JPWO2002056461A1 - 高周波用半導体装置 - Google Patents
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Abstract
Description
この発明は、高周波用装置に関するもので、特にマルチフィンガヘテロ接合バイポーラトランジスタを用いた増幅器の電力効率と雑音特性と熱的安定性の改善に関する。
背景技術
最近の携帯端末機、例えば携帯電話の普及においては、小型軽量化が開発の重要なポイントとなっており、高出力電力増幅器がキーパーツになってきている。
ヘテロ接合バイポーラトランジスタ(Heterojunction bipolar transistor、以下HBTという)は高い電流利得βを有し、エミッタをAlGaAsで、ベースをGaAsで構成したGaAs系のHBTではその高速性と合わせて、携帯電話の高出力電力増幅器に多く用いられている。
高出力化を実現するためには、HBTでは所定の出力を得るために大きなエミッタサイズが必要になる。この大きなエミッタサイズを得るためには、ベース抵抗を低減するために幅の狭いエミッタで構成したHBTを複数個並列に接続した、いわゆるマルチフィンガ構成とすることが必要である。以下このマルチフィンガ構成のHBTをマルチフィンガHBT、このマルチフィンガHBTを構成する個々のHBTを基本HBTと呼ぶことにする。
第11図は従来の高出力電力増幅器の構成を示すブロック図である。
第11図において、100は電力増幅器、102は電力増幅器100の初段として働くマルチフィンガHBT、104はマルチフィンガHBT102の基本HBTで、X11、X12、・・・、X1m、が並列に接続されている。個々の基本HBT104は、HBT104aとこのHBT104aのエミッタ電極に直列に接続されたエミッタ抵抗104bとから構成されている。基本HBT104には信号電力がHBT104aのベース電極に入力され、増幅された信号出力はHBT104aのコレクタ電極から出力される。エミッタ電極はエミッタ抵抗104bを介して接地されている。
106は増幅器100の出力段として働くマルチフィンガHBT、108はマルチフィンガHBT106の基本HBTで、X21、X22、・・・、X2n、が並列に接続されている。個々の基本HBT108の構成はマルチフィンガHBT102の基本HBT104と同じ構成で、HBT108aとこのHBT108aのエミッタ電極に直列に接続されたエミッタ抵抗108bとから構成されている。基本HBT108には信号電力がHBT108aのベース電極に入力され、増幅された信号出力はHBT108aのコレクタ電極から出力される。エミッタ電極はエミッタ抵抗108bを介して接地されている。
110は入力端子、112は出力端子、114は電源電圧端子、116はベースバイアス回路、118,120,122,124,126,128,及び130はそれぞれ整合回路である。
HBT104aやHBT108aは高温になると、ベースの順方向電圧VBEが低くなる。またGaAsなどの化合物半導体基板では熱抵抗が高いために、多数のHBT104aやHBT108aが並列に接続されて配置されているときに、一つのHBT104aやHBT108aに何らかの原因で電流が集中すると、このHBT104aやHBT108aの熱が上昇しさらにVBEが低下し、さらにこの部分に電流が集中するということが起きる。
ここで熱抵抗ΘTHは次式、ΘTH=ΔTj/ΔPで定義される。ただしTjはジャンクション温度、Pはパワーである。
基本HBT相互間の熱的な不均一のために、ある一つの基本HBTへの電流集中が発生し、その結果として動作電流の急激な変化が起きることは、例えば、IEEE TRANSACTIONS ON ELECTRON DEVICES,VOL.43,NO.2,FEBRUARY 1996,pp220−227に報告されている。
マルチフィンガHBT102や106において、特定のHBT104aや108aに電流集中が発生すると動作するHBT104や108が少なくなり、サイズに比例した電力が得られなくなる。このため特定のHBT104aや108aへの電流集中を防止するために、HBT104aや108aのベースもしくはエミッタに直列に抵抗を挿入して電流増幅率を低下させ電流集中を抑制している。
電力増幅器100においては、HBT104aや108aのエミッタ電極に直列にエミッタ抵抗を挿入し、基本HBT104や108を構成している。
しかしながら、HBT104aや108aのベースもしくはエミッタに直列に抵抗を挿入した場合、電力増幅器100の性能低下につながる。
すなわち、単にベース抵抗を挿入すると、入力に抵抗を挿入したことになるために損失が発生し、その損失分によって雑音特性が劣化する。さらに損失が発生したことによりHBTの利得が低下する。
一方、基本HBT104や108のように単にエミッタ抵抗を挿入すると、エミッタ抵抗104bや108bによる電圧低下によりVceが低下するために、電力効率が低下する。
このように基本HBTの熱的不均一を防ぐために、ベースもしくはエミッタに直列に抵抗を挿入して電流増幅率を低下させ電流集中を抑制することは有効ではあるが、単にベースもしくはエミッタに直列に抵抗を挿入した場合は雑音特性が劣化し、HBTの利得が低下したり、また電力効率が低下するという問題点があった。
また、公知例として特開平8−279561号公報にエミッタバラスト抵抗を用いたHBT素子やベースバラスト抵抗を用いたHBT素子の構成が記載されている。
また、1994 IEEE MTT−S Digest WE2A−6 p687−p690 にエミッタバラスト抵抗を用いたHBT素子の構成が記載されている。
第12図はエミッタバラスト抵抗を用いたHBT素子のみを用いて構成した従来のHBT多段増幅器のブロック図である。
第12図において、HBT多段増幅器140の初段として働くマルチフィンガHBT102及び出力段として働くマルチフィンガHBT106は、第11図と同様にエミッタ電極に直列に接続されたエミッタバラスト抵抗を有する基本HBTから構成されている。初段と出力段との間の中間段も全てエミッタ電極に直列に接続されたエミッタバラスト抵抗を有する基本HBTからなるマルチフィンガHBTで構成される。
また第13図はベースバラスト抵抗を用いたHBT素子のみを用いて構成した従来のHBT多段増幅器のブロック図である。
第13図において、HBT多段増幅器142は初段から出力段まで、中間段を含めて全てベースバラスト抵抗を有する基本HBTから構成されたマルチフィンガHBT144により構成されている。
