JPS6419909U - - Google Patents

Description

【図面の簡単な説明】

第１図ないし第６図は本考案の実施例に係り、
第１図は光学顕微鏡の自動焦点合わせ装置の光学
系および電気制御系を示す概略構成図、第２図は
位置検出リングの平面図、第３図は位置検出リン
グの断面図、第４図は一次元位置検出素子に対す
るスポツト光の入射状態の説明図、第５図は補正
手段（ゲイン可変型乗算器）がないとした場合の
動作説明図、第６図は補正手段を設けた場合の動
作説明図である。また、第７図は従来の光学顕微
鏡の自動焦点合わせ装置の概略構成図、第８図Ａ
〜Ｃはその動作説明図である。 １…光源（半導体レーザ光源）、５…位置検出
リング、６…対物レンズ、７…ステージ、８…サ
ンプル、８ａ…サンプル面、１０…結像レンズ（
チユーブレンズ）、１１…一次元位置検出素子（
焦点ずれ量検出素子）、１４…ゲイン可変型乗算
器、１５…差動アンプ（出力回路）、１６…モー
タドライバ、１７…モータ、１８…駆動機構、２
１…ＲＡＭ（記憶手段）、２２…レボルバ、２３
ａ〜２３ｅ…投光孔、２４…フオトインタラプタ
、２５…対物レンズ種類検出手段、２６…補正手
段、ＳＬ２…スポツト光、Ｘ_０…基準位置、Ｘ_ｉ
…入射位置、△Ｘ…偏差。

Claims (1)

1. 【実用新案登録請求の範囲】 対物レンズを介してステージ上のサンプル面に
   光を入射する光源と、 サンプル面で反射し前記対物レンズから出た反
   射光を集光するレンズと、 集光されたスポツト光の入射位置と基準位置と
   の偏差に応じてサンプル面に対する前記対物レン
   ズの焦点ずれ量を検出する焦点ずれ量検出素子と
   、 この焦点ずれ量検出素子における偏差に対応し
   た合焦制御信号を出力する出力回路と、 この出力回路からの合焦制御信号に基づいて、
   この合焦制御信号の出力が無くなるまで自動的に
   ステージと鏡筒とを相対的に遠近移動させる駆動
   機構 とを備えた光学顕微鏡の自動焦点合わせ装置にお
   いて、 前記焦点ずれ量検出素子として、少なくとも一
   次元方向に沿つて受光位置を検出する受光素子か
   らなる位置検出素子を備え、かつ、 各対物レンズについてその合焦状態で位置検出
   素子上における基準位置とスポツト光の入射位置
   との間に生じる各対物レンズに固有の合焦時偏差
   を予め記憶する記憶手段と、 選択された対物レンズの種類に対応する合焦時
   偏差を前記記憶手段から読み出した信号成分によ
   つて、前記出力回路からの合焦制御信号を補正す
   る補正手段 とを備えたことを特徴とする光学顕微鏡の自動焦
   点合わせ装置。