JPS6241658U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPS6241658U JPS6241658U JP13285285U JP13285285U JPS6241658U JP S6241658 U JPS6241658 U JP S6241658U JP 13285285 U JP13285285 U JP 13285285U JP 13285285 U JP13285285 U JP 13285285U JP S6241658 U JPS6241658 U JP S6241658U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- bellows
- exhaust pipe
- shaped exhaust
- inner tube
- vacuum
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000012856 packing Methods 0.000 description 1
Description
添附図面は本考案の一実施例を示す主要断面図
である。 １：蛇腹状排気管、２：袋ナツト、３：油回転
ポンプ、４：Ｏリングパツキング、５：インナー
チユーブ、６：空間。
である。 １：蛇腹状排気管、２：袋ナツト、３：油回転
ポンプ、４：Ｏリングパツキング、５：インナー
チユーブ、６：空間。
Claims (1)
- 鏡体内と真空ポンプとを蛇腹状排気管で接続し
た装置において、前記蛇腹状排気管内に可撓性を
有したインナーチユーブを挿入させてなる真空装
置における排気系。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13285285U JPS6241658U (ja) | 1985-08-30 | 1985-08-30 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13285285U JPS6241658U (ja) | 1985-08-30 | 1985-08-30 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6241658U true JPS6241658U (ja) | 1987-03-12 |
Family
ID=31032620
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP13285285U Pending JPS6241658U (ja) | 1985-08-30 | 1985-08-30 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6241658U (ja) |
-
1985
- 1985-08-30 JP JP13285285U patent/JPS6241658U/ja active Pending