JPS644126B2 - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPS644126B2 JPS644126B2 JP55151405A JP15140580A JPS644126B2 JP S644126 B2 JPS644126 B2 JP S644126B2 JP 55151405 A JP55151405 A JP 55151405A JP 15140580 A JP15140580 A JP 15140580A JP S644126 B2 JPS644126 B2 JP S644126B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- surface plate
- plates
- displacement
- suspension
- center
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
Links
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 claims description 20
- 239000000725 suspension Substances 0.000 claims description 10
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 2
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 7
- 238000003754 machining Methods 0.000 description 3
- 239000000523 sample Substances 0.000 description 3
- 239000000969 carrier Substances 0.000 description 2
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 description 1
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
- 230000002950 deficient Effects 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 230000005674 electromagnetic induction Effects 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 230000003340 mental effect Effects 0.000 description 1
- 238000012544 monitoring process Methods 0.000 description 1
- 238000005498 polishing Methods 0.000 description 1
- 238000004513 sizing Methods 0.000 description 1
- 230000003746 surface roughness Effects 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B5/00—Measuring arrangements characterised by the use of mechanical techniques
- G01B5/30—Measuring arrangements characterised by the use of mechanical techniques for measuring the deformation in a solid, e.g. mechanical strain gauge
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Length Measuring Devices With Unspecified Measuring Means (AREA)
- Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)
- A Measuring Device Byusing Mechanical Method (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
この発明は上定盤の下定盤に対する変位量を検