このように従来のHBT多段増幅器140、142においては、エミッタバラスト抵抗を用いたマルチフィンガHBTのみで構成されるか、もしくは、ベースバラスト抵抗を用いたマルチフィンガHBTのみで構成されている。
一般にエミッタバラスト抵抗を用いたマルチフィンガHBTは、エミッタ−グランド間に抵抗が挿入されるため、抵抗がない場合と比較して、増幅器の入力、出力側両方において損失が増加する。出力側にも損失が入るため、増幅器の出力電力、効率特性を低下させている。
またベースバラスト抵抗を用いたマルチフィンガHBTはベースバイアス端子との間に抵抗が挿入されているため、出力側の損失は無い。そのため、出力電力、効率特性は、エミッタバラスト抵抗を用いたマルチフィンガHBTと比較して良い。しかし、入力側に大きな損失が入るため、雑音特性はエミッタバラスト抵抗を用いたマルチフィンガHBTと比較して悪い。
まとめると、エミッタバラスト抵抗を用いたマルチフィンガHBT102,106とベースバラスト抵抗を用いたマルチフィンガHBT144では、出力電力、効率特性においてはベースバラスト抵抗を用いたマルチフィンガHBT144の方が良く、雑音特性においては、エミッタバラスト抵抗を用いたマルチフィンガHBT102,106の方が良い。
このために、エミッタバラスト抵抗を用いたマルチフィンガHBTのみで構成したHBT多段増幅器140の場合、雑音特性は良いが、出力電力、効率特性は悪くなるという問題がある。一方ベースバラスト抵抗を用いたマルチフィンガHBT144のみで構成したHBT多段増幅器142の場合、出力電力、効率特性は良いが、雑音特性は悪くなるという問題がある。
送信機に用いられる増幅器においては、高出力、高効率な特性だけでなく、受信帯雑音といった仕様があり、低雑音な特性も、求められている。したがって、高出力、高効率な特性と低雑音な特性を同時に実現する必要がある。従来の構成のHBT多段増幅器140または142では、高出力、高効率な特性と低雑音な特性を同時に実現できず、どちらか一方しか、実現することができないという問題があった。
この発明はこのような問題点を解消するためになされたもので、この発明の第1の目的は、マルチフィンガHBTの電流集中を抑制しながら、雑音特性の劣化やHBTの利得低下が少なく、かつ電力効率の低下の少ない増幅回路を構成することにより、高周波特性の劣化が少なく、熱的安定性の高い増幅回路を備えた高周波用半導体装置を提供することである。
この発明の第2の目的は、電流集中に対する安定性が高く信頼性の高い増幅回路を備えた高周波用半導体装置を提供することである。
この発明の第3の目的は、高出力、高効率な特性と低雑音な特性を同時に実現できるHBT多段増幅器を備えた高周波用半導体装置を提供することである。
なお、特開平10−98336号公報に、高周波増幅回路において増幅回路の出力トランジスタの動作電流を電源電圧に無関係に、かつベース−エミッタ間電圧にのみ比例して設定できるバイアス回路を用いることにより、電源電圧や周囲温度などの動作環境が変化しても飽和出力レベル、歪特性の変動の少なくする発明の記載があるが以下に述べる発明についての記載はない。
発明の開示
この発明に係る高周波用半導体装置は、ヘテロ接合構造の第1のバイポーラトランジスタとこの第1のバイポーラトランジスタのエミッタ電極に直列に接続された抵抗値がRE1のエミッタ抵抗とを有する第1の基本トランジスタを、複数個並列接続して第1の半導体基板上に配設された増幅回路の第1の部分と、この第1の部分の出力信号を増幅するとともにヘテロ接合構造の第2のバイポーラトランジスタとこの第2のバイポーラトランジスタのベース電極に直列に接続された抵抗値がRB2のベース抵抗とを有する第2の基本トランジスタを、複数個並列接続して第2の半導体基板上に配設された増幅回路の第2の部分と、を備えたもので、電流集中を抑制しながら、簡単な構成で雑音指数を低く利得の低下を少なくしさらに電力効率の低下を少なくすることができる。ひいては、信頼性が高く、増幅特性に優れ、電力効率の高い高周波用半導体装置とすることができる。
さらに、第2の基本トランジスタにさらに第2のバイポーラトランジスタのエミッタ電極に直列に接続されたエミッタ抵抗を配設するとともに、第2のバイポーラトランジスタのベース電極に直列に接続されたベース抵抗の抵抗値をRB2よりも小さくしたもので、雑音特性を改善することができる。ひいては雑音特性に優れた高周波用半導体装置とすることができる。
さらに、増幅回路の第1の部分における第1の基本トランジスタ間のエミッタ間隔を増幅回路の第2の部分における第2の基本トランジスタ間のエミッタ間隔よりも広くしたもので、熱抵抗を小さくし、電流集中を起しにくくできる。ひいては電流集中に対する安定性が高く信頼性の高い高周波用半導体装置とすることができる。
さらに、増幅回路の第1の部分における第1の基本トランジスタのエミッタ抵抗の抵抗値をRE1より小さくしたもので、第1の部分における効率の低下を少なくすることができる。ひいては電力効率の高い高周波用半導体装置とすることができる。
また、ヘテロ接合構造の第1のバイポーラトランジスタとこの第1のバイポーラトランジスタのベース電極に直列に接続された抵抗値がRB1のベース抵抗と第1のバイポーラトランジスタのエミッタ電極に直列に接続された抵抗値がRE1のエミッタ抵抗とを有する第1の基本トランジスタを、この第1の基本トランジスタのエミッタのエミッタ間隔W1で、複数個並列接続して第1の半導体基板上に配設された増幅回路の第1の部分と、この第1の部分の出力信号を増幅するとともにヘテロ接合構造の第2のバイポーラトランジスタとこの第2のバイポーラトランジスタのベース電極に直列に接続された抵抗値がRB2のベース抵抗と第2のバイポーラトランジスタのエミッタ電極に直列に接続された抵抗値がRE2のエミッタ抵抗とを有する第2の基本トランジスタを、この第2の基本トランジスタのエミッタのエミッタ間隔W2で、複数個並列接続して第2の半導体基板上に配設された増幅回路の第2の部分と、を備え、W1>W2としたもので、熱抵抗を小さくし、電流集中を起こしにくくすることが出来る。ひいては電流集中に対する安定性が高く信頼性の高い高周波用半導体装置とすることができる。
