に隣接されるメータアウト入口４２とを通って第１給排路１１の一端部１１ａに連通される。

上記の第１弁部材２９の内部に逆止弁４３の逆止弁室４４が、当該第１弁部材２９の軸方向に形成される。その逆止弁室４４は、弁室４１および弁孔３１に連通される。その逆止弁室４４内に逆止弁部材としてのボール４５が挿入される。その逆止弁室４４の周壁の内周面に逆止弁座４６が形成され、ボール４５がバネ(弾性体)４７によって逆止弁座４６に向けて右方（基端側）に付勢される。このため、その逆止弁４３は、弁室４１から弁孔３１への圧油の流れを許容すると共に、その反対の圧油の流れを制限する。

そして、図２に示すように、上記の第１弁部材２９を右側限界位置まで緩め回転した状態では、第１弁部材２９の係合部３６がケーシング２４の係止部３５に右側から受け止められている。その第１弁部材２９の先端部の一部分が弁孔３１内に挿入されている。このため、第１給排路１１の一端部１１ａの圧油が螺旋溝３２の溝深さが最も深くて溝幅が最も広い部分（最も広い絞り隙間Ｇ）を通って室４１へ円滑に流れる。

上記の第１弁部材２９を右側限界位置まで緩め回転した図２に示す状態から、第１弁部材２９を締付け回転させていくと、その第１弁部材２９が左方（先端側）へ（筒孔２８の軸方向）へ進出される。このため、第１弁部材２９の螺旋溝３２が弁孔３１内に挿入されていく。よって、螺旋溝３２の溝深さが浅くて溝幅が狭い部分が弁孔３１に挿入されていくので、絞り隙間Ｇに流れる圧油の流量は減少される（絞られる）。そして、第１弁部材２９を左限界位置まで締付け回転した図３に示す状態となったときに、螺旋溝３２の全体が弁孔３１内に挿入されるので絞り隙間Ｇは閉鎖される。それに加えて、弁部材の弁面４４がケーシング２４の弁座３３に係合されるので絞り隙間Ｇは確実に閉鎖される。また、図３に示す状態から第１弁部材２９を緩め回転させていくと、その第１弁部材２９が右方（基端側）へ後退される。このため、絞り隙間Ｇが深く広くなっていき、絞り隙間Ｇに流れる圧油の流量が増していく。引き続いて、第１弁部材２９を緩め回転させていくと、第１弁部材２９の係合部３６がケーシング２４の係止部３５に受け止められて、第１弁部材２９が停止される。このとき、第１弁部材２９の螺旋溝３２の左端部(先端部)は、弁孔３１内に挿入されており、弁孔３１から離間されていない。このため、弁室４１の圧油が絞り隙間Ｇを通って円滑に弁孔３１に供給される。従って、絞り隙間Ｇから弁室４１に排出直後の流れが乱流になるのを防止できる。

上記のメータアウト流量制御弁２０を備える旋回クランプ装置において、リリース室５内の圧油をハウジング１の外部へ排出するときには、リリース室５の圧油は、メータアウト入口４２と絞り隙間Ｇと弁室４１とメータアウト出口４０と連通溝３９と環状流路３８と第１給排路１１の他端部１１ｂとを通ってハウジング１の外部へ排出される。その排出される圧油は、絞り隙間Ｇを通過する間に大きな流動抵抗が付与されるので、緩やかな速度で排出されていく。

上記と逆に、圧油源からリリース室５へ圧油を供給するときには、第１給排路１１の他端部１１ｂの圧油は、環状流路３８と連通溝３９とメータアウト出口４０と弁室４１とを通ることにより流動抵抗を受けるので、逆止弁室４４に到達する前に圧油の流れが緩やかになる。その圧油が逆止弁室４４に緩やかに供給され、その逆止弁室４４の圧力によってボール４５を逆止弁座４６から離間させる。これにより、逆止弁室４４の圧油は、開弁隙間とメータアウト入口４４と第１給排路１１の一端部１１ａとを通ってリリース室５へ円滑に供給される。

