JPS61123457U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS61123457U JPS61123457U JP681885U JP681885U JPS61123457U JP S61123457 U JPS61123457 U JP S61123457U JP 681885 U JP681885 U JP 681885U JP 681885 U JP681885 U JP 681885U JP S61123457 U JPS61123457 U JP S61123457U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- electron beam
- lens section
- thin
- vacuum sealing
- image
- Prior art date
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- Pending
Links
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims description 3
- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 claims 5
- 238000007789 sealing Methods 0.000 claims 3
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 claims 2
- OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N Phosphorus Chemical compound [P] OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 1
- 238000000034 method Methods 0.000 claims 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
Description
第１図は本考案の電子顕微鏡の実施例の縦断面
図、第２図は第１図の加熱部材付薄肉パイプの詳
細図である。 ７……試料筒、１４，２４……加熱部材付薄肉
パイプ、３０，３４……電気絶縁ガラス。
図、第２図は第１図の加熱部材付薄肉パイプの詳
細図である。 ７……試料筒、１４，２４……加熱部材付薄肉
パイプ、３０，３４……電気絶縁ガラス。
Claims (1)
- 電子線を発生する電子銃と該電子線を収束させ
、かつ、真空封入用薄内パイプを有する収束レン
ズ部と試料を挿脱かつ処理する試料室と試料を透
過した電子線を結像拡大し、かつ真空封入用薄肉
パイプを有する結像レンズ部と、上記結像拡大し
た電子線を螢光体に衝突させて観察する観察室と
上記結像拡大した電子線を写真撮影するカメラ室
を有する電子顕微鏡において、上記収束レンズ部
と結像レンズ部の真空封入用薄肉パイプ自体に発
熱体を取付け、脱ガスするように構成したことを
特徴とする電子顕微鏡。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP681885U JPS61123457U (ja) | 1985-01-23 | 1985-01-23 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP681885U JPS61123457U (ja) | 1985-01-23 | 1985-01-23 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61123457U true JPS61123457U (ja) | 1986-08-04 |
Family
ID=30484610
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP681885U Pending JPS61123457U (ja) | 1985-01-23 | 1985-01-23 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61123457U (ja) |
-
1985
- 1985-01-23 JP JP681885U patent/JPS61123457U/ja active Pending
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