JPH0165854U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0165854U JPH0165854U JP1987161589U JP16158987U JPH0165854U JP H0165854 U JPH0165854 U JP H0165854U JP 1987161589 U JP1987161589 U JP 1987161589U JP 16158987 U JP16158987 U JP 16158987U JP H0165854 U JPH0165854 U JP H0165854U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- cylindrical body
- lid
- coating
- exhaust
- vacuum
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
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Landscapes
- Physical Vapour Deposition (AREA)
- Chemical Vapour Deposition (AREA)
Description
第１図は本考案のコーテイング装置を油井管用
のカツプリングに適用した実施例を示し、第２図
はそのときのコーテイング作用を説明する図であ
る。
のカツプリングに適用した実施例を示し、第２図
はそのときのコーテイング作用を説明する図であ
る。
Claims (1)
- 内面コーテイングされる筒状体の開放部に封止
用パツキンを介して気密に接続される蓋体と、該
蓋体を貫通して前記筒状体の内部を真空源に接続
する真空排気管と、排気後の前記筒状体の内部空
間に作動ガスを導入するため前記蓋体を貫通して
設けられたガス導入管と、前記蓋体の筒状体側に
設けたイオン発生用電極と、コーテイング時に前
記筒状体を回転させる回転機構とを備えたことを
特徴とする筒状体内面のコーテイング装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1987161589U JPH0165854U (ja) | 1987-10-22 | 1987-10-22 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1987161589U JPH0165854U (ja) | 1987-10-22 | 1987-10-22 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0165854U true JPH0165854U (ja) | 1989-04-27 |
Family
ID=31444661
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1987161589U Pending JPH0165854U (ja) | 1987-10-22 | 1987-10-22 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0165854U (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH1025564A (ja) * | 1996-07-09 | 1998-01-27 | Ion Kogaku Kenkyusho:Kk | コーティング方法およびコーティング装置 |
| JP2001003159A (ja) * | 1999-06-18 | 2001-01-09 | Shin Meiwa Ind Co Ltd | 被膜の形成方法及び被膜が形成された構造部材 |
| JP2019060025A (ja) * | 2013-12-30 | 2019-04-18 | ジーティーエイティー・コーポレーション | Ｃｖｄ反応器のための改良された放射シールディング |
-
1987
- 1987-10-22 JP JP1987161589U patent/JPH0165854U/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH1025564A (ja) * | 1996-07-09 | 1998-01-27 | Ion Kogaku Kenkyusho:Kk | コーティング方法およびコーティング装置 |
| JP2001003159A (ja) * | 1999-06-18 | 2001-01-09 | Shin Meiwa Ind Co Ltd | 被膜の形成方法及び被膜が形成された構造部材 |
| JP2019060025A (ja) * | 2013-12-30 | 2019-04-18 | ジーティーエイティー・コーポレーション | Ｃｖｄ反応器のための改良された放射シールディング |
| US11015244B2 (en) | 2013-12-30 | 2021-05-25 | Advanced Material Solutions, Llc | Radiation shielding for a CVD reactor |
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