上記の第１実施形態は次のように変更可能である。
前記の第１給排路１１の一端部１１ａは、第１装着孔１３と同芯状に配置することに代えて、第１装着孔１３に対して偏心状に配置してもよい。また、上記の第１給排路１１の他端部１１ｂは、第１装着孔１３の周面に斜めに開口させることに代えて、その第１装着孔１３と直交するように開口させてもよい。

図４および図５は、上記第１実施形態の変形例および本発明の第２実施形態を示している。この第１実施形態の変形例および第２実施形態においては、上記の第１実施形態の構成部材と同じ部材(または類似する部材)には原則として同一の参照数字を付けて説明する。この第２実施形態が上記の第１実施形態と異なる点は次の通りである。

図４に示す第１実施形態の変形例は、上記の第１実施形態とは次の点で異なる。
変形例のメータアウト流量制御弁２０Ａのケーシング２４Ａは、基端部分２４ｄと胴部分２４ｅと先端部分２４ｆとを有する。胴部分２４ｅの筒孔の先端側に先端部分２４ｆが圧入されている。その先端部分２４ｆの筒孔によって弁孔３１Ａが構成され、その弁孔３１Ａに第１弁部材２９の先端部が挿入されている。その第１弁部材２９の先端部に形成される螺旋溝３２と弁孔３１Ａとの間に絞り隙間Ｇが形成される。また、第１実施形態の基端部分２４ａの左端面とフランジ部１ａの右側外面との間に隙間が形成されているのに対して、変形例の基端部分２４ｄの左端面とフランジ部１ａの右側外面とは当接されている。また、その胴部分２ｅの先端側に突設部４７が筒孔２８の径方向の外方に向けて周方向に突設されている。その突設部４７の外周面が装着孔１３の内周面に当接されている。その当接部分によって装着孔１３内が第１給排路の一端部１１ａ側と他端部１１ｂ側とに区画される。

図５に示す第２実施形態は、上記の第１実施形態とは次の点で異なる。
上記の第１装着孔１３にメータアウト流量制御弁２０が装着されることに代えて、プラグ２１が装着される。また、図５に示すように、第２装着孔１４にメータイン流量制御弁５０が装着される。

本実施形態のメータイン流量制御弁５０の筒状のケーシング５４は、基端部分５４ａと胴部分５４ｂと先端部分５４ｃとを有する。胴部分５４ｂの筒孔の先端側に先端部分５４ｃが螺合されている。その先端部分５４ｃの筒孔によって弁孔６１が構成され、その弁孔６１に第２弁部材５９の先端部が挿入されている。その第２弁部材５９の先端部に形成される螺旋溝６２と弁孔６１との間に絞り隙間Ｇが形成される。また、胴部分５４ｂの先端面および先端部分５４ｃの先端面が第２装着孔１４の底壁１４ａに当接されている。また、第２装着孔１４の底壁１４ａに第２給排路１２の一端部１２ａが、当該装着孔１４に対して偏心した位置に（上方へ平行移動した位置に）開口される。

上記ケーシング５４の胴部分５４ｂが第２装着孔１４に螺合され、ケーシング５４の先端部材５４ｃの左端部が第２装着孔１４の底壁１４ａに当接される。また、ケーシング５４の基端部分５４ａの左端面が封止具６７を介してフランジ部１ａの右側外面に当接される。このため、第２装着孔１４の内周面とケーシング５４の外周面との間に環状の環状流路６８が区画形成される。その環状流路６８に連通される連通溝６９が、第２弁部材５９の外周壁に左右方向へ形成される。その連通溝６９が連通するメータイン入口７０が、ケーシング５４の胴部分５４ｂの周壁に貫通するように形成される。メータイン入口７０が連通する弁室７１が、ケーシング５４の筒孔５８の内周面と第２弁部材５９の外周面との間に形成される。その弁室７１が絞り隙間Ｇと弁孔６２の先端側に隣接されるメータイン出口７２とを通って第２給排路１２の一端部１２ａに連通される。