さらに、第1の基本トランジスタのエミッタ抵抗の抵抗値RE1と第2の基本トランジスタのエミッタ抵抗の抵抗値RE2との関係を、RE1<RE2とし、第1の基本トランジスタのベース抵抗の抵抗値RB1と第2の基本トランジスタのベース抵抗の抵抗値RB2との関係をRB1<RB2としたもので、電流集中を抑制しながら、雑音指数を低く利得の低下を少なくしさらに電力効率の低下を少なくすることができる。ひいては、信頼性が高く、増幅特性に優れ、電力効率の高い高周波用半導体装置とすることができる。
さらに、増幅回路の第1の部分を初段とし、増幅回路の第2の部分を出力段としたもので、雑音指数に最も寄与する初段で雑音指数を低くしさらに電力効率に最も寄与する出力段において電力効率の低下を少なくすることができる。ひいては、効果的に、増幅特性に優れ、電力効率の高い高周波用半導体装置とすることができる。
さらに、第1の半導体基板と第2の半導体基板とを一体的に構成したもので、小型化を図ることができる。ひいては小型で安価な高周波用半導体装置とすることができる。
また、エミッタバラスト抵抗と接続されたヘテロ接合構造の第1のバイポーラトランジスタ素子を有する初段増幅回路が含まれた第1の増幅回路部分と、この第1の増幅回路部分の出力信号を増幅するとともにベースバラスト抵抗と接続されたヘテロ接合構造の第2のバイポーラトランジスタ素子を有する最終段増幅回路が含まれた第2の増幅回路部分と、を備えたもので、初段増幅回路を含む第1の増幅回路部分の低雑音の特性を実現し、最終段増幅回路を含む第2の増幅回路部分の高出力・高効率特性を実現できる。ひいては、高出力、高効率な特性と低雑音な特性を同時に実現できるHBT多段増幅器を備えた高周波用半導体装置とすることができる。
さらに、第1のバイポーラトランジスタ素子がヘテロ接合構造の第1のバイポーラトランジスタとこの第1のバイポーラトランジスタに接続されたエミッタバラスト抵抗とを有する第1の基本トランジスタを複数個並列接続してなるとともに第2のバイポーラトランジスタ素子がヘテロ接合構造の第2のバイポーラトランジスタとこの第2のバイポーラトランジスタに接続されたベースバラスト抵抗とを有する第2の基本トランジスタを複数個並列接続してなるもので、高出力化が可能で熱暴走を抑制することができる。ひいては、高出力で信頼性の高いHBT多段増幅器を備えた高周波用半導体装置とすることができる。
発明を実施するための最良の形態
以下に記載の実施の形態1から3においては、例えば二段構成の電力増幅器について説明するが、必ずしも2段ではなくそれ以上の多段構成でもかまわない。
実施の形態1.
この実施の形態は、増幅器の初段及び出力段をマルチフィンガHBTで構成し、この初段のマルチフィンガHBTを構成する基本HBTをHBTとこのHBTのエミッタに接続されたエミッタ抵抗とで構成し、出力段のマルチフィンガHBTを構成する基本HBTをHBTとこのHBTのベースに接続されたベース抵抗とで構成したものである。
第1図は実施の形態1に係る高出力電力増幅器の構成を示すブロック図である。
第1図において、10は電力増幅器で、12は電力増幅器10の初段として働く第1の部分としてのマルチフィンガHBT、14はマルチフィンガHBT12の第1の基本トランジスタとしての基本HBTで、C11、C12、・・・、C1m、としてm個並列に接続されている。
個々の基本HBT14は、HBT14aとこのHBT14aのエミッタ電極に直列に接続されたエミッタ抵抗14bとから構成されている。
基本HBT14のC11、C12、・・・、C1mは同一構造で、個々のHBT14a、エミッタ抵抗14bはそれぞれ同じ回路定数を有し、HBT14aは電流増幅率β1を、エミッタ抵抗14bは抵抗値RE1を有している。また基本HBT14はエミッタ間隔W1で配列されている。基本HBT14には、それぞれ信号電力が直接HBT14aのベース電極に入力され、増幅された信号出力はHBT14aのコレクタ電極から出力される。エミッタ電極はエミッタ抵抗14bを介して接地されている。
16は電力増幅器10の出力段として働く第2の部分としてのマルチフィンガHBT、18はマルチフィンガHBT16の第2の基本トランジスタとしての基本HBTで、C21、C22、・・・、C2n、として並列にn個接続されている。
個々の基本HBT18は、HBT18aとこのHBT18aのベース電極に直列に接続されたベース抵抗18cから構成されている。
基本HBT18のC21、C22、・・・、C2nは同一構造で、個々のHBT18a、ベース抵抗18cはそれぞれ同じ回路定数を有し、個々のHBT18aは電流増幅率β2を、ベース抵抗18cは抵抗値RB2を有している。また基本HBT18は、マルチフィンガHBT12と同じエミッタ間隔W1で配列されている。基本HBT18には、それぞれ信号電力がベース抵抗18cを介してHBT18aのベース電極に入力され、増幅された信号出力はHBT18aのコレクタ電極から出力される。エミッタ電極は直接接地されている。
エミッタ抵抗14bやベース抵抗18cは薄膜抵抗により構成される。エミッタ抵抗14bは薄膜抵抗ではなくエミッタ層をエピタキシャル成長により形成するときに同時に形成してもよい。
20は入力端子で信号電力が入力され、22は出力端子で増幅された信号電力が出力される。24は電源電圧端子でVccが印加される。26はベースバイアス回路でベース電圧を発生する。
28は初段のマルチフィンガHBT12の入力側に接続された入力整合回路、30は出力段のマルチフィンガHBT16の出力側に接続された出力整合回路、32は初段のマルチフィンガHBT12と出力段のマルチフィンガHBT16との間に接続された段間の整合回路、34は初段のマルチフィンガHBT12のベース電極とベースバイアス回路26との間に接続された整合回路、36は出力段のマルチフィンガHBT16のベース電極とベースバイアス回路26との間に接続された整合回路、38は初段のマルチフィンガHBT12のコレクタ電極と電源電圧端子24との間に接続された整合回路、40は出力段のマルチフィンガHBT16のコレクタ電極と電源電圧端子24との間に接続された整合回路である。
初段のマルチフィンガHBT12は整合回路34を介してベースバイアス回路26から個々の基本HBT14のベース電極にベース電圧が印加され、整合回路38を介して電源電圧端子24から、個々の基本HBT14のコレクタ電極にVccが印加される。
また出力段のマルチフィンガHBT16は整合回路36を介してベースバイアス回路26から個々の基本HBT18のベース電極にベース電圧が印加され、整合回路40を介して電源電圧端子24から、個々の基本HBT18のコレクタ電極にVccが印加される。