出する両面ラツプ盤における変位検出装置に関す
るものである。
出する両面ラツプ盤における変位検出装置に関す
るものである。
従来この種の装置としては第１図に示すものが
ある。
ある。
すなわち薄くてもろい被加工物をラツピングす
る場合に、初期的にある寸法のバラツキを吸収す
るために低い加重でスタートするが、この際アー
ム２は下向きの力、すなわちアームに吊下げられ
ている重量、上定盤および上定盤吊り等で逆圧加
重を差し引いた力を受け、たわみ現象を発生す
る。その後初期の寸法のバラツキが吸収されたと
き、すなわち研磨によつて寸法が一様になつたと
き、アーム２から吊下げられている部分の重量が
すべて加工圧として下向きの力に切り変るとアー
ム２は垂直方向すなわち補助シリンダー５のピス
トン以下の重量から自由になり、たわみ分が戻
る。寸法的には0.4mm〜0.6mm程度上昇する。した
がつて第１図ので示すように上部すなわちアー
ム２から吊下げられている部分に固定点を設け、
そこから検出子４５を出すことが行われるが、こ
れは誤差の多い測定となり、定寸の目的から外れ
るものである。また同様に加圧したばあいにはそ
の加圧の程度によりアーム２は上昇し、これに自
動調芯ベアリングの誤差が加わつて、ラツピング
しているにもかかわらず被加工物が見かけ上厚く
なつてしまう現象を生ずる。
る場合に、初期的にある寸法のバラツキを吸収す
るために低い加重でスタートするが、この際アー
ム２は下向きの力、すなわちアームに吊下げられ
ている重量、上定盤および上定盤吊り等で逆圧加
重を差し引いた力を受け、たわみ現象を発生す
る。その後初期の寸法のバラツキが吸収されたと
き、すなわち研磨によつて寸法が一様になつたと
き、アーム２から吊下げられている部分の重量が
すべて加工圧として下向きの力に切り変るとアー
ム２は垂直方向すなわち補助シリンダー５のピス
トン以下の重量から自由になり、たわみ分が戻
る。寸法的には0.4mm〜0.6mm程度上昇する。した
がつて第１図ので示すように上部すなわちアー
ム２から吊下げられている部分に固定点を設け、
そこから検出子４５を出すことが行われるが、こ
れは誤差の多い測定となり、定寸の目的から外れ
るものである。また同様に加圧したばあいにはそ
の加圧の程度によりアーム２は上昇し、これに自
動調芯ベアリングの誤差が加わつて、ラツピング
しているにもかかわらず被加工物が見かけ上厚く
なつてしまう現象を生ずる。
また第１図ので示すように自動調芯ベアリン
グ７から下の部分で測定しようとすると、回転部
に検出子４５を取付けるためにスリツプリングや
ブラシが必要となり、構造的に複雑であると同時
にドライバー１５の上面を測定点とすると検出子
をつねに同じ点に設定する必要があり、操作者に
精神的な負担を与える欠点があり、かつ高価とな
る。
グ７から下の部分で測定しようとすると、回転部
に検出子４５を取付けるためにスリツプリングや
ブラシが必要となり、構造的に複雑であると同時
にドライバー１５の上面を測定点とすると検出子
をつねに同じ点に設定する必要があり、操作者に
精神的な負担を与える欠点があり、かつ高価とな
る。
さらに第１図ので示すように上定盤１１の外
周部から測定する方法がとられているが、この方
法にあつてはまず測定子が上定盤１１とつねに摺
動するため、測定子の摩耗が激しく、上定盤１１
外面の平行度、平面度、面粗度からして誤差が生
じ易く、また下定盤１２のスラスト荷重を一度イ
ンターナルギア２２の駆動軸に伝え、最終的には
インターナルギア駆動軸のスラストベアリングで
受ける構造の機械にあつては２つのベアリングに
よる複合誤差が回転中に上下方向の誤差となつて
回転中心より外周部で極端にあらわれる現象が起
りひじように不正確な測定となる。加えて定盤の
裏面精度が正確な測定をより不可能にしている。
周部から測定する方法がとられているが、この方
法にあつてはまず測定子が上定盤１１とつねに摺
動するため、測定子の摩耗が激しく、上定盤１１
外面の平行度、平面度、面粗度からして誤差が生
じ易く、また下定盤１２のスラスト荷重を一度イ
ンターナルギア２２の駆動軸に伝え、最終的には
インターナルギア駆動軸のスラストベアリングで
受ける構造の機械にあつては２つのベアリングに
よる複合誤差が回転中に上下方向の誤差となつて
回転中心より外周部で極端にあらわれる現象が起
りひじように不正確な測定となる。加えて定盤の
裏面精度が正確な測定をより不可能にしている。
この発明は変位検出器を定盤等の可動体から独
立して固定するとともに上定盤の沈下量をその中
心付近において検出しようとするもので、以下図
によつてこの発明の一実施例を説明する。
