JPS6417480U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS6417480U JPS6417480U JP11157787U JP11157787U JPS6417480U JP S6417480 U JPS6417480 U JP S6417480U JP 11157787 U JP11157787 U JP 11157787U JP 11157787 U JP11157787 U JP 11157787U JP S6417480 U JPS6417480 U JP S6417480U
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- JP
- Japan
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- control unit
- source
- unit
- controller
- test object
- Prior art date
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- Pending
Links
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Landscapes
- Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)
Description
第１図は本考案に係る半導体試験装置の一実施
例を示す構成図、第２図は動作説明のためのタイ
ムチヤートである。 ＣＣ……コントローラ、ＣＵ１……第１のコン
トロール・ユニツト、ＣＵ２……第２のコントロ
ール・ユニツト、ＤＵＴ１，ＤＵＴ２……試験対
象物、ＴＣ……タイマー・カード、ＣＯＮ……Ａ
Ｄコンバータ・カード、ＳＭＵ１，ＳＭＵ２……
ソース・メジヤー・ユニツト。
例を示す構成図、第２図は動作説明のためのタイ
ムチヤートである。 ＣＣ……コントローラ、ＣＵ１……第１のコン
トロール・ユニツト、ＣＵ２……第２のコントロ
ール・ユニツト、ＤＵＴ１，ＤＵＴ２……試験対
象物、ＴＣ……タイマー・カード、ＣＯＮ……Ａ
Ｄコンバータ・カード、ＳＭＵ１，ＳＭＵ２……
ソース・メジヤー・ユニツト。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 コントローラの管理下で作動するコントロール
・ユニツトによりソースメジヤー・ユニツトを駆
動し、試験対象物に定電圧あるいは定電流を与え
、その際の試験対象物からの出力信号をソース・
メジヤー・ユニツトで測定し、測定値をデイジタ
ル信号に変換した後コントローラに渡し、試験対
象物の良否判別などが行われる半導体試験装置に
おいて、 前記コントロール・ユニツトを、 １個または複数個のソース・メジヤー・ユニ
ツトを備えた第２のコントロール・ユニツトと、 前記ソース・メジヤー・ユニツトによる測定
値をデイジタル変換するＡＤコンバータ・カード
と、前記ソース・メジヤー・ユニツトおよびＡＤ
コンバータ・カードの動作開始のタイミングを制
御する計測タイミング信号を発生し、前記コント
ローラによるタイミング管理よりも高い分解能で
タイミング管理のできるタイマー・カードを備え
た第１のコントロール・ユニツト より構成したことを特徴とする半導体試験装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11157787U JPS6417480U (ja) | 1987-07-21 | 1987-07-21 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11157787U JPS6417480U (ja) | 1987-07-21 | 1987-07-21 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6417480U true JPS6417480U (ja) | 1989-01-27 |
Family
ID=31349743
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11157787U Pending JPS6417480U (ja) | 1987-07-21 | 1987-07-21 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6417480U (ja) |
-
1987
- 1987-07-21 JP JP11157787U patent/JPS6417480U/ja active Pending
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