マルチフィンガHBT12のベース電極は入力整合回路28を介して入力端子20に接続され、コレクタ電極は整合回路32を介して出力段のマルチフィンガHBT16のベース電極に接続される。出力段のマルチフィンガHBT16のコレクタ電極は出力整合回路30を介して出力端子22に接続されている。
第2図は電力増幅器10の初段を構成するマルチフィンガHBT12の平面図である。第2図の鎖線で囲まれたA部は基本HBT14を示す。また第3図は第2図のIII−III断面の断面図である。第2図および第3図においてはエミッタ抵抗は図示していない。
第2図および第3図において、50はコレクタ層で、n+GaAs層で構成される。52はコレクタ電極である。54はベース層でコレクタ層50の表面上に2本のコレクタ電極52に挟まれて配設され、p+GaAs層で構成される。56はベース層54の表面に配設されたベース電極である。58はエミッタ層でベース層54の表面上に2本のベース電極56に挟まれて配設される。60はエミッタ電極でエミッタ層58の表面上に配設されている。W1はエミッタ間隔を示す。
第3図において、62は第1の半導体基板としてのGaAs基板で、コレクタ層50をその表面に配設している。64は基本HBT14を分離するアイソレータで、水素イオンH+等のイオン注入により形成される。アイソレータ64はコレクタ層50の表面から、コレクタ層50を貫通しGaAs基板62に達している。
電力増幅器10の出力段を構成するマルチフィンガHBT16も基本HBTの個数は異なるが、初段を構成するマルチフィンガHBT12の平面図である第2図、及びマルチフィンガHBT12の断面図である第3図と同様の構成である。
入力端子20に印加された信号電力は入力整合回路28を介して初段のマルチフィンガHBT12に入力され分岐されて、個々の基本HBT14のベース電極に入力され増幅される。個々の基本HBT14で増幅された信号電力は個々の基本HBT14のコレクタ電極から出力し、合成されて初段のマルチフィンガHBT12から出力される。
初段のマルチフィンガHBT12で増幅された信号電力は段間の整合回路32を介して出力段のマルチフィンガHBT16に入力され分岐されて、個々の基本HBT18のベース電極にベース抵抗18cを介して入力され再度増幅される。個々の基本HBT18で増幅された信号電力は個々の基本HBT18のコレクタ電極から出力し、合成されて出力段のマルチフィンガHBT16から出力され、出力整合回路30を介して、出力端子22から出力される。
出力段のマルチフィンガHBT16のサイズは、電力増幅器10に要求される出力電力により決定される。例えば出力電力1Wを得るために、エミッタの面積が10000μm2必要になるとすると、基本HBT18を構成するHBT18aのエミッタの面積が100μm2とすると、基本HBT18が100個必要である。すなわちマルチフィンガHBT16は100個の基本HBT18で構成されることになる。この出力段の利得が11dBであり、段間の整合回路32でのロスが−1dBであれば、初段のマルチフィンガHBT12に要求される出力電力は0.1Wとなる。すなわち、
1W=10log1000dBm=30dBm,30dBm−11dB+1dB=20dBm=0.1W
この出力を得るための、初段のマルチフィンガHBT12に必要なエミッタサイズは1000μm2である。これをエミッタ面積100μm2のHBT14aで構成すると基本HBT14が10個必要となる。
一般に基本HBTを構成する抵抗の抵抗値はGaAs基板の熱抵抗により変化する。例えばGaAs基板の厚みを100μmとすると、基本HBTのベース電極に直列に接続されるベース抵抗はRB=100Ω程度となる。エミッタ電極に直列に接続されるエミッタ抵抗は、HBTの電流増幅率βを100とすると、エミッタ抵抗としてRE=1Ω(=100Ω/100)が必要である。
マルチフィンガHBTの電流集中による特性劣化を抑制するためには、基本HBTとしてこれらのベース抵抗またはエミッタ抵抗を付加することが必要である。
従来例においては、初段も出力段も同じ構成にし、基本HBTは初段も出力段も単にエミッタ抵抗を接続していたが、この実施の形態に係る電力増幅器においては、初段の基本HBT14にはエミッタ抵抗14bのみを設け、出力段の基本HBT18にはベース抵抗のみを設けている。
例えば、1Wの出力電圧を電源電圧2Vで得るためには、出力段のマルチフィンガHBT16の電力効率を50パーセントとすると、コレクタ電流Icは
Ic=1/2/0.5=1A
となる。基本HBT18一つ当たりのコレクタ電流は10mAとなる。
もし従来例のようにエミッタ抵抗を設けた場合、コレクタ−エミッタ間電圧Vceは
Vce=2−0.1×1=1.99
となり、約1パーセント(=1.99/2)の効率低下となる。
しかしながらこの実施の形態1における電力増幅器10においては、出力段のマルチフィンガHBT16の基本HBT18にはベース抵抗のみ設け、エミッタ抵抗を付加していないので、この効率の低下は発生しない。
一方初段のマルチフィンガHBT12の基本HBT14にはエミッタ抵抗14bを付加しているので、1パーセントの効率低下が起きるが、出力段に比べて特に問題にならない。すなわち、出力段の電流は1000mAであり、これの1パーセントは10mAであるが、初段の電流は100mAであり、これの1パーセントは1mAであるために、その増減による寄与は小さい。
一方、電力増幅器全体の雑音指数NFtは、i段目の雑音指数をとし、利得をGiとすると、
NFt=NF1+NF2/G1+・・・+NFi/Gi+・・・
で表されるため、出力段にベース抵抗を付加したことにより、入力損失が2dB増加し、出力段の雑音指数が2dB劣化しても、初段の利得が10dBであるために、電力増幅器10全体としての雑音指数の劣化は、
2dB/10dB=0.2dB
に抑えられる。
この実施の形態1による電力増幅器10においては、初段のマルチフィンガHBT12の基本HBT14にはエミッタ抵抗14bのみを付加し、出力段のマルチフィンガHBT16の基本HBT18にはベース抵抗のみ設けたので、初段のマルチフィンガHBT12では入力信号の損失がないため雑音指数の劣化が発生せず、出力段のマルチフィンガHBT16ではコレクタ−エミッタ間電圧の低下が発生せず、電力効率の低下がない。
以上のように、この発明では、初段にはエミッタ抵抗を付加し出力段にはベース抵抗を採用することでマルチフィンガHBTの電流集中を防ぎながら、電力増幅器総体として、雑音指数と利得の向上を図り、電力効率の改善を図っている。ひいては、信頼性が高く、増幅特性に優れ、電力効率の高い電力増幅器を構成することができる。
実施の形態2.