立して固定するとともに上定盤の沈下量をその中
心付近において検出しようとするもので、以下図
によつてこの発明の一実施例を説明する。
第２図はこの発明を適用した両面ラツプ盤の縦
断正面図、第３図は変位検出装置の要部を示す拡
大縦断面図で、メインシリンダー１を保持するア
ーム２が支柱３に取付けられる。メインシリンダ
ー１の下方にはメインシリンダーロツド４が設け
られ、このロツド下部にはサブシリンダー５を介
してサブシリンダーロツド６が連結されている。
このロツドの下部には自動調芯ベアリング７が設
けられこれによつて上定盤吊り８がロツド６に連
結されている。上定盤吊り８の下部にはスタツド
９，９が設けられ、このスタツドの下端には上定
盤１１が連結され、この定盤はフツク１０を介し
てドライバー１５に連結され、さらにこのドライ
バーは駆動軸１６に連結される。この駆動軸の下
端はベアリング１７を介してスタツド１８に回転
自在に支持される。駆動軸１６の下端にはギア１
９が取付けられ、これを介して駆動軸１６はたと
えばモータ等の駆動源（図に示してない）に連結
される。上定盤１１には下定盤１２が対向して配
設され、これはギア２０を有する駆動軸２１によ
つて上定盤１１と反対方向に回動される。また上
下定盤１１，１２の外側にはインターナルギア２
２が設けられ、このギアはギア２５を有する駆動
軸２６によつて駆動される。上下定盤１１，１２
の中央部付近にはこれと同心的に太陽ギア２７が
設けられ、このギアはギア２８を有する駆動軸２
９によつて駆動される。上下定盤１１，１２間に
は複数の円板状のキヤリア３０，３０が挾まれ、
このキヤリアには被加工物３１，３１を収容する
複数の穴３２が設けられ、その外周縁はインター
ナルギア２２および太陽ギア２７とかみ合つてい
る。上定盤吊り８の中心部にはロツド６とほぼ同
径の穴３３が設けられ、この穴の周辺において上
定盤吊り８の下面には支持体３５が突設され、こ
の支持体にはたがいに所定の間隔をおいて一対の
ベアリング３６，３６が設けられ、支持体３５に
は各ベアリング３６，３６によつて回転自在に支
持された一対のプレート３８，３８が設けられて
いる。これらのプレートには２つの係合孔４０，
４０が設けられている。ロツド６の下端には各プ
レート３８の係合孔４０，４０の間隔と等しい間
隔をおいて一対のピン４１，４１が突設され、こ
のピンは穴３３を貫通し係合孔４０，４０に貫挿
され、これによつてプレート３８，３８はピン４
１に対し軸方向に移動自在に係合し、これによつ
てプレート３８，３８の上定盤吊り８に対する回
動が阻止される。両プレート３８，３８間にはピ
ン４１，４１を囲むようにスプリング４２が設け
られ、これによつてベアリング３６等の摩耗を吸
収するようにされている。スタンド１８にはパイ
プ４３の下端が固定され、その上端は駆動軸１６
内に沿つて上方に延び、ドライバー１５内に突出
している。パイプ４３の上端には変位検出器４５
が固定具４６により固定されている。
断正面図、第３図は変位検出装置の要部を示す拡
大縦断面図で、メインシリンダー１を保持するア
ーム２が支柱３に取付けられる。メインシリンダ
ー１の下方にはメインシリンダーロツド４が設け
られ、このロツド下部にはサブシリンダー５を介
してサブシリンダーロツド６が連結されている。
このロツドの下部には自動調芯ベアリング７が設
けられこれによつて上定盤吊り８がロツド６に連
結されている。上定盤吊り８の下部にはスタツド
９，９が設けられ、このスタツドの下端には上定
盤１１が連結され、この定盤はフツク１０を介し
てドライバー１５に連結され、さらにこのドライ
バーは駆動軸１６に連結される。この駆動軸の下
端はベアリング１７を介してスタツド１８に回転
自在に支持される。駆動軸１６の下端にはギア１
９が取付けられ、これを介して駆動軸１６はたと
えばモータ等の駆動源（図に示してない）に連結
される。上定盤１１には下定盤１２が対向して配
設され、これはギア２０を有する駆動軸２１によ
つて上定盤１１と反対方向に回動される。また上
下定盤１１，１２の外側にはインターナルギア２
２が設けられ、このギアはギア２５を有する駆動
軸２６によつて駆動される。上下定盤１１，１２
の中央部付近にはこれと同心的に太陽ギア２７が
設けられ、このギアはギア２８を有する駆動軸２
９によつて駆動される。上下定盤１１，１２間に
は複数の円板状のキヤリア３０，３０が挾まれ、
このキヤリアには被加工物３１，３１を収容する
複数の穴３２が設けられ、その外周縁はインター
ナルギア２２および太陽ギア２７とかみ合つてい
る。上定盤吊り８の中心部にはロツド６とほぼ同
