JPH0195727U - - Google Patents
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- JPH0195727U JPH0195727U JP19077587U JP19077587U JPH0195727U JP H0195727 U JPH0195727 U JP H0195727U JP 19077587 U JP19077587 U JP 19077587U JP 19077587 U JP19077587 U JP 19077587U JP H0195727 U JPH0195727 U JP H0195727U
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- heat treatment
- type heat
- heating type
- lamp
- substrate
- Prior art date
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- Pending
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- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims description 13
- 230000004888 barrier function Effects 0.000 claims description 3
- 239000006096 absorbing agent Substances 0.000 claims description 2
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims 3
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 2
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 claims 2
- 239000010703 silicon Substances 0.000 claims 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 229910052736 halogen Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000002367 halogens Chemical class 0.000 description 1
Description
第１図は本考案の実施例を示すランプ加熱式熱
処理装置の構成図、第２図は従来のランプ加熱式
熱処理装置の構成図、第３図及び第４図は従来技
術の問題点を示す図、第５図は本考案の第２実施
例のランプ加熱式熱処理装置の要部構成図である
。 １……ハロゲンランプ、７……ヒータ本体、２
……反応管、３……ガス流入用微管、４……ウエ
ハ保持台、５……Ｓｉウエハ、８，９，１０，１
１……障壁板（光エネルギー吸収体）、８ａ……
穴。
処理装置の構成図、第２図は従来のランプ加熱式
熱処理装置の構成図、第３図及び第４図は従来技
術の問題点を示す図、第５図は本考案の第２実施
例のランプ加熱式熱処理装置の要部構成図である
。 １……ハロゲンランプ、７……ヒータ本体、２
……反応管、３……ガス流入用微管、４……ウエ
ハ保持台、５……Ｓｉウエハ、８，９，１０，１
１……障壁板（光エネルギー吸収体）、８ａ……
穴。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 (1) ランプ加熱による光エネルギーを用いて処
理基板を加熱し熱処理を行うランプ加熱式熱処理
装置において、 反応管内のガスの流入口と処理基板との間に光
エネルギーの吸収体からなるガスの障壁板を配設
するようにしたことを特徴とするランプ加熱式熱
処理装置。 (2) 前記ガスの障壁板がシリコンからなり、処
理基板がシリコンウエハであることを特徴とする
実用新案登録請求の範囲第１項記載のランプ加熱
式熱処理装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19077587U JPH0195727U (ja) | 1987-12-17 | 1987-12-17 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19077587U JPH0195727U (ja) | 1987-12-17 | 1987-12-17 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0195727U true JPH0195727U (ja) | 1989-06-26 |
Family
ID=31481721
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP19077587U Pending JPH0195727U (ja) | 1987-12-17 | 1987-12-17 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0195727U (ja) |
-
1987
- 1987-12-17 JP JP19077587U patent/JPH0195727U/ja active Pending
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