この実施の形態2は、実施の形態1の出力段において、ベース抵抗の抵抗値を少し小さくし、その分をエミッタ抵抗で補償したもので、実施の形態1の電力増幅器10よりもさらに雑音特性の向上を図ったものである。
第4図は実施の形態2に係る高出力電力増幅器の構成を示すブロック図である。
第4図において、70は電力増幅器で、72は電力増幅器70の出力段として働く第2の部分としてのマルチフィンガHBT、74はマルチフィンガHBT72の第2の基本トランジスタとしての基本HBTで、C21、C22、・・・、C2n、として並列にn個接続されている。
個々の基本HBT74は、HBT74aとこのHBT74aのベース電極に直列に接続されたベース抵抗74cとHBT74aのエミッタ電極に直列に接続されたエミッタ抵抗74bとから構成されている。
基本HBT74のC21、C22、・・・、C2nは同一構造で、個々のHBT74a、エミッタ抵抗74b、ベース抵抗74cはそれぞれ同じ回路定数を有し、個々のHBT74aは電流増幅率β3を、エミッタ抵抗74bは抵抗値RE3、ベース抵抗74cは抵抗値RB3を有している。また基本HBT74は、マルチフィンガHBT12と同じエミッタ間隔W1で配列されている。
基本HBT74には、それぞれ信号電力がベース抵抗74cを介してHBT74aのベース電極に入力され、増幅された信号出力はHBT74aのコレクタ電極から出力される。エミッタ電極はエミッタ抵抗74bを介して接地されている。
第4図において、第1図と同じ符号は同じものか相当のものである。また以下の実施の形態においても同様である。
この電力増幅器70は、初段は実施の形態1と同じ構成になっており、基本HBT14にはエミッタ抵抗14bを用いているために、初段における雑音特性の劣化は少ない。問題となるのは出力段の回路構成である。
基本HBTのエミッタ抵抗の抵抗値REとベース抵抗RBとの間には電流増幅率をβとすると、RE=RB/βの関係がある。このため雑音特性に影響を与える出力段のベース抵抗を減らしその分をエミッタ抵抗で補償すれば、電流集中を防止しつつ雑音特性の劣化を少なくすることができる。
すなわち、実施の形態1の基本HBT18のベース抵抗の抵抗値をRB2とすると、この実施の形態2の基本HBT74では、
RB2=RB3+RE3/β3
と設定すればよい。すなわち
RB3=−RE3/β3
となり、RB3<RB2となり、この実施の形態の電力増幅器70は、実施の形態1の電力増幅器10よりも、雑音特性が向上する。
実施の形態3.
この実施の形態3は、増幅器の初段及び出力段をマルチフィンガHBTで構成し、このマルチフィンガHBTを構成する基本HBTをHBTとこのHBTのベース電極に接続されたベース抵抗とHBTのエミッタに接続されたエミッタ抵抗とで構成し、初段のマルチフィンガHBTを構成する基本HBTのエミッタ間隔を出力段のマルチフィンガHBTの基本HBTのエミッタ間隔より大きくするとともに初段のエミッタ抵抗を出力段のエミッタ抵抗より小さく、かつ初段のベース抵抗を出力段のベース抵抗より小さくしたものである。
第5図は実施の形態3に係る高出力電力増幅器の構成を示すブロック図である。
第5図において、75は電力増幅器で、76は電力増幅器75の初段として働く第1の部分としてのマルチフィンガHBT、78はマルチフィンガHBT12の第1の基本トランジスタとしての基本HBTで、C11、C12、・・・、C1m、としてm個並列に接続されている。
個々の基本HBT78は、HBT78aとこのHBT78aのエミッタ電極に直列に接続されたエミッタ抵抗78bとベース電極に直列に接続されたベース抵抗78cとから構成されている。
基本HBT78のC11、C12、・・・、C1mは同一構造で、個々のHBT78a、エミッタ抵抗78b、ベース抵抗78cはそれぞれ同じ回路定数を有し、HBT78aは電流増幅率β5を、エミッタ抵抗78bは抵抗値RE5を、ベース抵抗は抵抗値RB5を有している。また基本HBT78はエミッタ間隔W5で配列されている。
基本HBT78には、それぞれ信号電力がベース抵抗78cを介してHBT78aのベース電極に入力され、増幅された信号出力はHBT78aのコレクタ電極から出力される。エミッタ電極はエミッタ抵抗78bを介して接地されている。
80は電力増幅器75の出力段として働く第2の部分としてのマルチフィンガHBT、82はマルチフィンガHBT80の第2の基本トランジスタとしての基本HBTで、C21、C22、・・・、C2n、として並列にn個接続されている。
個々の基本HBT82は、HBT82aとこのHBT82aのベース電極に直列に接続されたベース抵抗18cとエミッタ電極に直列に接続されたエミッタ抵抗82bとから構成されている。
基本HBT82のC21、C22、・・・、C2nは同一構造で、個々のHBT82a、エミッタ抵抗82b、ベース抵抗82cはそれぞれ同じ回路定数を有し、個々のHBT82aは電流増幅率β6を、エミッタ抵抗82bは抵抗値RE6、ベース抵抗82cは抵抗値RB6を有している。また基本HBT82は、マルチフィンガHBT76より狭いエミッタ間隔W6で配列されている。
基本HBT82には、それぞれ信号電力がベース抵抗82cを介してHBT18aのベース電極に入力され、増幅された信号出力はHBT82aのコレクタ電極から出力される。エミッタ電極はエミッタ抵抗82bを介して接地されている。
基本HBT78,82は、基本構成は実施の形態1のものと同様である。
出力段のマルチフィンガHBT80において出力電圧が1Wで、この時の電力効率を50パーセントとすると、熱に変換される電力は1Wとなり、同様に初段のマルチフィンガHBT76において出力電圧が100mWで、この時の電力効率を50パーセントとすると、熱に変換される電力は100mWとなる。このように初段で発生する熱量は出力段に比較して少ない。
また、マルチフィンガHBTの面積は出力電力に比例するから、初段のマルチフィンガHBT76の面積は、出力段のマルチフィンガHBT80の面積の1/10でよいことになる。