径の穴３３が設けられ、この穴の周辺において上
定盤吊り８の下面には支持体３５が突設され、こ
の支持体にはたがいに所定の間隔をおいて一対の
ベアリング３６，３６が設けられ、支持体３５に
は各ベアリング３６，３６によつて回転自在に支
持された一対のプレート３８，３８が設けられて
いる。これらのプレートには２つの係合孔４０，
４０が設けられている。ロツド６の下端には各プ
レート３８の係合孔４０，４０の間隔と等しい間
隔をおいて一対のピン４１，４１が突設され、こ
のピンは穴３３を貫通し係合孔４０，４０に貫挿
され、これによつてプレート３８，３８はピン４
１に対し軸方向に移動自在に係合し、これによつ
てプレート３８，３８の上定盤吊り８に対する回
動が阻止される。両プレート３８，３８間にはピ
ン４１，４１を囲むようにスプリング４２が設け
られ、これによつてベアリング３６等の摩耗を吸
収するようにされている。スタンド１８にはパイ
プ４３の下端が固定され、その上端は駆動軸１６
内に沿つて上方に延び、ドライバー１５内に突出
している。パイプ４３の上端には変位検出器４５
が固定具４６により固定されている。
この変位検出器４５としては、たとえばエアゲ
ージ、差動変圧器型、電磁誘導型等従来公知のも
のを使用し、いずれにしても、変位を電気量に変
換して計測できるものがよい。
ージ、差動変圧器型、電磁誘導型等従来公知のも
のを使用し、いずれにしても、変位を電気量に変
換して計測できるものがよい。
そして所定の測定ストロークを有する測定子４
７が設けられ、この頂部は一方のすなわち下方の
プレート３８の下面中心部と衝合している。変位
検出器４５のコード４８はパイプ４３およびスタ
ンド１８を通して外部に導かれている。変位検出
器４５は上下定盤１１，１２から独立して固定さ
れている。なお符号５０，５１，５２，５３，５
４および５５はベアリングである。
７が設けられ、この頂部は一方のすなわち下方の
プレート３８の下面中心部と衝合している。変位
検出器４５のコード４８はパイプ４３およびスタ
ンド１８を通して外部に導かれている。変位検出
器４５は上下定盤１１，１２から独立して固定さ
れている。なお符号５０，５１，５２，５３，５
４および５５はベアリングである。
上記構成におけるこの発明の動作は、被加工物
３１を下定盤１２上に載置したキヤリア３０の穴
３２内に収容し、さらに上定盤１１によつて挾
み、この状態で上下定盤１１，１２、インターナ
ルギア２２、および太陽ギア２７をモータにより
回転すると、キヤリア３０，３０は自転しながら
公転し、これによつて被加工物はラツピングされ
る。このとき被加工物３１の厚さは、測定子４７
が実質的に上定盤１１の下面と衝合しているた
め、上定盤１１の下方への移動すなわち降下変位
量で検出され、この変位量は変位検出器４５の信
号出力となつてコード４８を通して外部回路（図
に示してない）に導かれる。
３１を下定盤１２上に載置したキヤリア３０の穴
３２内に収容し、さらに上定盤１１によつて挾
み、この状態で上下定盤１１，１２、インターナ
ルギア２２、および太陽ギア２７をモータにより
回転すると、キヤリア３０，３０は自転しながら
公転し、これによつて被加工物はラツピングされ
る。このとき被加工物３１の厚さは、測定子４７
が実質的に上定盤１１の下面と衝合しているた
め、上定盤１１の下方への移動すなわち降下変位
量で検出され、この変位量は変位検出器４５の信
号出力となつてコード４８を通して外部回路（図
に示してない）に導かれる。
この発明は上述のように上定盤の中心部におい
てその変位を検出するとともに変位検出器は定盤
から独立して固定されているため、アームのたわ
みや自動調芯ベアリング等の外乱の影響を受け
ず、しかも上定盤の中心部で測定することにより
上定盤の傾きによる誤差が少なく、かつ定盤回転
中においても測定子の先端が振れたりすることが
なく測定精度を向上させることができ、また測定
子のプレートに対する衝合部分は回転することな
く単に当接しているだけであるから測定子等が摩
耗することなく、これまた測定精度を向上させる
効果を助長する。さらに変位検出器と衝合するプ
レートはスプリングによりつねに一定の力が与え
られているため、ベアリングが摩耗し、多少のが
たつきを生じても測定誤差は生じない効果があ
る。したがつて従来のもののように作業中に装置
を何回か停止させ、その時点の寸法から次の加工
時間を経験的に割り出し、最終仕上り寸法を得る
方法は不要で、変位検出器の出力を監視するのみ
で連続的に行うことができ、これによつて被加工
物の不良率の減少および製造原価の低減を図るこ
とができる。したがつて最終仕上り寸法が同一で
