JPS6438752U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS6438752U JPS6438752U JP13402187U JP13402187U JPS6438752U JP S6438752 U JPS6438752 U JP S6438752U JP 13402187 U JP13402187 U JP 13402187U JP 13402187 U JP13402187 U JP 13402187U JP S6438752 U JPS6438752 U JP S6438752U
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- sample
- holder
- chamber
- vacuum
- goniometer
- Prior art date
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- Granted
Links
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims 1
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 description 1
Description
第１図は本考案の一実施例を示す断面図、第２
図及び第３は従来の電子顕微鏡の試料装置の概略
を示す断面図である。 １：試料室、２：対物レンズ磁極片、３：ゴニ
オメータ、４：試料ホルダ、５：仕切弁、６：予
備室、７：バルブ、８：油拡散ポンプ、９：油回
転ポンプ、１０：大型ケース、１１：パイプ、１
２：ステージ、１２ａ：孔、１３：筒状体、１４
：ジヨイント、１５：真空チユーブ、１６：バル
ブ、１７：保持体、１８：パイプ、１９：バルブ
、２０：ガス貯蔵タンク、２１：マイクロスイツ
チ、２２：突起、２３：駆動源。
図及び第３は従来の電子顕微鏡の試料装置の概略
を示す断面図である。 １：試料室、２：対物レンズ磁極片、３：ゴニ
オメータ、４：試料ホルダ、５：仕切弁、６：予
備室、７：バルブ、８：油拡散ポンプ、９：油回
転ポンプ、１０：大型ケース、１１：パイプ、１
２：ステージ、１２ａ：孔、１３：筒状体、１４
：ジヨイント、１５：真空チユーブ、１６：バル
ブ、１７：保持体、１８：パイプ、１９：バルブ
、２０：ガス貯蔵タンク、２１：マイクロスイツ
チ、２２：突起、２３：駆動源。
補正 昭６２．１１．２７
図面の簡単な説明を次のように補正する。
本願明細書第９頁下から２行目「第３は」とあ
るを「第３図は」と補正する。
るを「第３図は」と補正する。
Claims (1)
- 検鏡中の試料を任意に移動させるゴニオメータ
、このゴニオメータ内に設けられた予備室、この
予備室と電子顕微鏡の試料室との間に設けられた
真空仕切り弁、前記予備室の真空を粗引する手段
を有し、試料を保持した試料ホルダを前記予備室
を通して光軸と直角な方向から試料室内の検鏡位
置に挿入する装置であつて、前記予備室に試料ホ
ルダと交換的に且つ気密を保つて嵌入される筒状
体、この筒状体に一端が結合されているフレキシ
ブル真空チユーブ、この真空チユーブの他端に結
合された筒状のホルダ保持体、この保持体に接続
されたガス供給手段、前記チユーブを介して前記
予備室との真空を開閉するための弁装置とを備え
、検鏡前の試料ホルダを前記ホルダ保持体に嵌挿
して内部を予備的に真空引きする構造の電子顕微
鏡の試料ホルダ排気装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13402187U JPH062199Y2 (ja) | 1987-09-02 | 1987-09-02 | 電子顕微鏡の試料ホルダ排気装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13402187U JPH062199Y2 (ja) | 1987-09-02 | 1987-09-02 | 電子顕微鏡の試料ホルダ排気装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6438752U true JPS6438752U (ja) | 1989-03-08 |
| JPH062199Y2 JPH062199Y2 (ja) | 1994-01-19 |
Family
ID=31392412
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP13402187U Expired - Lifetime JPH062199Y2 (ja) | 1987-09-02 | 1987-09-02 | 電子顕微鏡の試料ホルダ排気装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH062199Y2 (ja) |
-
1987
- 1987-09-02 JP JP13402187U patent/JPH062199Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH062199Y2 (ja) | 1994-01-19 |
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