JPS6430459U - - Google Patents
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- JPS6430459U JPS6430459U JP12452687U JP12452687U JPS6430459U JP S6430459 U JPS6430459 U JP S6430459U JP 12452687 U JP12452687 U JP 12452687U JP 12452687 U JP12452687 U JP 12452687U JP S6430459 U JPS6430459 U JP S6430459U
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- JP
- Japan
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- test object
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- 238000012360 testing method Methods 0.000 claims description 10
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 5
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims 3
- 230000002950 deficient Effects 0.000 claims 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
Landscapes
- Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
Description
第1図は本考案に係る半導体試験装置の一実施
例を示す構成図、第2図は従来の半導体試験装置
の一例を示す構成図、第3図はエミツタ・コレク
タ飽和電圧測定回路を示す図である。 CC……コントローラ、P……プロセツサ、D
SP……表示装置、CU1……第1のコントロー
ル・ユニツト、CU2……第2のコントロール・
ユニツト、DUT……試験対象物、ADC……A
Dコンバータ・カード、DCR……判別手段、S
MU1,21……ソース・メジヤー・ユニツト。
例を示す構成図、第2図は従来の半導体試験装置
の一例を示す構成図、第3図はエミツタ・コレク
タ飽和電圧測定回路を示す図である。 CC……コントローラ、P……プロセツサ、D
SP……表示装置、CU1……第1のコントロー
ル・ユニツト、CU2……第2のコントロール・
ユニツト、DUT……試験対象物、ADC……A
Dコンバータ・カード、DCR……判別手段、S
MU1,21……ソース・メジヤー・ユニツト。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 コントローラの管理下で作動するコントロール
・ユニツトによりソース・メジヤー・ユニツトを
駆動し、試験対象物に定電圧あるいは定電流を与
え、試験対象物からの出力信号を他のソース・メ
ジヤー・ユニツトで測定し、その測定値をデイジ
タル信号に変換した後コントローラに渡して試験
対象物の良否判定などを行う半導体試験装置にお
いて、 前記ソース・メジヤー・ユニツトから出力して
試験対象物に実際に供給している定電圧あるいは
定電流を前記他のソース・メジヤー・ユニツトを
介して測定し、その測定値がソース・メジヤー・
ユニツトから出力しようとしている値と一致しな
い場合は測定条件不良として試験対象物の良否判
定のための測定を中止し、ソース・メジヤー・ユ
ニツトから出力しようとしている値と一致した場
合には試験対象物の良否判定のための測定を実行
させるように制御する機能を有する判別手段を具
備したことを特徴とする半導体試験装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP12452687U JPS6430459U (ja) | 1987-08-14 | 1987-08-14 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP12452687U JPS6430459U (ja) | 1987-08-14 | 1987-08-14 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS6430459U true JPS6430459U (ja) | 1989-02-23 |
Family
ID=31374336
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP12452687U Pending JPS6430459U (ja) | 1987-08-14 | 1987-08-14 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS6430459U (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH045463U (ja) * | 1990-04-24 | 1992-01-20 |
-
1987
- 1987-08-14 JP JP12452687U patent/JPS6430459U/ja active Pending
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH045463U (ja) * | 1990-04-24 | 1992-01-20 |
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