あれば、作業者は加工時間に何ら注意を払う必要
はなく、単に被加工物の挿入および取出しのみの
作業をすればよく、いきおい１人で操作する装置
の台数も増大できる利点がある。
てその変位を検出するとともに変位検出器は定盤
から独立して固定されているため、アームのたわ
みや自動調芯ベアリング等の外乱の影響を受け
ず、しかも上定盤の中心部で測定することにより
上定盤の傾きによる誤差が少なく、かつ定盤回転
中においても測定子の先端が振れたりすることが
なく測定精度を向上させることができ、また測定
子のプレートに対する衝合部分は回転することな
く単に当接しているだけであるから測定子等が摩
耗することなく、これまた測定精度を向上させる
効果を助長する。さらに変位検出器と衝合するプ
レートはスプリングによりつねに一定の力が与え
られているため、ベアリングが摩耗し、多少のが
たつきを生じても測定誤差は生じない効果があ
る。したがつて従来のもののように作業中に装置
を何回か停止させ、その時点の寸法から次の加工
時間を経験的に割り出し、最終仕上り寸法を得る
方法は不要で、変位検出器の出力を監視するのみ
で連続的に行うことができ、これによつて被加工
物の不良率の減少および製造原価の低減を図るこ
とができる。したがつて最終仕上り寸法が同一で
あれば、作業者は加工時間に何ら注意を払う必要
はなく、単に被加工物の挿入および取出しのみの
作業をすればよく、いきおい１人で操作する装置
の台数も増大できる利点がある。
第１図は従来装置を示すラツプ盤の縦断正面
図、第２図はこの発明の一実施例を示すラツプ盤
の縦断正面図、第３図はこの発明の変位検出装置
の要部を示す拡大縦断正面図である。 ６……ロツド、７……自動調芯ベアリング、８
……上定盤吊り、１１……上定盤、１２……下定
盤、３３……穴、３５……支持体、３６……ベア
リング、３８……プレート、４０……係合孔、４
１……ピン、４２……スプリング、４５……変位
検出器。
図、第２図はこの発明の一実施例を示すラツプ盤
の縦断正面図、第３図はこの発明の変位検出装置
の要部を示す拡大縦断正面図である。 ６……ロツド、７……自動調芯ベアリング、８
……上定盤吊り、１１……上定盤、１２……下定
盤、３３……穴、３５……支持体、３６……ベア
リング、３８……プレート、４０……係合孔、４
１……ピン、４２……スプリング、４５……変位
検出器。
Claims (1)
- １ たがいに対向して配設され、かつたがいに反
対方向に回転される上下定盤と、上記上定盤に取
付けられ、自動調芯ベアリングを介してロツドに
回転自在に支持された上定盤吊りと、この上定盤
吊りの中央下方に突出して設けた支持体と、この
支持体に、たがいに所定の間隔をおいて配設され
た一対のベアリングと、これら各ベアリングにそ
れぞれ回転自在に支持された一対のプレートと、
上記ロツドの下端に突設され、上記上定盤吊りに
設けた穴を貫通し、かつ上記両プレートとその軸
方向に移動自在に係合し、これら両プレートの回
転を阻止するピンと、上記両プレート間に設けら
れたスプリングおよび上記上下定盤から独立して
固定され、かつ上記プレートの一方とこれの下側
から衝合し、上記上定盤のほぼ中心における軸心
方向の変位量を検出する変位検出器とを備えた両
面ラツプ盤における変位検出装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP55151405A JPS5776406A (en) | 1980-10-30 | 1980-10-30 | Displacement detector in both side lapping plate |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP55151405A JPS5776406A (en) | 1980-10-30 | 1980-10-30 | Displacement detector in both side lapping plate |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5776406A JPS5776406A (en) | 1982-05-13 |
| JPS644126B2 true JPS644126B2 (ja) | 1989-01-24 |
Family
ID=15517864