しかしながらその一方で、熱抵抗は発熱する部分の面積が小さいほど高くなる。このために初段のマルチフィンガHBT76の面積を出力電圧に比例するように出力段のマルチフィンガHBT80の面積の1/10とすると、マルチフィンガHBT76の発熱量は少ないが熱抵抗が大きくなるために、熱集中を抑制するための基本HBT76に要求されるベース抵抗やエミッタ抵抗の抵抗値は出力段のマルチフィンガHBT80の基本HBT82のベース抵抗やエミッタ抵抗の抵抗値と同様の大きさになってしまう。
この実施の形態3の電力増幅器では、出力段の基本HBT82を通常どおりに許容される程度に稠密に、エミッタ間隔W6で配列するとともに、初段の基本HBT78を出力段のエミッタ間隔W6よりも広い間隔W5で配列している。
すなわち
W5>W6
としている。
エミッタ間隔W5を出力段のエミッタ間隔W6よりも広くすることにより、熱抵抗が高くならず、初段の基本HBT78を構成するベース抵抗78cの抵抗値RB5を、出力段の基本HBT82を構成するベース抵抗82cの抵抗値よりも小さくすることが可能である。すなわち、
RB5<RB6
とすることが出来る。
また初段の基本HBT78を構成するエミッタ抵抗78bの抵抗値RE5を、出力段の基本HBT82を構成するエミッタ抵抗82bの抵抗値RE6よりも小さくすることが可能である。すなわち
RE5<RE6
とすることが出来る。
この実施の形態においては初段のエミッタ間隔を出力段のエミッタ間隔より広げるによりことにより、初段における電流集中を防止するための初段の基本HBTのエミッタ抵抗、ベース抵抗を小さくすることにより、マルチフィンガHBTの電流集中を防ぎながら、電力増幅器総体として、雑音指数と利得の向上を図り、一層の電力効率の改善を図っている。
具体例
(i)初段の基本HBTにはエミッタ抵抗のみとし、出力段の基本HBTにはベース抵抗のみとした場合
この場合は、実施の形態1の場合において、初段のエミッタ間隔を出力段のエミッタ間隔より広げたものである。
効率低下の抑制を考えるので、エミッタ抵抗を基に考えると、エミッタ抵抗REとベース抵抗RBとの間には電流増幅率βにより、RE=RB/βの関係があり、初段における発熱量が少ないため、RB5<RB6およびRE5<RE6とすることができるので
RE5+RB5/β5<RE6+RB6/β6
とすることができる。
ここで、初段の基本HBTをエミッタ抵抗のみとし、出力段の基本HBTをベース抵抗のみとすると、RB5=0、RE6=0となり、
RE5<RB6/β6
となる。ここでRB6/β6=RE1であり、RE5<RE1となる。すなわち実施の形態1の初段のマルチフィンガHBT12のエミッタ間隔をW1からW5に広げることにより、初段のエミッタ抵抗の抵抗値をより小さくすることができ、初段での効率低下を抑制することができる。
(ii)初段の基本HBTにはエミッタ抵抗とベース抵抗を使用し、出力段の基本HBTにはベース抵抗のみとした場合
これは、雑音特性の劣化量には許容値が大きく、効率のさらなる向上を図る場合である。
例えば、実施の形態1では、初段の基本HBT14にはエミッタ抵抗14bのみとし、出力段の基本HBT18にはベース抵抗18cのみとして、構成しており、このため初段の効率低下による電力増幅器全体で効率低下が0.1パーセント(=1mA/(100mA+1000mA)あるが、雑音指数をある程度の下げる余裕がある場合には、これを基に効率低減の抑制を考慮することができる。
この場合も先の(i)と同様に、
RE5+RB5/β5<RE6+RB6/β6
とすることができる。
そして、出力段のエミッタ抵抗がないので、RE6=0となる。すなわち
RE5+RB5/β5<RB6/β6
となる。従って、初段のエミッタ抵抗は、
RE5<RB6/β5−RB5/β6
とすることができる。
これにより一層効率の低下を抑制することができる。
以上の実施の形態において、2段増幅器で説明したが、多段増幅器の前段と後段としても同様の効果を奏する。
実施の形態4.
第6図はこの発明に係るHBT多段増幅器を示すブロック図である。
第6図において、85はHBT多段増幅器、20は入力端子、22は出力端子、28は入力整合回路、32は段間整合回路、30は出力整合回路、86は初段増幅回路を構成する第1のバイポーラトランジスタ素子としてのエミッタバラスト抵抗を用いた初段HBT素子、87は最終段増幅回路を構成する第2のバイポーラトランジスタ素子としてのベースバラスト抵抗を用いた最終段HBT素子、88,89は初段増幅回路の初段HBT素子86と最終段増幅回路の最終段HBT素子87との間の中間段増幅回路として配設された中間段HBT素子で、ベースバラスト抵抗を用いたHBT素子であっても、エミッタバラスト抵抗を用いたHBT素子であっても構わない。
90は初段HBT素子86、中間段HBT素子88,89、及び最終段HBT素子87のベースバイアス端子である。32は段間の整合回路である。
91は第1の増幅回路部分としての入力増幅回路で、入力整合回路28、初段HBT素子86、段間の整合回路32、及び中間段HBT素子88が含まれる。
92は第2の増幅回路部分としての出力増幅回路で、中間段HBT素子89、段間の整合回路32、最終段HBT素子87及び出力整合回路30が含まれる。
第7図及び第8図は、この発明に係るエミッタバラスト抵抗を用いたマルチフィンガHBT12、例えば第6図の初段HBT素子86、の等価回路を示す模式図である。12aはマルチフィンガHBT12のベース端子、12bはマルチフィンガHBT12のコレクタ端子である。
第7図はベースバイアス端子90がそれぞれのHBT14毎にある場合、第8図はベースバイアス端子90が全てのHBT14に共通である場合である。各HBT14のエミッタ−グランド間にエミッタバラスト抵抗14bが挿入されている。温度分布などにより、あるHBT14aの温度が高く、その結果としてエミッタ電流(コレクタ電流と比例)が増加した場合、エミッタバラスト抵抗14bによって生じる電圧降下が増加する。それによって、そのHBT14のベース−エミッタ間電圧が減少し、結果として、エミッタ電流の増加が抑えられる。
したがって、エミッタバラスト抵抗14bによって、各HBT14aの間の電流、温度の差を小さく抑えることができ、熱暴走を抑えることができるとともに、各HBT14aを均一動作させることができる。したがって、各HBT14aにおける信号の分配や合成が効率良く行われ、高出力、高効率な増幅特性が実現できる。
