JPH01157157U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH01157157U JPH01157157U JP5307988U JP5307988U JPH01157157U JP H01157157 U JPH01157157 U JP H01157157U JP 5307988 U JP5307988 U JP 5307988U JP 5307988 U JP5307988 U JP 5307988U JP H01157157 U JPH01157157 U JP H01157157U
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- pipe
- nozzle
- treated
- voltage
- introduction
- Prior art date
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- Pending
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- 239000011248 coating agent Substances 0.000 claims description 2
- 238000000576 coating method Methods 0.000 claims description 2
Landscapes
- Chemical Vapour Deposition (AREA)
Description
図面は本考案の一実施例を示し、第１図はコー
テイング装置の概略構成を示す縦断面図、第２図
はその横断面図である。 １……被処理物のパイプ、３……蓋、５……ガ
スノズルパイプ、６……電極、７……電圧印加手
段、５１……排気ノズルパイプ、５２……導入ノ
ズルパイプ、５３……排気ノズル孔、５４……導
入ノズル孔、５５，５６……バルブ。
テイング装置の概略構成を示す縦断面図、第２図
はその横断面図である。 １……被処理物のパイプ、３……蓋、５……ガ
スノズルパイプ、６……電極、７……電圧印加手
段、５１……排気ノズルパイプ、５２……導入ノ
ズルパイプ、５３……排気ノズル孔、５４……導
入ノズル孔、５５，５６……バルブ。
Claims (1)
- 被処理物であるパイプの両端を塞ぐ蓋と、該蓋
の一方を貫通するようにかつ前記パイプ内におい
て該パイプの中心軸線を挾んで互いに対向するよ
うに配置される少なくとも１対のガスノズルパイ
プと、前記被処理物のパイプと該パイプ内に配さ
れる電極との間に電圧を印加する電圧印加手段と
、前記被処理物のパイプ内部を真空状態にする真
空手段とを備え、前記ガスノズルパイプは、外側
に位置する排気ノズルパイプと内側に位置する導
入ノズルパイプからなる二重管構造とし、排気ノ
ズルパイプ、導入ノズルパイプはそれぞれ被処理
物のパイプの内周面に対向するように外方へ向く
多数のノズル孔を有し、かつそれら排気ノズルパ
イプ、導入ノズルパイプの基端にそれぞれバルブ
を取り付けていることを特徴とするパイプ内面の
コーテイング装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5307988U JPH01157157U (ja) | 1988-04-20 | 1988-04-20 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5307988U JPH01157157U (ja) | 1988-04-20 | 1988-04-20 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01157157U true JPH01157157U (ja) | 1989-10-30 |
Family
ID=31279076
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5307988U Pending JPH01157157U (ja) | 1988-04-20 | 1988-04-20 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01157157U (ja) |
-
1988
- 1988-04-20 JP JP5307988U patent/JPH01157157U/ja active Pending