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP55151405A Granted JPS5776406A (en) | 1980-10-30 | 1980-10-30 | Displacement detector in both side lapping plate |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5776406A (ja) |
Families Citing this family (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0448925Y2 (ja) * | 1986-06-02 | 1992-11-18 | ||
| JPH1034529A (ja) * | 1996-07-18 | 1998-02-10 | Speedfam Co Ltd | 自動定寸装置 |
| JP2006231471A (ja) | 2005-02-25 | 2006-09-07 | Speedfam Co Ltd | 両面ポリッシュ加工機とその定寸制御方法 |
| JP2006231470A (ja) | 2005-02-25 | 2006-09-07 | Speedfam Co Ltd | 両面ポリッシュ加工機の定寸方法及び定寸装置 |
| CN102538645B (zh) * | 2011-12-26 | 2013-11-20 | 天津天海同步科技股份有限公司 | 一种锥齿轮综合检测仪 |
| JP6491024B2 (ja) * | 2015-04-20 | 2019-03-27 | 不二越機械工業株式会社 | 両面研磨装置および研磨方法 |
-
1980
- 1980-10-30 JP JP55151405A patent/JPS5776406A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS5776406A (en) | 1982-05-13 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US4805314A (en) | Method and apparatus for spatial coordinate measurement | |
| CN101339000B (zh) | 轴承接触角与凸出量综合检测仪 | |
| US3125811A (en) | Machine for measuring roundness | |
| JPH02285209A (ja) | 直交座標測定機とそのテーブルの回転軸線を決定する方法 | |
| JPS644126B2 (ja) | ||
| CN201297915Y (zh) | 轴承接触角与凸出量综合检测仪 | |
| US3845561A (en) | Measuring head system | |
| CN112504210B (zh) | 一种机匣装配测量装置 | |
| CN206095561U (zh) | 二代轮毂轴承测振加载装置 | |
| CN209655932U (zh) | 偏摆检查仪 | |
| CN203274616U (zh) | 一种缸体法兰面跳动的检测装置 | |
| CN209559089U (zh) | 一种用于检测皮带轮内孔卡槽内径的检具 | |
| US3628376A (en) | O-ring test instrument | |
| CN210570417U (zh) | 一种轴齿轮m值和齿圈径向跳动的综合检具 | |
| US2969598A (en) | Groove wobble and eccentricity gauge | |
| KR100287684B1 (ko) | 허브 및 드럼의 계측장치 | |
| CN220187616U (zh) | 一种轴承套圈圆度测量装置 | |
| JPH0456927B2 (ja) | ||
| US2436528A (en) | Screw thread gauge | |
| CN111579362A (zh) | 一种活性粉末混凝土挠度检测装置及使用方法 | |
| SU1684000A1 (ru) | Устройство дл измерени жесткости вращающихс узлов механизмов | |
| CN218511666U (zh) | 一种同轴度测量仪 | |
| CN220902965U (zh) | 一种工件动态磨削测量仪 | |
| SU1105749A1 (ru) | Прибор дл измерени осевого смещени колец подшипника | |
| CN219121274U (zh) | 一种角接触球轴承内圈旋转精度检测装置 |