第9図及び第10図は、この発明に係るベースバラスト抵抗を用いたマルチフィンガHBT16、例えば第6図の最終段HBT素子87、の等価回路を示す模式図である。16aはマルチフィンガHBT16のベース端子、16bはマルチフィンガHBT16のコレクタ端子である。
第9図はベースバラスト抵抗18cがベース端子16aとそれぞれのHBT18aの間でベースバイアス端子90よりもHBT18a側に挿入されている場合、第10図はベースバラスト抵抗18cがベースバイアス端子90とそれぞれのHBT18aの間に挿入されている場合である。いずれの場合も各HBT18aとベースバイアス端子90の間にベースバラスト抵抗18cが挿入されている。
温度分布などにより、あるHBT18aのエミッタ電流が増加した場合、ベース電流も、エミッタ電流に比例して増加する。その結果、ベースバラスト抵抗18cによって生じる電圧降下も増加する。それによって、そのHBT18aのベース−エミッタ間電圧が減少し、結果として、エミッタ電流の増加が抑えられる。したがってベースバラスト抵抗18cによって、各HBT18aの間の電流、温度の差を小さく抑えることができ、熱暴走を抑えることができるとともに、各HBT18aに均一な動作をさせることができる。したがって、各HBT18aにおける信号の分配や合成が効率良く行われ、高出力、高効率な増幅特性が実現できる。
なお、ベースバラスト抵抗は、第9図、第10図に示した構成でも構わないし、第9図、第10図に示したベースバラスト抵抗を両方とも用いる構成でも構わない。
次にHBT多段増幅器85の動作について説明する。
入力端子20から入力した信号は入力整合回路28を介してエミッタバラスト抵抗を用いた初段HBT素子86によって増幅され、段間整合回路32を介して、エミッタバラスト抵抗を用いたHBT素子もしくはベースバラスト抵抗を用いたHBT素子からなる中間段HBT素子88,89により増幅される。そして最終的に、ベースバラスト抵抗を用いた最終段HBT素子87に入力されるとともに、ここで増幅され、出力整合回路30を介して出力端子22から出力される。このようにして信号は多段HBT増幅器85により増幅される。
また、増幅素子として、エミッタバラスト抵抗を用いた初段HBT素子86、エミッタバラスト抵抗もしくはベースバラスト抵抗を用いた中間HBT素子88、およびベースバラスト抵抗を用いた最終段HBT素子87を用いているため、熱的に安定であり、かつ各HBT14a,18aの均一動作が可能である。したがって、各HBT14a,18aにおける信号の分配や合成が効率良く行われ、高出力、高効率な特性が実現できる。
また、第6図において、初段増幅回路を含む入力増幅回路91において、少なくとも増幅素子としてエミッタバラスト抵抗を用いた初段HBT素子86を用い、最終段増幅回路を含む出力増幅回路92において、少なくとも増幅素子としてベースバラスト抵抗を用いた最終段HBT素子87を用いている。したがって、最も雑音特性に影響を与える初段増幅回路を含む入力増幅回路91において、雑音特性において有利なエミッタバラスト抵抗を用いた初段HBT素子86を用いているため、低雑音な特性を実現することができる。一方、最も出力電力、効率特性に影響を与える最終段増幅回路を含む出力増幅回路92において、出力電力、効率特性において有利なベースバラスト抵抗を用いた最終段HBT素子87を用いているため、高出力、高効率な特性を実現することができる。
従って、この発明に係るHBT多段増幅器85は、入力増幅回路91に少なくともエミッタバラスト抵抗を用いた初段HBT素子86を用い、出力増幅回路92に少なくともベースバラスト抵抗を用いた最終段HBT素子87を用いているため、高出力、高効率な特性と低雑音な特性を同時に実現することが可能である。
なお、この発明のHBT多段増幅器85は2段増幅器の場合は1段目がエミッタバラスト抵抗を用いたHBT素子を2段目がベースバラスト抵抗を用いたHBT素子を増幅素子として用いた構成となる。
また、3段以上の場合は初段はエミッタバラスト抵抗を用いたHBT素子、最終段はベースバラスト抵抗を用いたHBT素子を増幅素子として用い、それ以外の中間の増幅段については、エミッタバラスト抵抗、ベースバラスト抵抗のどちらを用いたHBT素子であっても構わない。
また、エミッタバラスト抵抗、ベースバラスト抵抗は、半導体基板上のエピ抵抗、薄膜抵抗、注入抵抗などで構成されていても構わない。
また、ベースバイアス端子90は、ベース端子12a,16aと共通であっても構わない。
ベースバラスト抵抗を用いたHBT素子は第9図、または第10図の構成のものの他に、第9図、第10図のベースバラスト抵抗を両方とも用いた構成でも構わない。
また、各実施の形態において示されたHBT素子の構成は1次元的に基本HBTを配置した構成であるが、2次元的に配置した構成でも、その他のレイアウトで並列に配置したものであっても構わない。
以上のように、この発明に係るHBT多段増幅器によれば多段増幅器を構成しているため信号を増幅することができる。
また、増幅素子としてエミッタもしくはベースバラスト抵抗を用いたHBT素子を用いているため、熱的に安定であり、かつ各HBTの均一動作可能である。したがって、各HBTにおける信号の分配・合成が効率良く、高出力、高効率な特性が実現できる。
また、初段増幅回路を含む入力増幅回路において、少なくとも増幅素子としてエミッタバラスト抵抗を用いた初段HBT素子を用い、最終段増幅回路を含む出力増幅回路において、少なくとも増幅素子としてベースバラスト抵抗を用いた最終段HBT素子を用いているため、高出力、高効率な特性と低雑音な特性を同時に実現することができる。
産業上の利用可能性
以上のように、この発明に係る高周波用半導体装置は衛星通信、地上マイクロ波通信、移動体通信等に使用する高出力電力増幅器として有用である。特にこれら通信分野の送信機のように高出力・高効率のみならず良好な雑音特性が要求される増幅器に適している。
【図面の簡単な説明】
第1図は、この発明に係る高出力電力増幅器の構成を示すブロック図である。
