JPS6439630U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPS6439630U JPS6439630U JP13226687U JP13226687U JPS6439630U JP S6439630 U JPS6439630 U JP S6439630U JP 13226687 U JP13226687 U JP 13226687U JP 13226687 U JP13226687 U JP 13226687U JP S6439630 U JPS6439630 U JP S6439630U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- semiconductor wafers
- lamps
- heats
- heat
- lamp
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 7
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 claims description 7
- 238000000137 annealing Methods 0.000 claims description 5
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 claims 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 230000005855 radiation Effects 0.000 description 1
Landscapes
- Furnace Details (AREA)
Description
第１図はこの考案の半導体ウエハのランプアニ
ール装置の第１の実施例を示す概略斜視図、第２
図はこの考案の第２の実施例を示す概略斜視図、
第３図は従来のランプアニール装置の概略断面図
、第４図はランプアニールにおける光の入射・熱
の放射を示す図である。 １１……半導体ウエハ、１２……ランプ、１３
，１４……環状ランプ。
ール装置の第１の実施例を示す概略斜視図、第２
図はこの考案の第２の実施例を示す概略斜視図、
第３図は従来のランプアニール装置の概略断面図
、第４図はランプアニールにおける光の入射・熱
の放射を示す図である。 １１……半導体ウエハ、１２……ランプ、１３
，１４……環状ランプ。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 ランプからの光照射により半導体ウエハを加熱
し熱処理するようにした半導体ウエハのランプア
ニール装置において、 半導体ウエハの全体を加熱するランプに加えて
、周辺部のみを加熱する環状ランプを設けるよう
にしたことを特徴とする半導体ウエハのランプア
ニール装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13226687U JPS6439630U (ja) | 1987-09-01 | 1987-09-01 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13226687U JPS6439630U (ja) | 1987-09-01 | 1987-09-01 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6439630U true JPS6439630U (ja) | 1989-03-09 |
Family
ID=31389069
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP13226687U Pending JPS6439630U (ja) | 1987-09-01 | 1987-09-01 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6439630U (ja) |
-
1987
- 1987-09-01 JP JP13226687U patent/JPS6439630U/ja active Pending