上記の第２弁部材５９の内部に逆止弁７３の逆止弁室７４が、当該第２弁部材５９の軸方向に形成される。その逆止弁室７４は、弁室７１および弁孔６２に連通される。その逆止弁室７４内に逆止弁部材としてのボール７５が挿入される。その逆止弁室７４の周壁の内周面に逆止弁座７６が形成され、ボール７５がバネ(弾性体)７７によって逆止弁座７６に向けて右方（基端側）に付勢される。このため、その逆止弁７３は、弁孔６２から弁室７１への圧油の流れを許容すると共に、その反対の圧油の流れを制限する。

上記メータイン流量制御弁５０は、図５に示すように、次のように作動する。
圧油源からの圧油がロック室６に供給されるときには、第２給排路１２の他端部１２ｂの圧油は、環状流路６８とメータイン入口７０と弁室７１と（弁孔６１と螺旋溝６２との間に形成される）絞り隙間Ｇと弁孔６１とメータイン出口７２とを通ってロック室６に供給される。圧油源から高圧の圧油が供給される場合であっても、その圧油が環状流路６８と連通溝６９とメータイン入口７０とを通ることで絞り隙間Ｇに到達する前に大きな流動抵抗が付与され、絞り隙間Ｇを通過する間にさらに大きな流動抵抗が付与されるので、その圧油は、緩やかな速度でメータイン出口７２から第２給排路１２の他端部１２ｂに供給される。

上記とは逆に、ロック室６の圧油がハウジング１の外部へ排出されるときには、ロック室６の圧油は、メータイン出口７２と弁孔６２とを通って逆止弁室７４に供給され、その圧油の圧力によってボール７５が逆止弁座７６から離間される。これにより、逆止弁室７４に供給された圧油は、開弁隙間と弁室７１とメータイン入口７０と環状流路６８とを通って第２給排路１２の他端部１２ｂからハウジング１の外部へ円滑に排出される。

上記の第２実施形態は次のように変更可能である。
前記の第２給排路１２の一端部１２ａは、第２装着孔１４と偏心状に配置することに代えて、同芯状に配置してもよい。また、上記の第２給排路１２の他端部１２ｂは、第２装着孔１４の周面に斜めに開口させることに代えて、その第２装着孔１４と直交させてもよい。
筒状ケーシング５４の先端部分５４ｃの左端部(先端部)を第２装着孔１４の底壁３２ａに強力に当接させることに代えて、先端部分５４ｃもしくは胴部分５４ｂの外周壁を第２装着孔１４の内周壁に当接させてもよい。

上記の各実施形態や変形例は、さらに次のように変更可能である。
第１実施形態のメータアウト流量制御弁２０が第１装着孔１３に装着されることに代えて、第２装着孔１４に装着されてもよい。また、第２実施形態のメータイン流路制御弁５０が第２装着孔１４に装着されることに代えて、第１装着孔１３に装着されるようにしてもよい。さらに、第１装着孔１３と第２装着孔１４の双方に、メータアウト流量制御弁２０、または、メータイン流量制御弁５０を装着してもよい。
メータアウト流量制御弁２０およびメータイン流量制御弁５０のケーシング２４，５４は、先端部分を装着孔の内周壁に当接させるようにしてもよく、また、メータアウト流量制御弁２０Ａの先端部分を装着孔の底壁に当接させるようにしてもよい。
前記の螺旋溝３２，６２は、第１，第２弁部材２９，５９の外周壁に１つ形成されることに代えて、複数本平行して形成されてもよい。また、螺旋溝３２，６２が第１，第２弁部材２９，５９の外周壁に１周形成されることに代えて、複数周形成されてもよく、また、1周に満たなくてもよい。その螺旋溝３２，６２の始点を軸方向へずらして複数本形成してもよい。その場合、螺旋溝３２，６２の溝深さおよび溝幅を左方（先端側）に向かうにつれて深くおよび広くなるように形成することに代えて、一定に形成してもよい。
前記のボール４５，７５は、ポペット形またはニードル形等の他の形状に変更可能である。また、前記バネ（弾性体）４７，７７は、金属製のバネに限られず、ゴムや樹脂等の部材によって代替可能である。
前記旋回クランプは、例示した油圧複動式に代えて単動バネ復帰式であってもよく、作動流体は圧油等の液体に代えて圧縮空気等の気体であってもよい。そのクランプは、例示した旋回式の構造に限定されず、リンク式の構造であってもよい。また、本発明の流量制御弁は、上記クランプのシリンダ装置に装着することに代えて、そのクランプとは異なる用途、例えば、ツールチェンジャの駆動用シリンダ装置やワークサポートなどに装着することも可能である。
その他に、当業者が想定できる範囲で種々の変更を行えることは勿論である。

