JPS6438752U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS6438752U JPS6438752U JP13402187U JP13402187U JPS6438752U JP S6438752 U JPS6438752 U JP S6438752U JP 13402187 U JP13402187 U JP 13402187U JP 13402187 U JP13402187 U JP 13402187U JP S6438752 U JPS6438752 U JP S6438752U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- sample
- holder
- chamber
- vacuum
- goniometer
- Prior art date
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- Granted
Links
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims 1
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 description 1
Description
第1図は本考案の一実施例を示す断面図、第2
図及び第3は従来の電子顕微鏡の試料装置の概略
を示す断面図である。 1:試料室、2:対物レンズ磁極片、3:ゴニ
オメータ、4:試料ホルダ、5:仕切弁、6:予
備室、7:バルブ、8:油拡散ポンプ、9:油回
転ポンプ、10:大型ケース、11:パイプ、1
2:ステージ、12a:孔、13:筒状体、14
:ジヨイント、15:真空チユーブ、16:バル
ブ、17:保持体、18:パイプ、19:バルブ
、20:ガス貯蔵タンク、21:マイクロスイツ
チ、22:突起、23:駆動源。
図及び第3は従来の電子顕微鏡の試料装置の概略
を示す断面図である。 1:試料室、2:対物レンズ磁極片、3:ゴニ
オメータ、4:試料ホルダ、5:仕切弁、6:予
備室、7:バルブ、8:油拡散ポンプ、9:油回
転ポンプ、10:大型ケース、11:パイプ、1
2:ステージ、12a:孔、13:筒状体、14
:ジヨイント、15:真空チユーブ、16:バル
ブ、17:保持体、18:パイプ、19:バルブ
、20:ガス貯蔵タンク、21:マイクロスイツ
チ、22:突起、23:駆動源。
補正 昭62.11.27
図面の簡単な説明を次のように補正する。
本願明細書第9頁下から2行目「第3は」とあ
るを「第3図は」と補正する。
るを「第3図は」と補正する。
Claims (1)
- 検鏡中の試料を任意に移動させるゴニオメータ
、このゴニオメータ内に設けられた予備室、この
予備室と電子顕微鏡の試料室との間に設けられた
真空仕切り弁、前記予備室の真空を粗引する手段
を有し、試料を保持した試料ホルダを前記予備室
を通して光軸と直角な方向から試料室内の検鏡位
置に挿入する装置であつて、前記予備室に試料ホ
ルダと交換的に且つ気密を保つて嵌入される筒状
体、この筒状体に一端が結合されているフレキシ
ブル真空チユーブ、この真空チユーブの他端に結
合された筒状のホルダ保持体、この保持体に接続
されたガス供給手段、前記チユーブを介して前記
予備室との真空を開閉するための弁装置とを備え
、検鏡前の試料ホルダを前記ホルダ保持体に嵌挿
して内部を予備的に真空引きする構造の電子顕微
鏡の試料ホルダ排気装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP13402187U JPH062199Y2 (ja) | 1987-09-02 | 1987-09-02 | 電子顕微鏡の試料ホルダ排気装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP13402187U JPH062199Y2 (ja) | 1987-09-02 | 1987-09-02 | 電子顕微鏡の試料ホルダ排気装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS6438752U true JPS6438752U (ja) | 1989-03-08 |
JPH062199Y2 JPH062199Y2 (ja) | 1994-01-19 |
Family
ID=31392412
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP13402187U Expired - Lifetime JPH062199Y2 (ja) | 1987-09-02 | 1987-09-02 | 電子顕微鏡の試料ホルダ排気装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH062199Y2 (ja) |
-
1987
- 1987-09-02 JP JP13402187U patent/JPH062199Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH062199Y2 (ja) | 1994-01-19 |
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