第2図は、この発明に係る高出力電力増幅器を構成するマルチフィンガHBTの平面図である。
第3図は、第2図のIII−III断面におけるマルチフィンガHBTの断面図である。
第4図は、この発明に係る高出力電力増幅器の構成を示すブロック図である。
第5図は、この発明に係る高出力電力増幅器の構成を示すブロック図である。
第6図は、この発明に係るHBT多段増幅器を示すブロック図である。
第7図は、この発明に係るエミッタバラスト抵抗を用いたマルチフィンガHBTの等価回路を示す模式図である。
第8図、この発明に係るエミッタバラスト抵抗を用いたマルチフィンガHBTの等価回路を示す模式図である。
第9図は、この発明に係るベースバラスト抵抗を用いたマルチフィンガHBTの等価回路を示す模式図である。
第10図、この発明に係るベースバラスト抵抗を用いたマルチフィンガHBTの等価回路を示す模式図である。
第11図は、従来の高出力電力増幅器の構成を示すブロック図である。
第12図は、エミッタバラスト抵抗を用いたHBT素子のみを用いて構成した従来のHBT多段増幅器のブロック図である。
第13図は、ベースバラスト抵抗を用いたHBT素子のみを用いて構成した従来のHBT多段増幅器のブロック図である。
Claims (14)
- ヘテロ接合構造の第1のバイポーラトランジスタとこの第1のバイポーラトランジスタのエミッタ電極に直列に接続された抵抗値がRE1のエミッタ抵抗とを有する第1の基本トランジスタを、複数個並列接続して第1の半導体基板上に配設された増幅回路の第1の部分と、
この第1の部分の出力信号を増幅するとともにヘテロ接合構造の第2のバイポーラトランジスタとこの第2のバイポーラトランジスタのベース電極に直列に接続された抵抗値がRB2のベース抵抗とを有する第2の基本トランジスタを、複数個並列接続して第2の半導体基板上に配設された増幅回路の第2の部分と、
を備えた高周波用半導体装置。 - 第2の基本トランジスタにさらに第2のバイポーラトランジスタのエミッタ電極に直列に接続されたエミッタ抵抗が配設されるとともに、第2のバイポーラトランジスタのベース電極に直列に接続されたベース抵抗の抵抗値をRB2よりも小さくしたことを特徴とする請求の範囲第1項記載の高周波用半導体装置。
- 増幅回路の第1の部分における第1の基本トランジスタ間のエミッタ間隔を増幅回路の第2の部分における第2の基本トランジスタ間のエミッタ間隔よりも広くしたことを特徴とする請求の範囲第1項記載の高周波用半導体装置。
- 増幅回路の第1の部分における第1の基本トランジスタ間のエミッタ間隔を増幅回路の第2の部分における第2の基本トランジスタ間のエミッタ間隔よりも広くしたことを特徴とする請求の範囲第2項記載の高周波用半導体装置。
- 増幅回路の第1の部分における第1の基本トランジスタのエミッタ抵抗の抵抗値をRE1より小さくしたことを特徴とする請求の範囲第3項記載の高周波用半導体装置。
- 増幅回路の第1の部分における第1の基本トランジスタのエミッタ抵抗の抵抗値をRE1より小さくしたことを特徴とする請求の範囲第4項記載の高周波用半導体装置。
- ヘテロ接合構造の第1のバイポーラトランジスタとこの第1のバイポーラトランジスタのベース電極に直列に接続された抵抗値がRB1のベース抵抗と上記第1のバイポーラトランジスタのエミッタ電極に直列に接続された抵抗値がRE1のエミッタ抵抗とを有する第1の基本トランジスタを、この第1の基本トランジスタのエミッタのエミッタ間隔W1で、複数個並列接続して第1の半導体基板上に配設された増幅回路の第1の部分と、
この第1の部分の出力信号を増幅するとともにヘテロ接合構造の第2のバイポーラトランジスタとこの第2のバイポーラトランジスタのベース電極に直列に接続された抵抗値がRB2のベース抵抗と上記第2のバイポーラトランジスタのエミッタ電極に直列に接続された抵抗値がRE2のエミッタ抵抗とを有する第2の基本トランジスタを、この第2の基本トランジスタのエミッタのエミッタ間隔W2で、複数個並列接続して第2の半導体基板上に配設された増幅回路の第2の部分と、を備え、
W1>W2 ・・・・・・・(1)
としたことを特徴とする高周波用半導体装置。 - 第1の基本トランジスタのエミッタ抵抗の抵抗値RE1と第2の基本トランジスタのエミッタ抵抗の抵抗値RE2との関係が、
RE1<RE2・・・・・・・(2)
であって、
第1の基本トランジスタのベース抵抗の抵抗値RB1と第2の基本トランジスタのベース抵抗の抵抗値RB2との関係が、
RB1<RB2・・・・・・・(3)
であることを特徴とする請求の範囲第7項記載の高周波用半導体装置。 - 増幅回路の第1の部分が初段で、増幅回路の第2の部分が出力段であることを特徴とする請求の範囲第1項記載の高周波用半導体装置。
- 増幅回路の第1の部分が初段で、増幅回路の第2の部分が出力段であることを特徴とする請求の範囲第7項記載の高周波用半導体装置。
- 第1の半導体基板と第2の半導体基板とを一体的に構成したことを特徴とする請求の範囲第1項記載の高周波用半導体装置。
- 第1の半導体基板と第2の半導体基板とを一体的に構成したことを特徴とする請求の範囲第7項記載の高周波用半導体装置。
- エミッタバラスト抵抗と接続されたヘテロ接合構造の第1のバイポーラトランジスタ素子を有する初段増幅回路が含まれた第1の増幅回路部分と、
この第1の増幅回路部分の出力信号を増幅するとともにベースバラスト抵抗と接続されたヘテロ接合構造の第2のバイポーラトランジスタ素子を有する最終段増幅回路が含まれた第2の増幅回路部分と、
を備えた高周波用半導体装置。 - 第1のバイポーラトランジスタ素子がヘテロ接合構造の第1のバイポーラトランジスタとこの第1のバイポーラトランジスタに接続されたエミッタバラスト抵抗とを有する第1の基本トランジスタを複数個並列接続してなるとともに第2のバイポーラトランジスタ素子がヘテロ接合構造の第2のバイポーラトランジスタとこの第2のバイポーラトランジスタに接続されたベースバラスト抵抗とを有する第2の基本トランジスタを複数個並列接続してなることを特徴とした請求の範囲第13項記載の高周波用半導体装置。
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