１：ハウジング，１ａ：フランジ部，２：シリンダ孔，３：ピストン５：流体作動室（リリース室），６：流体作動室（ロック室），１１：給排路（第１給排路），１１ａ：一端部，１１ｂ：他端部，１２：給排路（第２給排路），１２ａ：一端部，１２ｂ：他端部，１３：装着孔（第１装着孔），１３ａ：底壁，１３ｂ：周壁，１４：装着孔（第２装着孔），１４ａ：底壁，１４ｂ：周壁，２０：流量制御弁，２４：ケーシング，２８：筒孔，２９：弁部材（第１弁部材），３１：弁孔，３２：螺旋溝，３８：環状流路３８，３９：連通溝，４０：メータアウト出口，４１：弁室，４２：メータアウト入口，４３：逆止弁，５０：流量制御弁，５４：ケーシング，５８：筒孔，５９：弁部材（第２弁部材），６１：弁孔，６２：螺旋溝，６８：環状流路，６９：連通溝，７０：メータイン入口，７１：弁室，７２：メータイン出口，７３：逆止弁，Ｇ：絞り隙間．

Claims (2)

1. ハウジング（１）に形成されるシリンダ孔（２）に軸方向に移動可能に挿入されるピストン（３）と、
   前記ピストン（３）の前記軸方向の先端側または基端側に形成される流体作動室（５，６）と、
   前記流体作動室（５，６）に連通されるように前記ハウジング（１）に形成されると共に、前記流体作動室（５，６）に圧力流体を給排する給排路（１１，１２）と、
   前記給排路（１１，１２）の途中部に前記軸方向に対して交差する方向に形成されると共に、前記ハウジング（１）のフランジ部（１ａ）の外面に開口される装着孔（１３，１４）であって、前記給排路（１１，１２）の一端部（１１ａ，１２ａ）が当該装着孔（１３，１４）の底壁（１３ａ，１４ａ）に開口されると共に、前記給排路（１１，１２）の他端部（１１ｂ，１２ｂ）が当該装着孔（１３，１４）の周壁（１３ｂ，１４ｂ）に開口される装着孔（１３，１４）と、
   前記装着孔（１３，１４）に装着される流量制御弁（２０）と、を備え、
   前記流量制御弁（２０）は、
   前記装着孔（１３，１４）に形成される雌ネジ部に螺合される筒状のケーシング（２４）であって、前記装着孔（１３，１４）の底壁（１３ａ，１４ａ）または周壁（１３ｂ，１４ｂ）に当接されると共に、前記装着孔（１３，１４）の周縁であって前記フランジ部（１ａ）の外面に当接されるケーシング（２４）と、
   前記ケーシング（２４）の筒孔（２８）内に前記軸方向に移動可能に挿入される弁部材（２９）と、
   前記ケーシング（２４）の前記筒孔（２８）の一部によって構成されると共に、前記弁部材（２９）の先端部が挿入される弁孔（３１）と、
   前記弁部材（２９）の先端部の外周壁に形成される螺旋溝（３２）と、
   前記弁孔（３１）と前記螺旋溝（３２）との間に形成される絞り隙間（Ｇ）と、
   前記装着孔（１３，１４）の内周面と前記ケーシング（２４）の外周面との間に区画形成される環状流路（３８）と、
   前記環状流路（３８）に連通される連通溝（３９）であって、前記装着孔（１３，１４）の雌ネジ部に螺合される前記ケーシング（２４）の雄ネジ部に形成される連通溝（３９）と、
   前記ケーシング（２４）の周壁に形成されるメータアウト出口（４０）と、
   前記メータアウト出口（４０）に連通されると共に、前記ケーシング（２４）の筒孔（２８）の内周面と前記弁部材（２９）の外周面との間に形成される弁室（４１）と、
   前記弁孔（３1）の先端側に設けられるメータアウト入口（４２）と、
   前記弁部材（２９）の内部に形成される逆止弁（４３）であって、前記給排路（１１，１２）の前記他端部（１１ｂ，１２ｂ）から前記一端部（１１ａ，１２ａ）への圧力流体の流れを許容すると共に、その逆の流れを制限する逆止弁（４３）と、を備える、
   ことを特徴とするシリンダ装置。
2. ハウジング（１）に形成されるシリンダ孔（２）に軸方向に移動可能に挿入されるピストン（３）と、
   前記ピストン（３）の前記軸方向の先端側または基端側に形成される流体作動室（５，６）と、
   前記流体作動室（５，６）に連通されるように前記ハウジング（１）に形成されると共に、前記流体作動室（５，６）に圧力流体を給排する給排路（１１，１２）と、
   前記給排路（１１，１２）の途中部に前記軸方向に対して交差する方向に形成されると共に、前記ハウジング（１）のフランジ部（１ａ）の外面に開口される装着孔（１３，１４）であって、前記給排路（１１，１２）の一端部（１１ａ，１２ａ）が当該装着孔（１３，１４）の底壁（１３ａ，１４ａ）に開口されると共に、前記給排路（１１，１２）の他端部（１１ｂ，１２ｂ）が当該装着孔（１３，１４）の周壁（１３ｂ，１４ｂ）に開口される装着孔（１３，１４）と、
   前記装着孔（１３，１４）に装着される流量制御弁（５０）と、を備え、
   前記流量制御弁（５０）は、
   前記装着孔（１３，１４）に形成される雌ネジ部に螺合される筒状のケーシング（５４）であって、前記装着孔（１３，１４）の底壁（１３ａ，１４ａ）または周壁（１３ｂ，１４ｂ）に当接されると共に、前記装着孔（１３，１４）の周縁であって前記フランジ部（１ａ）の外面に当接されるケーシング（５４）と、
   前記ケーシング（５４）の筒孔（５８）内に前記軸方向に移動可能に挿入される弁部材（５９）と、
   前記ケーシング（５４）の前記筒孔（５８）の一部によって構成されると共に、前記弁部材（５９）の先端部が挿入される弁孔（６１）と、
   前記弁部材（５９）の先端部の外周壁に形成される螺旋溝（６２）と、
   前記弁孔（６１）と前記螺旋溝（６２）との間に形成される絞り隙間（Ｇ）と、
   前記装着孔（１３，１４）の内周面とケーシング（５４）の外周面との間に区画形成される環状流路（６８）と、
   前記環状流路（６８）に連通される連通溝（６９）であって、前記装着孔（１３，１４）の雌ネジ部に螺合させる前記ケーシング（５４）の雄ネジ部に形成される連通溝（６９）と、
   前記ケーシング（５４）の周壁に形成されるメータイン入口（７０）と、
   前記メータイン入口（７０）に連通されると共に、前記ケーシング（５４）の筒孔（５８）の内周面と第２弁部材（５９）の外周面との間に形成される弁室（７１）と、
   前記弁孔（６２）の先端側に設けられるメータイン出口（７２）と、
   前記第２弁部材（５９）の内部に形成される逆止弁（７３）であって、前記給排路（１１，１２）の前記一端部（１１ａ，１２ａ）から前記他端部（１１ｂ，１２ｂ）への圧力流体の流れを許容すると共に、その逆の流れを制限する逆止弁（７３）と、を備える、
   ことを特徴とするシリンダ装置。

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